RU61062U1 - Устройство возбуждения плазмы газового разряда - Google Patents

Устройство возбуждения плазмы газового разряда Download PDF

Info

Publication number
RU61062U1
RU61062U1 RU2006132182/22U RU2006132182U RU61062U1 RU 61062 U1 RU61062 U1 RU 61062U1 RU 2006132182/22 U RU2006132182/22 U RU 2006132182/22U RU 2006132182 U RU2006132182 U RU 2006132182U RU 61062 U1 RU61062 U1 RU 61062U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
resonator
solenoid
plasma
gas discharge
current source
Prior art date
Application number
RU2006132182/22U
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Ехилевич Польский
Максим Петрович Данилаев
Евгений Александрович Богослов
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Казанский государственный технический университет им. А.Н. Туполева
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Казанский государственный технический университет им. А.Н. Туполева filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Казанский государственный технический университет им. А.Н. Туполева
Priority to RU2006132182/22U priority Critical patent/RU61062U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU61062U1 publication Critical patent/RU61062U1/ru

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Техническое решение относится к возбуждению и стабилизации плазмы газового разряда и может быть использовано в газовых лазерах, в системах типа «Токамак» и т.п. Решаемая техническая задача изобретения заключается в стабилизации плазмы газового разряда за счет создания продольного бегущего импульсного стабилизирующего магнитного поля. Эта задача в устройстве возбуждения плазмы газового разряда, состоящего из разрядной камеры, высокочастотного генератора возбуждения плазмы, который через обмотку связи индуктивно связан с соленоид резонатором, источника постоянного тока, соединенного с соленоид-резонатором, концы которого короткозамкнуты по высокой частоте с помощью конденсатора, достигается тем, что соленоид-резонатор состоит из секций, отводы от секций соленоид-резонатора подключены соответственно к электронным ключам, которые соединены с накопительными элементами, подключенными к источнику тока, управляющие электроды электронных ключей соединены с соответствующими выходами блока управления. 1 с.п. ф-лы., 2 илл.

Description

Техническое решение относится к возбуждению и стабилизации плазмы газового разряда и может быть использовано в газовых лазерах, в системах типа «Токамак» и т.п.
Известное устройство для возбуждения плазмы газового разряда в газовых лазерах [Райзер Ю.П. «Основы современной физики газоразрядных процессов» - М., Наука, 1980 - 415 с.] содержит высокочастотный генератор и блок согласования высокочастотного генератора с разрядной камерой. Это позволяет создавать в разрядной камере лазера газоразрядную плазму, необходимую для возбуждения активной среды. Основной задачей при создании устройства возбуждения плазмы газового разряда является стабилизация плазмы.
Известное устройство для возбуждения плазмы газового разряда [авторское свидетельство СССР №444293, МКИ H 01 s 3/22, Б. №35, 25.09.74], выбранное в качестве прототипа, содержит газоразрядную трубку, соединенную с высокочастотным генератором возбуждения, источник тока, соленоид-резонатор и катушку связи, в которые помещена газоразрядная трубка. Для повышения эффективности возбуждающая обмотка выполнена в виде соленоид-резонатора и индуктивно связана с обмоткой связи, причем концы соленоида-резонатора короткозамкнуты на частоте возбуждения плазмы с помощью конденсаторов и соединены с источником постоянного тока для создания продольного магнитного поля. Это дает возможность эффективно возбуждать плазму газового разряда от ВЧ генератора и создавать продольное стабилизирующее постоянное магнитное поле, используя обмотки соленоид-резонатора. Однако известное устройство не позволяет обеспечить стабильность плазмы газового разряда в том случае, когда инкремент нарастания неустойчивости
начинает превышать критическое значение, при котором малые возмущения, отклоняющие плазму от стационарного состояния, начинают быстро возрастать.
Решаемая техническая задача изобретения заключается в стабилизации плазмы газового разряда за счет создания продольного бегущего импульсного стабилизирующего магнитного поля.
Эта задача в устройстве возбуждения плазмы газового разряда, состоящего из разрядной камеры, высокочастотного генератора возбуждения плазмы, который через обмотку связи индуктивно связан с соленоид резонатором, источника постоянного тока, соединенного с соленоид-резонатором, концы которого короткозамкнуты по высокой частоте с помощью конденсатора, достигается тем, что соленоид-резонатор состоит из секций, отводы от секций соленоид-резонатора подключены соответственно к электронным ключам, которые соединены с накопительными элементами, подключенными к источнику тока, управляющие электроды электронных ключей соединены с соответствующими выходами блока управления.
На фигуре 1 изображено предлагаемое устройство возбуждения плазмы газового разряда в линейной конструкции разрядной камеры, на фигуре 2 изображено предлагаемое устройство возбуждения плазмы газового разряда в тороидальной конструкции разрядной камеры.
Устройство содержит разрядную камеру 1, высокочастотный генератор возбуждения плазмы 2, который через обмотку связи 3 индуктивно связан с соленоид-резонатором 4, концы которого короткозамкнуты с помощью конденсатора 5; источник постоянного тока 6, который соединен с соленоид-резонатором 4; отводы от секций соленоид-резонатора 4 подключены к электронным ключам 7, к противоположным электродам электронных ключей 7 соответственно подключены накопительные элементы 8, представленные на фиг.1 и фиг.2
конденсаторами, которые подключены к источнику тока 9; управляющие электроды электронных ключей 7 соответственно соединены с выходами блока управления 10.
Высокочастотный генератор возбуждения плазмы 2 может быть выполнен, например, по схеме, приведенной в [А.Г.Самойлов, С.А.Самойлов, П.А.Полушин, Радиотехника и электроника, №6, с.53-57, 1996 г.], блок управления 10 может быть выполнено по схеме приведенной в [Джеффри Тревис, Lab View для всех. - М.: ПриборКомплект, 2004 г. с.544], источник постоянного тока 6 и источник тока 9 могут быть выполнены по схеме приведенной в [Багинский Б.А., Макаревич В.Н., Приборы и техника эксперимента, №6, с.116-118, 1989 г.].
Рассмотрим предлагаемое устройство в работе. После включения питания высокочастотного генератора возбуждения плазмы 2 в соленоид-резонаторе 4 устанавливается стоячая волна электромагнитного поля, продольная электрическая составляющая которого взаимодействует с плазмой газового разряда и эффективно передает ей энергию. Конденсатор 5 замыкает концы соленоид-резонатора 4 между собой, что позволяет подключить к ним источник постоянного тока 6, за счет энергии которого создается продольное магнитное поле, удерживающее плазму вдоль оси разрядной камеры. С выходов блока управления 10 на электронные ключи 7 поочередно подаются отпирающие импульсы, которые поочередно открывают электронные ключи 7. Это позволяет, за счет энергии, накопленной в накопительных элементах 8, сформировать импульсный ток, протекающий в обмотках секций соленоид-резонаторе 4 и создать в плазме газового разряда бегущее импульсное стабилизирующее магнитное поле, скорость перемещения которого вдоль плазмы определяется периодом следования отпирающих импульсов. Величина напряженности этого магнитного поля больше, чем стабилизирующего постоянного магнитного поля. Скорость перемещения бегущего импульсного стабилизирующего
магнитного поля вдоль плазмы выбирается так, чтобы время между проходами импульсного стабилизирующего магнитного поля через любую точку плазмы было меньше времени, за которое под действием неустойчивости отклонение плазмы от стационарного состояния достигнет критической величины (например, плазма коснется стенки).

Claims (1)

  1. Устройство возбуждения плазмы газового разряда, состоящее из разрядной камеры, высокочастотного генератора возбуждения плазмы, который через обмотку связи индуктивно связан с соленоид-резонатором, источника постоянного тока, соединенного с соленоид-резонатором, концы которого короткозамкнуты по высокой частоте с помощью конденсатора, отличающееся тем, что соленоид-резонатор состоит из секций, отводы от секций соленоид-резонатора подключены соответственно к электронным ключам, которые соединены с накопительными элементами, подключенными к источнику тока, управляющие электроды электронных ключей соединены с соответствующими выходами блока управления.
    Figure 00000001
RU2006132182/22U 2006-09-06 2006-09-06 Устройство возбуждения плазмы газового разряда RU61062U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006132182/22U RU61062U1 (ru) 2006-09-06 2006-09-06 Устройство возбуждения плазмы газового разряда

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006132182/22U RU61062U1 (ru) 2006-09-06 2006-09-06 Устройство возбуждения плазмы газового разряда

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU61062U1 true RU61062U1 (ru) 2007-02-10

Family

ID=37862990

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006132182/22U RU61062U1 (ru) 2006-09-06 2006-09-06 Устройство возбуждения плазмы газового разряда

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU61062U1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9929004B2 (en) High frequency, repetitive, compact toroid-generation for radiation production
JP5429391B2 (ja) 高周波電源
US7115185B1 (en) Pulsed excitation of inductively coupled plasma sources
EP1949407B1 (en) Method and apparatus of providing power to ignite and sustain a plasma in a reactive gas generator
RU2010113677A (ru) Способ и устройство для обработки технологического объема посредством множества электромагнитных генераторов
JP2003505868A (ja) 誘導結合されたプラズマを用いて基板をエッチングするための装置および方法
US9232627B2 (en) Radio-frequency oscillation circuit
Cohen et al. On collisionless ion and electron populations in the magnetic nozzle experiment (MNX)
Vretenar Linear accelerators
KR100818068B1 (ko) 유도 결합 플라즈마를 사용하여 기판을 에칭하기 위한 장치 및 방법
US5048032A (en) Air cooled RF induction excited ion laser
Scheinker et al. Extremum seeking-based optimization of high voltage converter modulator rise-time
RU61062U1 (ru) Устройство возбуждения плазмы газового разряда
RU2330363C2 (ru) Устройство возбуждения плазмы газового разряда
Wu et al. An S-band high gain relativistic klystron amplifier with high phase stability
Gugin et al. Semiconductor power supply for capacitance copper bromide active filters
Freund et al. Nonlinear harmonic generation in free-electron lasers with helical wigglers
RU2127482C1 (ru) Способ возбуждения колебаний в электрическом контуре и устройство для его осуществления
Baalbaki et al. Effect of electrode locations on the matching of the pumping generator with the load in metal vapor laser
JP3622423B2 (ja) ジャイロトロン装置
RU2454749C2 (ru) Способ возбуждения плазмы газовой среды и устройство для его реализации
RU2088035C1 (ru) Способ ударного возбуждения колебательного контура индукционной установки
RU2526865C1 (ru) Лампа с коаксиальной линией передачи
RU2513034C2 (ru) Способ индукционного ускорения электронов
Fauser et al. Guiding characteristics of an acoustic standing wave in a piezoelectric tube

Legal Events

Date Code Title Description
MG11 Anticipatory lapse of a utility model patent in case of granting an identical utility model

Ref document number: 2006132122

Country of ref document: RU

Effective date: 20080727