RU62752U1 - Нанотехнологическое устройство - Google Patents

Abstract

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к нанотехнологическим устройствам. В основу полезной модели положена задача - повысить кинематические возможности при обработке объекта произвольной формы. Эта задача решается тем, что нанотехнологическое устройство, содержащее платформу для размещения объекта обработки, пьезопривод, связанный с основанием и зондом, согласно предложенной полезной модели, снабжено двумя двухкоординатными приводами вращательного и поступательного перемещений, причем первый привод вращательного и поступательного перемещений связан с основанием посредством кривошипа, а второй привод вращательного и поступательного перемещений связан с платформой для размещения объекта обработки. Нанотехнологическое устройство отличается тем, что первый и второй приводы вращательного и поступательного перемещений установлены таким образом, что их оси вращения пересекаются под прямым углом. Применение предложенного нанотехнологического устройства позволяет повысить кинематические возможности при использовании объекта обработки произвольной формы.

Description

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к нанотехнологическим устройствам.

Известно нанотехнологическое устройство, содержащее платформу для размещения объекта обработки, пьезопривод, связанный с основанием и зондом. [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Учебное пособие. - М.: МИЭТ, 2000 - 69 с. (аналог)].

Недостатком аналога являются малые кинематические возможности при использовании объекта обработки произвольной формы.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является нанотехнологическое устройство, содержащее платформу для размещения объекта обработки, пьезопривод, связанный с основанием и зондом [Математическое моделирование нанотехнологических процессов и наноструктур. Труды научного семинара. - М.: МИФИ, 2001. (прототип)].

Недостатком прототипа также являются малые кинематические возможности при использовании объекта обработки произвольной формы.

В основу полезной модели положена задача - повысить кинематические возможности при обработке объекта произвольной формы.

Эта задача решается тем, что нанотехнологическое устройство, содержащее платформу для размещения объекта обработки, пьезопривод, связанный с основанием и зондом, согласно предложенной полезной модели, снабжено двумя двухкоординатными приводами вращательного и поступательного перемещений, причем первый привод вращательного и поступательного перемещений связан с основанием посредством кривошипа, а второй привод вращательного и поступательного перемещений связан с

платформой для размещения объекта обработки, первый и второй приводы вращательного и поступательного перемещений установлены таким образом, что их оси вращения пересекаются под прямым углом.

Введение в нанотехнологическое устройство взаимного ориентирования зонда и объекта обработки посредством пьезопривода, кривошипа и пары независимых двухкоординатных приводов вращательно и поступательного перемещений, позволяет повысить кинематические возможности при использовании объекта обработки произвольной формы.

Сущность полезной модели поясняется фиг.1 и фиг.2. На фиг.1 показано нанотехнологическое устройство. На фиг.2 показано то же нанотехнологическое устройство, но в другой ориентации зонда относительно объекта обработки.

Нанотехнологическое устройство (фиг.1, 2) содержит платформу 1 для размещения объекта обработки 2, пьезопривод 3, связанный с основанием 4 и зондом 5. Устройство снабжено двумя двухкоординатными приводами 6, 7 вращательного и поступательного перемещений, а так же кривошипом 8. Основание 4 связано с первым двухкоординатным приводом 6 вращательного и поступательного перемещений посредством кривошипа 8, а платформа 1 связана со вторым двухкоординатным приводом 7 вращательного и поступательного перемещений. Первый 6 и второй 7 двухкоординатные приводы вращательного и поступательного перемещений жестко закреплены на неподвижном опорном основании 9 таким образом, что их оси вращения пересекаются под прямым углом.

Нанотехнологическое устройство (фиг.1, 2) работает следующим образом.

При подаче управляющего сигнала на первый двухкоординатный привод 6 его вращательное и поступательное перемещения передаются зонду 5 посредством кривошипа 8, а перемещения второго двухкоординатного привода

7 передаются непосредственно платформе 1, на которой установлен объект обработки 2. Первый 6 и второй 7 двухкоординатные приводы производят установку зонда 5 по нормали к поверхности объекта обработки 2, а пьезопривод 3 осуществляет перемещение зонда 5 вдоль этой нормали. Когда зонд 5 будет сориентирован относительно объекта обработки 2, подается напряжение, вследствие чего реализуется нанотехнологический процесс формирования наноструктуры.

Таким образом, использование в нанотехнологическом устройстве взаимного ориентирования зонда и объекта обработки позволяет формировать необходимую наноструктуру на объектах обработки произвольной формы, в частности на полусферических объектах, которые находят свое широкое применение в разнообразных датчиках.

Применение предложенного нанотехнологического устройства позволяет повысить кинематические возможности при использовании объекта обработки произвольной формы.

Claims (2)

1. Нанотехнологическое устройство, содержащее платформу для размещения объекта обработки, пьезопривод, связанный с основанием и зондом, отличающееся тем, что устройство снабжено двумя двухкоординатными приводами вращательного и поступательного перемещений, причем первый привод вращательного и поступательного перемещений связан с основанием посредством кривошипа, а второй привод вращательного и поступательного перемещений связан с платформой для размещения объекта обработки.

2. Нанотехнологическое устройство по п.1, отличающееся тем, что первый и второй приводы вращательного и поступательного перемещений установлены таким образом, что их оси вращения пересекаются под прямым углом.