RU97100591A - Сканирующий зондовый микроскоп - Google Patents

Сканирующий зондовый микроскоп

Info

Publication number
RU97100591A
RU97100591A RU97100591/28A RU97100591A RU97100591A RU 97100591 A RU97100591 A RU 97100591A RU 97100591/28 A RU97100591/28 A RU 97100591/28A RU 97100591 A RU97100591 A RU 97100591A RU 97100591 A RU97100591 A RU 97100591A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
probe
scanning probe
probe microscope
holder
coupled
Prior art date
Application number
RU97100591/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2152063C1 (ru
Inventor
В.А. Быков
Original Assignee
Зао "Нт-Мдт"
Filing date
Publication date
Application filed by Зао "Нт-Мдт" filed Critical Зао "Нт-Мдт"
Priority to RU97100591/28A priority Critical patent/RU2152063C1/ru
Priority claimed from RU97100591/28A external-priority patent/RU2152063C1/ru
Publication of RU97100591A publication Critical patent/RU97100591A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2152063C1 publication Critical patent/RU2152063C1/ru

Links

Claims (1)

  1. Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий держатель объекта, сопряженный со сканером и устройством подвода, держатель зонда с пьезомодулями, механически сопряженный с зондом, а также источник излучения и приемник излучения, оптически сопряженные с зондом, отличающийся тем, что в него введен трехкоординатный привод держателя зонда, зонд выполнен в виде набора модулей, состоящих из упругих элементов и игл, причем каждый модуль имеет резонансную частоту, отличную от других.
RU97100591/28A 1997-01-16 1997-01-16 Сканирующий зондовый микроскоп RU2152063C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU97100591/28A RU2152063C1 (ru) 1997-01-16 1997-01-16 Сканирующий зондовый микроскоп

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU97100591/28A RU2152063C1 (ru) 1997-01-16 1997-01-16 Сканирующий зондовый микроскоп

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU97100591A true RU97100591A (ru) 1999-02-10
RU2152063C1 RU2152063C1 (ru) 2000-06-27

Family

ID=20189094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU97100591/28A RU2152063C1 (ru) 1997-01-16 1997-01-16 Сканирующий зондовый микроскоп

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2152063C1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2282257C1 (ru) * 2005-08-24 2006-08-20 Зао "Нт-Мдт" Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1039409A3 (en) Retro-reflective scan module for electro-optical readers
DE69028597D1 (de) Resonanzabtaster
EP0698854A2 (en) Portable scanner
DE3467500D1 (en) Endoscopic probe for viewing and ultrasonic scanning echography
DE3853494D1 (de) Anordnung zur Erzeugung eines optischen Abtastrasters für Laserabtaster.
DE69706964D1 (de) Dynamisches fokussierungsgeraet fuer optische abbildungssysteme
DE69632882D1 (de) Abtastmodul für einen optischen Abtaster
KR100237500B1 (ko) 영상주사용 광학적 주사요소 및 광학적 주사요소 제조방법
DE69131030D1 (de) Abtastvorrichtung
DE69111993D1 (de) Ultraschallsonde und Linsenanordnung dazu.
DE59010644D1 (de) Entfernungsbildkamera
DE69104799D1 (de) Piezoelektrische Anregeschaltung mit Benutzung von resonanter Energieübertragung.
KR900014881A (ko) 초음파 발생기 집합체 및 초음파 현미경
DE69032138D1 (de) Scwingungswellengetriebene Vorrichtung und Strahldrucker mit eine solchen Vorrichtung
DE69116605D1 (de) Optischer Abtastkopf
DE69028157D1 (de) Optische Abtasteinheit
RU97100591A (ru) Сканирующий зондовый микроскоп
ATE153789T1 (de) Verbesserter optischer abtaster und strichkodeleser unter dessen anwendung
DE68923414D1 (de) Selbstlaufender Abtaster zum optischen Lesen von Bildern.
EP0748145A3 (en) Electroluminescent device as a source for a scanner
CN109975975A (zh) 光扫描装置和影像装置
ATE370719T1 (de) Modularer applikator zur reflexotherapie
IT1206261B (it) Dispositivo di scansione ottica
ITMI922054A0 (it) Generatore di impulsi luminosi ad alta potenza
DE69011651D1 (de) Vibrationswellengetriebene Vorrichtung.