RU97100591A - Сканирующий зондовый микроскоп - Google Patents
Сканирующий зондовый микроскопInfo
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Claims (1)
- Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий держатель объекта, сопряженный со сканером и устройством подвода, держатель зонда с пьезомодулями, механически сопряженный с зондом, а также источник излучения и приемник излучения, оптически сопряженные с зондом, отличающийся тем, что в него введен трехкоординатный привод держателя зонда, зонд выполнен в виде набора модулей, состоящих из упругих элементов и игл, причем каждый модуль имеет резонансную частоту, отличную от других.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97100591/28A RU2152063C1 (ru) | 1997-01-16 | 1997-01-16 | Сканирующий зондовый микроскоп |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97100591/28A RU2152063C1 (ru) | 1997-01-16 | 1997-01-16 | Сканирующий зондовый микроскоп |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU97100591A true RU97100591A (ru) | 1999-02-10 |
| RU2152063C1 RU2152063C1 (ru) | 2000-06-27 |
Family
ID=20189094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU97100591/28A RU2152063C1 (ru) | 1997-01-16 | 1997-01-16 | Сканирующий зондовый микроскоп |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2152063C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2282257C1 (ru) * | 2005-08-24 | 2006-08-20 | Зао "Нт-Мдт" | Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта |
-
1997
- 1997-01-16 RU RU97100591/28A patent/RU2152063C1/ru not_active IP Right Cessation
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