RU2756323C2 - Method for aerosol spraying of nanoparticles in a constant electric field - Google Patents
Method for aerosol spraying of nanoparticles in a constant electric field Download PDFInfo
- Publication number
- RU2756323C2 RU2756323C2 RU2019142195A RU2019142195A RU2756323C2 RU 2756323 C2 RU2756323 C2 RU 2756323C2 RU 2019142195 A RU2019142195 A RU 2019142195A RU 2019142195 A RU2019142195 A RU 2019142195A RU 2756323 C2 RU2756323 C2 RU 2756323C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- nanoparticles
- nozzle
- electric field
- substrate
- spraying
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B5/00—Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
- B05B5/08—Plant for applying liquids or other fluent materials to objects
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
- B82B3/00—Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области создания наноструктурных покрытий, состоящих из наночастиц различных материалов, и может использоваться в получении поверхностей с изменяемыми анизотропными свойствами.The invention relates to the field of creating nanostructured coatings, consisting of nanoparticles of various materials, and can be used in obtaining surfaces with variable anisotropic properties.
Известно изобретение "УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО СОСТАВА КАПЕЛЬ СТРУИ РАСПЫЛЕННОЙ ЖИДКОСТИ"(Патент Ru № 2 433 872C1 МПК B05B 12/08(2006.01). Изобретение относится к экспериментальной гидродинамике дисперсных потоков и может быть использовано в двигателестроении для определения дисперсных характеристик топливовоздушных струй, по которым можно судить о распределении капель струи по размерам. Устройство для определения дисперсного состава капель струи распыленной жидкости содержит форсунку, формирующую струю распыленной жидкости, и снабжено тензометрическим датчиком для регистрации динамики изменения давления жидкости в форсунке. Датчик связан через тензометрический усилитель с блоком обработки сигналов, скоростной видеокамерой для регистрации светового излучения, прошедшего через дисперсный поток воздуха, двумя кольцами. В каждом из колец оппозитно друг к другу расположены источник света и фотоэлемент, предназначенные для контроля одной и той же массы потока струи жидкости. Источник светового излучения выполнен в виде газового лазера. Оптическая система выполнена в виде расположенных последовательно с лазером коллиматора и диафрагмы. Форсунка с тензометрическим датчиком, диафрагма, коллиматор, скоростная видеокамера и два кольца закреплены в защитном кожухе. Технический результатом изобретения является повышенная точность и достоверность определения дисперсного состава капель струи распыленной жидкости, а также расширение диапазона регистрации размеров дисперсного потока капель жидкости вследствие отсутствия трансформации струи распыленной жидкости и, следовательно, дробления капель за счет внешних возмущающих сил.Known invention "DEVICE FOR DETERMINING THE DISPERSED COMPOSITION OF DROPLETS OF A SPRAYED LIQUID JET" (Patent Ru No. 2 433 872C1 IPC B05B 12/08 (2006.01). which can be used to judge the distribution of jet droplets in size. The device for determining the disperse composition of droplets of a jet of sprayed liquid contains a nozzle that forms a jet of sprayed liquid, and is equipped with a strain gauge sensor for recording the dynamics of changes in the pressure of the liquid in the nozzle. The sensor is connected through a strain gauge amplifier with a signal processing unit, A high-speed video camera for recording light radiation that has passed through a dispersed air stream in two rings, in each of the rings, a light source and a photocell are located opposite each other, designed to control the same mass of the liquid stream. The light source is made in the form of a gas laser. The optical system is made in the form of a collimator and a diaphragm arranged in series with the laser. A nozzle with a strain gauge sensor, a diaphragm, a collimator, a high-speed video camera and two rings are fixed in a protective casing. The technical result of the invention is an increased accuracy and reliability of determining the dispersed composition of droplets of a spray of an atomized liquid, as well as an expansion of the range of recording the sizes of a dispersed flow of liquid droplets due to the absence of transformation of the spray of an atomized liquid and, consequently, crushing of droplets due to external disturbing forces.
Недостатком метода является то, что данное устройство определяет дисперсный состав микрокапель, а не контролирует равномерное нанесение наноструктур на поверхность.The disadvantage of this method is that this device determines the dispersed composition of microdroplets, and does not control the uniform application of nanostructures to the surface.
Известно изобретение "ФОРСУНКА ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ НАХОДЯЩЕЙСЯ ПОД ДАВЛЕНИЕМ ЖИДКОСТИ" (Патент RU № 2 301 710 C2 МПК B05D 1/02 (2006.01).Known is the invention "NOZZLE FOR SPRAYING A PRESSURE LIQUID" (Patent RU No. 2 301 710 C2 IPC
Изобретение относится к оборудованию, предназначенному для регулировки выходной секции форсунки, и может применяться в промышленных установках. Устройство для распыления перенагретой жидкости в виде мелких капель с высокой скоростью имеет температуру перенагретой жидкости Т0 и давление Р0. Давление Р0 превышает давление насыщенного пара РS при соответствующей температуре Т0. Давление насыщенного пара PS превышает давление Р1 газообразной среды, в которую распыляется жидкость. Устройство имеет корпус форсунки, закрепленный на суппорте. Суппорт обеспечивает поступление перенагретой жидкости. Корпус форсунки имеет патрубок, в котором циркулирует перегретая жидкость. Форсунка имеет, по меньшей мере, одно сужающееся сопло и по меньшей мере один инжектор. Инжектор разгоняет перегретую жидкость для подачи в расширяющееся сопло. Расширяющее сопло увеличивает объем и разгон перегретой жидкости. Струя жидкости частично испаряется в сопле и взрывается под воздействием эффекта собственной упругости пара, с формированием смеси мелких капель и пара. Образующая расширяющегося сопла расположена под углом к образующей инжекторов в месте своего пересечения с ней. Выходное сечение сопла имеет размеры, обеспечивающие выбрасывание смеси из форсунки под давлением внешней среды Р1 с максимальной скоростью. Изобретение позволяет распылять в виде мелких капель значительные объемы жидкости на очень больших скоростях, упростить конструкцию форсунки, повысить ее производительность и облегчить процесс изготовления.The invention relates to equipment for adjusting the outlet section of the nozzle, and can be used in industrial installations. A device for spraying an overheated liquid in the form of small droplets at a high speed has a temperature of the overheated liquid T 0 and a pressure P 0 . The pressure P 0 exceeds the saturated vapor pressure P S at the corresponding temperature T 0 . The saturated vapor pressure P S exceeds the pressure P 1 of the gaseous medium into which the liquid is sprayed. The device has a nozzle body fixed to a caliper. The support provides the supply of overheated fluid. The nozzle body has a branch pipe in which the superheated liquid circulates. The nozzle has at least one converging nozzle and at least one injector. The injector propels the superheated fluid to flow into an expanding nozzle. The expansion nozzle increases the volume and acceleration of the superheated liquid. The jet of liquid partially evaporates in the nozzle and explodes under the influence of the effect of its own vapor pressure, with the formation of a mixture of small droplets and vapor. The generatrix of the expanding nozzle is located at an angle to the generatrix of the injectors at the point of its intersection with it. The outlet section of the nozzle has dimensions that ensure the ejection of the mixture from the nozzle under the pressure of the external medium P 1 at a maximum speed. The invention makes it possible to spray large volumes of liquid in the form of small droplets at very high speeds, to simplify the design of the nozzle, to increase its productivity and to facilitate the manufacturing process.
Недостатком метода является то, что жидкость подаётся при высокой температуре и тем самым, это не позволит нанести слой наночастиц в коллоидном растворе без повреждений. The disadvantage of this method is that the liquid is supplied at a high temperature and thus, it will not allow the application of a layer of nanoparticles in a colloidal solution without damage.
Известно изобретение "РАСПЫЛИТЕЛЬ ЖИДКОСТИ" Патент RU № 2 329 873 C2 МПК B05B 7/00 (2006.01), B05B 7/28 (2006.01)Known invention "LIQUID SPRAYER" Patent RU No. 2 329 873 C2 IPC
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для распыления жидких сред, а именно к распылителям эжекционного типа с мелкодисперсным распылом капель жидкости. Распылитель содержит корпус, выходное сопло и патрубок подачи жидкости, соосно установленный в полости корпуса с образованием между внутренней поверхностью корпуса и патрубком подачи жидкости кольцевого канала, сообщенного с отверстием подвода газа. Кольцевой канал соединен с выходным соплом через направляющие каналы, торцевая часть патрубка подачи жидкости со стороны входа в выходное сопло и обращенная к ней часть выходного сопла выполнены в форме конических поверхностей. Профилированный канал выходного сопла включает последовательно расположенные входной кольцевой участок, сужающийся в направлении течения потока, и сопряженный с ним выходной цилиндрический участок. Входной участок профилированного канала сопла образован между конической поверхностью торцевой части патрубка подачи жидкости и конической поверхностью выходного сопла. Выходное сечение отверстия патрубка подачи жидкости расположено между выходным сечением входного конического участка и выходным сечением выходного цилиндрического участка профилированного канала сопла. Направляющие каналы ориентированы параллельно оси симметрии профилированного канала выходного сопла. Изобретение обеспечивает повышение эффективности генерации мелкодисперсного пространственно-однородного газокапельного потока, равномерности распределения монодисперсных капель жидкости в потоке и возможность регулирования параметров потока при снижении затрат на изготовление и эксплуатацию устройства.The invention relates to a device for spraying liquid media, namely, ejection-type atomizers with a fine spray of liquid droplets. The sprayer comprises a housing, an outlet nozzle and a liquid supply pipe coaxially mounted in the housing cavity to form an annular channel between the inner surface of the housing and the liquid supply pipe connected with the gas supply hole. The annular channel is connected to the outlet nozzle through the guide channels, the end part of the liquid supply pipe from the side of the inlet to the outlet nozzle and the part of the outlet nozzle facing it are made in the form of conical surfaces. The profiled channel of the outlet nozzle includes a successively located inlet annular section that tapers in the direction of flow of the flow, and an outlet cylindrical section associated with it. The inlet section of the profiled nozzle channel is formed between the conical surface of the end part of the fluid supply pipe and the conical surface of the outlet nozzle. The outlet section of the opening of the fluid supply pipe is located between the outlet section of the inlet conical section and the outlet section of the outlet cylindrical section of the profiled nozzle channel. The guide channels are oriented parallel to the symmetry axis of the profiled channel of the outlet nozzle. EFFECT: increased efficiency of generation of finely dispersed spatially homogeneous gas-droplet flow, uniformity of distribution of monodisperse liquid droplets in the flow and the possibility of regulating flow parameters while reducing the cost of manufacturing and operating the device.
Недостатком метода является то, что данное устройство не позволяет контролировать толщину слоя нанесённого материала и не способно распылять жидкости без периодической остановки.The disadvantage of this method is that this device does not allow to control the thickness of the applied material layer and is not capable of spraying liquids without periodic stopping.
Техническим результатом изобретения является усовершенствованный способ распыления наночастиц в постоянном электрическом поле, отличающийся тем, что при распылении коллоидных растворов, позволяет фокусировать капельный поток с помощью отрицательно заряженной сетки на поверхность нагреваемой подложки, которая в свою очередь эффективно испаряет жидкость и обеспечивает равномерное осаждение наночастиц без их дальнейшего перемещения в малой испаряющейся капле жидкости.The technical result of the invention is an improved method for spraying nanoparticles in a constant electric field, characterized in that when spraying colloidal solutions, it allows focusing a droplet flow using a negatively charged grid onto the surface of a heated substrate, which in turn effectively evaporates liquid and ensures uniform deposition of nanoparticles without them. further movement in a small evaporating droplet of liquid.
Технический результат достигается за счет способа, включающего осаждение коллоидных наночастиц на твердые подложки в постоянном электрическом поле напряженностью 105-108 В/м, создаваемом между фокусирующей сеткой-катодом и нагреваемым металлическим основанием-анодом, а также проведение распыления на подложку под давлением от 1 до 10 атмосфер с покоординатным сканированием с заданной скоростью и расстоянием распыляющей форсунки - подложки с регулируемой за счет этого площадью покрытия и возможностью формирования тонкой пленки или слоистой структуры за счет многократного осаждения.The technical result is achieved due to the method, including the deposition of colloidal nanoparticles on solid substrates in a constant electric field with a strength of 10 5 -10 8 V / m, created between the focusing grid-cathode and a heated metal base-anode, as well as carrying out sputtering on the substrate under pressure from 1 to 10 atmospheres with coordinate-wise scanning at a given speed and distance of the spray nozzle - a substrate with an adjustable coverage area and the possibility of forming a thin film or a layered structure due to multiple deposition.
Описание способа: из металлической распыляющей форсунки, прикрепленной к г-образно установленной штанге с помощью прямоугольного зажима (1), под давлением, нагнетаемым компрессором (1-10 атмосфер) распыляется коллоидный раствор с наночастицами металлов, через фокусирующую металлическую сетку к которой прикреплен отрицательный контакт для контроля траекторий разлета частиц (2), расположенную под соплом форсунки на регулируемом расстоянии до подложки, через которую распыляемый коллоидный раствор осаждается на подложку к которой подается положительный заряд, с температурой, задаваемой в диапазоне 20-100ºС за счет термоэлемента (3), находящуюся на координатном столике (4).Такая схема позволяет изменять углы разлета частиц и капель в процессе осаждения, так как коллоидные частицы имеют отрицательный заряд (фиг.1). В этом случае под действием электрического поля напряженностью 105-108В/м, проходя через сетку, все частицы приобретают ускорение, направленное в сторону положительного контакта - анода и фокусируются внутри каждой ячейки за счет кулоновского отталкивания от отрицательно заряженной поверхности сетки. При осаждении на подложку частицы из-за разности зарядов фиксируются на поверхности (Фиг.2).Method description: a colloidal solution with metal nanoparticles is sprayed from a metal atomizing nozzle attached to an L-shaped rod with a rectangular clamp (1), under pressure supplied by a compressor (1-10 atmospheres), through a focusing metal mesh to which a negative contact is attached to control the particle scattering trajectories (2), located under the nozzle nozzle at an adjustable distance to the substrate, through which the sprayed colloidal solution is deposited on the substrate to which a positive charge is applied, with a temperature set in the range of 20-100 ° C due to the thermoelement (3), located on the coordinate table (4). This scheme allows you to change the angles of dispersion of particles and drops in the process of deposition, since colloidal particles have a negative charge (figure 1). In this case, under the action of an electric field with a strength of 10 5 -10 8 V / m, passing through the grid, all particles acquire an acceleration directed towards the positive contact - the anode and are focused inside each cell due to the Coulomb repulsion from the negatively charged surface of the grid. When deposited on a substrate, the particles are fixed on the surface due to the difference in charges (Fig. 2).
Управление процессом распыления ведется при помощи сервопривода, программируемого микроконтроллером, что позволяет манипулировать расходом распыляемого коллоидного раствора. Выбор давления, подаваемого компрессором обусловлен тем, что в диапазоне от 1-10 атмосфер, происходит эффективное распыление без повреждения наночастиц и их агломератов. Скорость перемещения подложки при помощи координатного столика варьируется, в зависимости от расстояния распыляющей форсунки до поверхности осаждаемого слоя.The spraying process is controlled by a servo-drive programmed by a microcontroller, which makes it possible to manipulate the flow rate of the sprayed colloidal solution. The choice of the pressure supplied by the compressor is due to the fact that in the range from 1-10 atmospheres, effective atomization occurs without damaging the nanoparticles and their agglomerates. The speed of movement of the substrate using the coordinate table varies, depending on the distance of the spray nozzle to the surface of the deposited layer.
Схематическое изображение получаемой поверхности при использовании способа аэрозольного распыления наночастиц изображено на Фиг. 3. Осаждение внутри одной микрокапли показано на АСМ-изображении (Фиг.4). Таким образом изменяя диаметр ячейки сетки, расстояние между сеткой и подложкой, величину напряженности поля можно варьировать морфологией осаждаемого слоя. Многократное сканирование поверхности подложки позволяет формировать слоистые покрытия (Фиг.5).A schematic representation of the resulting surface using the method of aerosol spraying of nanoparticles is shown in FIG. 3. Deposition within one microdroplet is shown in the AFM image (Fig. 4). Thus, by changing the diameter of the mesh cell, the distance between the mesh and the substrate, the magnitude of the field strength can be varied by the morphology of the deposited layer. Multiple scanning of the substrate surface allows the formation of layered coatings (Fig. 5).
Результатом использования такого способа является получение метаповерхностей с высокой анизотропией, что предопределяет оптические и электрофизические свойства покрытия в целом. Демонстрация анизотропии свойств неоднородных пленок в зависимости от средней толщины осажденного слоя наночастиц показана на Фиг.6: а) электрофизические свойства металлических пленок, проявляемые в отклонении вольт-амперных характеристик пленок от линейного закона Ома типичного для диапазона напряжений 0-1 В; б) оптические свойства спектров пропускания, в которых с ростом толщины пленки, наблюдается появление нетипичных дополнительных областей поглощения и пропускания излучения.The result of using this method is to obtain metasurfaces with high anisotropy, which predetermines the optical and electrophysical properties of the coating as a whole. Demonstration of the anisotropy of the properties of inhomogeneous films depending on the average thickness of the deposited layer of nanoparticles is shown in Fig. 6: a) the electrophysical properties of metal films, manifested in the deviation of the current-voltage characteristics of the films from the linear Ohm's law typical for the voltage range of 0-1 V; b) the optical properties of the transmission spectra, in which, with an increase in the film thickness, the appearance of atypical additional regions of absorption and transmission of radiation is observed.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019142195A RU2756323C2 (en) | 2019-12-17 | 2019-12-17 | Method for aerosol spraying of nanoparticles in a constant electric field |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019142195A RU2756323C2 (en) | 2019-12-17 | 2019-12-17 | Method for aerosol spraying of nanoparticles in a constant electric field |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2019142195A3 RU2019142195A3 (en) | 2021-06-17 |
RU2019142195A RU2019142195A (en) | 2021-06-17 |
RU2756323C2 true RU2756323C2 (en) | 2021-09-29 |
Family
ID=76376979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2019142195A RU2756323C2 (en) | 2019-12-17 | 2019-12-17 | Method for aerosol spraying of nanoparticles in a constant electric field |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2756323C2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2789995C1 (en) * | 2022-05-27 | 2023-02-14 | Анастасия Владимировна Волокитина | Method for producing thin films from colloidal solutions of noble metal nanoparticles and their alloys obtained by pulsed laser ablation for enhanced raman spectroscopy |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1908259A1 (en) * | 1968-02-19 | 1970-01-22 | Roger Remy | Applying a coating by means of microscopic particles - electrostatically distributed |
SU1528331A3 (en) * | 1985-02-19 | 1989-12-07 | Империал Кемикал Индастриз Плс (Фирма) | Device for electrostatic spraying of liquids |
RU2329873C2 (en) * | 2006-08-24 | 2008-07-27 | Андрей Леонидович Душкин | Liquid sprayer |
DE102010027391A1 (en) * | 2010-07-16 | 2011-08-25 | Eisenmann Ag, 71032 | Rotary sprayer for electrostatically supported application of paint particles on object, has spray nozzle for centrifuging paint particles, supply channel for supplying paint to spray nozzle and ionization device for ionizing paint |
-
2019
- 2019-12-17 RU RU2019142195A patent/RU2756323C2/en active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1908259A1 (en) * | 1968-02-19 | 1970-01-22 | Roger Remy | Applying a coating by means of microscopic particles - electrostatically distributed |
SU1528331A3 (en) * | 1985-02-19 | 1989-12-07 | Империал Кемикал Индастриз Плс (Фирма) | Device for electrostatic spraying of liquids |
RU2329873C2 (en) * | 2006-08-24 | 2008-07-27 | Андрей Леонидович Душкин | Liquid sprayer |
DE102010027391A1 (en) * | 2010-07-16 | 2011-08-25 | Eisenmann Ag, 71032 | Rotary sprayer for electrostatically supported application of paint particles on object, has spray nozzle for centrifuging paint particles, supply channel for supplying paint to spray nozzle and ionization device for ionizing paint |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2789995C1 (en) * | 2022-05-27 | 2023-02-14 | Анастасия Владимировна Волокитина | Method for producing thin films from colloidal solutions of noble metal nanoparticles and their alloys obtained by pulsed laser ablation for enhanced raman spectroscopy |
RU2816108C1 (en) * | 2023-12-27 | 2024-03-26 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)" | Electrofocusing nozzle for deposition of charged aerosols |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2019142195A3 (en) | 2021-06-17 |
RU2019142195A (en) | 2021-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Tikkanen et al. | Characteristics of the liquid flame spray process | |
Jaworek | Micro-and nanoparticle production by electrospraying | |
Cloupeau et al. | Electrostatic spraying of liquids in cone-jet mode | |
US3296015A (en) | Method and apparatus for electrostatic deposition of coating materials | |
US10124602B2 (en) | Apparatuses and methods for stable aerosol deposition using an aerodynamic lens system | |
US9943874B2 (en) | Method and device for generating droplets over a variable spectrum of particle sizes | |
US6479077B1 (en) | Method of manufacturing powder particles | |
US10086622B2 (en) | Apparatuses and methods for stable aerosol-based printing using an internal pneumatic shutter | |
JPS63503552A (en) | Flash evaporation of monomer fluids | |
US6475571B1 (en) | Method of producing thin resin films | |
CA2385324A1 (en) | Liquid atomization methods and devices | |
US3521815A (en) | Guns for the electrostatic spray coating of objects with a powder | |
Wang et al. | Experimental study on electrohydrodynamic atomization (EHDA) in stable cone-jet with middle viscous and low conductive liquid | |
KR101054129B1 (en) | Deposition of a Uniform Layer of Particulate Material | |
US20110014385A1 (en) | Method and apparatus for coating an article using a spray-coating method | |
Rukosuyev et al. | Design and application of nanoparticle coating system with decoupled spray generation and deposition control | |
RU2756323C2 (en) | Method for aerosol spraying of nanoparticles in a constant electric field | |
Wilhelm | Electrohydrodynamic spraying-Transport, mass and heat transfer of charged droplets and their application to the deposition of thin functional films | |
US20130314472A1 (en) | Methods and Apparatus for Manufacturing Micro- and/or Nano-Scale Features | |
US3275239A (en) | Apparatus for the electrostatic precipitation of coating material | |
EP1690600B1 (en) | Installation and method for the continuous electrostatic coating of substrates with powder | |
US20190100841A1 (en) | System and methods for deposition spray of particulate coatings | |
CN212301351U (en) | Mist generating device | |
JP2023099285A (en) | Plasma suspension coating system and method | |
WO2005021833A2 (en) | Apparatus for the coating and/or conditioning of substrates |