тегрировани при нулевом значении измер емого параметра, выход которого через показывающий прибор соединен с выходом блока измерени времени интегрировани . На чертеже показана структурна схема радиоизотопного измерител поверхностной плотности. Измеритель содержит источник излучени 1 8 рабочем контейнере 2 с коллимационным отверстием, детектор 3 излучени , выход которого через усилитель 4 и формирователь 5 соединен с входами интегратора 6 и блока 7 измерени времени интегрировани , блок 8 управлени , вход которого соединен с выходом интегратора 6, а его выход подключен к блоку 7 измерени времени интегрировани и к интегратору 6, показывающий прибор 9. Рабочий контейнер 2 снабжен вторым коллимационным отверстием 10, обеспечивающим проход np.iMoro пучка излучени к детектору 3, а измеритель дополнительно содержит регул тор 11 пр мого потока излучени , например, в виде клина, размещенного между источником 1 и детектором 3, м задатчик времени интегрировани при нулевом значении измер емого параметра 12, выход которого через показывающий прибор 9 соединен с выходом блока 7 измерени времени интегрировани . Радиоизотопный измеритель поверхностной плотности работает следующим образом . Излучение от источника 1, наход щегос в рабочем контейнере 2, взаимодействуете измер емым материалом 13, например, возбуждает характеристическое излучение материала подложки дл измерител покрыти или отражаетс от материала или среды за измер емым материалом дл измеритеп , измер ющего толщину тонких пленок, и регистрируетс детектором 3, этот сигнал имеет градуировочную характеристику (1) от измер емого параметра. Одновременно излучение от источника 1 проходит и через коллимационное отверстие 10 рабочего контейнера 2 и регул тор 11 пр мого потока излучени и тоже регистрируетс детектором 3, как сигнал с посто нной величиной - С, не завис щей от измер емого параметра. В результате сигнал на выходе детектора 3 имеет следующую зависимость от измер емого параметра m С +А е ( 2) Этот сигнал усиливаетс усилителем 4, формируетс формирователем 5, подаетс на интегратор 6 и запускает блок 7 измерени времени интегрировани . Когда сигнал на выходе интегратора б достигнет заданной величины, срабатывает блок 8 управлени по команде, от которого сбрасываетс на ноль интегратор 6, а на выходе блока 7 по вл етс результат измерени времени интегрировани т Л,.(3) А -е Ч-С где К - константа интегрировани . При зтом врем интегрировани при нулевом значении измер емого параметра - X будет ч. ° АТс-. Сигнал такой величины установлен на выходе задатчика времени интегрировани при нулевом значении измер емого параметра 12, выход которого через измерительный прибор 9 соединен с выходом блока измерени времени 7 интегрировани , при этом измерительный прибор будет показывать сигнал -1,.равный (5) t Т - То А -е ° +С Как видно из уравнени (5), результат измерени радиоизотопного измерител имеет сложную зависимость от измер емого параметра, однако это монотонно возрастающа функци , котора измен етс от О, при до значени tmax при Х оо КК А + С и имеет точку перегиба при значении измер емого параметра - х в окрестност х которой функци (Б) с достаточной точностью аппроксимируетс пр мо. При помощи регул тора 11 пр мого потока можно выбрать такую величину значени сигнала - С, чтобы точка перегиба находилась в середине необходимого диапазона измерени . в хтах С А е где Хтах - максимальное значение диапазона измерени , Практически величина С находитс в пределах от 0,3 до 0,6 от А.calibration at zero value of the measured parameter, the output of which through the indicating device is connected to the output of the integration time measuring unit. The drawing shows a structural diagram of a radioisotope surface density meter. The meter contains a radiation source 1 8 of the working container 2 with a collimation hole, a radiation detector 3, the output of which is connected through the amplifier 4 and the shaper 5 to the inputs of the integrator 6 and the integration time measuring unit 7, a control unit 8, the input of which is connected to the output of the integrator 6, and its output is connected to the integration time measuring unit 7 and to the integrator 6, showing the device 9. The working container 2 is provided with a second collimation hole 10, which ensures the passage of the radiation beam np.iMoro to the detector 3, and measures It additionally contains a direct radiation flux controller 11, for example, in the form of a wedge placed between the source 1 and the detector 3, an integration time clock with a zero value of the measured parameter 12, the output of which through the indicating device 9 is connected to the output of the time measuring unit 7 integration. A radioisotope surface density meter operates as follows. The radiation from the source 1, located in the working container 2, interacts with the measured material 13, for example, it excites the characteristic radiation of the substrate material for the coating meter or is reflected from the material or the medium behind the measured material for the measurement measuring the thickness of thin films and is recorded by the detector 3, this signal has a calibration characteristic (1) from the measured parameter. At the same time, the radiation from the source 1 passes through the collimation hole 10 of the working container 2 and the forward radiation regulator 11 and is also detected by the detector 3 as a signal with a constant value - C, independent of the measured parameter. As a result, the signal at the output of detector 3 has the following dependence on the measured parameter m C + A e (2) This signal is amplified by amplifier 4, generated by driver 5, supplied to integrator 6, and starts the integration time measuring unit 7. When the signal at the output of the integrator 6 reaches a predetermined value, the control unit 8 is triggered by a command, from which the integrator 6 is reset to zero, and the output of the unit 7 shows the result of measuring the integration time t,. (3) A-e C-C where K is an integration constant. In this case, the integration time at a zero value of the measured parameter - X will be h ° ATc -. A signal of this magnitude is installed at the output of the integration time adjuster at a zero value of the measured parameter 12, the output of which through the measuring device 9 is connected to the output of the integration time measuring unit 7, while the measuring device will show a signal -1, equal (5) t Т - That A-e ° + C As can be seen from equation (5), the measurement result of the radioisotope meter has a complex dependence on the measured parameter, however, it is a monotonically increasing function that varies from 0, to up to tmax at X oo KK A + C and has an inflection point for the value of the measured parameter - x in the vicinity of which function (B) is approximated with sufficient accuracy directly. Using the forward flow controller 11, it is possible to select a value of the signal value -C so that the inflection point is in the middle of the required measurement range. in hta C A e where X h is the maximum value of the measuring range. In practice, the value of C is in the range from 0.3 to 0.6 from A.