Claims (4)
1. Микромеханический вибрационный гироскоп, содержащий базовый элемент в виде рамки, плоскость которой является базовой, опору инерционной массы, расположенную в рамке и соединенную с ней двумя соосными торсионами, образующими ось подвеса опоры, инерционную массу, устройство возбуждения колебаний инерционной массы, датчики углового положения инерционной массы, генератор сигналов, выходы которого соединены с устройством возбуждения колебаний, отличающийся тем, что инерционная масса выполнена в виде отдельных элементов, консольно прикрепленных с помощью упругих элементов к опоре и симметрично расположенных относительно базовой плоскости, при этом элементы инерционной массы смещены относительно центра оси подвеса опоры вдоль этой оси, а оси минимальной жесткости упругих элементов параллельны базовой плоскости и ортогональны оси подвеса опоры.1. A micromechanical vibrational gyroscope containing a base element in the form of a frame, the plane of which is the base, an inertial mass support located in the frame and connected to it by two coaxial torsions that form the suspension axis of the support, inertial mass, inertial mass vibration excitation device, angular position sensors inertial mass, a signal generator, the outputs of which are connected to an oscillation excitation device, characterized in that the inertial mass is made in the form of separate elements, cantilever bonded with elastic elements to the support and symmetrically located relative to the base plane, while the inertial mass elements are offset relative to the center of the suspension axis of the support along this axis, and the axes of minimum stiffness of the elastic elements are parallel to the base plane and orthogonal to the suspension axis of the support.
2. Микромеханический вибрационный гироскоп по п.1, отличающийся тем, что рамка, торсионы и опора, а также элементы инерционной массы и упругие элементы выполнены едиными элементами из монокристаллического кремния методом травления. 2. The micromechanical vibration gyroscope according to claim 1, characterized in that the frame, torsion bars and support, as well as inertial mass elements and elastic elements are made by single elements of single crystal silicon by etching.
3. Микромеханический вибрационный гироскоп по пп.1 и 2, отличающийся тем, что устройство возбуждения колебаний инерционной массы выполнено в виде слоев пьезокерамики, нанесенных на элементы инерционной массы и упругие элементы. 3. The micromechanical vibration gyroscope according to claims 1 and 2, characterized in that the device for exciting inertial mass oscillations is made in the form of piezoceramic layers deposited on inertial mass elements and elastic elements.
4. Микромеханический вибрационный гироскоп по пп.1-3, отличающийся тем, что четыре элемента инерционной массы расположены попарно симметрично относительно плоскости, перпендикулярной базовой плоскости и оси подвеса опоры. 4. Micromechanical vibration gyroscope according to claims 1 to 3, characterized in that the four elements of the inertial mass are arranged in pairs symmetrically with respect to the plane perpendicular to the base plane and the axis of suspension of the support.