RU65986U1 - DEVICE FOR CONTROL OF AEROSOLAL PARAMETERS OF THE AIR "CLEAN" PREMISES - Google Patents

DEVICE FOR CONTROL OF AEROSOLAL PARAMETERS OF THE AIR "CLEAN" PREMISES Download PDF

Info

Publication number
RU65986U1
RU65986U1 RU2007103781/22U RU2007103781U RU65986U1 RU 65986 U1 RU65986 U1 RU 65986U1 RU 2007103781/22 U RU2007103781/22 U RU 2007103781/22U RU 2007103781 U RU2007103781 U RU 2007103781U RU 65986 U1 RU65986 U1 RU 65986U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
aerosol
air
emergency
pto
ita
Prior art date
Application number
RU2007103781/22U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Валерий Васильевич Григорьев
Original Assignee
Валерий Васильевич Григорьев
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Валерий Васильевич Григорьев filed Critical Валерий Васильевич Григорьев
Priority to RU2007103781/22U priority Critical patent/RU65986U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU65986U1 publication Critical patent/RU65986U1/en

Links

Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

Полезная модель (ПМ) относится к фармацевтической, медицинской, микробиологической, радиоэлектронной и вентиляционной технике. ПМ является малогабаритным, мобильным устройством, обеспечивающим достоверный аэрозольный контроль воздушной среды «чистого» помещения (ЧП). Контроль ЧП осуществляется исходным тестовым аэрозолем (ИТА) нормативной концентрации соответствующей классу чистоты контролируемого ЧП. Монодисперсность ИТА достигается за счет встречного распыления и заглубления распылителей. Замеры концентрации ИТА в характерных точках вентиляционного воздушного потока и контроль воздушной среды рабочей зоны в нормативных точках ЧП позволяет получить достоверные результаты. Разработанная конструкция углового пробоотборника обеспечивает возможность обнаружить места нештатного поступления загрязнений в контролируемое ЧП через неплотности фланцевого соединения фильтра тонкой очистки (ФТО) и системы его крепления. Найдено техническое решение нахождения дефектов фильтрующей поверхности ФТО, по месту их установки в рабочей зоне ЧП в процессе выполнения работ по контролю аэрозольных параметров воздушной среды ЧП.The utility model (PM) refers to pharmaceutical, medical, microbiological, electronic and ventilation equipment. PM is a small-sized, mobile device that provides reliable aerosol control of the air environment of a “clean” room (PE). The control of the emergency is carried out by the initial test aerosol (ITA) of the standard concentration corresponding to the purity class of the controlled emergency. The ITA monodispersity is achieved due to counter spraying and deepening of sprayers. Measuring the concentration of ITA at characteristic points of the ventilation air flow and monitoring the air of the working area at the normative points of emergency allows you to get reliable results. The developed design of the angled sampler makes it possible to detect the contamination contamination in a controlled emergency through leaks of the flange connection of the fine filter (PTO) and its fastening system. A technical solution was found to find defects in the filtering surface of the PTO at the place of their installation in the working area of the emergency in the process of monitoring aerosol parameters of the air environment of the emergency.

Description

Полезная модель относится к фармацевтической, медицинской, микробиологической, радиоэлектронной и вентиляционной технике.The utility model relates to pharmaceutical, medical, microbiological, electronic and ventilation equipment.

Известно устройство для контроля эффективности работы фильтров тонкой очистки (далее по тексту ФТО) по твердому аэрозолю NaCl, содержащее ультразвуковой генератор твердых аэрозольных частиц NaCl, высоковольтные электроды, счетчик электрических разрядных импульсов [1]. Недостаток данного технического решения - большие габаритные размеры и вес, использование высокого напряжения, опасного для жизни человека, отсутствие возможности контроля нормативной, счетной концентрации аэрозольных частиц, низкая точность измерений.A device for monitoring the performance of fine filters (hereinafter referred to as PTO) for solid aerosol NaCl, containing an ultrasonic generator of solid aerosol particles NaCl, high voltage electrodes, a counter of electrical discharge pulses [1]. The disadvantage of this technical solution is the large overall dimensions and weight, the use of high voltage, dangerous to human life, the inability to control the normative, calculated concentration of aerosol particles, low measurement accuracy.

Наиболее близким по сути полезной модели является устройство для контроля воздушной среды «чистого» помещения, содержащее фотоэлектрический нефелометр для аэрозолей, генератор масляного аэрозоля, пробоотборник аэрозоля [2.]. Данное устройство обладает рядом недостатков:The closest in essence a utility model is a device for monitoring the air of a “clean” room, containing a photoelectric nephelometer for aerosols, an oil aerosol generator, an aerosol sampler [2.]. This device has several disadvantages:

- большие габариты и вес;- large dimensions and weight;

- неравномерная подача исходного тестового аэрозоля (далее по тексту ИТА) в полсть воздуховода (до ФТО);- uneven supply of the initial test aerosol (hereinafter referred to as ITA) to half a duct (before PTO);

- отсутствие контроля концентрации ИТА (до ФТО);- lack of control of the concentration of ITA (before PTO);

- значительные габаритные размеры пробоотборника аэрозоля;- significant overall dimensions of the aerosol sampler;

- отсутствие контроля счетной концентрации фракций аэрозоля;- lack of control of the calculated concentration of aerosol fractions;

- низкая производительность генератора масляного аэрозоля.- low productivity of the oil aerosol generator.

Целью полезной модели - создание малогабаритного, мобильного устройства обеспечивающего достоверный нормативный контроль воздушной среды «чистого» помещения (далее по тексту ЧП) и обнаружение мест нештатного поступления загрязнений в контролируемое «чистое» помещение через неплотности конструкции фланцевого соединения ФТО и системы его крепления или через дефектны фильтрующей поверхности ФТО.The purpose of the utility model is the creation of a small-sized, mobile device that provides reliable regulatory control of the air environment of a “clean” room (hereinafter referred to as emergency) and the detection of contamination contamination places in a controlled “clean” room through leaks in the design of the PTO flange connection and its mounting system or through defective filtering surface of the PTO.

Поставленная цель достигается следующим рядом технических решений, используемых в устройстве:The goal is achieved by the following series of technical solutions used in the device:

- подача исходного тестового аэрозоля через распылители аэрозоля (далее по тексту РА), установленные встречно на диаметральной оси поперечного сечения прямого участка центрального ствола воздуховодов (далее по тексту ЦСВ), обслуживающих ЧП, при этом минимальная длина прямого участка ЦСВ, в противоположном направлении движению воздушному потоку вентиляционного воздуха в ЦСВ, от места установки РА до ближайшего возмущения воздушного потока равна полутора диаметрам ЦСВ;- supply of the initial test aerosol through aerosol nozzles (hereinafter referred to as RA) installed counter-on the diametrical axis of the cross section of a straight section of the central trunk of the air ducts (hereinafter referred to as DSC) serving the emergency, with the minimum length of the straight section of DSC in the opposite direction to the air movement the flow of ventilation air in the DSC, from the installation site of the RA to the nearest disturbance of the air flow is equal to one and a half diameters of the DSC;

- РА заглублены в полость ЦСВ: на 0,1 части диаметра ЦСВ, при диаметре ЦСВ до 350 мм; на 0,15 части диаметра ЦСВ, при диаметре более 350 мм;- RA buried in the cavity of the central cylinder: 0.1 part of the diameter of the central cylinder, with a diameter of the central cylinder of up to 350 mm; 0.15 parts of the diameter of the central cylinder, with a diameter of more than 350 mm;

- на прямом участке ЦСВ на минимальном расстоянии от места установки РА, в направлении движения воздушного потока, равному четырем диаметрам ЦСВ выполнены четыре пьезометрических отверстия (далее по тексту ПО) для отбора проб концентрации исходного тестового аэрозоля (далее по тексту ИТА), при этом, оси ПО находятся в одной плоскости поперечного сечения ЦСВ и пересекаются между собой под углом 90°, кроме того, минимальная длина прямого участка ЦСВ от осей ПО в направлении движения воздушного потока до ближайшего возмущения воздушного потока в ЦСВ равна полутора диаметрам ЦСВ;- in a straight section of the centralized wastewater treatment center at a minimum distance from the installation site of the RA, in the direction of the air flow equal to four diameters of the centralized wastewater system, four piezometric holes (hereinafter referred to as software) were made for sampling the concentration of the initial test aerosol (hereinafter referred to as ITA), the axis of the center axis are located in the same plane of the cross-section of the central cylinder center and intersect at an angle of 90 °, in addition, the minimum length of the straight section of the central cylinder center from the axis of the cylinder in the direction of air flow to the nearest disturbance and in DSC equal to one and a half diameters DSC;

- отбор проб концентрации ИТА осуществляется угловым пробоотборником, у которого трубка пробоотборника аэрозоля изогнута под углом 90° и заканчивается диффузорным раструбом, при этом длина части отвода трубки с диффузорным раструбом равна двум внутренним диаметрам трубки пробоотборника аэрозоля;- sampling of the concentration of ITA is carried out by an angular sampler, in which the aerosol sampler tube is bent at an angle of 90 ° and ends with a diffuser socket, while the length of the part of the pipe outlet with the diffuser socket is equal to two inner diameters of the aerosol sampler tube;

- отбор проб концентрации ИТА угловым пробоотборником через ПО: в четырех точках, расположенных на их осях ПО, на расстоянии от стенки ЦСВ равном 0,15 части диаметра ЦСВ при диаметре ЦСВ до 350 мм; в восьми токах, расположенных на их осях ПО, на расстоянии от стенки ЦСВ равном 0,06 и 0,3 части диаметра ЦСВ, соответственно, при диаметре ЦСВ более 350 мм;- sampling of the concentration of ITA by the angular sampler through the PO: at four points located on their axes of the PO, at a distance from the wall of the CVB equal to 0.15 of the diameter of the CVB with a diameter of the CVB up to 350 mm; in eight currents located on their PO axes, at a distance from the wall of the CVC equal to 0.06 and 0.3 parts of the diameter of the CVC, respectively, with the diameter of the CVC more than 350 mm;

- контроль целостности фильтрующей поверхности ФТО, установленных в ЧП, определяется по показаниям счетчика аэрозольных частиц [7] при сканировании поверхности ФТО угловым пробоотборником аэрозоля на расстоянии 25 мм от поверхности ФТО, при скорости его передвижения относительно поверхности ФТО не более 5 см/сек, при этом скорость воздушного потока через ФТО и концентрация ИТА в полости воздуховода до ФТО соответствуют нормативным требованиям;- integrity control of the filtering surface of the PTO installed in the emergency is determined by the readings of the counter of aerosol particles [7] when scanning the surface of the PTO with an angular aerosol sampler at a distance of 25 mm from the surface of the PTO, at a speed of its movement relative to the surface of the PTO is not more than 5 cm / s, at the same time, the air flow rate through the PTO and the concentration of ITA in the cavity of the duct to the PTO comply with regulatory requirements;

- герметичность фланцевого соединения ФТО и системы его крепления контролируется с помощью углового пробоотборника по показаниям счетчика - the tightness of the flange connection of the PTO and its mounting system is controlled using an angled sampler according to the meter

аэрозольных частиц [7], диффузорный раструб углового пробоотборника установлен на максимальном расстоянии относительно поверхности фланцевого соединения ФТО, расположенного в полсти ЧП, скорость перемещения диффузорного раструба углового пробоотборника по периметру фланцевого соединения ФТО не должна превышать 5 см/сек, при этом скорость воздушного потока через ФТО и концентрация ИТА в полости воздуховода до ФТО соответствуют нормативным требованиям;of aerosol particles [7], the diffuser socket of the angular sampler is installed at a maximum distance relative to the surface of the PTO flange connection located in the state of emergency, the speed of the diffuser nozzle of the angle sampler along the perimeter of the PTO flange connection should not exceed 5 cm / sec, while the air flow through PF and ITA concentration in the duct cavity before PF meet regulatory requirements;

- отбор проб воздуха в рабочей зоне контролируемого ЧП выполняется по показаниям счетчика аэрозольных частиц [7] и отбирается через его пробоотборник установленным на нормативном расстоянии от уровня чистого пола для характерных технологических операций, в точках, количество которых определяется нормативным расчетом [3], при этом скорость воздухообмена, избыточное давление в контролируемом ЧП и концентрация ИТА в полости ЦСВ соответствуют нормативным требованиям [3; 5; 6.].- air sampling in the working area of a controlled emergency is carried out according to the readings of the aerosol particle counter [7] and is taken through its sampler installed at a standard distance from the level of the clean floor for typical technological operations, at points the number of which is determined by the standard calculation [3], while air exchange rate, overpressure in a controlled emergency and the concentration of ITA in the cavity of the central heating station comply with regulatory requirements [3; 5; 6.].

Кроме того, для выполнения условий снижения габаритных размеров и веса в устройстве использованы малогабаритные приборы и оборудование: портативный счетчик аэрозольных частиц [7], разбавитель концентрации исходного тестового аэрозоля [10], и малогабаритный генератор аэрозолей [8];In addition, to fulfill the conditions for reducing overall dimensions and weight, small-sized devices and equipment were used in the device: a portable aerosol particle counter [7], a diluent for the concentration of the initial test aerosol [10], and a small aerosol generator [8];

На фиг.1 показан общий вид устройства для контроля аэрозольных параметров воздушной среды «чистого» помещения и вентиляционная система, обслуживающая ЧП.Figure 1 shows a General view of a device for monitoring aerosol parameters of the air environment of a "clean" room and a ventilation system serving the emergency.

На фиг.2 показан разрез центрального ствола воздуховодов (ЦСВ) А-А.Figure 2 shows a section of the Central trunk of the ducts (CSV) AA.

На фиг.3 показан разрез ЦСВ В-В.Figure 3 shows a section of the DSC B-B.

На фиг.4 показан общий вид углового пробоотборника аэрозоля.Figure 4 shows a General view of the angular aerosol sampler.

Устройство для контроля аэрозольных параметров воздушной среды «чистого» помещения содержит фильтр грубой очистки 1, вентилятор 2, фильтр промежуточной очистки 3, генератор [8] исходного тестового аэрозоля (ИТА) 4, счетчик аэрозольных частиц [7] (САЧ) 5, распылитель аэрозоля 6, пьезометрические отверстия (ПО) 7, разбавитель исходного тестового аэрозоля [10] 8, импульсный трубопровод аэрозоля ИТА 9, угловой пробоотборник аэрозоля (УПО) 10, регулирующее устройство воздушного потока 11, «чистое» помещение (ЧП) 12, центральный ствол воздуховодов, обслуживающих ЧП (ЦСВ) 13, модуль воздухораспределителя 14 с установленным в его корпусе фильтром тонкой очистки (ФТО) 15, фланцевое соединение ФТО и система его крепления 15/14. Угловой A device for monitoring aerosol parameters of the air of a “clean” room contains a coarse filter 1, a fan 2, an intermediate filter 3, a generator [8] of the initial test aerosol (ITA) 4, an aerosol particle counter [7] (SAC) 5, an aerosol atomizer 6, piezometric openings (PO) 7, diluent of the initial test aerosol [10] 8, pulsed aerosol ITA 9, angular aerosol sampler (UPR) 10, air flow regulating device 11, “clean” room (PR) 12, central trunk of air ducts serving CP (TsSV) 13, the air distribution module 14 with a fine filter (PTO) 15 installed in its housing, a flange connection of the PTO and its fastening system 15/14. Angular

пробоотборник аэрозоля (УПО) 10, содержит диффузорный раструб 16, трубку пробоотборника 17, штуцер 18.an aerosol sampler (UPR) 10, contains a diffuser socket 16, a sampler tube 17, a fitting 18.

Принцип работы устройства для контроля аэрозольных параметров «чистого помещения следующий.The principle of operation of the device for monitoring the aerosol parameters of a “clean room is as follows.

Включаем в работу вентилятор 2 и подаем воздух в «чистое» помещение 12, предварительно очистив его в фильтрах грубой очистки 1 и в фильтре промежуточной очистки 3. Регулирующим устройством 11 устанавливаем объемную нормативную скорость воздухообмена и величину избыточного давления в ЧП 12 [3, 6]. Включаем в работу генератор ИТА 4 и по импульсному трубопроводу 9 подаем исходный тестовый аэрозоль к распылителям 6. Угловым пробоотборником (УПО) 10 через ПО 7 отбираем пробы ИТА [3], уменьшив его конценцентрацию в разбавителе 8 [10], по показаниям САЧ 5 и умножая его на коэффициент разбавления разбавителя 8, определяем величину концентрации ИТА. Нормативная концентрация ИТА находится в прямой зависимости от класса чистоты контролируемого ЧП и находится в пределах от 3,5×106 до 3,5×108 частиц 0,5 мкм/м3 воздуха [3, 6].We turn on fan 2 and supply air to the “clean” room 12, having previously cleaned it in the coarse filters 1 and in the intermediate filter 3. Using the regulating device 11, we set the standard volumetric air exchange rate and the excess pressure in PE 12 [3, 6] . We turn on the ITA 4 generator and supply the initial test aerosol to the nebulizers 6 via the pulse pipeline 9. Using the 7 angular sampler (UPR) 10, we take the ITA samples [3], reducing its concentration in diluent 8 [10], according to the readings of SAS 5 and multiplying it by a dilution factor of diluent 8, we determine the concentration of ITA. The standard concentration of ITA is directly dependent on the purity class of the controlled emergency and is in the range from 3.5 × 10 6 to 3.5 × 10 8 particles of 0.5 μm / m 3 of air [3, 6].

При обеспечении нормативного воздухообмена [3], избыточного давления [6], в контролируемом ЧП 12 и нормативной концентрации ИТА в ЦСВ 13 замеряем количественную величину содержания аэрозольных частиц на уровне рабочей зоны в воздухе ЧП 12 [3, 6]. Замеры счетной концентрации аэрозольных частиц диаметром 0,3-5,0 мкм счетчиком аэрозольных частиц 5 [7], в точках рабочей зоны ЧП выполняем согласно нормативным требованиям [3].While ensuring normative air exchange [3], overpressure [6], in a controlled PE 12 and a standard concentration of ITA in DSP 13, we measure the quantitative content of aerosol particles at the level of the working zone in PE 12 air [3, 6]. Measurements of the calculated concentration of aerosol particles with a diameter of 0.3-5.0 microns by the counter of aerosol particles 5 [7], at the points of the working area of the emergency we perform in accordance with regulatory requirements [3].

В случае превышения нормативного содержания аэрозольных частиц в воздухе рабочей зоны контролируемого ЧП 12 определяем места несанкционированного поступления аэрозоля через дефекты фильтрующей поверхности ФТО 15 или через неплотности фланцевого соединения ФТО и системы его крепления 15/14.In case of exceeding the normative content of aerosol particles in the air of the working zone of the monitored state of emergency 12, we determine the places of unauthorized intake of aerosol through defects of the filter surface of the filter filter 15 or through leaks of the flange connection of the filter filter and its fastening system 15/14.

Целостность фильтрующей поверхности ФТО 15 и герметичность фланцевого соединения ФТО и системы его крепления 15/14 проверяем при нормативной скорости воздухообмена в ЧП 12 и нормативной концентрации ИТА.We check the integrity of the filter surface of the PTO 15 and the tightness of the flange connection of the PTO and its mounting system 15/14 at the standard air exchange rate in PE 12 and the standard concentration of ITA.

Целостность фильтрующей поверхности ФТО 15 проверяем, сканируя поверхность ФТО 15 угловым пробоотборником 10, располагая диффузорный раструб 16 на расстоянии от поверхности ФТО - 25 мм, при скорости передвижения диффузорного раструба 16 углового пробоотборника 10 относительно поверхности ФТО 15 не более 5 см/сек. Результаты сканирования поверхности ФТО 15 визуально наблюдаем The integrity of the filter surface of the filter 15 is checked by scanning the surface of the filter 15 with an angled sampler 10, positioning the diffuser 16 at a distance from the surface of the filter 25 mm, and the speed of the diffuser 16 of the angle sampler 10 relative to the surface of the filter 15 is no more than 5 cm / sec. The results of scanning the surface of the PTF 15 are visually observed

по показаниям САЧ 5. При обнаружении течи (повышенная концентрация аэрозоля [3]) дефект устраняем или заменяем ФТО 15.according to the testimony of SAS 5. If a leak is detected (increased concentration of aerosol [3]), the defect is eliminated or replaced by PTO 15.

Герметичность фланцевого соединения ФТО 15 и системы его крепления 15/14 контролируем угловым пробоотборником 10 по показаниям САЧ 5. При выполнения данных работ используем перепад избыточного давления между ЦСВ 13 (до ФТО) и ЧП 12 (после ФТО), то есть сопротивление ФТО нормативному воздушному потоку, находящееся в пределах 100-600 Па.The tightness of the flange connection of the PTO 15 and its fastening system 15/14 is controlled by the angular sampler 10 according to the testimony of SAS 5. When carrying out these works, we use the differential pressure difference between the TsSV 13 (before the PTO) and PE 12 (after the PTO), that is, the resistance of the PTO to the normative air a stream within the range of 100-600 Pa.

Максимально приближаем диффузорный раструб 16 углового пробоотборника 10 к фланцевому соединению ФТО и системе его крепления 15/14 со стороны ЧП 12 сканируем его поверхность по всему периметру, при скорости перемещения диффузорного раструба 16 углового пробоотборника 10 относительно поверхности фланцевого соединения ФТО 15/14 не более 5 см/сек.As close as possible, the diffuser socket 16 of the angular sampler 10 to the PTO flange connection and its fastening system 15/14 from the PE 12 side, we scan its surface along the entire perimeter, at a movement speed of the diffuser bell 16 of the angular sampler 10 relative to the surface of the PTO 15/14 flange connection no more than 5 cm / sec

Обнаруженные течи (повышенная концентрация аэрозоля [3]) во фланцевом соединении ФТО и системе его крепления 15/14 устраняем.The detected leaks (increased concentration of aerosol [3]) in the flange connection of the PTO and its mounting system 15/14 are eliminated.

После устранения всех дефектов фильтрующих поверхностей ФТО 15 и во фланцевых соединениях ФТО и системе его крепления 15/14 проводим повторный контроль параметров воздушной среды ЧП согласно нормативным требованиям ([3, 5, 6])After eliminating all the defects of the filtering surfaces of the FTO 15 and in the flange joints of the FTO and its mounting system 15/14, we carry out a repeated control of the parameters of the air environment of the emergency according to regulatory requirements ([3, 5, 6])

Окончательные результаты контроля аэрозольных параметров воздушной среды ЧП 12 должны соответствовать нормативным требованиям [3, 5, 6]) и выражаются формулой:The final results of monitoring the aerosol parameters of the air environment of PE 12 must comply with regulatory requirements [3, 5, 6]) and are expressed by the formula:

ΔnРЗ ЧП/NИТА × 100% ≤ 0,9÷0,999% в зависимости от класса чистоты ЧПΔn RE PP / N ITA × 100% ≤ 0.9 ÷ 0.999% depending on the cleanliness class of PE

Где:Where:

NИТА - концентрация исходного тестового аэрозоля в ЦСВ, а/частиц д0,5мм в 1 м3 воздуха;N ITA is the concentration of the initial test aerosol in the DSP, and / particles of 0.5 mm in 1 m 3 air;

ΔnРЗ ЧП - содержание аэрозольных частиц в рабочей зоне ЧП, а/частиц д0,5 мм в 1 м3 контролируемого воздуха.Δn RP emergency - the content of aerosol particles in the working area of emergency, and / particles of 0.5 mm in 1 m 3 of controlled air.

Claims (8)

1. Устройство для контроля аэрозольных параметров воздушной среды «чистых» помещений (далее по тексту ЧП), содержащее воздушные фильтры грубой и промежуточной очистки, вентилятор, центральный ствол воздуховодов, обслуживающих ЧП, генератор исходного тестового аэрозоля (далее по тексту ИТА), импульсный трубопровод ИТА, разбавитель ИТА, счетчик аэрозольных частиц (далее по тексту САЧ), воздушный насос САЧ, распылители ИТА, пробоотборник аэрозоля, модули воздухораспределителей с установленными в их корпусах фильтрами тонкой очистки (далее по тексту ФТО), фильтрующую поверхность ФТО, фланцевое соединение ФТО с системой его крепления, контролируемое ЧП, рабочую зону ЧП, регулирующее устройство воздушного потока, отличающееся тем, что подача аэрозоля исходной тестовой концентрации от генератора аэрозоля в полость центрального ствола воздуховодов (далее по тексту ЦСВ), вентиляционной системы, обслуживающей ЧП, осуществляется через распылители аэрозоля, установленные встречно на диаметральной оси поперечного сечения ЦСВ, при этом минимальная длина прямого участка ЦСВ от места установки распылителей аэрозоля, в противоположном направлении движению воздушного потока в ЦСВ, до ближайшего его возмущения равна полутора диаметрам ЦСВ.1. A device for monitoring the aerosol parameters of the air of “clean” rooms (hereinafter referred to as PE), containing air filters of coarse and intermediate cleaning, a fan, the central barrel of the air ducts serving the PE, the generator of the initial test aerosol (hereinafter referred to as ITA), a pulse pipeline ITA, ITA diluent, aerosol particle counter (hereinafter referred to as SAC), SAC air pump, ITA sprays, aerosol sampler, air distribution modules with fine filters installed in their housings (hereinafter referred to as about the text of the PTO), the filtering surface of the PTO, the flange connection of the PTO with its fastening system, controlled by the emergency, the working zone of the emergency, the regulating device of the air flow, characterized in that the flow of the initial test concentration from the aerosol generator into the cavity of the central trunk of the air ducts (hereinafter DSP), the ventilation system serving the emergency, is carried out through aerosol sprays mounted counter-diametrically to the cross-sectional axis of the DSP, with the minimum length of the straight section of the DSP from places Fitting aerosol sprays in the opposite direction of movement of the air flow in the EVC to the nearest half of its diameter equal to the perturbation EVC. 2. Устройство для контроля аэрозольных параметров воздушной среды ЧП по п.1, отличающееся тем, что распылители аэрозоля ИТА заглублены в полость ЦСВ на величину, равную 0,1 части диаметра ЦСВ при диаметре ЦСВ до 350 мм и на 0,15 части диаметра ЦСВ при диаметре ЦСВ более 350 мм.2. The device for monitoring aerosol parameters of the air environment of the emergency according to claim 1, characterized in that the ITA aerosol sprays are buried in the DSP cavity by an amount equal to 0.1 part of the DSP diameter when the DSP diameter is up to 350 mm and by 0.15 part of the DSP diameter with the diameter of the CVS more than 350 mm. 3. Устройство для контроля аэрозольных параметров воздушной среды ЧП по п.1, отличающееся тем, что на прямом участке ЦСВ на минимальном расстоянии, равном четырем диаметрам ЦСВ от места установки распылителей аэрозоля ИТА, в направлении движения воздушного потока, выполнены четыре пьезометрических отверстия (далее по тексту ПО) для отбора проб концентрации ИТА, при этом оси ПО находятся в одной плоскости поперечного сечения ЦСВ и пересекаются между собой под углом 90°, кроме того, минимальная длина прямого участка ЦСВ от осей ПО, в направлении движения воздушного потока, до ближайшего его возмущения в ЦСВ равна полутора диаметрам ЦСВ.3. The device for monitoring aerosol parameters of the air environment of emergency according to claim 1, characterized in that four piezometric openings are made in the direct section of the central heating station at a minimum distance equal to four diameters of the central heating station from the installation site of the ITA aerosol spray guns in the direction of air flow movement (hereinafter according to the text) for sampling the concentration of ITA, while the axes of the software are located in the same plane of the cross-section of the CVS and intersect at an angle of 90 °, in addition, the minimum length of the straight section of the CVS from the axes of the software is directed and movement of the air stream to the nearest its perturbations in EVC is half the diameter of the EVC. 4. Устройство для контроля аэрозольных параметров воздушной среды ЧП по п.1, отличающееся тем, что трубка углового пробоотборника аэрозоля изогнута под углом 90° и заканчивается диффузорным раструбом, при этом длина части отвода трубки с диффузорным раструбом равна двум внутренним диаметрам трубки пробоотборника аэрозоля.4. The device for monitoring aerosol parameters of the air environment of PE according to claim 1, characterized in that the tube of the angular aerosol sampler is bent at an angle of 90 ° and ends with a diffuser socket, while the length of the pipe outlet part with the diffuser socket is equal to two inner diameters of the tube of the aerosol sampler. 5. Устройство для контроля аэрозольных параметров воздушной среды ЧП по п.1, отличающееся тем, что отбор проб концентрации ИТА выполняется через ПО в полости ЦСВ угловым пробоотборником в четырех точках, расположенных на осях ПО, на расстоянии от стенки ЦСВ равном 0,15 части диаметра ЦСВ при диаметре ЦСВ до 350 мм и в восьми токах, расположенных на осях ПО, на расстоянии от стенки ЦСВ равном 0,06 и 0,3 части диаметра ЦСВ, соответственно, при диаметре ЦСВ более 350 мм, при этом диффузорный раструб углового пробоотборника направлен навстречу воздушному потоку в ЦСВ.5. The device for monitoring aerosol parameters of the air environment of emergency according to claim 1, characterized in that the sampling of the concentration of ITA is performed through the software in the cavity of the center of the center with an angular sampler at four points located on the axis of the center at a distance from the center of the center of center of equal 0.15 parts the diameter of the CVW with a diameter of the CVV of up to 350 mm and in eight currents located on the axes of the PO, at a distance from the wall of the CVV equal to 0.06 and 0.3 of the diameter of the CVV, respectively, with a diameter of the CVV more than 350 mm, while the diffuser socket of the angular sampler directed towards the air Otok in the EVC. 6. Устройство для контроля аэрозольных параметров воздушной среды ЧП по п.1, отличающееся тем, что контроль целостности фильтрующей поверхности ФТО, установленных в ЧП, определяется по показаниям счетчика аэрозольных частиц при сканировании фильтрующей поверхности ФТО угловым пробоотборником аэрозоля на расстоянии 25 мм от поверхности ФТО, при скорости его передвижения относительно поверхности ФТО не более 5 см/с, при этом скорость воздушного потока через ФТО и концентрация ИТА в полости воздуховода до ФТО соответствуют нормативным требованиям.6. The device for monitoring aerosol parameters of the air environment of the emergency according to claim 1, characterized in that the integrity control of the filter surface of the PTO installed in the emergency is determined by the readings of the counter of aerosol particles when scanning the filter surface of the PTO with an angular aerosol sampler at a distance of 25 mm from the surface of the FTO , at a speed of its movement relative to the surface of the PTO not more than 5 cm / s, while the speed of the air flow through the PTO and the concentration of ITA in the cavity of the duct to the PTO comply with the regulatory requirements ments. 7. Устройство для контроля аэрозольных параметров воздушной среды ЧП по п.1, отличающееся тем, что герметичность фланцевого соединения ФТО и системы его крепления контролируется с помощью углового пробоотборника по показаниям счетчика аэрозольных частиц, при этом диффузорный раструб углового пробоотборника установлен на максимальном расстоянии относительно поверхности фланцевого соединения ФТО, расположенного в полости ЧП, скорость перемещения диффузорного раструба углового пробоотборника по периметру фланцевого соединения ФТО не должна превышать 5 см/с, кроме того, скорость воздушного потока через ФТО и концентрация ИТА в полости воздуховода до ФТО соответствуют нормативным требованиям.7. The device for monitoring aerosol parameters of the air environment of PE according to claim 1, characterized in that the tightness of the flange connection of the PTO and its mounting system is controlled using an angled sampler according to the readings of the counter of aerosol particles, while the diffuser socket of the angular sampler is installed at a maximum distance relative to the surface of the PTO flange connection located in the state of emergency, the velocity of movement of the diffuser socket of the angular sampler along the perimeter of the PTO flange connection is not must exceed 5 cm / s, in addition, the air flow through the PTO and the concentration of ITA in the cavity of the duct to the PTO comply with regulatory requirements. 8. Устройство для контроля аэрозольных параметров воздушной среды ЧП по п.1, отличающееся тем, что отбор проб воздуха в рабочей зоне контролируемого ЧП выполняется счетчиком аэрозольных частиц через его пробоотборник, установленным на нормативном расстоянии от уровня чистого пола для характерных технологических операций, в точках, количество которых определяется нормативным расчетом, при этом скорость воздухообмена, избыточное давление в контролируемом ЧП и концентрация ИТА в полости ЦСВ соответствуют нормативным требованиям.
Figure 00000001
8. The device for monitoring aerosol parameters of the air environment of emergency according to claim 1, characterized in that the sampling of air in the working area of the controlled emergency is carried out by the counter of aerosol particles through its sampler installed at a standard distance from the level of the clean floor for typical technological operations, at points , the amount of which is determined by the normative calculation, while the air exchange rate, overpressure in a controlled emergency and the concentration of ITA in the CCV cavity comply with regulatory requirements.
Figure 00000001
RU2007103781/22U 2007-02-01 2007-02-01 DEVICE FOR CONTROL OF AEROSOLAL PARAMETERS OF THE AIR "CLEAN" PREMISES RU65986U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007103781/22U RU65986U1 (en) 2007-02-01 2007-02-01 DEVICE FOR CONTROL OF AEROSOLAL PARAMETERS OF THE AIR "CLEAN" PREMISES

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007103781/22U RU65986U1 (en) 2007-02-01 2007-02-01 DEVICE FOR CONTROL OF AEROSOLAL PARAMETERS OF THE AIR "CLEAN" PREMISES

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU65986U1 true RU65986U1 (en) 2007-08-27

Family

ID=38597517

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007103781/22U RU65986U1 (en) 2007-02-01 2007-02-01 DEVICE FOR CONTROL OF AEROSOLAL PARAMETERS OF THE AIR "CLEAN" PREMISES

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU65986U1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106226483A (en) A kind of low cost many air quality monitorings sensor calibration system
KR101504753B1 (en) Mask Filter Test System
CN108918607B (en) On-site monitoring device for emission intensity of pollution gas on indoor material surface
WO2016079777A1 (en) Clean air device and dust inspecting method
CN104777006B (en) Device for testing dust generation and device and method for evaluating purification effect
CN113933217B (en) Biological aerosol generating and balancing system and application thereof
CN108426810A (en) A kind of measuring device of particulate in air mean concentration
US7498056B2 (en) Method for reconditioning air conveying or processing ducts
WO2020186682A1 (en) Charge-to-mass ratio measurement system for electrostatic atomizing spray nozzle and measurement method therefor
RU65986U1 (en) DEVICE FOR CONTROL OF AEROSOLAL PARAMETERS OF THE AIR "CLEAN" PREMISES
CN105547936A (en) Testing system for removing superfine particles through ultrasonic water mist
KR20220041277A (en) Performance test device and method for portable negative pressure apparatus
CN216900097U (en) Experimental system for establishing oil mist particulate matter exposure animal contamination model
CN111450781A (en) Aerosol generating device
CN207881768U (en) Oil gas volatilization organic emission amount metering device
CN207036639U (en) Corrode case and corrosion testing apparatus
JP5950144B2 (en) Air purifier and its test system
CN106932336A (en) Sprayer unit and corrosion case
JP2015121561A (en) Air purification apparatus and testing system therefor
CN209432792U (en) Biological synthesis poisonous gas automatic monitoring system
CN213811088U (en) Efficient air supply outlet with pressure difference positive liquid tank
CN209282177U (en) Wet etching drying equipment
CN107228407A (en) Exemplary chemical pollutant time, the efficient fast purification system of air draft and control method
CN208537577U (en) A kind of vent cabinet wind speed monitoring alarm device
RU103929U1 (en) SYSTEM FOR CONTROL OF AEROSOLIC PARAMETERS OF ASEPTIC SPACE AIR

Legal Events

Date Code Title Description
MM1K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20080202