RU2746095C1 - Infrared and thz radiation optical acoustic receiver - Google Patents
Infrared and thz radiation optical acoustic receiver Download PDFInfo
- Publication number
- RU2746095C1 RU2746095C1 RU2020121927A RU2020121927A RU2746095C1 RU 2746095 C1 RU2746095 C1 RU 2746095C1 RU 2020121927 A RU2020121927 A RU 2020121927A RU 2020121927 A RU2020121927 A RU 2020121927A RU 2746095 C1 RU2746095 C1 RU 2746095C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- expansion
- expansion chamber
- chamber
- gas
- tight membrane
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title abstract 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 43
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 23
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims abstract description 12
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000009432 framing Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004297 night vision Effects 0.000 description 1
- 238000010895 photoacoustic effect Methods 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/38—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using extension or expansion of solids or fluids
- G01J5/42—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using extension or expansion of solids or fluids using Golay cells
Abstract
Description
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно для измерений потока электромагнитного излучения дальнего инфракрасного диапазона (включая терагерцовое). Изобретение может быть использовано в ИК и ТГц спектроскопии, системах ночного видения, обнаружения безоболочечных взрывных устройств, технической и медицинской диагностики.The invention relates to the field of measuring technology, namely for measuring the flow of electromagnetic radiation in the far infrared range (including terahertz). The invention can be used in IR and THz spectroscopy, night vision systems, detection of shellless explosive devices, technical and medical diagnostics.
Известно, что приемники излучения классификационно делятся на:It is known that radiation receivers are classified into:
- класс фотонных (квантовых) фотоприемников, в которых энергия фотона преобразуется в некоторую первичную реакцию фотоприемника;- a class of photonic (quantum) photodetectors, in which the photon energy is converted into some primary reaction of the photodetector;
- класс тепловых, в которых энергия фотонов преобразуется в тепло, а реакция фотоприемника возникает как следствие повышения температуры чувствительного элемента.- thermal class, in which the energy of photons is converted into heat, and the reaction of the photodetector arises as a result of an increase in the temperature of the sensitive element.
Принципиальным недостатком фотонных фотоприемников является то обстоятельство, что энергия фотона обратно пропорциональна длине волны излучения(E=hc/λ где h - постоянная Планка; с - скорость света; λ - длина волны), что делает их применение невозможным при длинах волн более 20 мкм даже в случае криогенного охлаждения.The fundamental disadvantage of photonic photodetectors is the fact that the photon energy is inversely proportional to the radiation wavelength (E = hc / λ where h is Planck's constant; c is the speed of light; λ is the wavelength), which makes their application impossible at wavelengths exceeding 20 μm even in the case of cryogenic refrigeration.
Тепловые фотоприемники имеют постоянную обнаружительную способность в диапазоне 1-2000 мкм, а в диапазоне 20-2000 мкм являются фактически единственным классом фотоприемных устройств, пригодных для практического применения (см. например КиесР. Дж. и др. Фотоприемники видимого и ИК диапазонов М. Радио и связь. 1985. стр. 64, рис. 2.22).Thermal photodetectors have a constant detecting ability in the range of 1-2000 microns, and in the range of 20-2000 microns are actually the only class of photodetectors suitable for practical use (see, for example, KiesR. J. et al. Visible and IR photodetectors M. Radio and communication. 1985. p. 64, fig. 2.22).
В классе тепловых приемников особого внимания заслуживают оптико-акустические приемники основанные на эффекте Белла-Тиндаля. Явление генерации акустических волн в замкнутом объеме газа под действием светового потока, модулированного вращающимся перфорированным диском, обнаружено в 1880 А.Г.Беллом и получило название опто-акустического эффекта. В 1881 это открытие было подтверждено в работах Дж. Тиндаля и В.К.Рентгена. (Tyndall J.II Proc. Roy. Soc. London. 1881. Vol. 31.P. 3-7-317). Этот эффект заключается в том, что в результате поглощения модулированного излучения возникают колебания температуры газа и его давления, а также акустические колебания, которые передаются гибкой мембране. Частота колебаний зависит от частоты модуляции потока, а интенсивность колебаний - от способности данного газа поглощать инфракрасную радиацию и от интенсивности радиации.In the class of thermal receivers, optical-acoustic receivers based on the Bell-Tyndall effect deserve special attention. The phenomenon of generation of acoustic waves in a closed volume of gas under the action of a light flux modulated by a rotating perforated disk was discovered in 1880 by A.G. Bell and received the name of the opto-acoustic effect. In 1881, this discovery was confirmed in the works of J. Tyndall and W. K. Roentgen. (Tyndall J. II Proc. Roy. Soc. London. 1881. Vol. 31. P. 3-7-317). This effect consists in the fact that as a result of the absorption of modulated radiation, fluctuations in the temperature of the gas and its pressure arise, as well as acoustic vibrations, which are transmitted to the flexible membrane. The frequency of oscillations depends on the frequency of modulation of the flow, and the intensity of oscillations depends on the ability of a given gas to absorb infrared radiation and on the intensity of radiation.
В 1936 г. Хейсу [Hayes, H.V., "A New Receiver of Radiant Energy". Rev. Sci. Instr. Vol. 7, No. 5, May 1936, pp. 202 to 205] удалось использовать эффект Белла-Тиндаля для принципиального усовершенствования классического газового термометра. Он поместил внутрь расширительной камеры специальный элемент, поглощающий исследуемое излучение, и применил принцип динамического конденсатора для отсчетной системы, что позволяло свести измерение деформации гибкой металлической мембраны к измерению электрической емкости.In 1936, Hayes, H.V., "A New Receiver of Radiant Energy". Rev. Sci. Instr. Vol. 7, No. 5, May 1936, pp. 202 to 205] managed to use the Bell-Tyndall effect for a fundamental improvement of the classical gas thermometer. He placed a special element inside the expansion chamber that absorbs the radiation under investigation, and applied the principle of a dynamic capacitor for the reference system, which made it possible to reduce the measurement of the deformation of a flexible metal membrane to the measurement of electrical capacitance.
Известно техническое решение, предложенное в приемнике ИК-излучения ONERA (OfficeNationald'EtudesetdeRecherchesAerospatiales) французского центра аэрокосмических исследований (Шоль Ж., Марфан И., Мюнш М. и др. Приемники инфракрасного излучения. - М.: Мир, 1969. с. 160.) и выбранное в качестве прототипа, в котором поглощающий элемент выполнен в виде термически развязанной от стенок камеры тонкой металлической пленки, нанесенной на газопроницаемую коллодиевую мембрану, гибкая разделительная мембрана между расширительной и компенсационной камерами выполнена на газонепроницаемой полимерной пленке покрытой слоем серебра и изменение температуры регистрируется непосредственно в форме электрического сигнала, вызванного изменением емкости. Обнаружительная способность у него достигает величины 4⋅109 см⋅Гц1/2⋅Вт-1 (что выше, чем у приемника Голея) при постоянной времени 20 мсек.Known technical solution proposed in the receiver of infrared radiation ONERA (Office Nationald'EtudesetdeRecherchesAerospatiales) of the French Center for Aerospace Research (Scholl J., Marfan I., Munsch M. et al. Receivers of infrared radiation. - M .: Mir, 1969. p. 160 .) and selected as a prototype, in which the absorbing element is made in the form of a thin metal film thermally decoupled from the chamber walls, deposited on a gas-permeable collodion membrane, a flexible separating membrane between the expansion and compensation chambers is made on a gas-tight polymer film coated with a silver layer and the temperature change is recorded directly in the form of an electrical signal caused by a change in capacitance. Its detecting ability reaches 4⋅10 9 cm⋅Hz 1/2 W -1 (which is higher than that of the Golay receiver) at a time constant of 20 msec.
Недостатком известного технического решения являются ограничение чувствительности и быстродействия устройства, обусловленные упругими характеристиками гибкой мембраны.The disadvantage of the known technical solution is the limitation of the sensitivity and speed of the device, due to the elastic characteristics of the flexible membrane.
Перед авторами ставилась задача создание устройства для измерений потока электромагнитного излучения дальнего инфракрасного диапазона, включая терагерцовое.The authors were tasked with creating a device for measuring the flow of electromagnetic radiation in the far infrared range, including the terahertz one.
Поставленная задача решается тем, что в оптико-акустическом приемнике инфракрасного и ТГц излучения, включающего в себя корпус, который содержит систему из двух газонаполненных расширительной камеры и компенсационной камеры, соединенных расширительным капиллярным каналом, при этом один торец расширительной камеры является входным окном для электромагнитного излучения, внутри расширительной камеры параллельно входному окну располагается коллодиевая пленка со сквозной пористостью, с нанесенным на нее, и термически развязанным от стенок расширительной камеры, металлическим поглощающим элементом в виде тонкой пленки металла с малой теплоемкостью, расширительная камера отделена от компенсационной камеры гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраной от расширительного капиллярного канала до нижней части расширительной камеры, и параллельно входному окну для электромагнитного излучения расширительной камеры, при этом гибкая токопроводящая газонепроницаемая мембрана совместно с неподвижной плоской металлической пластиной, которая размещена в компенсационной камере, образуют динамический конденсатор, дополнительно выполнено напыление тонкого металлического слоя, в виде контактного кольца, обрамляющего гибкую токопроводящую газонепроницаемую мембрану с возможностью герметизации расширительной камеры, а гибкая токопроводящая газонепроницаемая мембрана выполнена в виде однослойного графена.The problem is solved by the fact that in the optical-acoustic receiver of infrared and THz radiation, which includes a housing that contains a system of two gas-filled expansion chambers and a compensation chamber connected by an expansion capillary channel, while one end of the expansion chamber is an entrance window for electromagnetic radiation , inside the expansion chamber, parallel to the inlet window, there is a collodion film with through porosity, with a metal absorbing element applied on it and thermally decoupled from the walls of the expansion chamber in the form of a thin metal film with low heat capacity, the expansion chamber is separated from the compensation chamber by a flexible conductive gas-tight membrane from expansion capillary channel to the bottom of the expansion chamber, and parallel to the entrance window for electromagnetic radiation of the expansion chamber, while the flexible conductive gas-tight membrane together with the fixed a flat metal plate, which is placed in the compensation chamber, forms a dynamic capacitor, additionally, a thin metal layer is deposited in the form of a slip ring framing a flexible conductive gas-tight membrane with the possibility of sealing the expansion chamber, and the flexible conductive gas-tight membrane is made in the form of single-layer graphene.
Технический эффект заявляемого технического решения заключается в повышении быстродействия и чувствительности при измерении потока электромагнитного излучения, а так же в расширении средств данного назначения.The technical effect of the proposed technical solution is to increase the speed and sensitivity when measuring the flow of electromagnetic radiation, as well as expanding the means for this purpose.
На фиг. 1 представлена блок-схема заявляемого оптико-акустического приемника инфракрасного и ТГц излучения, где 1 - входное окно, 2 - просветляющее покрытие, 3 - корпус, 4 - расширительная камера, 5 - коллодиевая пленка, 6 - металлический поглощающий элемент, 7 - расширительный капиллярный канал, 8 - контактное кольцо, 9 - гибкая токопроводящая газонепроницаемая мембрана; 10 - неподвижная плоская металлическая пластина; 11 - компенсационная камера; 12 - первая обкладка, 13 - вторая обкладка.FIG. 1 shows a block diagram of the inventive optical-acoustic receiver of infrared and THz radiation, where 1 is an entrance window, 2 is an antireflection coating, 3 is a housing, 4 is an expansion chamber, 5 is a collodion film, 6 is a metal absorbing element, 7 is an expansion capillary channel, 8 - slip ring, 9 - flexible conductive gas-tight membrane; 10 - fixed flat metal plate; 11 - compensation chamber; 12 - first plate, 13 - second plate.
Принцип работы заявляемого оптико-акустического приемника инфракрасного и ТГц излучения следующий.The principle of operation of the proposed optical-acoustic receiver of infrared and THz radiation is as follows.
Во всех разновидностях оптико-акустических приемников излучения, основанных на эффекте Белла-Тиндаля основным конструктивным элементом, определяющим метрологические параметры устройства, является гибкая мембрана. В настоящее время лучшие мембраны изготавливаются из тончайших слоев силикона или полиамида толщиной несколько десятков нанометров с покрытием - отражающим металлическим слоем толщиной 100 ангстрем.In all types of optical-acoustic radiation detectors based on the Bell-Tyndall effect, the main structural element that determines the metrological parameters of the device is a flexible membrane. Currently, the best membranes are made from the thinnest layers of silicone or polyamide with a thickness of several tens of nanometers, coated with a reflective metal layer 100 angstroms thick.
Мембраной называется тонкая, равномерно растянутая пленка, обладающая распределенной инерцией и упругостью. Инерция мембраны характеризуется массой единицы площади ρ (в кг/м2), а упругость - силой натяжения т (в Н м). Из определения следует, что минимальной инерцией будут обладать предельно тонкие мембраны, изготовленные на основе 2D материалов.A membrane is a thin, uniformly stretched film with distributed inertia and elasticity. The inertia of the membrane is characterized by the mass of the unit of area ρ (in kg / m 2 ), and the elasticity is characterized by the tensile force t (in N m). It follows from the definition that extremely thin membranes made on the basis of 2D materials will have the minimum inertia.
В корпусе 3 заявляемого оптико-акустического приемника инфракрасного и тгц излучения расположена система из двух газонаполненных камер: расширительная камера 4 и компенсационная камера 11 которые соединены расширительным капиллярным каналом 7, один торец расширительной камеры 4 является входным окном 1 для электромагнитного излучения, а противоположный закрыт плоской гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраной 9, являющаяся выходным окном для электромагнитного излучения расширительной камеры 4. Модулированное анализируемое ИК либо ТГц излучение проходит через входное окно 1 для электромагнитного излучения, выполненное из прозрачного, в исследуемом диапазоне длин волн, материала, отсекающего коротковолновую часть спектра, имеющее просветляющее покрытие 2 на наружной плоскости, проникает в расширительную камеру 4, корпуса 3, которой выполнен из фотоситалла. Внутри расширительной камеры 4, параллельно входному окну 1, располагается коллодиевая пленка 5 со сквозной пористостью, с нанесенным на нее, и термически связанным от стенок расширительной камеры 4, металлический поглощающий элемент 6 в виде тонкой пленки металла с малой теплоемкостью, например висмут либо свинец. Поглощение излучения ИК либо ТГц приводит к нагреву металлического поглощающего элемента 6. Так как интенсивность излучения ИК либо ТГц модулирована, то в газовой среде расширительной камеры 4 возникают температурные волны. Нестационарный нагрев газа приводит к изменению плотности вещества и распространению акустических волн. Компенсационная камера 11 разделена гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраной 9, от расширительного капиллярного канала 7 до нижней части расширительной камеры 4, параллельно входному окну 1 для электромагнитного излучения. Дополнительно выполнено напыление тонкого металлического слоя, в виде контактного кольца 8, обрамляющего гибкую токопроводящую газонепроницаемую мембрану 9 с возможностью герметизации расширительной камеры 4. Контактное кольцо 8 выполнено в виде напыления тонкого металлического слоя. Гибкая токопроводящая газонепроницаемая мембрана 9 выполнена из плоского газонепроницаемого однослойного графенового диска. Давление акустической волны в расширительной камере 4 приводит к деформации гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраны 9. Гибкая токопроводящая газонепроницаемая мембрана 9 выполненная из однослойного графена и герметизирует расширительную камеру 4 за счет сил притяжения Ван дер Ваальса. Предварительное напряжение растяжения гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраны 9, вызванное силами Ван дер Ваальса, определяется площадью контактного кольца 8. В такой конструкции мощность излучения ИК либо ТГц преобразуется в амплитуду колебаний гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраны 9. Колебания гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраны 9 преобразуются в электрический сигнал с помощью динамического конденсатора, первой обкладкой 12 которого является колеблющаяся гибкая токопроводящая газонепроницаемая мембрана 9, а второй обкладкой 13 динамического конденсатора является неподвижная плоская металлическая пластина 10, размещенная в компенсационной камере 11. Компенсационная камера 11 соединяется с расширительной камерой 4 расширительным капиллярным каналом 7, при помощи которого, уравнивается давление по обе стороны гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраны 9, за счет чего автоматически компенсируются изменения внешних параметров давления и температуры.In the case 3 of the claimed optical-acoustic receiver of infrared and TGC radiation there is a system of two gas-filled chambers: an expansion chamber 4 and a
Гибкая токопроводящая газонепроницаемая мембрана 9 выполнена из однослойного графена. Графен, толщина одного слоя которого, составляет 0.335 нм, является самым тонким из известных пленочных материалов. Помимо предельно достижимой атомарной толщины, графен имеет ряд предельно высоких значений физических констант. Графен имеет высокую механическую прочность; она соответствует так называемой «теоретической прочности бездефектного твердого тела» и в настоящее время является рекордной (модуль Юнга Е - порядка 1 ТПа), в своем бездефектном виде графен демонстрирует рекордную прочность на растяжение (≈ 130 ГПа) и превосходные упругие свойства (максимальная степень упругой деформации составляет ≈ 25%). Помимо указанного, графен обладает высокой электропроводностью, непроницаемостью для большинства жидкостей и газов, практически полной прозрачностью и химической инертностью.Flexible conductive gas-
Известно, что величина прогиба 5 центра плоской гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраны 9, закрепленной по контуру, при малых перемещениях под действием давления Р вычисляется по формулеIt is known that the value of the
где R - рабочий радиус гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраны 9 (по контуру закрепления); h - толщина гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраны 9, Е - модуль упругости кГ/см2 материала гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраны 9 и μ - коэффициент Пуассона материала гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраны 9.where R is the working radius of the flexible conductive gas-tight membrane 9 (along the fixing contour); h is the thickness of the flexible conductive gas-
Из приведенного выражения следует, что идеальная гибкая токопроводящая газонепроницаемая мембрана 9 должна сочетать высокую разрывную прочность и низкую изгибную жесткость допускающие деформации при минимально возможной толщине.From the above expression it follows that the ideal flexible conductive gas-
Графен является идеальным материалом для изготовления гибкой токопроводящей газонепроницаемой мембраны 9 из-за его высокой прочности, его атомной толщины и высокой электропроводности. Низкая жесткость на изгиб имеет решающее значение для чувствительности к отклонению в ответ на изменения температуры газа, заключенного в расширительной камере устройства, а высокая электропроводность мембраны упрощает конструкцию динамического конденсатора. Таким образом, достигается предельная чувствительность заявляемого оптико-акустического приемника инфракрасного и ТГц излучения.Graphene is an ideal material for making flexible, conductive, gas-
Преимуществом заявляемого технического решения является значительное снижение весогабаритных характеристик устройства и снижение стоимости изготовления.The advantage of the proposed technical solution is a significant reduction in weight and dimensions of the device and a decrease in manufacturing costs.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2020121927A RU2746095C1 (en) | 2020-06-26 | 2020-06-26 | Infrared and thz radiation optical acoustic receiver |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2020121927A RU2746095C1 (en) | 2020-06-26 | 2020-06-26 | Infrared and thz radiation optical acoustic receiver |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2746095C1 true RU2746095C1 (en) | 2021-04-06 |
Family
ID=75353497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2020121927A RU2746095C1 (en) | 2020-06-26 | 2020-06-26 | Infrared and thz radiation optical acoustic receiver |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2746095C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2782352C1 (en) * | 2021-10-12 | 2022-10-26 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) | TUNNEL HELIUM-GRAPHENE OPTOACOUSTIC RECEIVER OF INFRARED AND THz EMISSION |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5589689A (en) * | 1994-07-07 | 1996-12-31 | Vaisala Oy | Infrared detector with Fabry-Perot interferometer |
| RU2414688C1 (en) * | 2010-03-23 | 2011-03-20 | Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Новосибирский государственный университет (НГУ) | Terahertz radiation matrix receiver |
| US8552380B1 (en) * | 2012-05-08 | 2013-10-08 | Cambridge Cmos Sensors Limited | IR detector |
-
2020
- 2020-06-26 RU RU2020121927A patent/RU2746095C1/en active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5589689A (en) * | 1994-07-07 | 1996-12-31 | Vaisala Oy | Infrared detector with Fabry-Perot interferometer |
| RU2414688C1 (en) * | 2010-03-23 | 2011-03-20 | Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Новосибирский государственный университет (НГУ) | Terahertz radiation matrix receiver |
| US8552380B1 (en) * | 2012-05-08 | 2013-10-08 | Cambridge Cmos Sensors Limited | IR detector |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| И. С. Гибин, П. Е. Котляр "Приемники излучения терагерцового диапазона (обзор)", УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ, т. 6, No 2, 2018 г., стр. 117-129. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2782352C1 (en) * | 2021-10-12 | 2022-10-26 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) | TUNNEL HELIUM-GRAPHENE OPTOACOUSTIC RECEIVER OF INFRARED AND THz EMISSION |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5212988A (en) | Plate-mode ultrasonic structure including a gel | |
| Gong et al. | Photoacoustic spectroscopy based multi-gas detection using high-sensitivity fiber-optic low-frequency acoustic sensor | |
| CN108226045B (en) | Gas analyzer | |
| US8242446B2 (en) | Thermal detector | |
| US9157856B2 (en) | Integrated photonic crystal structures and their applications | |
| US10451589B2 (en) | Acoustic wave detector | |
| Bertolotti et al. | A note on the history of photoacoustic, thermal lensing, and photothermal deflection techniques | |
| WO1989008336A1 (en) | Plate-mode ultrasonic sensor | |
| JPH0943051A (en) | Infrared detector | |
| Rossberg | Silicon micromachined infrared sensor with tunable wavelength selectivity for application in infrared spectroscopy | |
| RU2746095C1 (en) | Infrared and thz radiation optical acoustic receiver | |
| Hu et al. | Theoretical and experimental study of a fiber optic microphone | |
| US20170059499A1 (en) | Heat flux sensor that implements at least one optical resonator, gas sensor and pirani gauge comprising at least one such sensor | |
| CN201034929Y (en) | Optical fiber gas sensors | |
| RU2782352C1 (en) | TUNNEL HELIUM-GRAPHENE OPTOACOUSTIC RECEIVER OF INFRARED AND THz EMISSION | |
| RU2682556C1 (en) | Infrared and terahertz radiation high-precise detector array | |
| US7485870B2 (en) | Pneumatic infrared detector | |
| RU2764397C1 (en) | Matrix converter | |
| Gibin et al. | Optical-acoustic detectors of IR and THz radiation with nano-electro-mechanical elements based on single-layer graphene | |
| Delany | The optic-acoustic effect in gases | |
| Kotlyar | Infrared and Terahertz Radiation Detectors Based on Opto-Acoustic Converters (a Review) | |
| Bento et al. | Open photoacoustic cell X-ray detection | |
| Stefanova et al. | Polymer-based micro-golay cells for THz detection | |
| USH651H (en) | Gas phase photoacoustic detector for infrared spectroscopy | |
| WO2023233900A1 (en) | Light sensor, light detection device, and terahertz/infrared fourier spectroscope |