RU2780804C1 - Microwave absorption structural element - Google Patents

Microwave absorption structural element Download PDF

Info

Publication number
RU2780804C1
RU2780804C1 RU2021124100A RU2021124100A RU2780804C1 RU 2780804 C1 RU2780804 C1 RU 2780804C1 RU 2021124100 A RU2021124100 A RU 2021124100A RU 2021124100 A RU2021124100 A RU 2021124100A RU 2780804 C1 RU2780804 C1 RU 2780804C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
silicon
diamond
structural element
carbide
structural
Prior art date
Application number
RU2021124100A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Константинович Гордеев
Светлана Борисовна Корчагина
Евгений Александрович Серов
Владимир Владимирович Паршин
Владимир Евгеньевич Запевалов
Original Assignee
Акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт материалов" (АО "ЦНИИМ")
Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт материалов" (АО "ЦНИИМ"), Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) filed Critical Акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт материалов" (АО "ЦНИИМ")
Application granted granted Critical
Publication of RU2780804C1 publication Critical patent/RU2780804C1/en

Links

Abstract

FIELD: electrical engineering.
SUBSTANCE: invention relates to the field of electrical engineering, namely, to structural elements made of a carbide silicon diamond material, intended for high-frequency appliances, and can be used to increase the efficiency of high-power appliances, such as gyrotrons. The technical result is achieved by the material having the following composition, % vol.: diamond 40 to 75, silicon carbide 20 to 50, silicon 2 to 15. The proposed element made of a carbide silicon diamond material also has a structural bending strength of 200 to 300 MPa and an elasticity modulus of 550 to 800 GPa, as well as paramagnetic properties and electrical conductivity. The high heat conductivity coefficient of the material of the structural element made in the form of a plate with a 2 to 20 mm thickness or in the form of a body of rotation with a 2 to 20 mm wall thickness ensures effective transfer of heat released on the microwave-irradiated surface of the element to the body of the apparatus wherein the element is secured, thereby preventing the overheating and destruction of the element.
EFFECT: increase in the efficiency of microwave absorption in combination with high heat conductivity of the material.
3 cl, 3 ex

Description

Изобретение относится к области конструктивных элементов высокочастотных приборов и может быть использовано для повышения эффективности мощных приборов, например гиротронов.The invention relates to the field of structural elements of high-frequency devices and can be used to improve the efficiency of powerful devices, such as gyrotrons.

В некоторых узлах высокочастотных приборов требуется поглощение микроволн специальными элементами конструкции. При этом, в связи с использованием в приборе сильных магнитных полей, элементы-поглотители могут быть изготовлены только из парамагнитных (или диамагнитных) материалов. Поглощение микроволн конструктивными элементами-поглотителями сопровождается их нагревом, поэтому предпочтительно использование элементов из материала, имеющего высокую теплопроводность, обеспечивающую эффективную передачу тепла к системам охлаждения прибора. Кроме того, желательно, чтобы такие элементы обладали электропроводностью для снятия накапливаемого ими в ходе работы электрического заряда.In some nodes of high-frequency devices, the absorption of microwaves by special structural elements is required. At the same time, due to the use of strong magnetic fields in the device, absorbing elements can only be made from paramagnetic (or diamagnetic) materials. The absorption of microwaves by structural elements-absorbers is accompanied by their heating, therefore, it is preferable to use elements made of a material with high thermal conductivity, which ensures efficient heat transfer to the cooling systems of the device. In addition, it is desirable that such elements have electrical conductivity to remove the electrical charge accumulated by them during operation.

Примером узлов, в которых требуется использование элементов, поглощающих микроволны, является участок транспортировки электронного пучка от электронной пушки в зону резонатора в СВЧ-приборах пролетного типа, например, в гиротронах. Такой участок называют пролетным каналом потока электронов (используют также термины - beam tunnel, канал дрейфа). При движении электронов по пролетному каналу в СВЧ-приборах возможно самовозбуждение «паразитных» высокочастотных излучений. Часть формирующейся волновой мощности передается в сторону электронной пушки прибора, что приводит к ухудшению качества электронного пучка, снижению коэффициента полезного действия прибора, а также может привести к электрическим пробоям и даже повреждению катода электронной пушки. Такие негативные явления проявляются в большей степени в СВЧ-приборах высокой мощности и требуют подавления, т.е. поглощения «паразитных» излучений, для повышения эффективности СВЧ-прибора. Аналогичные проблемы возникают в пролетных каналах (каналах дрейфа) между резонаторами в других СВЧ-приборах пролетного типа, например, гироклистронах.An example of nodes that require the use of elements that absorb microwaves is the section for transporting an electron beam from an electron gun to the cavity zone in microwave devices of the transit type, for example, in gyrotrons. Such a section is called a span channel of the electron flow (they also use the terms beam tunnel, drift channel). When electrons move along a transit channel in microwave devices, self-excitation of "spurious" high-frequency radiation is possible. Part of the generated wave power is transferred towards the electron gun of the device, which leads to a deterioration in the quality of the electron beam, a decrease in the efficiency of the device, and can also lead to electrical breakdowns and even damage to the cathode of the electron gun. Such negative phenomena manifest themselves to a greater extent in high-power microwave devices and require suppression, i.e. absorption of "spurious" radiation, to improve the efficiency of the microwave device. Similar problems arise in transit channels (drift channels) between resonators in other transit-type microwave devices, for example, gyroklystrons.

Известен конструктивный элемент для поглощения микроволн, описанный в публикации Н. Shoyama et.al. High-efficiency oscillation of 170 GHz high-power gyrotron at ТЕ31,8 mode using depressed collector / Jpn. J. Appl. Phys., vol. 40 (2001) pp. L906 - L908, который авторы выбрали в качестве ближайшего аналога. Для поглощения микроволн в известном техническом решении использован конструктивный элемент, изготовленный из карбида кремния. Такой элемент применен авторами известного технического решения в пролетном канале мощного гиротрона.Known structural element for absorbing microwaves, described in the publication H. Shoyama et.al. High-efficiency oscillation of 170 GHz high-power gyrotron at TE31.8 mode using depressed collector / Jpn. J. Appl. Phys., vol. 40 (2001) pp. L906 - L908, which the authors chose as the closest analogue. To absorb microwaves in the known technical solution, a structural element made of silicon carbide is used. Such an element is used by the authors of a well-known technical solution in the transit channel of a powerful gyrotron.

Недостатком известного технического решения является недостаточно высокий уровень поглощения микроволн элементом из карбида кремния, а также недостаточно высокая теплопроводность карбида кремния, необходимая для предотвращения перегрева элемента и узла, в котором он используется, в целом.The disadvantage of the known technical solution is the insufficiently high level of absorption of microwaves by the silicon carbide element, as well as the insufficiently high thermal conductivity of silicon carbide, which is necessary to prevent overheating of the element and the assembly in which it is used as a whole.

Задачей изобретения является создание конструктивного элемента, эффективно поглощающего микроволны в сочетании с его высокой теплопроводностью.The objective of the invention is to create a structural element that effectively absorbs microwaves in combination with its high thermal conductivity.

Технический результат достигается тем, что конструктивный элемент для поглощения микроволн выполнен из алмазокарбидокремниевого материала, имеющего состав: алмаз - 40-75% об., карбид кремния - 20-50% об., кремний - 2-15% об.The technical result is achieved by the fact that the structural element for absorbing microwaves is made of diamond-carbide-silicon material having the following composition: diamond - 40-75% vol., silicon carbide - 20-50% vol., silicon - 2-15% vol.

При содержании в алмазокарбидокремниевом материале алмаза менее 40% об. и содержании кремния более 15% об. коэффициент теплопроводности материала ниже 300 Вт/(м⋅К), что снижает эффективность его применения. Получение материала с содержанием алмаза более 75% об. и с содержанием кремния менее 2% об. технологически сложно.When the content of diamond in the diamond-carbide-silicon material is less than 40% vol. and a silicon content of more than 15% vol. the thermal conductivity of the material is below 300 W/(m⋅K), which reduces the efficiency of its application. Obtaining material with a diamond content of more than 75% vol. and with a silicon content of less than 2% vol. technologically difficult.

Предпочтительно, чтобы конструктивный элемент был выполнен в виде пластины толщиной 2-20 мм. Такая толщина элемента хорошо сочетает конструкционную прочность и тепловое сопротивление элемента.Preferably, the structural element is made in the form of a plate with a thickness of 2-20 mm. This thickness of the element well combines the structural strength and thermal resistance of the element.

Предпочтительно, чтобы конструктивный элемент был выполнен в виде тела вращения с толщиной стенки 2-20 мм. Такая толщина элемента хорошо сочетает конструкционную прочность и тепловое сопротивление элемента.Preferably, the structural element is made in the form of a body of revolution with a wall thickness of 2-20 mm. This thickness of the element well combines the structural strength and thermal resistance of the element.

Предлагаемый конструктивный элемент для поглощения микроволн может быть использован в различных высокочастотных приборах, в том числе в приборах высокой мощности. Конкретные размеры и форма заявляемого конструктивного элемента для поглощения микроволн в этом случае зависят от соответствующих конструктивных особенностей устройств, в которых использован. Например, конструкционный элемент в виде усеченного конуса с внутренним сквозным отверстием по оси конуса может быть использован в качестве вставки в корпус пролетного канала гиротрона.The proposed structural element for absorbing microwaves can be used in various high-frequency devices, including high-power devices. The specific dimensions and shape of the proposed structural element for absorbing microwaves in this case depend on the respective design features of the devices in which it is used. For example, a structural element in the form of a truncated cone with an internal through hole along the axis of the cone can be used as an insert into the housing of the gyrotron flight channel.

Алмазокарбидокремниевый материал, из которого изготовлен конструктивный элемент для поглощения микроволн в предлагаемом техническом решении, обладает высокой поглощающей способностью по отношению к микроволнам и имеет коэффициент теплопроводности от 400 до 600 Вт/(м⋅К). Большой коэффициент теплопроводности материала элемента обеспечивает эффективную теплопередачу тепла, выделяющегося на облучаемой микроволнами поверхности элемента, на корпус устройства в котором закреплен элемент, что препятствует перегреву элемента и его разрушению.The diamond-silicon-carbide material from which the structural element for absorbing microwaves in the proposed technical solution is made has a high absorption capacity with respect to microwaves and has a thermal conductivity coefficient of 400 to 600 W/(m⋅K). The high coefficient of thermal conductivity of the element material ensures efficient heat transfer of the heat generated on the element surface irradiated by microwaves to the device case in which the element is fixed, which prevents the element from overheating and its destruction.

Алмазокарбидокремниевый материал, из которого изготовлен конструктивный элемент для поглощения микроволн в предлагаемом техническом решении, обладает парамагнитными свойствами и имеет удельное электрическое сопротивление 0,01-10 Ом⋅м. Предлагаемый конструктивный элемент обладает конструкционной прочностью - алмазокарбидокремниевый материал характеризуется пределом прочности при изгибе 200-300 МПа и модулем упругости 550-800 ГПа.The diamond-silicon-carbide material from which the structural element for absorbing microwaves in the proposed technical solution is made has paramagnetic properties and has an electrical resistivity of 0.01-10 Ohm⋅m. The proposed structural element has structural strength - diamond-carbide-silicon material is characterized by a flexural strength of 200-300 MPa and an elastic modulus of 550-800 GPa.

Высокая поглощающая способность по отношению к микроволнам алмазокарбидокремниевого материала обусловлена его структурой, которая сформирована из алмазных зерен, связанных матрицей из карбида кремния и кремния. Сочетание в материале диэлектрических алмазных частиц и двух типов полупроводников (карбида кремния и кремния), как показывают эксперименты, обеспечивает высокую эффективность при поглощении микроволн, которая в 1,5-2 раза выше, чем у карбида кремния, не содержащего зерна алмаза и описанного в ближайшем аналоге.The high microwave absorption capacity of the diamond-silicon-carbide material is due to its structure, which is formed from diamond grains bonded by a matrix of silicon carbide and silicon. The combination of dielectric diamond particles and two types of semiconductors (silicon carbide and silicon) in the material, as experiments show, provides high efficiency in the absorption of microwaves, which is 1.5-2 times higher than that of silicon carbide, which does not contain diamond grains and is described in closest analogue.

При использовании конструктивный элемент устанавливают в корпус высокочастотного прибора и закрепляют. При необходимости подают в пазы корпуса охлаждающую жидкость, которая может контактировать с конструктивным элементом для повышения теплоотдачи от элемента к охлаждающей жидкости. При работе прибора элемент обеспечивает эффективное поглощение микроволн, а выделившееся при этом тепло передается на корпус прибора или непосредственно к охлаждающей жидкости и рассеивается.When used, the structural element is installed in the housing of the high-frequency device and fixed. If necessary, coolant is fed into the grooves of the body, which can contact the structural element to increase heat transfer from the element to the coolant. During the operation of the device, the element provides effective absorption of microwaves, and the heat released in this case is transferred to the body of the device or directly to the coolant and dissipated.

Следующие примеры поясняют сущность предлагаемого изобретения.The following examples explain the essence of the invention.

Пример 1. Конструктивный элемент в виде пластины размером 62×62×2 мм, выполненный из алмазокарбидокремниевого материала состава: алмаз - 70% об., карбид кремния - 25% об., кремний - 5% об. Материал конструктивного элемента имеет коэффициент теплопроводности 600 Вт/(м⋅К). Измерение поглощения микроволн конструктивным элементом осуществлен резонаторным спектрометром на основе квазиоптического резонатора Фабри - Перо. Потери на поглощение при частоте микроволн 170 ГГц составили 0,16, а при частотах 110 ГГц и 210 ГГц 0,14 и 0,18, соответственно.Example 1. Structural element in the form of a plate measuring 62×62×2 mm, made of diamond-silicon-carbide material composition: diamond - 70% vol., silicon carbide - 25% vol., silicon - 5% vol. The material of the structural element has a thermal conductivity coefficient of 600 W/(m⋅K). The measurement of microwave absorption by a structural element was carried out by a resonator spectrometer based on a quasi-optical Fabry-Perot resonator. The absorption loss at a microwave frequency of 170 GHz was 0.16, and at frequencies of 110 GHz and 210 GHz it was 0.14 and 0.18, respectively.

Пример 2. Конструктивный элемент в виде пластины диаметром 60 мм и толщиной 2 мм, выполненный из алмазокарбидокремниевого материала состава: алмаз - 40% об., карбид кремния - 48% об., кремний - 12% об. Материал конструктивного элемента имеет коэффициент теплопроводности 450 Вт/(м⋅К). Измерение поглощения микроволн конструктивным элементом осуществлен резонаторным спектрометром на основе квазиоптического резонатора Фабри - Перо. Потери на поглощение при частоте микроволн 170 ГГц составили 0,13, а при частотах 110 ГГц и 210 ГГц 0,11 и 0,14, соответственно.Example 2. Structural element in the form of a plate with a diameter of 60 mm and a thickness of 2 mm, made of diamond-silicon-carbide material composition: diamond - 40% vol., silicon carbide - 48% vol., silicon - 12% vol. The material of the structural element has a thermal conductivity coefficient of 450 W/(m⋅K). The measurement of microwave absorption by a structural element was carried out by a resonator spectrometer based on a quasi-optical Fabry-Perot resonator. The absorption loss at a microwave frequency of 170 GHz was 0.13, and at frequencies of 110 GHz and 210 GHz it was 0.11 and 0.14, respectively.

Пример 3. Элемент в виде пластины размером 50×50×3 мм, выполнен из спеченного карбида кремния. Материал элемента имеет коэффициент теплопроводности 150 Вт/(м⋅К). Измерение поглощения микроволн конструктивным элементом осуществлен резонаторным спектрометром на основе квазиоптического резонатора Фабри - Перо. Потери на поглощение при частоте микроволн 170 ГГц составили 0,08.Example 3. An element in the form of a plate with a size of 50×50×3 mm, made of sintered silicon carbide. The element material has a thermal conductivity of 150 W/(m⋅K). The measurement of microwave absorption by a structural element was carried out by a resonator spectrometer based on a quasi-optical Fabry-Perot resonator. The absorption loss at a microwave frequency of 170 GHz was 0.08.

Таким образом, реализация предлагаемого технического решения позволяет создать конструктивный элемент для поглощения микроволн, эффективно поглощающего микроволны в сочетании с его высокой теплопроводностью. Предлагаемый элемент обладает конструкционной прочность, парамагнитными свойствами и электропроводностью.Thus, the implementation of the proposed technical solution makes it possible to create a structural element for absorbing microwaves, effectively absorbing microwaves in combination with its high thermal conductivity. The proposed element has structural strength, paramagnetic properties and electrical conductivity.

Claims (3)

1. Конструктивный элемент для поглощения микроволн из материала на основе карбида кремния, отличающийся тем, что он выполнен из алмазокарбидокремниевого материала, имеющего состав: алмаз - 40-75% об., карбид кремния - 20-50% об., кремний - 2-15% об.1. A structural element for absorbing microwaves from a material based on silicon carbide, characterized in that it is made of a diamond-carbide-silicon material having the composition: diamond - 40-75% vol., silicon carbide - 20-50% vol., silicon - 2- 15% vol. 2. Конструктивный элемент по п. 1, отличающийся тем, что элемент выполнен в виде пластины толщиной 2-20 мм.2. Structural element according to claim 1, characterized in that the element is made in the form of a plate with a thickness of 2-20 mm. 3. Конструктивный элемент по п. 1, отличающийся тем, что элемент выполнен в виде тела вращения с толщиной стенки 2-20 мм.3. Structural element according to claim 1, characterized in that the element is made in the form of a body of revolution with a wall thickness of 2-20 mm.
RU2021124100A 2021-08-10 Microwave absorption structural element RU2780804C1 (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2780804C1 true RU2780804C1 (en) 2022-10-04

Family

ID=

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2132268C1 (en) * 1997-09-05 1999-06-27 Акционерное общество закрытого типа "Карбид" Process of manufacture of abrasive grains
RU2270821C2 (en) * 2000-11-21 2006-02-27 Скелетон Текнолоджиз Аг Heat-conducting material
CN103779154A (en) * 2014-01-10 2014-05-07 中国电子科技集团公司第十二研究所 Diamond energy transmission window sheet for terahertz-band vacuum device and manufacturing method thereof
RU2647487C1 (en) * 2016-09-21 2018-03-16 Общество С Ограниченной Ответственностью "Твинн" Electronic sealed-off gun for electron stream discharge from the vacuum region of the gun to atmosphere or other gas medium
CN108389766A (en) * 2018-03-01 2018-08-10 电子科技大学 A kind of micro-strip period meander-line slow wave structure

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2132268C1 (en) * 1997-09-05 1999-06-27 Акционерное общество закрытого типа "Карбид" Process of manufacture of abrasive grains
RU2270821C2 (en) * 2000-11-21 2006-02-27 Скелетон Текнолоджиз Аг Heat-conducting material
CN103779154A (en) * 2014-01-10 2014-05-07 中国电子科技集团公司第十二研究所 Diamond energy transmission window sheet for terahertz-band vacuum device and manufacturing method thereof
RU2647487C1 (en) * 2016-09-21 2018-03-16 Общество С Ограниченной Ответственностью "Твинн" Electronic sealed-off gun for electron stream discharge from the vacuum region of the gun to atmosphere or other gas medium
CN108389766A (en) * 2018-03-01 2018-08-10 电子科技大学 A kind of micro-strip period meander-line slow wave structure

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
H. Shoyama et al., High-efficiency oscillation of 170 GHz high-power gyrotron at ТЕ31,8 mode using depressed collector / Jpn. J. Appl. Phys., vol. 40 (2001) pp. L906 - L908, стр.1-6, далее D1, стр.4. С. Катаев и др. Алмаз-карбидный композиционный материал "Скелетон" для теплоотводов в изделиях электронной техники., ж-л Электроника, 3, 2011, стр.60-64, табл.1-3. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3315121A (en) Crossed-field electric discharge device
Calame et al. Applications of advanced materials technologies to vacuum electronic devices
Wang et al. Theory and experiment investigate of a 400-kW Ku-band gyro-TWT with mode selective loss loading structure
CA1078962A (en) Magnetron slot mode absorber
US3749962A (en) Traveling wave tube with heat pipe cooling
RU2780804C1 (en) Microwave absorption structural element
US3360679A (en) Electron discharge device having lossy resonant elements disposed within the electromagnetic field pattern of the slow-wave circuit
US3346766A (en) Microwave cold cathode magnetron with internal magnet
US3471739A (en) High frequency electron discharge device having an improved depressed collector
US3670197A (en) Delay line structure for traveling wave devices
JPH0129839Y2 (en)
EP0604490A1 (en) Amplifier
US3227915A (en) Fluid cooling of hollow tuner and radio frequency probe in klystron
US3666983A (en) Wave propagating structure for crossed field devices
EP0632481B1 (en) Electron beam tubes
RU2787570C1 (en) Electron flow drift tube of a high-power drift-type uhf appliance
US9368313B1 (en) Electronic amplifier device
GB2036419A (en) Travelling wave tube with non-reciprocal attenuating adjunct
KR100291396B1 (en) A plate-type magnetron
US3706910A (en) Coaxial magnetron slot mode suppressor
US3376463A (en) Crossed field microwave tube having toroidal helical slow wave structure formed by a plurality of spaced slots
US3395314A (en) Coaxial magnetron having attenuator means for suppressing undesired modes
US3284660A (en) High frequency electron discharge device
US3448325A (en) Linear beam tube having a beam collector cooled by radiation through an infrared window
Everleigh et al. Use of high-power traveling wave tubes as a microwave heating source