Claims (1)
Изобретение относится к измерительной электронной технике, в частности к микрозондовым приборам, в которых для исследования поверхности используется туннельный ток. Цель изобретения - обеспечение возможности прецизионного позиционирования острия исследующей иглы над исследуемой поверхностью и последующего исследования посредством самостоятельного перемещения конструкции СТМ по поверхности исследуемого объекта или его подложки в пределах, не зависящих от конструкции СТМ, с высокой точностью направления и величины единичного шага перемещения, при достаточной мощности устройства, не зависящей от массы, материала, геометрических размеров исследуемого объекта, степени неоднородности, шероховатости, неровности, загрязнения и износа его поверхности, поверхностей наконечников, упрощение системы управления и исключение резких колебательных движений конструкции при перемещении. Сканирующий туннельный микроскоп состоит из платформы, расположенной на жестко прикрепленных к ней трех ножках, хотя бы две из которых представляют собой стержни, способные к изгибу, например, пьезокерамические манипуляторы. На нижних концах ножек имеются идентичные наконечники, обеспечивающие механический контакт с поверхностью исследуемого образца, по которой осуществляется перемещение. Снизу к платформе в ее центре жестко прикреплен сканирующий элемент с возможностью пошагового перемещения расположенного в нем держателя иглы с иглой. Сканирующий элемент может представлять собой пьезоманипулятор с закрепленными на его концах зажимами, содержащими держатель иглы с иглой с возможностью перемещения. Сканирующее устройство может состоять из четырех, закрепленных на указанной платформе и расположенных симметрично оси пьезокерамических биморфных пластин, имеющих на свободных концах прижимы, в которых установлен с возможностью перемещения указанный держатель иглы с иглой. Сканирующее устройство может представлять собой пьезоманипулятор, содержащий внутри пьезокерамические стержни, расположенные симметрично относительно оси направления перемещения и имеющие на свободных концах прижимы, в которых установлен держатель иглы с иглой. Позиционирование исследующего острия в необходимую область поверхности осуществляется за счет перемещений платформы посредством поочередного изгибания и одновременного выпрямления ее ножек. Сближение острия и поверхности сканирования осуществляется сканирующим элементом.The invention relates to electronic measuring equipment, in particular to microprobe devices, which use a tunneling current to study the surface. The purpose of the invention is to provide the possibility of precision positioning of the tip of the examining needle above the test surface and subsequent research by independently moving the STM structure on the surface of the object or its substrate within, not dependent on the STM design, with high accuracy of direction and magnitude of a single step of movement, with sufficient power device independent of mass, material, geometrical dimensions of the object under study, degree of heterogeneity, rough t, irregularities, pollution and wear of its surface, surfaces of tips, simplification of the control system and elimination of sharp oscillatory movements of the structure when moving. A scanning tunneling microscope consists of a platform located on three legs rigidly attached to it, at least two of which are rods capable of bending, for example, piezoceramic manipulators. At the lower ends of the legs there are identical tips, providing mechanical contact with the surface of the sample under study, which is moving. Below the scanning element is rigidly attached to the platform in its center with the possibility of step-by-step movement of the needle holder with the needle located in it. The scanning element can be a piezo-manipulator with clamps attached to its ends, which contain a needle holder with a needle that can be moved. The scanning device may consist of four, fixed on the specified platform and located symmetrically to the axis of the piezoceramic bimorph plates, having clamps on the free ends, in which the specified needle holder is installed so that it can move. The scanning device can be a piezo-manipulator, which contains inside the piezoceramic rods located symmetrically relative to the axis of the direction of movement and having clamps at the free ends in which a needle holder with a needle is mounted. The positioning of the probing spike in the required area of the surface is carried out by moving the platform by alternately bending and simultaneously straightening its legs. The convergence of the tip and the scanning surface is carried out by the scanning element.