RU2822378C1 - СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ TiAlCO - Google Patents
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ TiAlCO Download PDFInfo
- Publication number
- RU2822378C1 RU2822378C1 RU2023133321A RU2023133321A RU2822378C1 RU 2822378 C1 RU2822378 C1 RU 2822378C1 RU 2023133321 A RU2023133321 A RU 2023133321A RU 2023133321 A RU2023133321 A RU 2023133321A RU 2822378 C1 RU2822378 C1 RU 2822378C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- coating
- parts
- titanium
- tial
- aluminum
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 35
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910010038 TiAl Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 claims abstract description 12
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910004349 Ti-Al Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910004692 Ti—Al Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910010041 TiAlC Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910034327 TiC Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N alumane;titanium Chemical compound [AlH3].[Ti] UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 229910021330 Ti3Al Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910010039 TiAl3 Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 abstract 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 22
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 15
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 aluminum compound Chemical class 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
Abstract
Изобретение относится к способу получения покрытия на основе системы Ti-Al. Проводят синтезирование покрытия в газовой среде путем вакуумно-дугового осаждения из двух однокомпонентных катодов из титана и алюминия, при этом осуществляют размещение деталей в рабочей камере на столе, предварительно обезжирив поверхность деталей. В камере создают рабочее давление 8⋅10-3-5⋅10-2 Па. Активирование поверхности деталей перед осаждением покрытия системы Ti-Al путем нагрева и очистки в среде инертного газа аргона проводят в два этапа. На первом этапе нагрев поверхности деталей осуществляют сильноточным плазменным источником с полым катодом до температуры 350-400°C. На втором этапе поверхность деталей нагревают электродуговыми испарителями до температуры 400-450°C. После этого наносят первый слой титана, следующим наносят покрытие на основе карбоксида титана алюминия в смеси газов ацетилена и кислорода при давлении 9·10-2-3·10-1 Па. Нанесение покрытия TiAlCO осуществляют при ассистировании процесса сильноточным плазменным источником с полым катодом с образованием твердых фаз TiAl, Ti3Al, TiAl3, TiC, TiAlC, Al2O3, TiO2. Обеспечивается повышение качества покрытия за счет использования в качестве рабочих газов ацетилена и кислорода и образования дополнительных твердых фаз. 2 ил., 1 табл.
Description
Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в инструментальном производстве для поверхностного упрочнения металлорежущего инструмента.
Стойкость и износостойкость являются основными характеристиками надежности инструмента. Около 90% случаев выхода инструмента из строя связана с воздействием на него сжимающих, изгибающих, ударно-импульсивных и знакопеременных нагрузок внешних усилий и нагрузок в процессе резания. В результате на контактные площадки инструмента воздействуют абразивные, адгезионно-усталостные, коррозионноокисли-тельные и диффузионные процессы. В связи с этим на сегодняшний день применяют новые инструментальные материалы или применяют дополнительные методы упрочнения контактных площадок режущего инструмента. Одним из экономически и технически эффективных методов, предлагаемых и используемых при решении задачи повышения износостойкости режущего инструмента, является метод вакуумно-дугового осаждения покрытий.
Известен способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента, включающий вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия, при котором наносят нижний слой из нитрида или карбонитрида соединения титана, алюминия и кремния при их соотношении, мас.%: титан 87,7-91,9, алюминий 7,0-11,0, кремний 1,1-1,3, промежуточный - из нитрида или карбонитрида соединения титана, алюминия и кремния при их соотношении, мас.%: титан 93,7-94,9, алюминий 4,0-6,0, кремний 1,1-1,3, верхний - из нитрида или карбонитрида соединения титана и алюминия при их соотношении, мас.%: титан 91,5-94,5, алюминий 5,5-8,5, а нанесение слоев покрытия осуществляют расположенными горизонтально в одной плоскости тремя катодами, первый и второй из которых выполняют составными из титана и алюминия и располагают противоположно друг другу, а третий изготавливают из сплава титана и кремния и располагают между ними, причем нижний слой наносят с использованием первого и третьего катодов, промежуточный слой - с использованием второго и третьего катодов, верхний слой - с использованием первого и второго катодов. (патент РФ 2464341, МПК С23С 14/26, опубл. 20.10.2012)
Недостатками данного способа является то, что используются составные катоды, которые не обеспечивают однородности по химическому составу покрытия по всей поверхности режущего инструмента, а также сложность изготовления таких катодов, ведущих к удорожанию реализации способа.
Известен способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента, включающий вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия, при котором наносят нижний слой из нитрида или карбонитрида соединения титана и алюминия при их соотношении, мас.%: титан 85,0-90,0, алюминий 10,0-15,0; промежуточный - из нитрида или карбонитрида соединения титана, алюминия и хрома при их соотношении, мас.%: титан 80,5-87,5, алюминий 6,0- 10,0, хром 6,5-9,5; верхний - из нитрида или карбонитрида соединения титана, алюминия и хрома при их соотношении, мас.%: титан 70,5-79,5, алюминий 14,0-20,0, хром 6,5-9,5, а нанесение слоев покрытия осуществляют расположенными горизонтально в одной плоскости тремя катодами, первый и второй из которых выполняют составными из титана и алюминия и располагают противоположно друг другу, а третий изготавливают составным из титана и хрома и располагают между ними, причем нижний слой наносят с использованием первого и второго катодов, промежуточный слой - с использованием первого и третьего катодов, верхний слой - с использованием второго и третьего катодов. (патент РФ 2428514, МПК С23С 14/06, опубл. 10.09.2011)
Недостатком данного способа является то, что используются составные катоды, не обеспечивающие однородности по химическому составу покрытия.
Известен способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента,включающий вакуумно-плазменное нанесение трехслойного покрытия в среде ацетилена, при котором в качестве нижнего слоя при давлении ацетилена в камере установки 7,5·10-4Па и температуре 600°С наносят карбонитрид титана и алюминия, в качествепромежуточного слоя при давлении ацетилена в камере установки 7,5·10-4 Па и температуре 550°С наносят такой же карбонитрид, легированный кремнием, а вкачестве верхнего слоя при давлении ацетилена в камере установки 4,3·10-3 Па и температуре 500°С наносят карбонитрид титана и кремния. В процессе осуществления указанного способа нижний слой составляет толщину 40-50% отобщей толщины покрытия, а общая толщина покрытия составляет 5-8 мкм. (патент РФ 2424353, МПК С23С 14/06, опубл. 20.07.2011)
Недостатком данного способа является то, что используются составные катоды, не обеспечивающие однородности по химическому составу покрытия.
Наиболее близким к заявляемому изобретению по совокупности существенных признаков является способ упрочнения режущего инструмента, включающий осаждение мультислойного покрытия системы Ti - Al, при этом осуществляют размещение режущего инструмента в рабочей камере на столе, активирование его поверхности перед осаждением мультислойного интерметаллидного покрытия системы Ti - Al путем нагрева и очистки поверхности инструмента с помощью плазменного источника накального катода и очистки и нагрева инструмента электродуговыми испарителями, при котором очистку поверхности инструмента с помощью плазменного источника выполняют при нагреве поверхности режущего инструмента до 200-300°С, а очистку и нагрев режущего инструмента электродуговыми испарителями осуществляют при температуре 450-500°С, при этом мультислойное покрытие наносят при одновременном распылении двух однокомпонентных катодов из Al и Ti и вращении стола вокруг своей оси с послойным нанесением TiAlN и TiAl, причем в качестве рабочего газа используют аргон при напылении титан-алюминия и азот при напылении нитрида титана алюминия, при этом смену газов осуществляют при помощи регулятора расхода газов, при этом напыление послойных покрытий выполняют в едином цикле с чередованием осаждения слоев TiAlN и TiAl, которые повторяют не менее 10 раз, при этом скорость вращения стола 10 об/мин, толщина каждого слоя от 5…50 нм при общей толщине покрытия до 5 мкм , в котором образованы интерметаллидные фазы TiAl3 , Ti3Al, в чистом виде Ti и Al. (патент РФ 2700344, МПК С23С 14/24, опубл. 16.092019)
Недостатком данного способа является то, что в качестве износостойкого покрытия используют соединения на основе азота, которые не обеспечивают необходимых свойств покрытия.
Технический результат заключается в повышении качества покрытия за счет использования в качестве рабочих газов ацетилена и кислорода и образования дополнительных твердых фаз.
Указанный технический результат достигается тем, что в способе получения покрытия на основе системы Ti-Al, синтезированного в среде газов азота и аргона путем вакуумно-дугового осаждения из двух однокомпонентных катодов из титана и алюминия, при этом осуществляют размещение деталей в рабочей камере на столе, предварительно обезжирив поверхность детали, в камере создается рабочее давление 8⋅10-3-5⋅10-2 Па, активирование поверхности перед осаждением покрытия системы Ti-Al путем нагрева и очистки в среде инертного газа аргона проводят в два этапа, по которому в отличие от прототипа на первом этапе нагрев поверхности детали осуществляют сильноточным плазменным источником с полым катодом до температуры 350-400°C, на втором этапе поверхность детали нагревают до температуры 400-450°C электродуговыми испарителями, после этого наносят первый слой титана, следующим наносят покрытие на основе карбоксида системы TiAl в смеси газов ацетилена и кислорода при давлении 9·10-2-3·10-1 Па, при этом нанесение покрытия TiAlCO осуществляют при ассистировании процесса сильноточным плазменным источником с полым катодом, с образованием твердых фаз TiAl, Ti3Al, TiAl3, TiC, TiAlC, Al2O3, TiO2.
Существо изобретения поясняется чертежом Фиг.1, на котором изображена принципиальная схема устройства в примере конкретной реализации способа получения покрытия согласно изобретению, на Фиг.2 представлена диаграмма зависимости износа инструмента от пути резания.
Устройство Фиг.1 содержит: вакуумную камеру 1, обрабатываемую деталь 2, электродуговой испаритель (катод) 3 из титана, электродуговой испаритель (катод) 4 из алюминия, плазменный источник с полым катодом 5, стол для установки образцов 6.
Способ осуществляется следующим образом.
В вакуумной камере 1 на столе 5 устанавливают обрабатываемую деталь, например металлорежущий инструмент. Затем в камере создают рабочее давление, равное 8·10-3-5·10-2Па. Далее проводят ионную очистку нагрев и активацию поверхности детали двумя этапами. На первом этапе проводят ионную чистку сильноточным плазменным источником с полым катодом в среде инертного газа аргона, при этом деталь нагревают до температуры 300-350°С. Далее проводят ионную очистку электродуговыми испарителями в среде инертного газа аргона при нагреве поверхности до температуры 400-450°С. Далее в среде инертного газа аргона при том же давлении наносят первый слой из Ti дуговым испарителем с титановым катодом для лучшей адгезии. Следующий слой на основе карбоксида системы TiAl наносят дуговыми испарителями из титанового катода 3 и алюминиевого катода 4 в среде смеси газов ацетилена и кислорода при давлении 9·10-2-3·10-1Па. Формирование покрытия происходит при одновременном распылении двух дуговых испарителей с титановым 3 и алюминиевым катодами 4, расположенными в одной плоскости противоположно друг другу.
Для проведения сравнительных испытаний на твердосплавные пластины из материала ВК8 было нанесено покрытие системы TiAlN и разработанное согласно изобретению покрытие TiAlCO. Результаты испытаний приведены в таблице и на фиг.2.
Проведенные испытания показывают, что покрытие на основе системы TiAl, синтезированное в смеси газов ацетилена и кислорода - TiAlCO, позволяет повысить износостойкость инструмента в 2.8 раз по сравнению с режущим инструментом без покрытия и в 2.3 раза по сравнению с инструментом с покрытием TiAlN, синтезированным в среде азота (по прототипу).
Итак, заявляемое изобретение позволяет получать износостойкое покрытие на основе системы TiAl, синтезированное в смеси газов ацетилена и кислорода с образованием фаз TiAl, Ti3Al, TiAl3, TiC, TiAlC, Al2O3, TiO2, которое обладает однородным составом по всему объему за счет использования плазменного источника с полым катодом.
Claims (1)
- Способ получения покрытия на основе системы Ti-Al, включающий синтезирование покрытия в газовой среде путем вакуумно-дугового осаждения из двух однокомпонентных катодов из титана и алюминия, при этом осуществляют размещение деталей в рабочей камере на столе, предварительно обезжирив поверхность деталей, в камере создают рабочее давление 8⋅10-3-5⋅10-2 Па, активирование поверхности деталей перед осаждением покрытия системы Ti-Al путем нагрева и очистки в среде инертного газа аргона проводят в два этапа, причем во втором этапе нагрев осуществляют электродуговыми испарителями, отличающийся тем, на первом этапе нагрев поверхности деталей осуществляют сильноточным плазменным источником с полым катодом до температуры 350-400°C, во втором этапе поверхность деталей нагревают до температуры 400-450°C, после этого наносят первый слой титана, следующим наносят покрытие на основе карбоксида титана алюминия в смеси газов ацетилена и кислорода при давлении 9⋅10-2-3⋅10-1 Па, при этом нанесение покрытия TiAlCO осуществляют при ассистировании процесса сильноточным плазменным источником с полым катодом с образованием твердых фаз TiAl, Ti3Al, TiAl3, TiC, TiAlC, Al2O3, TiO2.
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2822378C1 true RU2822378C1 (ru) | 2024-07-04 |
Family
ID=
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090068450A1 (en) * | 2005-07-15 | 2009-03-12 | Wolf-Dieter Muenz | Method and Apparatus for Multi-Cathode PVD Coating and Substrate with PVD Coating |
RU2428514C1 (ru) * | 2010-03-16 | 2011-09-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
CN102994967B (zh) * | 2011-09-17 | 2015-02-25 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 超厚类金刚石涂层的超高速制备方法 |
RU2694857C1 (ru) * | 2018-08-06 | 2019-07-18 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ нанесения износостойкого покрытия ионно-плазменным методом |
RU2769142C1 (ru) * | 2021-11-29 | 2022-03-28 | Общество с ограниченной ответственностью "Новые Технологии Покрытий" | Способ получения покрытий на основе системы Ti-Al, синтезированных в среде реакционных газов |
RU2781583C1 (ru) * | 2021-12-27 | 2022-10-14 | Общество с ограниченной ответственностью "Новые Технологии Покрытий" | Способ нанесения покрытия на металлорежущий инструмент |
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090068450A1 (en) * | 2005-07-15 | 2009-03-12 | Wolf-Dieter Muenz | Method and Apparatus for Multi-Cathode PVD Coating and Substrate with PVD Coating |
RU2428514C1 (ru) * | 2010-03-16 | 2011-09-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
CN102994967B (zh) * | 2011-09-17 | 2015-02-25 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 超厚类金刚石涂层的超高速制备方法 |
RU2694857C1 (ru) * | 2018-08-06 | 2019-07-18 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ нанесения износостойкого покрытия ионно-плазменным методом |
RU2769142C1 (ru) * | 2021-11-29 | 2022-03-28 | Общество с ограниченной ответственностью "Новые Технологии Покрытий" | Способ получения покрытий на основе системы Ti-Al, синтезированных в среде реакционных газов |
RU2781583C1 (ru) * | 2021-12-27 | 2022-10-14 | Общество с ограниченной ответственностью "Новые Технологии Покрытий" | Способ нанесения покрытия на металлорежущий инструмент |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2489514C1 (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ ИНТЕРМЕТАЛЛИДА СИСТЕМЫ Ti-Al | |
RU2689474C1 (ru) | Способ получения покрытия на основе интерметаллидов системы ti-al, синтезированного в среде азота | |
RU2822378C1 (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ TiAlCO | |
JP5720996B2 (ja) | 皮膜密着性に優れた被覆部材およびその製造方法 | |
EP1616974B1 (en) | Method for preparing an alpha alumina coating | |
RU2699700C1 (ru) | Способ нанесения аморфно-кристаллического покрытия на металлорежущий инструмент | |
RU2769142C1 (ru) | Способ получения покрытий на основе системы Ti-Al, синтезированных в среде реакционных газов | |
RU2330121C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2359067C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2327816C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инстумента | |
RU2330111C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2782102C1 (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ Ti-Al, СИНТЕЗИРОВАННОГО В СРЕДЕ АЗОТА И АЦЕТИЛЕНА | |
RU2363761C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2677043C1 (ru) | Способ получения износостойкого покрытия на основе интерметаллида системы Ti-Al | |
RU2700344C1 (ru) | СПОСОБ УПРОЧНЕНИЯ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА ОСАЖДЕНИЕМ МУЛЬТИСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ СИСТЕМЫ Ti - Al | |
RU2461655C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2548856C2 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2297473C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2596528C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2327818C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2330119C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2781583C1 (ru) | Способ нанесения покрытия на металлорежущий инструмент | |
RU2596527C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2330108C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента | |
RU2428512C1 (ru) | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |