Claims (1)
Магнетронное распылительное устройство, содержащее расположенные в вакуумной камере катод-мишень, анод и магнитную систему, состоящую из корпуса, в котором размещены постоянные магниты и в котором выполнены каналы для охлаждающей жидкости, отличающееся тем, что корпус магнитной системы выполнен в виде вертикально установленного прямоугольного основания, по длине которого выполнен П-образный паз, в котором вплотную друг к другу одноименными полюсами размещено четное количество постоянных магнитов, каждый из которых выполнен в виде параллелепипеда с вектором намагниченности перпендикулярным его длиной стороне, причем отношение длины параллелепипеда к его ширине лежит в пределах 1,6 - 1,8, а отношение длины к высоте параллелепипеда - 3,5 - 4,0, при этом отношение длины основания корпуса магнитной системы к его ширине лежит в пределах 3,0 - 3,5.A magnetron spray device comprising a target cathode located in a vacuum chamber, an anode and a magnetic system consisting of a housing in which permanent magnets are placed and in which channels for coolant are made, characterized in that the housing of the magnetic system is made in the form of a vertically mounted rectangular base , along the length of which a U-shaped groove is made, in which an even number of permanent magnets are placed close to each other by the same poles, each of which is made in the form of pairs an allelepiped with a magnetization vector perpendicular to its side length, the ratio of the length of the parallelepiped to its width being in the range 1.6 - 1.8, and the ratio of length to height of the parallelepiped - 3.5 - 4.0, with the ratio of the length of the base of the body of the magnetic system to its width lies between 3.0 - 3.5.