RU98100035A -
INTERFERENCE METHOD OF MEASUREMENTS OF RELATIVE MOVEMENTS OF DIFFUSIVE REFLECTING OBJECTS
- Google Patents
INTERFERENCE METHOD OF MEASUREMENTS OF RELATIVE MOVEMENTS OF DIFFUSIVE REFLECTING OBJECTS
Info
Publication number
RU98100035A
RU98100035ARU98100035/28ARU98100035ARU98100035ARU 98100035 ARU98100035 ARU 98100035ARU 98100035/28 ARU98100035/28 ARU 98100035/28ARU 98100035 ARU98100035 ARU 98100035ARU 98100035 ARU98100035 ARU 98100035A
Интерференционный способ измерений относительных перемещений диффузно-отражающих объектов, заключающийся в том, что на участки исследуемых объектов направляют пучки когерентного излучения под некоторым углом освещения, осуществляют пространственное совмещение отраженных этими участками спекл-полей, контролируют изменение интерференционной картины в пределах спеклов в совмещенных пучках и по изменению интерференционной картины определяют относительные перемещения участков, отличающийся тем, что в качестве интерферирующих пучков выбирают одну пару или несколько пар пучков, отраженных под одинаковыми углами, отличными от угла освещения объекта.The interference method for measuring the relative displacements of diffuse-reflecting objects, which consists in sending coherent radiation beams to sections of the objects under study at a certain angle of illumination, performing spatial matching of the speckle fields reflected by these sections, controlling the change in the interference pattern within the speckles in the combined beams and the change in the interference pattern is determined by the relative displacement of the sites, characterized in that as interfering beams selecting one pair or several pairs of beams reflected at the same angle different from the angle of illumination of the object.
RU98100035A1998-01-061998-01-06Interference method for measurements of relative movements of diffusely reflecting objects
RU2154256C2
(en)