RU2817063C1 - Трёхкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр - Google Patents

Трёхкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр Download PDF

Info

Publication number
RU2817063C1
RU2817063C1 RU2024101537A RU2024101537A RU2817063C1 RU 2817063 C1 RU2817063 C1 RU 2817063C1 RU 2024101537 A RU2024101537 A RU 2024101537A RU 2024101537 A RU2024101537 A RU 2024101537A RU 2817063 C1 RU2817063 C1 RU 2817063C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
inertial element
axes
piezoelements
piezoelectric
component
Prior art date
Application number
RU2024101537A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Александрович Кирпичёв
Михаил Юрьевич Новосёлов
Олег Леонидович Шубин
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "ГТЛАБ"
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "ГТЛАБ" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "ГТЛАБ"
Application granted granted Critical
Publication of RU2817063C1 publication Critical patent/RU2817063C1/ru

Links

Abstract

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к области пьезоэлектрических акселерометров. Трехкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр содержит корпус с установленным в нём кубическим инерционным элементом с жестко прикреплёнными к его граням плоскими пьезоэлементами, оси чувствительности которых взаимно перпендикулярны, в инерционном элементе выполнены три взаимно перпендикулярных отверстия, оси которых не пересекаются между собой и совпадают с осями чувствительности пьезоэлементов, при этом в каждое отверстие инерционного элемента установлен подпружиненный крепёжный элемент для жесткой фиксации пьезоэлементов между корпусом и инерционным элементом. Технический результат – расширение частотного диапазона трехкомпонентного пьезоэлектрического акселерометра. 1 ил.

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, а конкретно к трёхкомпонентным пьезоэлектрическим акселерометрам, предназначенным для измерения ускорений в трёх ортогональных направлениях и может быть использовано в области виброметрии, сейсмологии.
Известны трёхкомпонентные акселерометры, например, типа 354 фирмы PCB, США (Трехкомпонентные акселерометры - Альфатех (alphatechgroup.ru) и сейсмоприёмники (см. А.с. СССР 1057910, опубликован в Б.И. № 44, 30.11.1983г.) содержащие корпус с расположенными в нем тремя независимыми чувствительными элементами, оси чувствительности которых взаимно перпендикулярны. Коэффициенты преобразования независимых чувствительных элементов по ортогональным осям пропорциональны массам инерционных элементов. Общий недостаток таких конструкций сравнительно большие габариты и масса вследствие наличия инерционного элемента в каждом чувствительном элементе.
Известен трёхкомпонентный акселерометр с одним чувствительным элементом (см. Патент РФ 2061242, опубликован 27.05.1996г.). Коэффициенты преобразования по ортогональным осям этого акселерометра пропорциональны массе инерционного элемента, а при его отсутствии массе пьезоэлемента, что позволяет уменьшать массу и габаритные размеры акселерометра. Однако, в такой конструкции коэффициент преобразования по одной из осей с деформацией растяжения-сжатия имеет меньшее значение, чем по двум другим осям с деформацией сдвига. Например, для пьезокерамики ЦТС19 пьезомодуль растяжения-сжатия d33 = 400 пК/Н, а сдвига d15 = d24 = 560 пК/Н, следовательно, отличие составляет 40%, что является существенным недостатком. Кроме того, жесткость чувствительного элемента по оси с деформацией растяжения-сжатия также существенно, до двух раз, отличается от жесткости по двум другим осям с деформацией сдвига, из-за чего собственная частота по осям чувствительности также будет иметь различные значения, что также является существенным недостатком.
Известен трёхкомпонентный вибропреобразователь (см. А.с. СССР 1798628, опубликован в Б.И. № 8, 28.02.1993г.) с одним кубическим инерционным элементом с жестко прикреплёнными к его граням пьезоэлементами, расположенными по меньшей мере с трёх взаимно ортогональных сторон кубического инерционного элемента и связанными с корпусом. Плоские пьезоэлементы связаны с корпусом, по меньшей мере через три цилиндрических или шарообразных сегмента. Коэффициенты преобразования по ортогональным осям такого вибропреобразователя пропорциональны массе одного инерционного элемента, что позволяет уменьшать массу и габаритные размеры вибропреобразователя.
Недостатками вышеуказанного устройства являются:
1) введение в последовательную связь пьезоэлементов с корпусом дополнительных деталей, цилиндрических или шарообразных сегментов, приводит к уменьшению жесткости связи, что в свою очередь приводит к уменьшению резонансной частоты устройства;
2) сопряжение цилиндрической поверхности сегмента с цилиндрической поверхностью корпуса в поджатом состоянии происходит по линии соприкосновения, сопряжение шарообразной поверхности сегмента с шарообразной поверхностью корпуса в поджатом состоянии происходит в точке соприкосновения, а это и в том и в другом случае за счёт уменьшения площади контакта приводит к уменьшению контактной жесткости сопряжения, что также приводит к уменьшению резонансной частоты устройства. Изготовление деталей даже с максимально высокой точностью не может исключить технологических погрешностей и, следовательно, не может устранить этого недостатка.
Вышеуказанное устройство является наиболее близким к заявляемому устройству и поэтому выбрано в качестве прототипа.
Решаемой технической проблемой является создание трехкомпонентного пьезоэлектрического акселерометра с расширенным частотным диапазоном.
Достигаемым техническим результатом является обеспечение возможности увеличения собственной частоты за счёт увеличения жесткости соединения пьезоэлементов с корпусом.
Для достижения технического результата в трехкомпонентном пьезоэлектрическом акселерометре, содержащем корпус с установленным в нём кубическим инерционным элементом с жестко прикреплёнными к его граням плоскими пьезоэлементами, состоящими по крайней мере из двух пластин с токосъёмником между ними, оси чувствительности которых взаимно перпендикулярны, в инерционном элементе выполнены три взаимно перпендикулярных отверстия, оси которых не пересекаются между собой и совпадают с осями чувствительности пьезоэлементов, при этом в каждое отверстие инерционного элемента установлен подпружиненный крепёжный элемент для жесткой фиксации пьезоэлементов между корпусом и инерционным элементом.
На чертеже представлено заявляемое устройство.
Трехкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр содержит корпус 1, с установленным в нём кубическим инерционным элементом 2 с жестко прикреплёнными к его граням плоскими пьезоэлементами 3 и 4 с токосъёмником 5 между ними, оси чувствительности которых взаимно перпендикулярны. В инерционном элементе 2 выполнены три взаимно перпендикулярных отверстия 6, оси которых не пересекаются между собой и совпадают с осями чувствительности пьезоэлементов. В каждое отверстие инерционного элемента установлен крепёжный элемент 7, с пружиной 8 для жесткой нормированной фиксации пьезоэлементов 3 и 4 между корпусом 1 и инерционным элементом 2.
Новая совокупность существенных признаков в заявляемом устройстве позволяет увеличить жесткость связи плоских пьезоэлементов с корпусом, за счёт возможности исключения из связи пьезоэлементов с корпусом последовательной жесткости дополнительных элементов и введения параллельной жесткости крепёжного элемента с пружиной, вследствие чего происходит увеличение собственной частоты устройства и расширение частотного диапазона.
Устройство работает следующим образом. Пространственное ускорение, воздействующее на корпус 1 трёхкомпонентного акселерометра, воспринимается инерционным элементом 2. Возникающая при этом сила инерции приводит к смещению инерционного элемента и деформации пьезоэлементов 3 и 4, пропорционально составляющим силы инерции, действующим по осям чувствительности пьезоэлементов. Под действием деформации в пьезоэлементах происходит образование электрического заряда, пропорционального соответствующей составляющей воздействующего ускорения и снимаемого с помощью токосъёмников 5.
Был изготовлен опытный образец, проведённые испытания подтвердили его работоспособность.

Claims (1)

  1. Трехкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр, содержащий корпус с установленным в нём кубическим инерционным элементом с жестко прикреплёнными к его граням плоскими пьезоэлементами, оси чувствительности которых взаимно перпендикулярны, отличающийся тем, что в инерционном элементе выполнены три взаимно перпендикулярных отверстия, оси которых не пересекаются между собой и совпадают с осями чувствительности пьезоэлементов, при этом в каждое отверстие инерционного элемента установлен подпружиненный крепёжный элемент для жесткой фиксации пьезоэлементов между корпусом и инерционным элементом.
RU2024101537A 2024-01-23 Трёхкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр RU2817063C1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2817063C1 true RU2817063C1 (ru) 2024-04-09

Family

ID=

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU667926A1 (ru) * 1978-01-20 1979-06-19 Специальный Опытно-Конструкторский Технологический Институт Ан Армянской Сср Трехкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр
RU2307359C1 (ru) * 2006-03-09 2007-09-27 ФГУП НИИ прикладной механики им. акад. В.И. Кузнецова Акселерометр
US20240012020A1 (en) * 2022-07-11 2024-01-11 Citpo Technologies Co., Ltd. Three-directional accelerometer and manufacturing method thereof

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU667926A1 (ru) * 1978-01-20 1979-06-19 Специальный Опытно-Конструкторский Технологический Институт Ан Армянской Сср Трехкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр
RU2307359C1 (ru) * 2006-03-09 2007-09-27 ФГУП НИИ прикладной механики им. акад. В.И. Кузнецова Акселерометр
US20240012020A1 (en) * 2022-07-11 2024-01-11 Citpo Technologies Co., Ltd. Three-directional accelerometer and manufacturing method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9239339B2 (en) Acceleration sensor and method for operating an acceleration sensor
US6397677B1 (en) Piezoelectric rotational accelerometer
US8082790B2 (en) Solid-state inertial sensor on chip
EP1754082B1 (en) Improved micro-machined suspension plate with integral proof mass for use in a seismometer or other device
EP1395835B1 (en) Accelerometer strain relief structure
US11105828B2 (en) Microelectromechanical device for out-of-plane motion detection
WO2014169540A1 (zh) 非等截面悬臂梁压电式加速度传感器
KR20180101181A (ko) 진동 감쇠 마운트
US20230296643A1 (en) Micromechanical device with elastic assembly having variable elastic constant
CN110865205A (zh) 振动梁加速度计
CN112097968A (zh) 一种光纤压力和加速度传感器及其安装标定方法
RU2817063C1 (ru) Трёхкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр
US10802040B2 (en) Acceleration sensor
WO1994009373A1 (en) An accelerometer of the shear type
KR102337688B1 (ko) 가속도 센서 및 이를 구비하는 음향 벡터 센서
RU2582910C1 (ru) Пьезоакселерометр
US20230124407A1 (en) Accelerometer
RU2377575C2 (ru) Частотный микромеханический акселерометр
Dhanda et al. Sensitivity analysis of contact type vibration measuring sensors
RU2627571C1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
WO2011145968A1 (ru) Способ и зd-приемник измерения вектора механических колебаний
RU55148U1 (ru) Микромеханический осевой акселерометр
RU2492490C1 (ru) Чувствительный элемент микромеханического акселерометра
RU2566411C1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
RU2400760C1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр