SE543677C2 - Direct heating and/or self heating micro gas sensor - Google Patents

Direct heating and/or self heating micro gas sensor

Info

Publication number
SE543677C2
SE543677C2 SE2050334A SE2050334A SE543677C2 SE 543677 C2 SE543677 C2 SE 543677C2 SE 2050334 A SE2050334 A SE 2050334A SE 2050334 A SE2050334 A SE 2050334A SE 543677 C2 SE543677 C2 SE 543677C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
heater
gas
gas detection
detection element
contact
Prior art date
Application number
SE2050334A
Other languages
English (en)
Other versions
SE2050334A1 (en
Inventor
Hung Chu Manh
Hung Nguyen Hugo Minh
Hoa Nguyen Duc
Duy Nguyen Van
Toan Nguyen Van
Original Assignee
Hanoi Univ Of Science And Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hanoi Univ Of Science And Technology filed Critical Hanoi Univ Of Science And Technology
Priority to SE2050334A priority Critical patent/SE543677C2/en
Publication of SE2050334A1 publication Critical patent/SE2050334A1/en
Publication of SE543677C2 publication Critical patent/SE543677C2/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Claims (10)

:
1. Gasdetektor (10; 20) innefattande ett gasdetekterande tunnfilmselement (4), och etttunnfilmsvärmarlement tillhandahållet på ett termiskt och elektriskt isolerande substrat, varvidvärmarelementet (3) är utsträckt mellan och är anslutet till en första (1) och en andra (2)värmarelementterminal, kännetecknad av att gasdetektionselementet (4) är utsträckt mellan enförsta och andra ände och vid den första änden är i kontakt med en gasdetektionselementterminal(5) och vid den andre änden i kontakt med värmarelementet (3).
2. Gasdetektorn (20) enligt krav 1, innefattande åtminstone ett första gasdetektionselement (41) ochett andra gasdetektionselement (42), varvid det första gasdetektionselementet (41) vid sin förstaände är i kontakt med en första gasdetektionselementterminal (51) och vid sin andra ände är ikontakt med värmarelementet (3), varvid det andra gasdetektionselement (42) vid sin första ände äri kontakt med en andra gasdetektionselementterminal (52) och vid sin andra ände är i kontakt medvärmarelementet (3).
3. Gasdetektorn (20) enligt krav 1 eller 2, varvid värmarelementet (3) är försedd med åtminstone enförsta värmarsektion (31) anordnad att tillhandahålla en första värmarkapacitet och en andravärmarsektion (32) anordnad att tillhandahålla en andra värmarkapacitet och varvid det förstagasdetektionselementet (41) är i kontakt med den första värmarsektionen (31) och det andragasdetektionselementet (42) är i kontakt med den andra värmarsektionen (32).
4. Gasdetektorn (20) enligt krav 3, varvid den första värmarsektionen (31) och den andravärmarsektionen (32) har samma tjocklek men olika bredd.
5. Gasdetektorn (20) enligt krav 4, varvid gasdetektionselementet (41) innefattar åtminstone femgasdetektionselementet (41; 42; 43; 44; 45) varvid det första gasdetektionselementet (41) vid sinförsta ände är i kontakt med den första värmarsektionen (31) och vid sin andra ände är i kontakt medden första gasdetektionselementterminalen (51), det andra gasdetektionselementet (42) vid sinförsta ände är i kontakt med den andra värmarsektionen (32) och vid sin andra ände är i kontakt medden andra gasdetektionselementterminalen (52), det tredje gasdetektionselementet (43) vid sinförsta ände är i kontakt med den tredje värmarsektionen (33) och vid sin andra ände är i kontakt medden tredje gasdetektionselementterminalen (54), det fjärde gasdetektionselementet (44) vid sinförsta ände är i kontakt med den fjärde värmarsektionen (34) och vid sin andra ände är i kontakt medden fjärde gasdetektionselementterminalen (54), och det femte gasdetektionselementet (45) vid sinförsta ände är i kontakt med den femte värmarsektionen (35) och vid sin andra ände är i kontakt medden femte gasdetektionselementterminalen (55).
6. Gasdetektorn (10, 20) enligt krav 1, varvid värmarelementet (3) uppvisar en gradvis förändring ibredd mellan den första (1) och den andra värmarelementterminalen och därmed tillhandahåller engradvis förändring av värmarkapaciteten längs värmarelementets (3) längd, och varvid det första gasdetektionselementet (41) är i kontakt med värmarelementet (3) vid en första position ochåtminstone ett andra gasdetektionselementet (42) är i kontakt med värmarelementet (3) vid enandra position.
7. Ett gasdetekterande system innefattande gasdetektorn (10, 20) enligt krav 1-6, och en driv- ochmätenhet, varvid driv- och mätenheten är anordnat att anbringa en spänning över värmarelementet(3) eller värmarsektionerna (31; 32; 33; 34; 35) och att mäta resistansen övergasdetektionselementet (4) eller gasdetektionselementen (41; 42; 43; 44; 45).
8. Gasdetekterande systemet enligt krav 7, varvid driv- och mätsystemet är anordnat att anbringa enspänning över den första värmarelementterminalen (1) och den andra värmarelementterminalen (2),och att mäta resistansen över gasdetektionselementet (4) mellan den förstavärmarelementterminalen (1) och gasdetektionselementterminalen (5), eller att mäta resistansenöver gasdetektionselementen (41; 42; 43; 44; 45) mellan den första värmarelementterminalen (1)och gasdetektionselementterminalerna (51; 52; 53; 54; 55).
9. Gasdetekterande systemet enligt krav 8, varvid den första värmarelementterminalen (1) är satt tillen högre potential än den andra värmarelementterminalen (2).
10. Gasdetekterande systemet enligt krav 7, varvid driv- och mätsystemet är anordnat att anbringaen spänning över den första värmarelementterminalen (1) och gasdetektionselementterminalen (5)eller flertalet gasdetektionselementterminalerna (51; 52; 53; 54; 55) den andravärmarelementterminalen (2), och att mäta resistansen över gasdetektionselementet (4) ellerflertalet gasdetektionselementen (41; 42; 43; 44; 45) mellan den första värmarelementterminalen (1)och gasdetektionselementterminalen (5), eller flertalet gasdetektionselementterminalerna (51; 52;53; 54; 55).
SE2050334A 2020-03-26 2020-03-26 Direct heating and/or self heating micro gas sensor SE543677C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE2050334A SE543677C2 (en) 2020-03-26 2020-03-26 Direct heating and/or self heating micro gas sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE2050334A SE543677C2 (en) 2020-03-26 2020-03-26 Direct heating and/or self heating micro gas sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE2050334A1 SE2050334A1 (en) 2021-06-01
SE543677C2 true SE543677C2 (en) 2021-06-01

Family

ID=76160059

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE2050334A SE543677C2 (en) 2020-03-26 2020-03-26 Direct heating and/or self heating micro gas sensor

Country Status (1)

Country Link
SE (1) SE543677C2 (sv)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4744246A (en) * 1986-05-01 1988-05-17 Busta Heinz H Flow sensor on insulator
US5605612A (en) * 1993-11-11 1997-02-25 Goldstar Electron Co., Ltd. Gas sensor and manufacturing method of the same
US20040099047A1 (en) * 2002-11-25 2004-05-27 Raisanen Walfred R. Thin film gas sensor
US7461540B2 (en) * 2006-04-29 2008-12-09 Moenkemoeller Ralf Metal-oxide gas sensor
WO2009045448A2 (en) * 2007-10-01 2009-04-09 Scott Technologies, Inc. Gas measuring device and method of manufacturing the same

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4744246A (en) * 1986-05-01 1988-05-17 Busta Heinz H Flow sensor on insulator
US5605612A (en) * 1993-11-11 1997-02-25 Goldstar Electron Co., Ltd. Gas sensor and manufacturing method of the same
US20040099047A1 (en) * 2002-11-25 2004-05-27 Raisanen Walfred R. Thin film gas sensor
US7461540B2 (en) * 2006-04-29 2008-12-09 Moenkemoeller Ralf Metal-oxide gas sensor
WO2009045448A2 (en) * 2007-10-01 2009-04-09 Scott Technologies, Inc. Gas measuring device and method of manufacturing the same

Also Published As

Publication number Publication date
SE2050334A1 (en) 2021-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10598621B2 (en) Gas sensing device with chemical and thermal conductivity sensing
CN101213425B (zh) 叉指型、全惠斯通电桥流量传感器变换器
US9995593B2 (en) Method for operating a sensor array
US20160187279A1 (en) Metal oxide gas sensor array devices, systems, and associated methods
US11474056B2 (en) Sensor for determining the thermal capacity of natural gas
US7635091B2 (en) Humidity sensor formed on a ceramic substrate in association with heating components
US11175190B2 (en) Device and method for the in-situ calibration of a thermometer
CN102004125B (zh) 热式湿度传感器
Kang et al. Temperature control of micro heater using Pt thin film temperature sensor embedded in micro gas sensor
CN108700539A (zh) 用于气体传感器装置的cmos集成微型加热器
CN101408442A (zh) 硅基薄膜结构空气质量流量传感器
SE543677C2 (en) Direct heating and/or self heating micro gas sensor
JP2007322355A (ja) ガスセンサ及びガス検知システム
US20200049647A1 (en) Sensor Device and Electronic Assembly
CN105784786A (zh) 用于检测气态分析物的方法和传感器设备及其制造方法
US6361204B1 (en) Device for measuring the thermal conductivity of a fluid
US20220128502A1 (en) Sensor Device and Method for Operating A Sensor Device
Zhang et al. Thermal conductivity measurement system for molecules-based compounds available in a wide temperature region
Sabate et al. Multisensor chip for gas concentration monitoring in a flowing gas mixture
CN112189129B (zh) 诊断测试传感器内的整体温度控制
Simon et al. In-situ pressure measurements of encapsulted gyroscopes
de Almeida et al. On the modeling of new tunnel junction magnetoresistive biosensors
WO2002073175A1 (en) Zero shift compensation oxygen sensor
JP2008046143A (ja) 熱式流体センサ及びフローセンサ
KR20080079486A (ko) Ｍｅｍｓ 형태의 접촉연소식 가스센서

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed