RU93053795A -
COOLING SYSTEM OF SUPPORTS IN VACUUM
- Google Patents
COOLING SYSTEM OF SUPPORTS IN VACUUM
Info
Publication number
RU93053795A
RU93053795ARU93053795/02ARU93053795ARU93053795ARU 93053795 ARU93053795 ARU 93053795ARU 93053795/02 ARU93053795/02 ARU 93053795/02ARU 93053795 ARU93053795 ARU 93053795ARU 93053795 ARU93053795 ARU 93053795A
Изобретение относится к технологической обработке подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме. Цель изобретения - повысить эффективность охлаждения подложек в вакууме. Система охлаждения расположена внутри теплопроводящего вещества и выполнена в виде трубчатой рубашки охлаждения с возможностью автоматической подачи хладагента от холодильной установки.The invention relates to the processing of substrates in vacuum, and more specifically to devices for cooling substrates in vacuum. The purpose of the invention is to improve the cooling efficiency of the substrate in a vacuum. The cooling system is located inside the heat-conducting substance and is made in the form of a tubular cooling jacket with the possibility of automatic supply of refrigerant from the refrigeration unit.
RU93053795A1993-11-291993-11-29Cooling system of substrates in vacuum
RU2089662C1
(en)