SU1031367A1 - Способ обработки структур кремний-двуокись кремния - Google Patents

Способ обработки структур кремний-двуокись кремния

Info

Publication number
SU1031367A1
SU1031367A1 SU3376650/25A SU3376650A SU1031367A1 SU 1031367 A1 SU1031367 A1 SU 1031367A1 SU 3376650/25 A SU3376650/25 A SU 3376650/25A SU 3376650 A SU3376650 A SU 3376650A SU 1031367 A1 SU1031367 A1 SU 1031367A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
silicon
structures
processing structures
electrons
irradiation
Prior art date
Application number
SU3376650/25A
Other languages
English (en)
Inventor
Н.В. Вершинина
Н.Н. Герасименко
Original Assignee
Новосибирский государственный университет
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Новосибирский государственный университет filed Critical Новосибирский государственный университет
Priority to SU3376650/25A priority Critical patent/SU1031367A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1031367A1 publication Critical patent/SU1031367A1/ru

Links

Abstract

Способ обработки структур кремний - двуокись кремния, включающий термообработку структур в интервале 200-300C и одновременное облучение электронами, отличающийся тем, что, с целью пониженного избыточного положительного заряда в структурах, облучение осуществляют электронами энергией 0,18-3,5 Мэв дозой 10-10эл•см.
SU3376650/25A 1981-10-15 1981-10-15 Способ обработки структур кремний-двуокись кремния SU1031367A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3376650/25A SU1031367A1 (ru) 1981-10-15 1981-10-15 Способ обработки структур кремний-двуокись кремния

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3376650/25A SU1031367A1 (ru) 1981-10-15 1981-10-15 Способ обработки структур кремний-двуокись кремния

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1031367A1 true SU1031367A1 (ru) 1999-11-10

Family

ID=60525936

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU3376650/25A SU1031367A1 (ru) 1981-10-15 1981-10-15 Способ обработки структур кремний-двуокись кремния

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1031367A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES459187A1 (es) Procedimiento y su correspondiente aparato de concentracion de radiaciones.
ES8606289A1 (es) Un procedimiento para la preparacion de piridazinaminas.
JPS5538095A (en) Method of and device for treating semiconductor
DK154636C (da) Homogen, ikke-haerdnet cementholdig blanding og haerdnede genstande fremstillet deraf
ES8307495A1 (es) Un procedimiento para preparar una composicion farmaceutica en forma de dosis mitarica.
EP0189849A3 (en) Method for treatment of neuroectodermal malignancies and epithelial carcinomas in humans
NO830527L (no) Analogifremgangsmaate for fremstilling av 2,3-diaryl-5-halogenthiofener
IL58441A0 (en) Surface treatment of semiconductors for photovoltaic and photoelectrochemical applications
NO811409L (no) Framgangsmaate for oppberedning av naaletremasse, saerlig trefattig naaletremasse, for utvinning av energibaerere og raastoffer
SU1031367A1 (ru) Способ обработки структур кремний-двуокись кремния
IT1172270B (it) Procedimento per la produzione di interferon
ZA849576B (en) 1,7-diphenyl-3-methyllaza-7-cyano-8-methylnonane for use in the treatment of diseases
IT1124820B (it) Perfezionamento nelle camere per il trattamento di pezzi
RO79426A2 (ro) Compozitie medicamentoasa pentru tratamentul unor neuroviroze
ES427277A1 (es) Un procedimiento para la preparacion de un nuevo derivado de mercaptometilpiridina.
JPS5223275A (en) Field effect transistor and its manufacturing method
DE69232852D1 (de) Verwendung von topotecan in der behandlung von nichtkleinzelligen lungenkarzinomen
JPS54102964A (en) Method of heat treating semiconductor
ES450299A1 (es) Un procedimiento de fabricacion de nuevos compuestos quimi- cos derivados de n-pinolidin-2-etilamina.
DK146785A (da) Pharmaceutisk praeparat med indhold af 9alfa, 11beta-dichlor-16alfa-methyl-21-oxycarbonyldicyclohexylmethyloxypregna-1,4-dien-3,20-dion
IT8719277A0 (it) Capelli. composizione per il trattamento ela stimolazione della crescita dei
IT1177974B (it) Composizione comprendente endotossina detossificata raffinata
IT1126860B (it) Procedimento ed impianto per trattamento termico di minerali in particolare per cuocere gesso
SU1212056A1 (ru) Способ термической обработки металлических изделий
JPS5261234A (en) Prevention and treating method of infection of cattle nipple and composition therefore