Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Новосибирский государственный университетfiledCriticalНовосибирский государственный университет
Priority to SU3376650/25ApriorityCriticalpatent/SU1031367A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU1031367A1publicationCriticalpatent/SU1031367A1/ru
Способ обработки структур кремний - двуокись кремния, включающий термообработку структур в интервале 200-300C и одновременное облучение электронами, отличающийся тем, что, с целью пониженного избыточного положительного заряда в структурах, облучение осуществляют электронами энергией 0,18-3,5 Мэв дозой 10-10эл•см.
SU3376650/25A1981-10-151981-10-15Способ обработки структур кремний-двуокись кремния
SU1031367A1
(ru)