RU87572U1 - Пьезоустройство для линейных перемещений - Google Patents

Пьезоустройство для линейных перемещений Download PDF

Info

Publication number
RU87572U1
RU87572U1 RU2009121361/22U RU2009121361U RU87572U1 RU 87572 U1 RU87572 U1 RU 87572U1 RU 2009121361/22 U RU2009121361/22 U RU 2009121361/22U RU 2009121361 U RU2009121361 U RU 2009121361U RU 87572 U1 RU87572 U1 RU 87572U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric element
plates
carriage
movement
plate
Prior art date
Application number
RU2009121361/22U
Other languages
English (en)
Inventor
Ольга Олеговна Ивентьева
Владимир Михайлович Нелюбов
Виктор Алексеевич Юкиш
Original Assignee
Ольга Олеговна Ивентьева
Владимир Михайлович Нелюбов
Виктор Алексеевич Юкиш
Общество с ограниченной ответственностью "КОМНЕТ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ольга Олеговна Ивентьева, Владимир Михайлович Нелюбов, Виктор Алексеевич Юкиш, Общество с ограниченной ответственностью "КОМНЕТ" filed Critical Ольга Олеговна Ивентьева
Priority to RU2009121361/22U priority Critical patent/RU87572U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU87572U1 publication Critical patent/RU87572U1/ru

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

1. Пьезоустройство для линейных перемещений, содержащее неподвижное основание для перемещений, каретку, движитель, включающий пьезоэлемент, отличающееся тем, что движитель выполнен из двух пластин, соединенных между собой с возможностью смещения относительно друг друга только в направлении перемещения, например, с помощью четырех упругих шарниров, причем к одной из пластин жестко прикреплена перемещаемая каретка, а другая пластина прижата к неподвижному основанию для перемещений и фрикционно взаимодействует с ним, кроме того, между пластинами расположен пьезоэлемент, причем одна его сторона жестко соединена с краем одной из пластин, а другая сторона жестко соединена с противоположным краем другой пластины. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что на каждой из пластин на противолежащих друг другу сторонах выполнено по одному приливу с пазом, в которых жестко закреплен пьезоэлемент.

Description

Предлагаемое техническое решение относится к области электромеханики и может быть использовано для привода различных устройств в прецизионном приборостроении, например, при перемещении объекта вдоль одной координаты.
Одной из проблем создания пьезоустройств для линейных перемещений в настоящее время является проблема увеличения диапазона перемещений, снижения их неравномерности и повышения стабильности.
Известно устройство, содержащее первое и второе основание с закрепленными пьезотрубками (см. патент РФ №2199171, кл. H01L 41/09 авт. Быков В.А. и др.).
Известно устройство содержащее основание, пьезоэлемент один конец которого закреплен на основании, перемещаемый объект - так называемая каретка (см. патент РФ №2257645, кл. MПK H01L 41/09, публ. 27.07.2005 г.)
Недостатком известных устройств является ограниченный диапазон возможных перемещений.
Известно устройство для механического перемещения объекта вдоль одной координаты содержащее основание, пьезоэлемент, подвижную каретку, прижим (см. патент РФ №2297072, кл. H01L 37/28, H01L 41/095 публ. 10.04.2007 - прототип.)
Недостатком данного технического решения является ограниченный диапазон перемещений, а также неравномерность перемещения, что связано с механическими колебаниями, возникающими при воздействии пьезоэлемента на основание.
Целью предлагаемого технического решения является устранение указанных недостатков, а именно, расширение функциональных возможностей за счет увеличения диапазона перемещений при снижении неравномерности этих перемещений.
Указанная цель достигается тем, что в известном техническом решении для линейных перемещений, содержащем неподвижное основание для перемещений, каретку, движитель, включающий пьезоэлемент, согласно полезной модели, движитель выполнен из двух пластин, соединенных между собой, с возможностью смещения друг относительно друга только в направлении перемещения, например, с помощью четырех упругих шарниров, причем к одной из пластин жестко пристыкована перемещаемая каретка, а другая пластина прижата к неподвижному основанию для перемещения и фрикционно с ним взаимодействует.
Кроме того, между пластинами расположен пьезоэлемент, причем одна его сторона жестко соединена с краем одной из пластин, а другая сторона жестко соединена с противоположным краем другой пластины, для чего на каждой из пластин, на противоположных сторонах, выполнено по одному приливу с пазом, в которых и закреплен пьезоэлемент.
Указанная совокупность признаков проявляет новые свойства заключающиеся в том, что благодаря указанным признакам диапазон перемещений устройства становится возможным вдоль всего основания и ограничивается только размерами (длинной) самого неподвижного основания.
Кроме того, в данном случае появляется возможность двухрежимной работы устройства - в первом режиме (при плавном изменении напряжения на пьезоэлементе) возможно плавное перемещение каретки, а во втором режиме (при подаче пилообразного напряжения на пьезоэлемент) - происходит ее шаговое перемещение с практически неограниченным диапазоном этого перемещения.
Схема предлагаемого устройства представлена на фиг.1, где:
1 - неподвижное основание для перемещений;
2 - движитель;
3 - верхняя пластина;
4 - нижняя пластина;
5 - упругие шарниры;
6 - каретка;
7 - пьезоэлемент;
8 - прилив;
9 - паз;
10 - прилив;
11 - паз
Пьезоустройство для линейных перемещений состоит из неподвижного основания для перемещений 1, представляющего собой плоскую поверхность на которой расположен движитель 2 состоящий из двух пластин 3 и 4 соединенных между собой с помощью четырех упругих шарниров 5 (и, имеющих, благодаря такому соединению, возможность параллельного смещения друг относительно друга только в направлении перемещения). Нижняя пластина 4 прижата к основанию 1 и фрикционно взаимодействует с ним. На верхней пластине 3 жестко закреплено перемещаемое устройство - каретка 6. Между пластинами 3 и 4 параллельно им расположен пьезоэлемент 7, который жестко соединен своими краями - с одной стороны с верхней пластиной 3, а с другой - с нижней пластиной 4, для чего снизу пластины 3 выполнен прилив 8 с пазом 9. Такой же прилив 10 с пазом 11 выполнен на краю нижней пластины 4 сверху.
Работа устройства осуществляется после подачи на него напряжения.
В первом режиме работы на пьезоэлемент 2 подается плавно изменяющееся напряжение, которое и приводит к изменению его линейных размеров.
При изменении размеров пьезоэлемента 7 прямоугольный параллелепипед, образований двумя пластинами - верхней 3 и нижней 4 преобразуется в наклонный параллелепипед. При этом нижняя пластина 4, фрикционно связанная с основанием 1, остается на месте, а верхняя пластина 3, с жестко пристыкованной к ней кареткой 6, сдвигается в направлении перемещения благодаря наличию четырех упругих шарниров 5.
Таким образом, происходит необходимое перемещение каретки 6 в пределах микрометров. При плавном снятии напряжения с пьезоэлемента 7 его размеры восстанавливаются, и каретка 6 возвращается в свое первоначальное положение.
Во втором (шаговом) режиме работы, когда необходимо существенное перемещение каретки 6, на пьезоэлемент 7 подается пилообразное напряжение, в результате чего происходит следующее.
При плавном изменении напряжения (начальная фаза пилообразного напряжения) ситуация аналогична предыдущей, т.е. каретка 6 плавно смещается вследствие преобразования прямоугольного параллелепипеда в наклонный. Однако при резком снятии напряжения (завершающий этап пилообразного напряжения) резко изменяются размеры пьезоэлемента 7, и наклонный параллелепипед резко преобразуется в прямоугольный, причем верхняя пластина 3 с жестко пристыкованной кареткой 6, имеющие большую массу, чем нижняя пластина 4, а, следовательно, и большую инерцию - остаются на месте. Фрикционного взаимодействия становится не достаточно для удержания нижний пластины 4, и она перемещается на один шаг вдоль неподвижного основания 1 (на расстояние до нескольких микрометров).
Во время следующего пилообразного импульса процесс повторяется. При частоте импульсов порядка килогерца скорость перемещения каретки 6 составит несколько миллиметров в секунду. Ограничений по диапазону перемещений нет, кроме линейного размера неподвижного основания для перемещений 1, которое можно сделать сколь угодно протяженным, т.к. к нему никаких особых требований не предъявляется, причем, поскольку основание 1 не подвергается непосредственно воздействию пьезоэлемента 7 (пьезоэлемент 7 воздействует на верхнюю и нижнюю пластины 3 и 4 движителя), то движение каретки 6 происходит более равномерно, и однородно.
Таким образом, использование предлагаемого технического решения позволит расширить его функциональные возможности за счет увеличения диапазона перемещений и применения двухрежимного режима работы, а так же снизить неравномерности перемещений.

Claims (2)

1. Пьезоустройство для линейных перемещений, содержащее неподвижное основание для перемещений, каретку, движитель, включающий пьезоэлемент, отличающееся тем, что движитель выполнен из двух пластин, соединенных между собой с возможностью смещения относительно друг друга только в направлении перемещения, например, с помощью четырех упругих шарниров, причем к одной из пластин жестко прикреплена перемещаемая каретка, а другая пластина прижата к неподвижному основанию для перемещений и фрикционно взаимодействует с ним, кроме того, между пластинами расположен пьезоэлемент, причем одна его сторона жестко соединена с краем одной из пластин, а другая сторона жестко соединена с противоположным краем другой пластины.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что на каждой из пластин на противолежащих друг другу сторонах выполнено по одному приливу с пазом, в которых жестко закреплен пьезоэлемент.
Figure 00000001
RU2009121361/22U 2009-06-05 2009-06-05 Пьезоустройство для линейных перемещений RU87572U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009121361/22U RU87572U1 (ru) 2009-06-05 2009-06-05 Пьезоустройство для линейных перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009121361/22U RU87572U1 (ru) 2009-06-05 2009-06-05 Пьезоустройство для линейных перемещений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU87572U1 true RU87572U1 (ru) 2009-10-10

Family

ID=41261358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009121361/22U RU87572U1 (ru) 2009-06-05 2009-06-05 Пьезоустройство для линейных перемещений

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU87572U1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2457608C1 (ru) * 2011-01-12 2012-07-27 Владимир Михайлович Нелюбов Способ реализации пошагового перемещения и устройство для его реализации (варианты)
RU2516258C1 (ru) * 2012-09-21 2014-05-20 Владимир Михайлович Нелюбов Пьезоустройство пошагового перемещения
RU2644409C1 (ru) * 2016-12-28 2018-02-12 Публичное акционерное общество "Красногорский завод им. С.А. Зверева" Прецизионный привод линейного перемещения

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2457608C1 (ru) * 2011-01-12 2012-07-27 Владимир Михайлович Нелюбов Способ реализации пошагового перемещения и устройство для его реализации (варианты)
RU2516258C1 (ru) * 2012-09-21 2014-05-20 Владимир Михайлович Нелюбов Пьезоустройство пошагового перемещения
RU2644409C1 (ru) * 2016-12-28 2018-02-12 Публичное акционерное общество "Красногорский завод им. С.А. Зверева" Прецизионный привод линейного перемещения

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Ho et al. A piezoelectric motor for precision positioning applications
RU87572U1 (ru) Пьезоустройство для линейных перемещений
KR101086912B1 (ko) 전기기계 모터 정밀 제어
CN103701358B (zh) 配重式变接触力压电电机
CN104467525A (zh) 可调预紧力式惯性粘滑驱动跨尺度精密定位平台
KR20110080297A (ko) 압전 액추에이팅 장치
Mazeika et al. Small size piezoelectric impact drive actuator with rectangular bimorphs
CN103475261A (zh) 仿生型压电足式驱动器
CN101719740A (zh) 应用光伏供电的二自由度惯性驱动机构
CN104022683B (zh) 采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法
JP5102929B2 (ja) ウォーキングアクチュエータ
CN103187900B (zh) 摩擦力自配合的高对称性四摩擦力压电马达及其控制方法
JP2014064412A (ja) 駆動装置
RU2490752C1 (ru) Инерционный пьезоэлектрический привод (варианты)
CN203466750U (zh) 仿生型压电足式驱动器
RU2457608C1 (ru) Способ реализации пошагового перемещения и устройство для его реализации (варианты)
CN205450029U (zh) 一种压电双晶片式马达制作的扫描探针显微镜镜体
CN101018024A (zh) 压电惯性步进驱动装置
CN205741476U (zh) 一种预应力可调式压电振子选针器
CN209526667U (zh) 一种基于弹簧复位的粘滑式压电惯性直线驱动器
CN103427703A (zh) 基于剪切压电效应的微型纳米马达
RU2516258C1 (ru) Пьезоустройство пошагового перемещения
CN201022181Y (zh) 压电惯性步进驱动装置
CN206573778U (zh) 微动装置、显微镜扫描头及显微镜装置
CN109905052A (zh) 一种基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台