Claims (5)
1. Датчик давления, содержащий упругий элемент, закрепленный на опорном элементе, емкостные датчики перемещения упругого элемента, источник питания, отличающийся тем, что в нем выполнено не менее трех емкостных датчиков перемещения, дополнительно введены коммутирующее устройство, дифференциальные усилители, аналого-цифровые преобразователи, вычислительно-управляющее устройство, при этом емкостные датчики перемещения через коммутирующее устройство могут быть соединены с источником питания или попарно с входами дифференциальных усилителей, выходы которых соединены с соответствующими аналого-цифровыми преобразователями, выходы аналого-цифровых преобразователей соединены с вычислительно-управляющим устройством, управляющий выход которого соединен с коммутирующим устройством.1. A pressure sensor containing an elastic element mounted on a support element, capacitive displacement sensors of the elastic element, a power source, characterized in that it has at least three capacitive displacement sensors, an additional switching device, differential amplifiers, analog-to-digital converters, computing and control device, while capacitive displacement sensors through the switching device can be connected to a power source or in pairs with inputs of differential amplifiers teley whose outputs are connected to corresponding analog-to-digital converters, the outputs of analog-to-digital converters are connected to the evaluating and control device, control output of which is connected with the switching device.
2. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что упругий элемент выполнен с перемычками между его рабочей частью и местами крепления к опорному элементу, перемычки имеют малую жесткость в направлении ортогональном направлению рабочего перемещения упругого элемента. 2. The pressure sensor according to claim 1, characterized in that the elastic element is made with jumpers between its working part and the attachment points to the support element, the jumpers have low stiffness in the direction orthogonal to the direction of the working movement of the elastic element.
3. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что в него введен датчик температуры, выход которого соединен с вычислительно-управляющим устройством. 3. The pressure sensor according to claim 1, characterized in that a temperature sensor is inserted into it, the output of which is connected to a computing and control device.
4. Датчик давления по п.1 или 2, отличающийся тем, что упругий и опорный элементы выполнены из материалов на основе кремния. 4. The pressure sensor according to claim 1 or 2, characterized in that the elastic and supporting elements are made of silicon-based materials.
5. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что в качестве источника питания используется источник импульсного напряжения. 5. The pressure sensor according to claim 1, characterized in that a pulse voltage source is used as a power source.