Claims (1)
Электродуговой испаритель, состоящий из вакуумной камеры, расходуемого катода, анода, набора промежуточных электродов, магнитной системы, отличающийся тем, что магнитной системой создается неоднородное осесимметричное магнитное поле между катодом и анодом, имеющее, по крайней мере два максимума, один из которых находится на рабочей поверхности катода, другой - в плоскости выходного отверстия анода, а в области по крайней мере одного минимума поля между анодом и катодом расположены промежуточные электроды, перекрывающие все линии прямого луча от рабочей поверхности катода к выходному отверстию анода, но не пересекающие силовые линии магнитного поля, проходящие через рабочую поверхность катода и выходное отверстие анода.An electric arc evaporator consisting of a vacuum chamber, a sacrificial cathode, an anode, a set of intermediate electrodes, a magnetic system, characterized in that the magnetic system creates an inhomogeneous axisymmetric magnetic field between the cathode and the anode, which has at least two maxima, one of which is on the working the surface of the cathode, the other in the plane of the anode outlet, and in the region of at least one field minimum between the anode and the cathode, intermediate electrodes are located that overlap all straight lines about the beam from the working surface of the cathode to the outlet of the anode, but not intersecting the magnetic field lines passing through the working surface of the cathode and the outlet of the anode.