SU1012058A1 - Ионизационный манометрический преобразователь - Google Patents

Abstract

1. ИОНИЗА1ШОНННЙ МАНОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ, содержащий корпус, в котором на токоподводах закреплены проволочный катод и выполненные в виде петель ti-образной формы анод и коллектор ионов, о Фличающийс  тем, что, с целью расширени  области пршшененв , в нем корпус-выполнен а виде pafocn, а катод, анод и коллектор ионов расположены последовательно в плоскости рамки, параллельно друг к другу внутри нее. 2. Преобразователь по п.1, отличающийс  тем, что, с целью повышени  чувствительности, он снабжен дополнительными анодом и коллектором п-образной формы, KOTO--N рые расположены аналогично основным с противоположной «тороны катода.

Description

И

/.

Изобретение относитс  к вакуумной технике, а именно к измерению давлени  разреженного газа с помощью ионизационных манометров, и может найти применение при измерении давлени  в малом ограниченном объеме| Известен электронный ионизационный преобразователь давлени  ПМИ-2, состо щий из осевого катода, цилиндрической анодной сетки и сплошного цилиндрического коллектора ионов. Габариты электронной системы преобра зовател  определ ютколлектор ионов диаметром 28 мм, катод длиной 36 NH-I ее объем 22 см Большой объем электродной системы вызван необходимостью получени  относительно большой чувствительности OplS . Путь эффективного пробета электрона, прежде чём он попадет; на анод, составл ет около 2 см. В I результате преобразователь обеспечивает контроль давлени  от 1 до 10- Па. Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  ионизационный манометрический преобрат зователь, содержащий корпус в котором на токоподводах закреплены проволочный катод и выполненные в виде петель П-образной формы анод и коллектор ионов 2. .. . Однако известное устройство харак теризуетс  невозможностью измерени  высокого вакуума в ограниченном пространстве , что св зано с относительно большими габаритами преобразовател .. Целью изобретени   вл етс  расширение области применени  преобразова тел , в частности возможность измере НИН Вакуума в щелевом зазоре. Эта цель достигаетс  тем, что в ионизационном манометрическом преобразователе , содержащем корпус, в котором на токоподвода.х закреплены про волочный катод и выполненные в виде петель П-образной формы анод и колле тор ионов, корпус выполнен в виде ра ки, а катод, анод и коллектор ионов расположены последовательно в плоскости рамки, параллельно друг другу внутри нее. Причем с целью повышени  чувствительности преобразователь может быть снабжен дополнительными анодом и кол лектором ионов п-образной формы, которые расположены аналогично основе ным с противоположной стороны катода . На чертеже приведена принципиальна  схема преобразовател . Преобразователь содержит проволочный катод 1, п -образный анод 2 из то кой проволоки и такой же формы коллектор ионов З.Все электроды наход т с  в одной плоскости и раст нуты на выводах, закрепленных на корпусе 4, выполненном в виде рамки. Возможны два варианта построени  преобразовател . Один из них: в центре анод, по кра м катод и коллектор ионов. В другом, преследующем цель повышени  чувствительности, в центре расположен катод, р дом с ним симметрично две петли анода и снаружи две петли коллектора ионов. В последнем варианте, показанном на чертеже, петли анодов и коллекторов ионов взаимно соедин ютс  электрически . .. Наиболее практично Дл  изготовлени  электродов применение вольфрама , молибдена и других прогреваемых материалов. Така  конструкци  электродов поз;вол ет обеспечить их прогрев, а с катода и получение необходимой эмиссии , при относительно небольшой мощности. Последнее обсто тельство позвол ет также свести к минимуму сорбционно-десорбционные  влени  на поверхност х, между которыми устанавливаетс  преобразователь. Длина рабочих участков катода, анода и коллектора ионов обычно не превышает 10-40 мм. Мала  нитей и их небольшой диаметр не привсэд т к их существенному пройисанию при нагреве и по влению продольных усилий на вводы. Все это делает.возможным исключить применение раст гивающих пружин. Петлеобразна  конструкци  анода позвол ет по сравнению с одиночной пр мой увеличить положительный по- тенциал пространства, т.е. улучшить выт гивание электронов с катода и увеличить зону ионизации газа ими, а следовательно, и чувствительность. Этой цели служит применение двух петель анода вокруг катода, показанное на чертеже. Петлеобразна  консте рукци  коллектора ионов облегчает .выт гивание ионо из зоны ионизации . Рассто ние между электродами выбираетс  исход  из требовани  диапазона измер емых давлений. Чем б.олее высокие давлени  должен контролировать преобразователь, тем эти размеры должны быть меньше, и наоборот. Корпус 4, на котором закреплены выводы дл  монтажа электродов, изготавливаетс  из высокоизол ционного материала./ например из керамики. В случае недостаточно высокой изол ции по материалу между выводами анода и юллектора ионов устанавливаютс  зануленные холостые выводы или на KepaMtfKe нанос тс  узкие электропроводные по ски, также зануленные. Весь преобразователь, а. его может быть сведена до 1-2 мм. устанавливаетс  в свободной зоне прибора или устройства, давление в котором необходимо измер ть. Прибор работает в традициоинш дл  электронных ионизационных преобразователей давлени  режиме. На анод подаетс  напр жение +(100-30.0) с катода отбираетс  электронный ток . А, в цепи коллектора измер етс  ионный ток пропорцион льный давлени } разреосе ного газа. Х адуцровка прибора по  авлен ю проводитс  в рабочих услови х его применений. Трёдлагаемый преобраз&ватель позвол ет обеспечить контроль давлени  от до Т Па, - в 10 раз бблее низ-кие давлени , чем «звестные малогабаритные конструкций.

Claims (2)

1. ИОНИЗАЦИОННЫЙ МАНОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ, содержащий корпус, в котором на токоподводах закреплены проволочный катод и выпол ненные в виде петель Й-образной формы анод и коллектор ионов, о тличающийся тем, что, с целью расширения области проденения, в нем корпус-выполнен в виде рамки, а катод, анод и коллектор ионов расположены последовательно в плоскости рамки, параллельно друг к другу внутри нее.

2. Преобразователь по.п.1, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, он снабжен дополнительными анодом и коллектором п-обраэной формы, кото--, рые расположены аналогично основным >с противоположной «тороны катода. _β в е

N3 >.

058