RU97101229A - Установка для химической очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластин - Google Patents
Установка для химической очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластинInfo
- Publication number
- RU97101229A RU97101229A RU97101229/25A RU97101229A RU97101229A RU 97101229 A RU97101229 A RU 97101229A RU 97101229/25 A RU97101229/25 A RU 97101229/25A RU 97101229 A RU97101229 A RU 97101229A RU 97101229 A RU97101229 A RU 97101229A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- anode
- cathode
- solution
- chamber
- installation according
- Prior art date
Links
- 238000009434 installation Methods 0.000 title claims 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000010349 cathodic reaction Methods 0.000 claims 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000000047 product Substances 0.000 claims 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 230000003213 activating Effects 0.000 claims 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 claims 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims 1
Claims (6)
1. Установка для химической очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластин, включающая систему для жидкостной химической очистки пластин, систему для очистки отработанного моющего раствора от примесей, электрохимическую ячейку для активации раствора в виде анодной и катодной камер, разделенных между собой полупроницаемой мембраной, а также систему для обеспечения непрерывной циркуляции раствора в системах установки, состоящую из трубопроводов, промежуточных емкостей, фильтров, насосов и запорно-регулирующей арматуры, отличающаяся тем, что система очистки раствора выполнена в виде электрохимической ячейки, катодная камера которой сообщена с системой ЖХО по отработанному раствору, а катод снабжен адсорбером продуктов катодных реакций, прием анодная камера этой ячейки сообщена с катодной камерой.
2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что катод помещен в проницаемую для раствора оболочку для сбора газообразных продуктов катодных реакций, например, выполненную из хлориновой ткани.
3. Установка по пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что катодная камера сообщена с анодной камерой трубчатым каналом, входное отверстие которого размещено на уровне раствора серной кислоты в катодной камере, а выходное - в нижней части анодной камеры.
4. Установка по пп. 1 - 3, отличающаяся тем, что анод и катод электрохимической ячейки выполнены в виде нескольких плоских пластин, установленных в корпусе ячейки поочередно и параллельно друг другу, причем каждая из пластин анода размещена в корпусе ячейки в полупроницаемой мембране, выполненной в виде карманов, сообщенных между собой последовательно и трубопроводами и формирующих анодную камеру.
5. Установка по пп. 1 - 4, отличающаяся тем, что токоподводящие шины анода и катода выполнены в виде пластин из тантала, размещенных на изоляторах на корпусе электрохимической ячейки.
6. Установка по пп. 1 - 5, отличающаяся тем, что анод выполнен из тантала, а на его рабочих поверхностях закреплены пластины из платины.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97101229A RU2139594C1 (ru) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | Установка для химической очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластин |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97101229A RU2139594C1 (ru) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | Установка для химической очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластин |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU97101229A true RU97101229A (ru) | 1999-02-10 |
| RU2139594C1 RU2139594C1 (ru) | 1999-10-10 |
Family
ID=20189377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU97101229A RU2139594C1 (ru) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | Установка для химической очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластин |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2139594C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019122979A1 (en) | 2017-12-21 | 2019-06-27 | Arcelormittal | Method for pickling steel sheets |
-
1997
- 1997-01-21 RU RU97101229A patent/RU2139594C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7767062B2 (en) | Submerged-type electrosorption-based water purification apparatus and method thereof | |
| RU2709541C2 (ru) | Электродное устройство, электродные узлы и электролизеры | |
| KR20110034006A (ko) | 농도차 에너지를 이용하여 염수를 탈염하는 방법, 장치 및 플랜트 | |
| JP2011525420A5 (ru) | ||
| KR101398341B1 (ko) | 전기 화학적 물 준비용 장치 | |
| CA1044641A (en) | Processes and installations for the regeneration of spent pickling solutions | |
| US4695355A (en) | Electrode for membrane electrolysis | |
| RU2176989C1 (ru) | Электрохимическая модульная ячейка для обработки водных растворов, установка для получения продуктов анодного окисления раствора хлоридов щелочных или щелочноземельных металлов | |
| RU97101229A (ru) | Установка для химической очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластин | |
| JPH1028833A (ja) | ガスから電気化学的に転化可能な不純物を電解的に除去する電解槽及び方法 | |
| US3475299A (en) | Process for the electrolytic reduction of aromatic nitro compounds | |
| JPH05238736A (ja) | クロモ硫酸の電気化学的再生法 | |
| US3963567A (en) | Electrolyticdialysis | |
| CA1175780A (en) | Internal downcomer for electrolytic recirculation | |
| US4206030A (en) | Electrode assembly | |
| KR101390651B1 (ko) | 메쉬전극을 포함하는 차아염소산나트륨 발생장치 | |
| CS85792A3 (en) | Apparatus for damping pressure deviations in an electrolytic cell | |
| FI116299B (fi) | Elektrodi, elektrolyysikenno sekä menetelmät elektrodin valmistamiseksi ja vesipitoisen liuoksen elektrolysoimiseksi | |
| FI73744C (fi) | Foerfarande foer anvaendning av en elektrokemisk vaetske/gascell. | |
| US4270995A (en) | Electrochemical cell and process | |
| RU2139956C1 (ru) | Установка для получения растворов гипохлоритов электролизом | |
| RU2056364C1 (ru) | Установка для электрохимической обработки воды | |
| SU1662603A1 (ru) | Устройство дл очистки воздуха | |
| FI60723B (fi) | Med kvicksilverkatod foersedd vertikal elektrolyseringsanordning | |
| RU2076847C1 (ru) | Устройство для получения моющих и дезинфицирующих растворов |