RU2800721C1 - Устройство для измерения энергии лазерных импульсов - Google Patents

Устройство для измерения энергии лазерных импульсов Download PDF

Info

Publication number
RU2800721C1
RU2800721C1 RU2022122157A RU2022122157A RU2800721C1 RU 2800721 C1 RU2800721 C1 RU 2800721C1 RU 2022122157 A RU2022122157 A RU 2022122157A RU 2022122157 A RU2022122157 A RU 2022122157A RU 2800721 C1 RU2800721 C1 RU 2800721C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
radiation
measuring
laser
microcontroller
energy
Prior art date
Application number
RU2022122157A
Other languages
English (en)
Inventor
Вячеслав Юрьевич Железнов
Тарас Владимирович МАЛИНСКИЙ
Владимир Ефимович Рогалин
Сергей Александрович Филин
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики и электроэнергетики Российской академии наук (ИЭЭ РАН)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики и электроэнергетики Российской академии наук (ИЭЭ РАН) filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики и электроэнергетики Российской академии наук (ИЭЭ РАН)
Application granted granted Critical
Publication of RU2800721C1 publication Critical patent/RU2800721C1/ru

Links

Images

Abstract

Изобретение относится к оптическому приборостроению, области измерительной техники, к технике и средствам измерения энергии импульсов лазерного излучения. Устройство для измерения энергии лазерных импульсов содержит источник лазерного излучения, формирующую оптику в виде оптически сопряженных и последовательно установленных затвора, первой и второй кварцевых пластин, обеспечивающих разделение излучения от лазерного источника и измерительной головки излучения, отраженного от первой пластины и проходящего через вторую пластину, и измерительно-вычислительный блок, включающий операционный усилитель и микропроцессор в виде микроконтроллера с аналогово-цифровым преобразователем, аппаратуру связи и канал связи, пироэлектрический датчик принимает излучение, проходящее через первую пластину, и соединен с измерителем излучения, соединенным с микроконтроллером, фотодиод принимает излучение, отраженное от второй пластины, и соединен с микроконтроллером, измерительная головка соединена через блок преобразования и регистрации и операционный усилитель с микроконтроллером, соединенным с затвором, контролирующим количество пропускаемых им импульсов. Технический результат - увеличение скорости обработки данных и их синхронизации. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Предлагаемое изобретение относится к оптическому приборостроению, области измерительной техники и технической физики, в частности, к технике и средствам измерения энергии импульсов лазерного излучения на основе поглощения электромагнитной энергии, а именно: к устройствам для измерения энергии импульсов лазерного излучения, и может быть использовано для измерения энергетических характеристик, например, милли-, микро-, нано-, импульсов лазерного излучения, для измерения энергии в различных областях техники и народного хозяйства, например, в медицине.
Проведение точных измерений энергии лазерных импульсов наносекундной длительности является актуальной задачей при использовании лазеров в различных технологических применениях.
Известно устройство для измерения энергии импульсов электромагнитного излучения, содержащее чувствительный элемент в виде акустического резонатора из пьезоэлектрического кристалла в форме параллелепипеда, установленный между электродами через прокладки из материала со скоростью звука в нем много меньше скорости звука в пьезоэлектрическом кристалле, при этом электроды подключены к усилителю, выполненного с заданной полостью пропускания [1].
Недостатком данного технического решения является то, что данное устройство позволяет подключать как нагрузку только аналоговые внешние индикаторы, но не обладает аналого-цифровым преобразователем, позволяющим передавать полученные данные на цифровые устройства.
Наиболее близким к заявляемому техническому решению (прототипом) является устройство для измерения энергии лазерных импульсов, содержащее источник лазерного излучения, входной ослабитель лазерного излучения, рассеивающую среду в виде диффузно-рассеивающей пластины, канал распространения рассеянного лазерного излучения, сформированный волоконно-оптическим коллектором, ступенчатым ослабителем, спектральным фильтром и нейтральным ослабителем, фотодиод, измерительно-вычислительный блок, причем волоконно-оптический коллектор выполнен в виде набора оптических волокон, заключенных во входную и выходную оправы, расположенных таким образом, что диффузно-рассеивающая пластина отстоит от входной оправы волоконно-оптического коллектора на расстояние 8-10 мм, а выходная оправа содержит дополнительный диффузный рассеиватель из молочного стекла, с возможностью преобразования широкоапертурного лазерного пучка в пучок с размером апертуры, обеспечивающим измерение энергии лазерного пучка фотодиодом [2].
Недостатком данного технического решения является отсутствие синхронизации между фотодиодом и АЦП из-за задержки, которая возникает в амплитудном пиковом детекторе, который хранит информацию об импульсе в течение 100 мкс, а также отсутствие затвора, контролирующего пропускание импульсного лазерного излучения.
Новым достигаемым техническим результатом предлагаемого изобретения является увеличение скорости обработки данных и их синхронизации.
Новый технический результат достигается тем, что в устройстве для измерения энергии лазерных импульсов, содержащем фотодиод, формирующую оптику, включающую ослабитель лазерного излучения, и измерительно-вычислительный блок, включающий усилитель и микропроцессор, в отличие от прототипа, усилитель выполнен в виде операционного усилителя, а микропроцессор выполнен в виде микроконтроллера, содержащего аналогово-цифровой преобразователь, аппаратуру связи и канал связи, посредством которых производится передача на внешнее устройство информации о величине измеряемого напряжения, при этом в устройство дополнительно введен пироэлектрический датчик измерения лазерной энергии, установленный с возможностью приема проходящего через первую кварцевую пластину излучения от источника лазерного излучения и электрически соединенный выходом с измерителем излучения, выходом электрически соединенный с первым входом микроконтроллера, формирующая оптика выполнена в виде оптически сопряженных и последовательно установленных затвора, первой и второй кварцевых пластин, обеспечивающих разделение излучения, падающего от источника лазерного излучения, и ослабителя, выполненного в виде измерительной головки лазерного излучения, пластины обеспечивают разделение излучения от лазерного источника и направление отраженного от первой кварцевой пластины и проходящего через вторую кварцевую пластину излучения на измерительную головку, фотодиод установлен с возможностью измерения отраженного от второй кварцевой пластины лазерного излучения и электрически соединен со вторым входом микроконтроллера, измерительная головка электрически соединена через последовательно установленные блок преобразования и регистрации и операционный усилитель с третьим входом микроконтроллера, выход которого соединен с затвором с возможностью его закрытия, причем отклик фотодиода синхронизирован по времени с откликом операционного усилителя.
Внешнее устройство информации может быть выполнено в виде персонального компьютера.
Пироэлектрический датчик измерения лазерной энергии, установленный с возможностью приема проходящего через первую кварцевую пластину излучения от источника лазерного излучения, дополнительно может быть оптически сопряжен с последовательно установленными линзой и образцом для калибровки устройства для измерения энергии лазерных импульсов.
На фиг.1, 2 представлена принципиальная схема устройства для измерения энергии лазерных импульсов.
Устройство для измерения энергии лазерных импульсов, содержащее источник 1 лазерного излучения, формирующую оптику в виде оптически сопряженных и последовательно установленных затвора 2, первой и второй кварцевых пластин 3, 4, обеспечивающих разделение излучения, падающего от источника 1 лазерного излучения, и измерительной головки 5 лазерного излучения, отраженного от первой кварцевой пластины 3 и проходящего через вторую кварцевую пластину 4, и измерительно-вычислительный блок, включающий операционный усилитель 6 и микропроцессор в виде микроконтроллера 7, содержащего аналогово-цифровой преобразователь, аппаратуру связи и канал связи, посредством которых производится передача на внешнее устройство 8 информации о величине измеряемого напряжения, при этом пироэлектрический датчик 9 измерения лазерной энергии установлен с возможностью приема проходящего через первую кварцевую пластину 3 излучения от источника 1 лазерного излучения, оптически сопряжен с последовательно установленными линзой 10 и образцом 11, и электрически соединен выходом с измерителем излучения 12, выходом электрически соединенного с первым входом 13 микроконтроллера 7, фотодиод 14 установлен с возможностью измерения отраженного от второй кварцевой пластины 4 излучения от источника 1 лазерного излучения и электрически соединен со вторым входом 15 микроконтроллера 7, измерительная головка 5 электрически соединена через последовательно установленные блок преобразования и регистрации 16 и операционный усилитель 6 с третьим входом 17 микроконтроллера 7, выход 18 которого соединен с затвором 2 с возможностью контроля количества пропускаемых им импульсов, причем отклик фотодиода 14 синхронизирован по времени с откликом операционного усилителя (фиг.1, 2).
Источник 1 лазерного излучения предназначен для создания электромагнитных импульсов наносекундной длительности.
В качестве источника 1 лазерного излучения может быть использован импульсный твердотельный лазер марки Opolette HR 2731 (ОРОТЕС Inc., USA).
Затвор 2 предназначен для пропускания нужного количества импульсов лазерного излучения от источника 1 в соответствии с определенной программой, задаваемой и контролируемой микроконтроллером 7, и прерывания лазерного излучения.
В качестве затвора 2 может быть использован оптический затвор NS25B (Uniblitz, США).
Кварцевые пластины 3, 4 предназначены для частичного пропускания и частичного отражения лазерного излучения от источника 1.
В качестве кварцевых пластин 3, 4 могут быть использованы пластины из покупного кварцевого оптического стекла марок KB, КУ-2, КИ с нанесенным слоем пленки никеля.
Измерительная головка 5 лазерного излучения предназначена для измерения энергии импульсов электромагнитного излучения, а также для ослабления излучения с помощью входящих в ее состав ослабителей излучения из стекол НС-6, НС-10 и сетчатых ослабителей.
В качестве измерительной головки 5 лазерного излучения может быть использована измерительная головка ИЛД-2М (Опытный завод «Эталон», г. Волгоград).
Операционный усилитель 6 предназначен для перемены полярности выходного сигнала напряжения.
В качестве операционного усилителя 6 может быть использован усилитель обратной связи по току AD8001.
Микроконтроллер 7 предназначен для преобразования аналогового сигнала в цифровой и контроля затвора 2 программой, пропускающей определенное количество импульсов, задаваемых программой.
В качестве микроконтроллера 7 может быть использован микроконтроллер марки Arduino Uno.
Внешнее устройство 8 предназначено для записи, хранения и обработки данных, полученных с помощью микроконтроллера 7.
В качестве внешнего устройства 8 может быть использован персональный компьютер, поддерживающий операционную систему Windows 10, или сходные системы, например, Acer.
Пироэлектрический датчик 9 измерения лазерной энергии является эталонным измерителем и предназначен для калибровки измерительной головки 5.
В качестве пироэлектрического датчика 9 измерения энергии лазерного излучения может быть использован Ophir Optronics Solutions Ltd., Israel.
Линза 10 предназначена для фокусировки лазерного излучения от источника 1 на поверхности образца 11.
В качестве линзы 10 может быть использована линза, изготовленная из покупного кварцевого оптического стекла марок КВ, КУ-2, КИ, или их аналогов.
Образец 11 предназначен для испытаний воздействия сфокусированным лазерным излучением от источника 1, а также определения размера сфокусированного пятна лазерного излучения, с помощью которого появляется возможность определения плотности энергии.
В качестве образца 11 может быть использован образец, изготовленный из покупного монокристаллического германия ориентации (111).
Измеритель излучения 12 предназначен для отображения и обработки данных об измеренной энергии с пироэлектрического датчика 9 и передачи их по аналоговому каналу на вход 13 микроконтроллера 7.
В качестве измерителя излучения 12 может быть использован измеритель излучения марки NOVA II (Ophir Optronics Solutions Ltd., Israel).
Фотодиод 14 (счетчик импульсов) предназначен для считывания импульсов и синхронизации выводимых данных измерений на монитор персонального компьютера, связывая их с падающим импульсом лазерного излучения на фоточувствительный элемент измерительной головки 5.
В качестве фотодиода 14 может быть использован кремниевый фотодиод ФД-24К.
Блок преобразования и регистрации 16 предназначен для измерения энергии электромагнитного излучения, падающего на измерительную головку 5, преобразования ее в напряжение и передачи через аналоговый выход на операционный усилитель 6.
В качестве блока преобразования и регистрации 16 может быть использован блок преобразования и регистрации ИЛД-2М (Опытный завод «Эталон», г. Волгоград).
Устройство для измерения энергии лазерных импульсов работает следующим образом.
Предварительно осуществляют калибровку по напряжению устройства для измерения энергии лазерных импульсов 5, для чего пироэлектрический датчик 9 измерения лазерной энергии устанавливают после кварцевой пластины 3, а измеритель излучения 12, подключенный к пироэлектрическому датчику 9 измерения лазерной энергии, передает информацию об измеренных импульсах на первый вход 13 микроконтроллера 7 (фиг.2). В итоге, зная, какой энергии импульса соответствует определенное напряжение, сопоставляем напряжение на первом входе 13 микроконтроллера 7 с напряжением на входе 17 микроконтроллера 7 и получаем соответствие напряжения от падающей на устройство для измерения энергии лазерных импульсов 5 энергии.
В рабочем режиме (фиг.1) лазерное излучение от источника 1 проходит через затвор 2, который в соответствии с программой контролируется с помощью микроконтроллера 7 и пропускает определенное количество импульсов в соответствии с заданной программой. Затем лазерное излучение от источника 1 падает на кварцевую пластину 3, которая разделяет излучение на два пучка, один из пучков падает на полупрозрачную кварцевую пластину 4, другой - на линзу 10, фокусирующую лазерное излучение от источника 1 на образце 11. Лазерное излучение от источника 1, проходящее через полупрозрачную пластину 4, попадает, проходя через ослабители излучения, встроенные в измерительную головку 5, на чувствительный элемент измерительной головки 5. Затем оптический сигнал преобразуется в электрический, передается на блок преобразования и регистрации 16, где обрабатывается и передает значение напряжения на операционный усилитель 6, который меняет полярность напряжения и подключен к третьему входу 17 микроконтроллера 7. Отраженное от полупрозрачной кварцевой пластины 4 лазерное излучение от источника 1 попадает на фотодиод 14, который подключен ко второму входу 15 микроконтроллера 7 и является счетчиком импульсов. Микроконтроллер 7 в соответствии заданной программой обрабатывает полученные данные напряжений, контролирует затвор 2 с фотодиодом 14 таким образом, чтобы отклик фотодиода 14 был синхронизирован по времени с откликом операционного усилителя 6, и передает информацию о полученном напряжении с операционного усилителя 6 и измерителя излучения 12 на внешнее устройство 8 (персональный компьютер).
На основании вышеизложенного новый достигаемый технический результат предлагаемого изобретения обеспечивается следующими по сравнению с прототипом техническими преимуществами.
1. Достигается увеличение скорости обработки данных не менее чем на 10% за счет дополнительного введения в устройство для измерения энергии лазерных импульсов микроконтроллера 7 и соответствующей обработки данных, поступающих от микроконтроллера 7, внешним устройством 8 (персональным компьютером).
2. Достигается повышение синхронизации обработки данных не менее чем на 10% за счет микроконтроллера 7 и регулируемого микроконтроллером 7 затвора 2, пропускающего нужное количество импульсов в соответствии с определенной программой.
В настоящее время в Институте электрофизики и электроэнергетики РАН проведены испытания предлагаемого устройства для измерения энергии лазерных импульсов, и на их основе выпущена конструкторская документация на данную систему управления.
Используемые источники
1. Патент RU 2031378, 1995, МКИ G01J 5/58.
2. Патент RU 2605786, 2016, МКИ G01J 1/04, G01J 11/00.

Claims (3)

1. Устройство для измерения энергии лазерных импульсов, содержащее фотодиод, формирующую оптику, включающую ослабитель лазерного излучения, и измерительно-вычислительный блок, включающий усилитель и микропроцессор, отличающееся тем, что усилитель выполнен в виде операционного усилителя, а микропроцессор выполнен в виде микроконтроллера, содержащего аналогово-цифровой преобразователь, аппаратуру связи и канал связи, посредством которых производится передача на внешнее устройство информации о величине измеряемого напряжения, при этом в устройство дополнительно введен пироэлектрический датчик измерения лазерной энергии, установленный с возможностью приема проходящего через первую кварцевую пластину излучения от источника лазерного излучения и электрически соединенный выходом с измерителем излучения, выходом электрически соединенный с первым входом микроконтроллера, формирующая оптика выполнена в виде оптически сопряженных и последовательно установленных затвора, первой и второй кварцевых пластин, обеспечивающих разделение излучения, падающего от источника лазерного излучения, и ослабителя, выполненного в виде измерительной головки лазерного излучения, пластины обеспечивают разделение излучения от лазерного источника и направление отраженного от первой кварцевой пластины и проходящего через вторую кварцевую пластину излучения на измерительную головку, фотодиод установлен с возможностью измерения отраженного от второй кварцевой пластины лазерного излучения и электрически соединен со вторым входом микроконтроллера, измерительная головка электрически соединена через последовательно установленные блок преобразования и регистрации и операционный усилитель с третьим входом микроконтроллера, выход которого соединен с затвором с возможностью его закрытия, причем отклик фотодиода синхронизирован по времени с откликом операционного усилителя.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что внешнее устройство информации выполнено в виде персонального компьютера.
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что пироэлектрический датчик измерения лазерной энергии, установленный с возможностью приема проходящего через первую кварцевую пластину излучения от источника лазерного излучения, дополнительно оптически сопряжен с последовательно установленными линзой и образцом для калибровки устройства для измерения энергии лазерных импульсов.
RU2022122157A 2022-08-16 Устройство для измерения энергии лазерных импульсов RU2800721C1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2800721C1 true RU2800721C1 (ru) 2023-07-26

Family

ID=

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5048969A (en) * 1989-11-20 1991-09-17 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Piezoelectric measurement of laser power
RU2605786C1 (ru) * 2015-09-22 2016-12-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") Широкоапертурное устройство для измерения энергии высокоинтенсивных нано- и пикосекундных лазерных импульсов
RU2626315C2 (ru) * 2016-01-20 2017-07-25 Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") Высокоточное многоканальное устройство для измерения энергии коротких лазерных импульсов
US9874482B2 (en) * 2014-01-24 2018-01-23 Tubitak (Turkiye Bilimsel Ve Teknolojik Arastirma Kurumu) Fiber coupled integrating sphere based-laser energy meter and calibration system (FCIS based—LEMCS) traceable to primary level standards
RU187927U1 (ru) * 2018-05-30 2019-03-25 общество с ограниченной ответственностью "Фотоэлектрические системы" Устройство для измерения параметров импульса лазерного излучения

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5048969A (en) * 1989-11-20 1991-09-17 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Piezoelectric measurement of laser power
US9874482B2 (en) * 2014-01-24 2018-01-23 Tubitak (Turkiye Bilimsel Ve Teknolojik Arastirma Kurumu) Fiber coupled integrating sphere based-laser energy meter and calibration system (FCIS based—LEMCS) traceable to primary level standards
RU2605786C1 (ru) * 2015-09-22 2016-12-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") Широкоапертурное устройство для измерения энергии высокоинтенсивных нано- и пикосекундных лазерных импульсов
RU2626315C2 (ru) * 2016-01-20 2017-07-25 Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") Высокоточное многоканальное устройство для измерения энергии коротких лазерных импульсов
RU187927U1 (ru) * 2018-05-30 2019-03-25 общество с ограниченной ответственностью "Фотоэлектрические системы" Устройство для измерения параметров импульса лазерного излучения

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111443062B (zh) 一种半导体材料瞬态折射率超快检测装置及方法
CN102393383A (zh) 辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置
CN110146410B (zh) 基于差分吸收法的原子密度及布居数的测量装置及方法
CN103018011A (zh) 一种光学可变衰减器透过率测量系统及测量方法
WO2021007782A1 (zh) 一种光腔衰荡光谱仪系统
JP2005043139A (ja) レーザー超音波検査装置および検査方法
CN106769737B (zh) 一种光纤式粉尘浓度测量装置
JP2009544984A (ja) 気体速度センサ
RU2800721C1 (ru) Устройство для измерения энергии лазерных импульсов
CN102589848B (zh) 光学薄膜损伤阈值的测试系统
CN102508225A (zh) 双轴激光遥感仪器地面检测定标系统及检测定标方法
CN205120243U (zh) 一种强激光能量实时监测系统装置
CN106404695B (zh) 分光光度计
CN114235756A (zh) 高精度激光扫描式透射率分布测量装置及测量方法
CN212364068U (zh) 一种半导体材料瞬态折射率超快检测装置
US4068956A (en) Pulsed laser densitometer system
CN105136329B (zh) 一种基于双焦透镜的cars光谱测温实验装置
RU132548U1 (ru) Фотометр пламенный
CN112268860A (zh) 一种双波长飞秒抽运探测热反射系统
RU2808750C1 (ru) Устройство для измерения параметров и характеристик источников излучения
CN110006828B (zh) 一种改进光声光谱痕量气体传感器性能的装置及方法
SU1499122A2 (ru) Устройство контрол угловых перемещений
RU2796527C1 (ru) Комплекс для неразрушающего измерения насыщения поглощения оптических материалов
Bian et al. Low-noise and highly stable optical fiber temperature sensor using modified pulse-reference-based compensation technique
CN104949753A (zh) 一种强激光能量实时监测系统装置