SU1020633A2 - Криосорбционный насос - Google Patents

Abstract

1. КРИОСОРБЦИОННЫЙ НАСОС по авт. св. № 566958, о г п и чающийс  тем, чго, с цепью повышетс  сгрооействи , он снабжен рао положенными в сосуде по окружносги грубками .а лабиринтный канал дл  газа подключен к патрубкам при помозди этик трубок. 2. Насос по п. 1, отличающие с   тем, что трубки выпопнены криволинейными и закреплены в торцовых стенках сосуда. (Л с

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике.

По основному авт. св. bfe 566958

известен криосорбиионный насос, содержащий корпус с периферийным патрубком ввода откачиваемого газа 1 вентральным отводным патрубком и, размещенные в корпусе охпаждающий элемент и спой сор бента, п1ри этом охпаждаюший эпементвыпопнен в виде сосуда с коаксмаггьными выступами, вход щими в спой сорбента с образованием лабиринтного канапа дп  газа, подключенного к патрубкам f 1J.

Недостатком известного криосорбционного насоса  вл етс  то, что откачиваемый газ, поступаюитй от вакуумируемог объекта к сорбенту, имеет сравнительно высокую (комнатную) температуру и Mone купы газа обладают большой энергией, вспедствие чего снижаетс  быстродействи насоса, поскольку молекулы .теплого газа плохо поглощаютс  сорбентом.

Цель изобретени  - повышение быстродействи  насоса.

Указанна  цель достигаетс  тем, что криосорбционный насос, содержащий корпус с периферийным патрубком ввода откачиваемого газа и центральным отводным iiaTpyeKOM. и размещенные в корпусе охлаждающий элемент и слой сорбента , при этом охлаждающий элемент выполнен в виде сосуда с коаксиальными выступами, вход щими в слой сорбента с образованием лабиринтного канала дл  газа, подключенного к патрубкам, снабжен расположенными в сосуде по окружности трубками, и лабиринтный канал дл  газа подключен к патрубкам при помощи этих трубок.

Трубки могут быть выполнены криволинейными и закреплены в торцовых стенках сосуда.

На фиг. 1 изображен предлагаемый HacoCj продольный разрез; на фиг. 2 разрез А-А на фиг. 1.

Криосорбционный насос содержит корпус 1 с периферийным патрубком 2 ввода откачиваемого газа и центральным отводным патрубком 3, и размещенные в

корпусе 1 охлаждающий элемент и слой сорбента 4. Охлаждающий элемент выполнен в виде сосуда 5 с коаксиальными выступами 6, вход щими в слой сорбента 4 с образованием лабиринтного канапа дл  газа, подключенного к патрубкам 2 и 3. Насос снабжен расположенными в сосуде 5 по окружности трубками 7. Лабиринтный канал дл  газа подключен к патрубкам 2 и 3 при помощи трубок 7, которые выполнены криволинейными и закреплены в торцовых стенках сосуда 5.

Криосорбционный насос работает следующим образом.

Охлаждаемый сорбент 4 поглощает газ наход щийс  внутри корпуса 1 насоса, в результате чего в нем возникает вакуум, и газ от вакуумируемого объекта начинает поступать через патрубок 2 в насос. При достижении вакуума на выходе начинает работать диффузионный насос (не показан), который создает на выходе криосорбционного насоса давление меньше, чем на входе. Благодар  полученной разности давлеййй поток газа последовательно прокачиваетс  через трубки 7 и лабиринтш 1й канал. Молекулы откачиваемого газа, проход  через трубки 7, выполненные криволинейными, т.е. оптически непроницаемыми , испытывают многократные столкновени  с Охлажденными внутрен шми поверхност ми упом нутых трубок, обменива сь с ними энергией, т.е. охлаждалась . При этом газ охлаждаетс  до температуры , близкой к температуре жидкого сладагента, энерги  молекул газа уменьщаетс , в результате чего он более э4 фективно поглощаетс  сорбентом 4, и увеличивает быстродейстбие криосорбцйонного насоса. Благодар  большому числу трубок 7 обеспечена высока  проводимость теплообменника.

Таким образом, в предлагаемом криосорбционном насосе повышено быстродействие благодар  предварительному охлаждению молекул откачиваемого газа в трубках, помещенных в сосуде с жидким хладагентом.

Claims (2)

1. КРИОСОРБНИОННЫЙ НАСОС по авт. св. № 566958, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия, он снабжен расположенными в сосуде по окружности трубками, а лабиринтный канал цля газа подключен к патрубкам при помощи этих трубок.

2. Насос поп. 1, отличаю — щ и й с я тем, что трубки выполнены криволинейными и закреплены в торцовых стенках сосуда.

I 1020633 2