RU97101221A - DEVICE FOR SMALL ANGLE TOPOGRAPHY (OPTIONS) - Google Patents

DEVICE FOR SMALL ANGLE TOPOGRAPHY (OPTIONS)

Info

Publication number
RU97101221A
RU97101221A RU97101221/25A RU97101221A RU97101221A RU 97101221 A RU97101221 A RU 97101221A RU 97101221/25 A RU97101221/25 A RU 97101221/25A RU 97101221 A RU97101221 A RU 97101221A RU 97101221 A RU97101221 A RU 97101221A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
radiation
collimator
transparent
opaque
spatial filter
Prior art date
Application number
RU97101221/25A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2119659C1 (en
Inventor
О.В. Комардин
Ф.Лоуренс Альберт
П.И. Лазарев
Original Assignee
ЗАО "Кванта Инвест"
Filing date
Publication date
Application filed by ЗАО "Кванта Инвест" filed Critical ЗАО "Кванта Инвест"
Priority claimed from RU97101221A external-priority patent/RU2119659C1/en
Priority to RU97101221A priority Critical patent/RU2119659C1/en
Priority to EP98902696A priority patent/EP0898704A1/en
Priority to PCT/US1998/001299 priority patent/WO1998033062A1/en
Priority to PCT/US1998/001365 priority patent/WO1998033063A1/en
Priority to AU60397/98A priority patent/AU6039798A/en
Priority to JP10532140A priority patent/JP2000512764A/en
Priority to AU59291/98A priority patent/AU5929198A/en
Priority to CN199898800059A priority patent/CN1216109A/en
Publication of RU2119659C1 publication Critical patent/RU2119659C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU97101221A publication Critical patent/RU97101221A/en

Links

Claims (4)

1. Устройство для малоугловой топографии, содержащее источник проникающего излучения, коллиматор, формирующий падающий на объект поток излучения в виде узких, малорасходящихся пучков, расположенный за объектом пространственный фильтр и позиционный чувствительный детектор, отличающееся тем, что коллиматор выполнен в виде регулярной периодической структуры, представляющей собой прозрачные для излучения участки в виде щелей или каналов и чередующиеся с ними непрозрачные и перекрывающей отдельную полосу в проекции объекта, а пространственный фильтр представляет собой подобную коллиматору регулярную периодическую структуру, в которой участки, соответствующие прозрачным участкам коллиматора, выполнены из непрозрачного для проникающего излучения материала, так что непрозрачные участки фильтра перекрывают прозрачные участки коллиматора; при этом размеры каналов или щелей и период структуры коллиматора, а также размеры прозрачных участков пространственного фильтра должны обеспечить регистрацию на позиционно-чувствительном детекторе только малоуглового рассеянного излучения, при этом устройство оснащено средством перемещения объекта относительно потока проникающего излучения для получения полной проекции объекта.1. A device for small-angle topography, containing a source of penetrating radiation, a collimator, forming a radiation flux incident on the object in the form of narrow, low-converging beams, a spatial filter located behind the object and a position sensitive detector, characterized in that the collimator is made in the form of a regular periodic structure, representing are areas that are transparent to radiation in the form of slits or channels and alternating with them are opaque and overlapping a separate strip in the projection of the object, and the space enny filter is a collimator similar to a regular periodic structure in which portions corresponding to transparent portions of the collimator, made of opaque material for penetrating radiation, so that the filter sections overlap opaque the transparent areas of the collimator; the dimensions of the channels or slots and the period of the collimator structure, as well as the dimensions of the transparent sections of the spatial filter, should ensure that only small-angle scattered radiation is recorded on a position-sensitive detector, while the device is equipped with a means of moving the object relative to the penetrating radiation flux to obtain a full projection of the object. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что коллиматор представляет собой непрозрачную для проникающего излучения пластину, в которой выполнены прозрачные каналы, оси которых ориентированы по линиям, сходящимся в фокусе источника излучения, а пространственный фильтр - прозрачную для излучения пластину, имеющую непрозрачные для излучения участки в виде стержней, перекрывающих прозрачные для проникающего излучения каналы. 2. The device according to claim 1, characterized in that the collimator is an opaque plate for penetrating radiation, in which transparent channels are made, the axes of which are oriented along lines converging at the focus of the radiation source, and the spatial filter is a plate transparent to radiation, having opaque for radiation, sections in the form of rods overlapping channels transparent to penetrating radiation. 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что коллиматор выполнен из набора пластин, зазоры между которыми образуют систему прозрачных для проникающего излучения щелей, плоскости которых пересекаются по линии, проходящей через фокус источника излучения. 3. The device according to claim 1, characterized in that the collimator is made of a set of plates, the gaps between which form a system of slots transparent to the penetrating radiation, the planes of which intersect along a line passing through the focus of the radiation source. 4. Устройство для малоугловой топографии, содержащее источник проникающего излучения, коллиматор, формирующий падающий на объект поток излучения в виде узких, малорасходящихся пучков, расположенный за объектом пространственный фильтр и позиционный чувствительный детектор, отличающееся тем, что пространственный фильтр, отделяющий малоугловое рассеянное излучение от излучения прямого пучка, выполнен в виде щелевого растра, в щелях которого размещены регистрирующие элементы, каждый из которых соединен с системой обработки, позволяющей разделить рассеянное излучение и излучение прямого пучка, причем размеры каждого регистрирующего элемента по крайней мере в два раза меньше проекции отдельного пучка на плоскость регистрации. 4. A device for small-angle topography, containing a source of penetrating radiation, a collimator that generates a radiation flux incident on the object in the form of narrow, low-dispersing beams, a spatial filter located behind the object, and a position sensitive detector, characterized in that the spatial filter separates the small-angle scattered radiation from radiation direct beam, made in the form of a slit raster, in the slits of which are placed recording elements, each of which is connected to a processing system that allows separate the scattered radiation and the radiation of the direct beam, the dimensions of each recording element being at least two times smaller than the projection of an individual beam on the registration plane.
RU97101221A 1997-01-24 1997-01-24 Small-angle topography aid RU2119659C1 (en)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU97101221A RU2119659C1 (en) 1997-01-24 1997-01-24 Small-angle topography aid
AU60397/98A AU6039798A (en) 1997-01-24 1998-01-23 Device for determining composition and structure of objects
PCT/US1998/001299 WO1998033062A1 (en) 1997-01-24 1998-01-23 Inspection equipment using small-angle topography in determining an object's internal structure and composition
PCT/US1998/001365 WO1998033063A1 (en) 1997-01-24 1998-01-23 Device for determining composition and structure of objects
EP98902696A EP0898704A1 (en) 1997-01-24 1998-01-23 Inspection equipment using small-angle topography in determining an object's internal structure and composition
JP10532140A JP2000512764A (en) 1997-01-24 1998-01-23 Inspection apparatus using small-angle topographic method for determining internal structure and composition of object
AU59291/98A AU5929198A (en) 1997-01-24 1998-01-23 Inspection equipment using small-angle topography in determining an object's internal structure and composition
CN199898800059A CN1216109A (en) 1997-01-24 1998-01-23 Inspection equipment using small-angle topography in determining objects internal structure and composition

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU97101221A RU2119659C1 (en) 1997-01-24 1997-01-24 Small-angle topography aid

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2119659C1 RU2119659C1 (en) 1998-09-27
RU97101221A true RU97101221A (en) 1999-04-10

Family

ID=20189372

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU97101221A RU2119659C1 (en) 1997-01-24 1997-01-24 Small-angle topography aid

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2119659C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998049939A1 (en) 1997-05-06 1998-11-12 Quanta Vision Tissue analysis apparatus

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104897703B (en) * 2014-03-04 2018-09-28 清华大学 Check equipment, method and system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998049939A1 (en) 1997-05-06 1998-11-12 Quanta Vision Tissue analysis apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU98104687A (en) ULTRA-ANGULAR X-RAY TOMOGRAPHY
US3906229A (en) High energy spatially coded image detecting systems
SE8602233L (en) OPTICAL DETERMINATION DEVICE
US3812352A (en) Encoder readout system
ATE81560T1 (en) DEVICE FOR SCANNING AN INFORMATION AREA BY MEANS OF OPTICAL RADIATION.
EP0138440A3 (en) Point source x-ray focusing device
JPS6234096B2 (en)
KR970059729A (en) Phase type X-ray CT device
US3746872A (en) Tomography technique in which a single recording film retains spatial information to permit constructing all planar sections of object
ES8403231A1 (en) Opto-electronic focusing-error detection device
CA2074127C (en) Optical imaging system with a plurality of image planes
WO1996023209A1 (en) X-ray imaging system including a transforming element that selects radiation that forms an image
SE8201735L (en) OPTICAL SCOCK SYSTEM
KR900019162A (en) Alignment System and Method of Mask and Semiconductor Wafer Using Linear Fresnel Zone Plate
US5420429A (en) Multilayer transducer array
KR910010422A (en) A grating objective lens and grating beam shaper and at least one of these elements
RU97101221A (en) DEVICE FOR SMALL ANGLE TOPOGRAPHY (OPTIONS)
DE69318381T2 (en) Radiation beam collimator device
US5760959A (en) Interferential position measuring device with three detectors
RU97105594A (en) DEVICE FOR DETERMINING THE COMPOSITION AND STRUCTURE OF AN INHOMOGENEOUS OBJECT (OPTIONS)
RU97112038A (en) DEVICE FOR SMALL ANGLE MAMMOGRAPHY (OPTIONS)
JPS6188200A (en) X-ray irradiation system
JPH0429012B2 (en)
RU2119659C1 (en) Small-angle topography aid
DE69213142D1 (en) X-ray imaging system with focusing device for a folded collimator lens