RU2800721C1 - Устройство для измерения энергии лазерных импульсов - Google Patents
Устройство для измерения энергии лазерных импульсов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2800721C1 RU2800721C1 RU2022122157A RU2022122157A RU2800721C1 RU 2800721 C1 RU2800721 C1 RU 2800721C1 RU 2022122157 A RU2022122157 A RU 2022122157A RU 2022122157 A RU2022122157 A RU 2022122157A RU 2800721 C1 RU2800721 C1 RU 2800721C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- radiation
- measuring
- laser
- microcontroller
- energy
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Изобретение относится к оптическому приборостроению, области измерительной техники, к технике и средствам измерения энергии импульсов лазерного излучения. Устройство для измерения энергии лазерных импульсов содержит источник лазерного излучения, формирующую оптику в виде оптически сопряженных и последовательно установленных затвора, первой и второй кварцевых пластин, обеспечивающих разделение излучения от лазерного источника и измерительной головки излучения, отраженного от первой пластины и проходящего через вторую пластину, и измерительно-вычислительный блок, включающий операционный усилитель и микропроцессор в виде микроконтроллера с аналогово-цифровым преобразователем, аппаратуру связи и канал связи, пироэлектрический датчик принимает излучение, проходящее через первую пластину, и соединен с измерителем излучения, соединенным с микроконтроллером, фотодиод принимает излучение, отраженное от второй пластины, и соединен с микроконтроллером, измерительная головка соединена через блок преобразования и регистрации и операционный усилитель с микроконтроллером, соединенным с затвором, контролирующим количество пропускаемых им импульсов. Технический результат - увеличение скорости обработки данных и их синхронизации. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
Предлагаемое изобретение относится к оптическому приборостроению, области измерительной техники и технической физики, в частности, к технике и средствам измерения энергии импульсов лазерного излучения на основе поглощения электромагнитной энергии, а именно: к устройствам для измерения энергии импульсов лазерного излучения, и может быть использовано для измерения энергетических характеристик, например, милли-, микро-, нано-, импульсов лазерного излучения, для измерения энергии в различных областях техники и народного хозяйства, например, в медицине.
Проведение точных измерений энергии лазерных импульсов наносекундной длительности является актуальной задачей при использовании лазеров в различных технологических применениях.
Известно устройство для измерения энергии импульсов электромагнитного излучения, содержащее чувствительный элемент в виде акустического резонатора из пьезоэлектрического кристалла в форме параллелепипеда, установленный между электродами через прокладки из материала со скоростью звука в нем много меньше скорости звука в пьезоэлектрическом кристалле, при этом электроды подключены к усилителю, выполненного с заданной полостью пропускания [1].
Недостатком данного технического решения является то, что данное устройство позволяет подключать как нагрузку только аналоговые внешние индикаторы, но не обладает аналого-цифровым преобразователем, позволяющим передавать полученные данные на цифровые устройства.
Наиболее близким к заявляемому техническому решению (прототипом) является устройство для измерения энергии лазерных импульсов, содержащее источник лазерного излучения, входной ослабитель лазерного излучения, рассеивающую среду в виде диффузно-рассеивающей пластины, канал распространения рассеянного лазерного излучения, сформированный волоконно-оптическим коллектором, ступенчатым ослабителем, спектральным фильтром и нейтральным ослабителем, фотодиод, измерительно-вычислительный блок, причем волоконно-оптический коллектор выполнен в виде набора оптических волокон, заключенных во входную и выходную оправы, расположенных таким образом, что диффузно-рассеивающая пластина отстоит от входной оправы волоконно-оптического коллектора на расстояние 8-10 мм, а выходная оправа содержит дополнительный диффузный рассеиватель из молочного стекла, с возможностью преобразования широкоапертурного лазерного пучка в пучок с размером апертуры, обеспечивающим измерение энергии лазерного пучка фотодиодом [2].
Недостатком данного технического решения является отсутствие синхронизации между фотодиодом и АЦП из-за задержки, которая возникает в амплитудном пиковом детекторе, который хранит информацию об импульсе в течение 100 мкс, а также отсутствие затвора, контролирующего пропускание импульсного лазерного излучения.
Новым достигаемым техническим результатом предлагаемого изобретения является увеличение скорости обработки данных и их синхронизации.
Новый технический результат достигается тем, что в устройстве для измерения энергии лазерных импульсов, содержащем фотодиод, формирующую оптику, включающую ослабитель лазерного излучения, и измерительно-вычислительный блок, включающий усилитель и микропроцессор, в отличие от прототипа, усилитель выполнен в виде операционного усилителя, а микропроцессор выполнен в виде микроконтроллера, содержащего аналогово-цифровой преобразователь, аппаратуру связи и канал связи, посредством которых производится передача на внешнее устройство информации о величине измеряемого напряжения, при этом в устройство дополнительно введен пироэлектрический датчик измерения лазерной энергии, установленный с возможностью приема проходящего через первую кварцевую пластину излучения от источника лазерного излучения и электрически соединенный выходом с измерителем излучения, выходом электрически соединенный с первым входом микроконтроллера, формирующая оптика выполнена в виде оптически сопряженных и последовательно установленных затвора, первой и второй кварцевых пластин, обеспечивающих разделение излучения, падающего от источника лазерного излучения, и ослабителя, выполненного в виде измерительной головки лазерного излучения, пластины обеспечивают разделение излучения от лазерного источника и направление отраженного от первой кварцевой пластины и проходящего через вторую кварцевую пластину излучения на измерительную головку, фотодиод установлен с возможностью измерения отраженного от второй кварцевой пластины лазерного излучения и электрически соединен со вторым входом микроконтроллера, измерительная головка электрически соединена через последовательно установленные блок преобразования и регистрации и операционный усилитель с третьим входом микроконтроллера, выход которого соединен с затвором с возможностью его закрытия, причем отклик фотодиода синхронизирован по времени с откликом операционного усилителя.
Внешнее устройство информации может быть выполнено в виде персонального компьютера.
Пироэлектрический датчик измерения лазерной энергии, установленный с возможностью приема проходящего через первую кварцевую пластину излучения от источника лазерного излучения, дополнительно может быть оптически сопряжен с последовательно установленными линзой и образцом для калибровки устройства для измерения энергии лазерных импульсов.
На фиг.1, 2 представлена принципиальная схема устройства для измерения энергии лазерных импульсов.
Устройство для измерения энергии лазерных импульсов, содержащее источник 1 лазерного излучения, формирующую оптику в виде оптически сопряженных и последовательно установленных затвора 2, первой и второй кварцевых пластин 3, 4, обеспечивающих разделение излучения, падающего от источника 1 лазерного излучения, и измерительной головки 5 лазерного излучения, отраженного от первой кварцевой пластины 3 и проходящего через вторую кварцевую пластину 4, и измерительно-вычислительный блок, включающий операционный усилитель 6 и микропроцессор в виде микроконтроллера 7, содержащего аналогово-цифровой преобразователь, аппаратуру связи и канал связи, посредством которых производится передача на внешнее устройство 8 информации о величине измеряемого напряжения, при этом пироэлектрический датчик 9 измерения лазерной энергии установлен с возможностью приема проходящего через первую кварцевую пластину 3 излучения от источника 1 лазерного излучения, оптически сопряжен с последовательно установленными линзой 10 и образцом 11, и электрически соединен выходом с измерителем излучения 12, выходом электрически соединенного с первым входом 13 микроконтроллера 7, фотодиод 14 установлен с возможностью измерения отраженного от второй кварцевой пластины 4 излучения от источника 1 лазерного излучения и электрически соединен со вторым входом 15 микроконтроллера 7, измерительная головка 5 электрически соединена через последовательно установленные блок преобразования и регистрации 16 и операционный усилитель 6 с третьим входом 17 микроконтроллера 7, выход 18 которого соединен с затвором 2 с возможностью контроля количества пропускаемых им импульсов, причем отклик фотодиода 14 синхронизирован по времени с откликом операционного усилителя (фиг.1, 2).
Источник 1 лазерного излучения предназначен для создания электромагнитных импульсов наносекундной длительности.
В качестве источника 1 лазерного излучения может быть использован импульсный твердотельный лазер марки Opolette HR 2731 (ОРОТЕС Inc., USA).
Затвор 2 предназначен для пропускания нужного количества импульсов лазерного излучения от источника 1 в соответствии с определенной программой, задаваемой и контролируемой микроконтроллером 7, и прерывания лазерного излучения.
В качестве затвора 2 может быть использован оптический затвор NS25B (Uniblitz, США).
Кварцевые пластины 3, 4 предназначены для частичного пропускания и частичного отражения лазерного излучения от источника 1.
В качестве кварцевых пластин 3, 4 могут быть использованы пластины из покупного кварцевого оптического стекла марок KB, КУ-2, КИ с нанесенным слоем пленки никеля.
Измерительная головка 5 лазерного излучения предназначена для измерения энергии импульсов электромагнитного излучения, а также для ослабления излучения с помощью входящих в ее состав ослабителей излучения из стекол НС-6, НС-10 и сетчатых ослабителей.
В качестве измерительной головки 5 лазерного излучения может быть использована измерительная головка ИЛД-2М (Опытный завод «Эталон», г. Волгоград).
Операционный усилитель 6 предназначен для перемены полярности выходного сигнала напряжения.
В качестве операционного усилителя 6 может быть использован усилитель обратной связи по току AD8001.
Микроконтроллер 7 предназначен для преобразования аналогового сигнала в цифровой и контроля затвора 2 программой, пропускающей определенное количество импульсов, задаваемых программой.
В качестве микроконтроллера 7 может быть использован микроконтроллер марки Arduino Uno.
Внешнее устройство 8 предназначено для записи, хранения и обработки данных, полученных с помощью микроконтроллера 7.
В качестве внешнего устройства 8 может быть использован персональный компьютер, поддерживающий операционную систему Windows 10, или сходные системы, например, Acer.
Пироэлектрический датчик 9 измерения лазерной энергии является эталонным измерителем и предназначен для калибровки измерительной головки 5.
В качестве пироэлектрического датчика 9 измерения энергии лазерного излучения может быть использован Ophir Optronics Solutions Ltd., Israel.
Линза 10 предназначена для фокусировки лазерного излучения от источника 1 на поверхности образца 11.
В качестве линзы 10 может быть использована линза, изготовленная из покупного кварцевого оптического стекла марок КВ, КУ-2, КИ, или их аналогов.
Образец 11 предназначен для испытаний воздействия сфокусированным лазерным излучением от источника 1, а также определения размера сфокусированного пятна лазерного излучения, с помощью которого появляется возможность определения плотности энергии.
В качестве образца 11 может быть использован образец, изготовленный из покупного монокристаллического германия ориентации (111).
Измеритель излучения 12 предназначен для отображения и обработки данных об измеренной энергии с пироэлектрического датчика 9 и передачи их по аналоговому каналу на вход 13 микроконтроллера 7.
В качестве измерителя излучения 12 может быть использован измеритель излучения марки NOVA II (Ophir Optronics Solutions Ltd., Israel).
Фотодиод 14 (счетчик импульсов) предназначен для считывания импульсов и синхронизации выводимых данных измерений на монитор персонального компьютера, связывая их с падающим импульсом лазерного излучения на фоточувствительный элемент измерительной головки 5.
В качестве фотодиода 14 может быть использован кремниевый фотодиод ФД-24К.
Блок преобразования и регистрации 16 предназначен для измерения энергии электромагнитного излучения, падающего на измерительную головку 5, преобразования ее в напряжение и передачи через аналоговый выход на операционный усилитель 6.
В качестве блока преобразования и регистрации 16 может быть использован блок преобразования и регистрации ИЛД-2М (Опытный завод «Эталон», г. Волгоград).
Устройство для измерения энергии лазерных импульсов работает следующим образом.
Предварительно осуществляют калибровку по напряжению устройства для измерения энергии лазерных импульсов 5, для чего пироэлектрический датчик 9 измерения лазерной энергии устанавливают после кварцевой пластины 3, а измеритель излучения 12, подключенный к пироэлектрическому датчику 9 измерения лазерной энергии, передает информацию об измеренных импульсах на первый вход 13 микроконтроллера 7 (фиг.2). В итоге, зная, какой энергии импульса соответствует определенное напряжение, сопоставляем напряжение на первом входе 13 микроконтроллера 7 с напряжением на входе 17 микроконтроллера 7 и получаем соответствие напряжения от падающей на устройство для измерения энергии лазерных импульсов 5 энергии.
В рабочем режиме (фиг.1) лазерное излучение от источника 1 проходит через затвор 2, который в соответствии с программой контролируется с помощью микроконтроллера 7 и пропускает определенное количество импульсов в соответствии с заданной программой. Затем лазерное излучение от источника 1 падает на кварцевую пластину 3, которая разделяет излучение на два пучка, один из пучков падает на полупрозрачную кварцевую пластину 4, другой - на линзу 10, фокусирующую лазерное излучение от источника 1 на образце 11. Лазерное излучение от источника 1, проходящее через полупрозрачную пластину 4, попадает, проходя через ослабители излучения, встроенные в измерительную головку 5, на чувствительный элемент измерительной головки 5. Затем оптический сигнал преобразуется в электрический, передается на блок преобразования и регистрации 16, где обрабатывается и передает значение напряжения на операционный усилитель 6, который меняет полярность напряжения и подключен к третьему входу 17 микроконтроллера 7. Отраженное от полупрозрачной кварцевой пластины 4 лазерное излучение от источника 1 попадает на фотодиод 14, который подключен ко второму входу 15 микроконтроллера 7 и является счетчиком импульсов. Микроконтроллер 7 в соответствии заданной программой обрабатывает полученные данные напряжений, контролирует затвор 2 с фотодиодом 14 таким образом, чтобы отклик фотодиода 14 был синхронизирован по времени с откликом операционного усилителя 6, и передает информацию о полученном напряжении с операционного усилителя 6 и измерителя излучения 12 на внешнее устройство 8 (персональный компьютер).
На основании вышеизложенного новый достигаемый технический результат предлагаемого изобретения обеспечивается следующими по сравнению с прототипом техническими преимуществами.
1. Достигается увеличение скорости обработки данных не менее чем на 10% за счет дополнительного введения в устройство для измерения энергии лазерных импульсов микроконтроллера 7 и соответствующей обработки данных, поступающих от микроконтроллера 7, внешним устройством 8 (персональным компьютером).
2. Достигается повышение синхронизации обработки данных не менее чем на 10% за счет микроконтроллера 7 и регулируемого микроконтроллером 7 затвора 2, пропускающего нужное количество импульсов в соответствии с определенной программой.
В настоящее время в Институте электрофизики и электроэнергетики РАН проведены испытания предлагаемого устройства для измерения энергии лазерных импульсов, и на их основе выпущена конструкторская документация на данную систему управления.
Используемые источники
1. Патент RU 2031378, 1995, МКИ G01J 5/58.
2. Патент RU 2605786, 2016, МКИ G01J 1/04, G01J 11/00.
Claims (3)
1. Устройство для измерения энергии лазерных импульсов, содержащее фотодиод, формирующую оптику, включающую ослабитель лазерного излучения, и измерительно-вычислительный блок, включающий усилитель и микропроцессор, отличающееся тем, что усилитель выполнен в виде операционного усилителя, а микропроцессор выполнен в виде микроконтроллера, содержащего аналогово-цифровой преобразователь, аппаратуру связи и канал связи, посредством которых производится передача на внешнее устройство информации о величине измеряемого напряжения, при этом в устройство дополнительно введен пироэлектрический датчик измерения лазерной энергии, установленный с возможностью приема проходящего через первую кварцевую пластину излучения от источника лазерного излучения и электрически соединенный выходом с измерителем излучения, выходом электрически соединенный с первым входом микроконтроллера, формирующая оптика выполнена в виде оптически сопряженных и последовательно установленных затвора, первой и второй кварцевых пластин, обеспечивающих разделение излучения, падающего от источника лазерного излучения, и ослабителя, выполненного в виде измерительной головки лазерного излучения, пластины обеспечивают разделение излучения от лазерного источника и направление отраженного от первой кварцевой пластины и проходящего через вторую кварцевую пластину излучения на измерительную головку, фотодиод установлен с возможностью измерения отраженного от второй кварцевой пластины лазерного излучения и электрически соединен со вторым входом микроконтроллера, измерительная головка электрически соединена через последовательно установленные блок преобразования и регистрации и операционный усилитель с третьим входом микроконтроллера, выход которого соединен с затвором с возможностью его закрытия, причем отклик фотодиода синхронизирован по времени с откликом операционного усилителя.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что внешнее устройство информации выполнено в виде персонального компьютера.
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что пироэлектрический датчик измерения лазерной энергии, установленный с возможностью приема проходящего через первую кварцевую пластину излучения от источника лазерного излучения, дополнительно оптически сопряжен с последовательно установленными линзой и образцом для калибровки устройства для измерения энергии лазерных импульсов.
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2800721C1 true RU2800721C1 (ru) | 2023-07-26 |
Family
ID=
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5048969A (en) * | 1989-11-20 | 1991-09-17 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Piezoelectric measurement of laser power |
RU2605786C1 (ru) * | 2015-09-22 | 2016-12-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") | Широкоапертурное устройство для измерения энергии высокоинтенсивных нано- и пикосекундных лазерных импульсов |
RU2626315C2 (ru) * | 2016-01-20 | 2017-07-25 | Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") | Высокоточное многоканальное устройство для измерения энергии коротких лазерных импульсов |
US9874482B2 (en) * | 2014-01-24 | 2018-01-23 | Tubitak (Turkiye Bilimsel Ve Teknolojik Arastirma Kurumu) | Fiber coupled integrating sphere based-laser energy meter and calibration system (FCIS based—LEMCS) traceable to primary level standards |
RU187927U1 (ru) * | 2018-05-30 | 2019-03-25 | общество с ограниченной ответственностью "Фотоэлектрические системы" | Устройство для измерения параметров импульса лазерного излучения |
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5048969A (en) * | 1989-11-20 | 1991-09-17 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Piezoelectric measurement of laser power |
US9874482B2 (en) * | 2014-01-24 | 2018-01-23 | Tubitak (Turkiye Bilimsel Ve Teknolojik Arastirma Kurumu) | Fiber coupled integrating sphere based-laser energy meter and calibration system (FCIS based—LEMCS) traceable to primary level standards |
RU2605786C1 (ru) * | 2015-09-22 | 2016-12-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") | Широкоапертурное устройство для измерения энергии высокоинтенсивных нано- и пикосекундных лазерных импульсов |
RU2626315C2 (ru) * | 2016-01-20 | 2017-07-25 | Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") | Высокоточное многоканальное устройство для измерения энергии коротких лазерных импульсов |
RU187927U1 (ru) * | 2018-05-30 | 2019-03-25 | общество с ограниченной ответственностью "Фотоэлектрические системы" | Устройство для измерения параметров импульса лазерного излучения |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111443062B (zh) | 一种半导体材料瞬态折射率超快检测装置及方法 | |
CN102393383A (zh) | 辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置 | |
CN110146410B (zh) | 基于差分吸收法的原子密度及布居数的测量装置及方法 | |
CN103018011A (zh) | 一种光学可变衰减器透过率测量系统及测量方法 | |
WO2021007782A1 (zh) | 一种光腔衰荡光谱仪系统 | |
JP2005043139A (ja) | レーザー超音波検査装置および検査方法 | |
CN106769737B (zh) | 一种光纤式粉尘浓度测量装置 | |
JP2009544984A (ja) | 気体速度センサ | |
RU2800721C1 (ru) | Устройство для измерения энергии лазерных импульсов | |
CN102589848B (zh) | 光学薄膜损伤阈值的测试系统 | |
CN102508225A (zh) | 双轴激光遥感仪器地面检测定标系统及检测定标方法 | |
CN205120243U (zh) | 一种强激光能量实时监测系统装置 | |
CN106404695B (zh) | 分光光度计 | |
CN114235756A (zh) | 高精度激光扫描式透射率分布测量装置及测量方法 | |
CN212364068U (zh) | 一种半导体材料瞬态折射率超快检测装置 | |
US4068956A (en) | Pulsed laser densitometer system | |
CN105136329B (zh) | 一种基于双焦透镜的cars光谱测温实验装置 | |
RU132548U1 (ru) | Фотометр пламенный | |
CN112268860A (zh) | 一种双波长飞秒抽运探测热反射系统 | |
RU2808750C1 (ru) | Устройство для измерения параметров и характеристик источников излучения | |
CN110006828B (zh) | 一种改进光声光谱痕量气体传感器性能的装置及方法 | |
SU1499122A2 (ru) | Устройство контрол угловых перемещений | |
RU2796527C1 (ru) | Комплекс для неразрушающего измерения насыщения поглощения оптических материалов | |
Bian et al. | Low-noise and highly stable optical fiber temperature sensor using modified pulse-reference-based compensation technique | |
CN104949753A (zh) | 一种强激光能量实时监测系统装置 |