RU2743633C1 - Piezoelectric pressure sensor - Google Patents

Piezoelectric pressure sensor Download PDF

Info

Publication number
RU2743633C1
RU2743633C1 RU2020120298A RU2020120298A RU2743633C1 RU 2743633 C1 RU2743633 C1 RU 2743633C1 RU 2020120298 A RU2020120298 A RU 2020120298A RU 2020120298 A RU2020120298 A RU 2020120298A RU 2743633 C1 RU2743633 C1 RU 2743633C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric
sensitive element
glass
current collector
piezoelectric element
Prior art date
Application number
RU2020120298A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Лариса Борисовна Рулева
Сергей Иванович Солодовников
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им А.Ю. Ишлинского
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им А.Ю. Ишлинского filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им А.Ю. Ишлинского
Priority to RU2020120298A priority Critical patent/RU2743633C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2743633C1 publication Critical patent/RU2743633C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/08—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of piezoelectric devices, i.e. electric circuits therefor

Abstract

FIELD: instrumentation.SUBSTANCE: invention relates to instrumentation and namely to dynamic pressure measurers in a wide range of pressure and speed of their changes when modeling aerodynamic processes in wind tunnels and shock tunnels. The piezoelectric pressure sensor contains a housing, a cup, in which a sensitive element is located, consisting of a piezoelectric element and a current collector. The cup covers the sensitive element and presses it to the base of the sensor with a force equal to the total force from the maximum possible effect on the sensitive element of static and dynamic pressure. Moreover, the cup is made of a dielectric and covers the lateral surface of the sensitive element along a sliding fit. The body includes a lid with multiple perforations. The second current collector is installed into the front end of the piezoelectric element. The second current collector is connected to an electric exciter of the reverse piezoelectric effect with a small amplitude and frequency close to the frequency of natural oscillations of the piezoelectric element.EFFECT: invention minimizes sensor inertia and improves measurement accuracy.1 cl, 2 dwg

Description

Заявленное устройство относится к приборостроению, в частности к измерителям динамического давления в широких диапазонах давлений и скоростей их изменений. При моделировании аэродинамических процессов в аэродинамических и ударных трубах требуется минимизация датчиков давления. Минимизация размеров датчиков без ущерба их функциональности позволяет максимально разместить их на поверхностях моделей для идентификации поля давления. Датчики должны иметь минимальное время отклика для регистрации давления в высокоскоростных воздушных потоках.The claimed device relates to instrumentation, in particular to measuring dynamic pressure in a wide range of pressures and rates of change. When simulating aerodynamic processes in wind tunnels and shock tunnels, it is required to minimize pressure sensors. Minimizing the size of the sensors without compromising their functionality allows them to be maximally placed on the surfaces of the models to identify the pressure field. Sensors must have the shortest response time to register pressure in high speed air streams.

Известен «Способ изготовления пьезоэлектрического датчика давления» (Патент на изобретение РФ №2489694, МПК G01L 9/08, опубл. 20.08.2013, которым изготавливают датчик, содержащий не менее двух пьезоэлементов, поджатых корпусом с мембраной, которую выполняют с жестким центром, осуществляют герметичное соединение корпуса с основанием, после чего нагружают мембрану избыточным давлением, величина которого больше верхней границы измеряемого диапазона, до пластической деформации части мембраны. Отношение диаметра жесткого центра к диаметру мембраны выбирают из диапазона больше 0,65, но меньше 1. The known "Method of manufacturing a piezoelectric pressure sensor" (Patent for the invention of the Russian Federation No. 2489694, IPC G01L 9/08, publ. 08/20/2013, which produces a sensor containing at least two piezoelectric elements, compressed by a body with a membrane, which is performed with a rigid center, is carried out tight connection of the body to the base, after which the membrane is loaded with excess pressure, the value of which is greater than the upper limit of the measured range, until plastic deformation of the part of the membrane.The ratio of the diameter of the rigid center to the diameter of the membrane is selected from the range greater than 0.65, but less than 1.

Недостаток устройства – в наличии мембраны между источником давления и чувствительным пьезоэлементом. Мембрана с жестким центром увеличивает инерционность устройства, что не позволяет использовать устройство для регистрации динамического давления высоко- и гиперзвуковых потоков. Наличие двух чувствительных пьезоэлементов, при неидентичности структур пьезоэлементов может привести к погрешности коэффициента передач датчика давления.The disadvantage of the device is the presence of a membrane between the pressure source and the sensitive piezoelectric element. A membrane with a rigid center increases the inertia of the device, which does not allow the device to be used for recording the dynamic pressure of high- and hypersonic flows. The presence of two sensitive piezoelectric elements, if the structures of the piezoelectric elements are not identical, may lead to an error in the transmission ratio of the pressure sensor.

Известен «Способ изготовления пьезоэлектрического датчика давления» (патент на изобретение РФ № 2339013, МПК G01L 9/08, опубл. 20.11.2008) которым изготавливают датчик для измерения быстропеременных и акустических давлений. При изготовлении пьезоэлектрического датчика давления пьезоэлементы с электродами, изоляторами, тонкостенным кожухом и силопередающим элементом, его устанавливают на основание, а затем закрепляют в технологическом корпусе. Все детали сборки чувствительного элемента с рассчитанным усилием стягивают в тонкостенном кожухе, сопрягающемся по периметру с одного торца с силопередающим элементом, а с другого - с основанием. Сопряжения в нижней части технологического корпуса выполнены с пазами. Чувствительный элемент устанавливают в корпус датчика и производят герметизацию внутренней полости датчика с помощью сварки корпуса с основанием. Known "Method of manufacturing a piezoelectric pressure sensor" (patent for invention of the Russian Federation No. 2339013, IPC G01L 9/08, publ. 20.11.2008) which produces a sensor for measuring rapidly changing and acoustic pressures. In the manufacture of a piezoelectric pressure sensor, piezoelectric elements with electrodes, insulators, a thin-walled casing and a force-transmitting element are installed on the base and then fixed in the technological case. All parts of the assembly of the sensing element are pulled together with a calculated force in a thin-walled casing, which is mated along the perimeter from one end to the force-transmitting element, and from the other to the base. Mates in the lower part of the technological body are made with grooves. The sensing element is installed in the sensor body and the internal cavity of the sensor is sealed by welding the body to the base.

Недостаток устройства – в инерционности устройства, содержащем силопередающий элемент, выполняющий роль утолщенной мембраны. The disadvantage of the device is the inertia of the device, which contains a force-transmitting element that acts as a thickened membrane.

Содержание не одного, а трех чувствительных пьезоэлементов, из-за не идентичности структур пьезоэлементов, может привести к погрешность коэффициента передач датчика давления.The content of not one, but three sensitive piezoelectric elements, due to the non-identity of the structures of the piezoelectric elements, can lead to an error in the transmission ratio of the pressure sensor.

Наиболее близким техническим решением является «Пьезоэлектрический датчик давления» (Патент на изобретение № 2523091, МПК G01L 9/08 опубл. 27.02.2014), содержащий корпус с мембраной, в котором расположен чувствительный элемент, состоящий из пьезоэлементов, токосъемника, расположенного между пьезоэлементами, и основания. Тонкостенный стакан закрывает чувствительный элемент и поджимает его к основанию датчика с усилием, равным суммарному усилию от максимально возможного воздействия на мембрану статического и динамического давлений. Размеры стакана определены согласно математическому выражению: h=(0,16…0,3)*D/2. Здесь: h - высота стакана; D - внешний диаметр стакана. Дно стакана выполнено толщиной, обусловленной исключением прогиба мембраны в центральной части стакана.The closest technical solution is the "Piezoelectric pressure sensor" (Patent for invention No. 2523091, IPC G01L 9/08 publ. 02/27/2014), containing a housing with a membrane, in which a sensitive element is located, consisting of piezoelectric elements, a current collector located between the piezoelectric elements, and foundations. A thin-walled glass covers the sensitive element and presses it to the base of the sensor with a force equal to the total force from the maximum possible effect on the membrane of static and dynamic pressures. The dimensions of the glass are determined according to the mathematical expression: h = (0.16 ... 0.3) * D / 2. Here: h - glass height; D is the outer diameter of the glass. The bottom of the glass is made with a thickness due to the exclusion of membrane deflection in the central part of the glass.

Недостаток устройства – в наличии глухой, утолщенной мембраны между источником давления и чувствительным пьезоэлементом. Этот факт увеличивает инерционность устройства, что снижает быстродействие устройства при измерении давления высоко- и гиперзвуковых потоков.The disadvantage of the device is the presence of a deaf, thickened membrane between the pressure source and the sensitive piezoelectric element. This fact increases the inertia of the device, which reduces the speed of the device when measuring the pressure of high- and hypersonic flows.

Устройство содержит не один, а два чувствительных пьезоэлемента, однако из-за не идентичности структур пьезоэлементов возможна погрешность коэффициента передач датчика давления.The device contains not one, but two sensitive piezoelectric elements, however, due to the non-identical structures of the piezoelectric elements, an error in the transmission ratio of the pressure sensor is possible.

Технический результат заявленного устройства направлен на минимизацию инерционности датчика и повышение точности измерения.The technical result of the claimed device is aimed at minimizing the inertia of the sensor and increasing the measurement accuracy.

Технический результат достигается тем, что в пьезоэлектрическом датчике давления, содержащем корпус, стакан, в котором расположен чувствительный элемент, состоящий из пьезоэлемента и токосъемника, стакан закрывает чувствительный элемент и поджимает его к основанию датчика с усилием, равным суммарному усилию от максимально возможного воздействия на чувствительный элемент статического и динамического давлений, стакан выполнен из диэлектрика и закрывает боковую поверхность чувствительного элемента по скользящей посадке, в корпус введена крышка с множественной перфорацией, а передний торец пьезоэлемента введен второй токосъемник, связанный с электрическим возбудителем обратного пьезоэффекта с малой амплитудой и частотой, близкой к частоте собственных колебаний пьезоэлемента.The technical result is achieved by the fact that in a piezoelectric pressure sensor containing a housing, a glass in which a sensitive element is located, consisting of a piezoelectric element and a current collector, the glass closes the sensitive element and presses it to the base of the sensor with a force equal to the total force from the maximum possible impact on the sensitive element of static and dynamic pressure, the glass is made of dielectric and closes the lateral surface of the sensitive element along a sliding fit, a cover with multiple perforations is introduced into the housing, and a second current collector is introduced into the front end of the piezoelectric element, connected to an electric exciter of the reverse piezoelectric effect with a small amplitude and frequency close to frequency of natural vibrations of the piezoelectric element.

Кроме того, скользящая посадка стакана выполнена в виде колец, а остальное соединение боковой поверхности стакана с чувствительным элементом выполнено по свободной посадке.In addition, the sliding fit of the glass is made in the form of rings, and the rest of the connection of the side surface of the glass with the sensitive element is made in a loose fit.

Пьезоэлектрический датчик давления представлен на фиг.1, а вариант пьезоэлектрического датчика давления с кольцами показан на фиг.2. A piezoelectric pressure sensor is shown in FIG. 1, and an embodiment of a piezoelectric pressure sensor with rings is shown in FIG. 2.

На фигурах: 1- пьезоэлемент, 2- второй токосъемник (металлизация переднего торца пьезоэлемента), 3 - первый токосъемник (металлизация заднего торца пьезоэлемента), 4 - стакан, 5 - корпус, 6 – крышка с множественной перфорацией.In the figures: 1 - piezoelectric element, 2 - second current collector (metallization of the front end of the piezoelectric element), 3 - first current collector (metallization of the rear end of the piezoelectric element), 4 - glass, 5 - body, 6 - cover with multiple perforations.

Пьезоэлектрический датчик давления имеет пьезоэлемент 1 с токосъемниками 2 и 3 , выполненных в виде металлизации передней и задней кромок, с припаянными к ним проводниками. Пьезоэлемент 1 установлен в стакан 4, монтируемый в корпус 5 , который закрывается крышкой 6 с множественной перфорацией. Стакан 4 выполнен из изоляционного материала, например, из бакелита или карболита. Он закрывает боковую поверхность чувствительного элемента по скользящей посадке (фиг.1) . Скользящая посадка стакана 4 может быть выполнена в виде колец, а остальное соединение боковой поверхности стакана с чувствительным элементом выполнено по свободной посадке (фиг.2.). Проводник от первого токосъемника 3 соединен с регистрирующей аппаратурой. Второй токосъемник 2 соединен с источником возбуждения обратного пьезоэффекта пьезоэлемента с малой амплитудой и частотой, близкой к собственной частоте пьезоэлемента. При изготовлении вытачивают стакан 4 по плотной посадке, далее внутри шлифовальной коронкой стакан стачивается и внутренняя поверхность стакана 4 становится гладкой как на фиг.1., или с зубцами, Потом под давлением вставляют пьезокристал. Перед эксплуатацией устройство нагружают на минимальное и максимальное давление, регулируют жесткую посадку чувствительного элемента в стакане 4, а последнего – в корпусе 5. При этом фиксируют соответствующие выходные сигналы. По сигналам, соответствующим минимальному и максимальному давлению определяют коэффициент передачи заявленного устройства и максимальную погрешность. Достаточность перфораций в крышке 6 определяется по максимальному выходному сигналу.The piezoelectric pressure sensor has a piezoelectric element 1 with current collectors 2 and 3, made in the form of metallization of the front and rear edges, with conductors soldered to them. The piezoelectric element 1 is installed in a glass 4, mounted in a housing 5, which is closed by a lid 6 with multiple perforations. Bowl 4 is made of insulating material such as bakelite or carbolite. It covers the lateral surface of the sensing element along a sliding fit (Fig. 1). The sliding fit of the glass 4 can be made in the form of rings, and the rest of the connection of the side surface of the glass with the sensitive element is made in a free fit (Fig. 2.). The conductor from the first current collector 3 is connected to the recording equipment. The second current collector 2 is connected to a source of excitation of the reverse piezoelectric effect of the piezoelectric element with a small amplitude and frequency close to the natural frequency of the piezoelectric element. When manufacturing, the glass 4 is grinded for a tight fit, then the glass is grinded inside with a grinding crown and the inner surface of the glass 4 becomes smooth as in Fig. 1., or with teeth, Then a piezo crystal is inserted under pressure. Before operation, the device is loaded to the minimum and maximum pressure, the rigid fit of the sensitive element in the glass 4, and the latter in the housing 5, is adjusted. The corresponding output signals are recorded. The signals corresponding to the minimum and maximum pressure determine the transmission coefficient of the declared device and the maximum error. The sufficiency of the perforations in the cover 6 is determined by the maximum output signal.

Вибрация переднего торца пьезоэлемента 1 от обратного пьезоэффекта позволяет понизить порог трогания. Время отклика пъезоэлектрического датчика давления определяется лишь самим пьезоэлементом 1 за счет отсутствия мембраны. Крышка с множественной перфорацией 6 корпуса 5 защищает пъезоэлектрического датчика давления от осколков мембран при инициировании ударной волны, и позволяет контактировать давлению ударной волны с передним торцом пьезодатчика. Vibration of the front end of the piezoelectric element 1 from the reverse piezoelectric effect allows you to lower the start-off threshold. The response time of the piezoelectric pressure sensor is determined only by the piezoelectric element 1 itself due to the absence of a membrane. The cover with multiple perforations 6 of the housing 5 protects the piezoelectric pressure sensor from membrane fragments when the shock wave is initiated, and allows the shock wave pressure to contact the front end of the piezoelectric sensor.

Работает устройство следующим образом. Собранное и проградуированное устройство устанавливается в объект. Например, в стенку ударной трубы кратковременного действия или в модель перед гиперзвуковым соплом [1]. Весь корпус датчика находится в толще экспериментальной установки, поэтому за короткое время прохождения ударной волны, влияния колебания корпуса практически не происходит из-за разницы скоростей ударной волны в вакуумном канале и волны в металле массивного корпуса установки. На поверхности канала ударной трубы, заподлицо выставляется крышка с множественной перфорацией 6 датчика. Второй токосъемник 2 на переднем торце датчика, подключен к источнику, вызывающего колебания пьезоэлемента с малой амплитудой и частотой, близкой к частоте собственных колебаний пьезоэлемента.The device works as follows. The assembled and graduated device is installed in the object. For example, into the wall of a short-term shock tube or into a model in front of a hypersonic nozzle [1]. The entire body of the sensor is located in the thickness of the experimental setup, therefore, for a short time of passage of the shock wave, the effect of vibration of the housing practically does not occur due to the difference in the velocities of the shock wave in the vacuum channel and the wave in the metal of the massive body of the setup. On the surface of the channel of the shock tube, a cover with multiple perforations 6 of the sensor is flush mounted. The second current collector 2 at the front end of the sensor is connected to a source causing oscillations of the piezoelectric element with a small amplitude and frequency close to the frequency of natural oscillations of the piezoelectric element.

При прохождении фронта ударной волны, с заднего торца 3 датчика снимается сигнал, пропорциональный давлению. When the front of the shock wave passes, a signal proportional to the pressure is removed from the rear end 3 of the sensor.

Пьезоэлемент имеет высокую собственную частоту колебания

Figure 00000001
The piezoelectric element has a high natural vibration frequency
Figure 00000001

Figure 00000002
, (1)
Figure 00000002
 , (one)

где

Figure 00000003
- показатель затухания. При воздействии единичным импульсом колебания затухают. При возбуждении колебаний с малой амплитудой и частотой
Figure 00000004
, близкой к частоте
Figure 00000001
 собственных колебаний:Where
Figure 00000003
 - attenuation index. When exposed to a single impulse, the oscillations are damped. When exciting vibrations with small amplitude and frequency
Figure 00000004
 close to frequency
Figure 00000001
 natural oscillations:

Figure 00000005
(2)
Figure 00000005
 (2)

изменение линейных размеров пьезоэлемента:changing the linear dimensions of the piezoelectric element:

Figure 00000006
(3)
Figure 00000006
 (3)

будет определяться, в основном, вторым слагаемым. Амплитудно-частотная характеристика определится выражением:will be determined mainly by the second term. The frequency response is determined by the expression:

Figure 00000007
. (4)
Figure 00000007
 ... (four)

Чувствительность пьезоэлемента повышается при приближении

Figure 00000004
к частоте
Figure 00000001
. Максимальная амплитуда имеет вид:The sensitivity of the piezoelectric element increases when approaching
Figure 00000004
 to frequency
Figure 00000001
 ... The maximum amplitude is:

Figure 00000008
, (5)
Figure 00000008
 , (five)

где добротность where is the quality factor

Figure 00000009
(6)
Figure 00000009
 (6)

пьезоэлемента известна до установки его в устройство. The piezoelectric element is known prior to its installation in the device.

Амплитуда вынужденных колебаний регулируется напряженностью Е электрического поля. При этом пьезомодуль обратного пьезоэффекта, также как и добротность пьезоэлемента известны до установки пьезоэлемента в устройство.The amplitude of the forced oscillations is regulated by the strength E of the electric field. In this case, the piezoelectric module of the inverse piezoelectric effect, as well as the figure of merit of the piezoelectric element, are known before the piezoelectric element is installed in the device.

Таким образом, чувствительность заявленного устройства повышается, пьезоэлемент и его передняя кромка как бы вибрируют около своего нового нуля, чувствительность повышается. Кроме того, отсутствие жесткой инерционной мембраны, увеличивающей параметры

Figure 00000003
в формуле (3) и добротность (5), также приводит к повышению времени отклика устройства.Thus, the sensitivity of the claimed device increases, the piezoelectric element and its leading edge vibrate around their new zero, the sensitivity increases. In addition, the absence of a rigid inertial membrane that increases the parameters
Figure 00000003
 in the formula (3) and the quality factor (5), also leads to an increase in the response time of the device.

Claims (2)

1. Пьезоэлектрический датчик давления, содержащий корпус, стакан, в котором расположен чувствительный элемент, состоящий из пьезоэлемента и токосъемника, стакан закрывает чувствительный элемент и поджимает его к основанию датчика с усилием, равным суммарному усилию от максимально возможного воздействия на чувствительный элемент статического и динамического давлений, отличающийся тем, что стакан выполнен из диэлектрика и закрывает боковую поверхность чувствительного элемента по скользящей посадке, в корпус введена крышка с множественной перфорацией, в передний торец пьезоэлемента введен второй токосъемник, связанный с электрическим возбудителем обратного пьезоэффекта с малой амплитудой и частотой, близкой к частоте собственных колебаний пьезоэлемента.1. A piezoelectric pressure sensor containing a body, a glass in which a sensitive element is located, consisting of a piezoelectric element and a current collector, the glass closes the sensitive element and presses it to the base of the sensor with a force equal to the total force from the maximum possible effect on the sensitive element of static and dynamic pressure , characterized in that the glass is made of a dielectric and closes the lateral surface of the sensing element along a sliding fit, a cover with multiple perforations is introduced into the case, a second current collector is introduced into the front end of the piezoelectric element, connected to an electric exciter of the reverse piezoelectric effect with a small amplitude and a frequency close to the frequency natural vibrations of the piezoelectric element. 2. Пьезоэлектрический датчик давления по п. 1, отличающийся тем, что скользящая посадка стакана выполнена в виде колец, а остальное соединение боковой поверхности стакана с чувствительным элементом выполнено по свободной посадке.2. The piezoelectric pressure sensor according to claim 1, characterized in that the sliding fit of the glass is made in the form of rings, and the rest of the connection of the side surface of the glass with the sensitive element is made in a loose fit.
RU2020120298A 2020-06-18 2020-06-18 Piezoelectric pressure sensor RU2743633C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020120298A RU2743633C1 (en) 2020-06-18 2020-06-18 Piezoelectric pressure sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020120298A RU2743633C1 (en) 2020-06-18 2020-06-18 Piezoelectric pressure sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2743633C1 true RU2743633C1 (en) 2021-02-20

Family

ID=74666130

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020120298A RU2743633C1 (en) 2020-06-18 2020-06-18 Piezoelectric pressure sensor

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2743633C1 (en)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1080043A1 (en) * 1982-12-24 1984-03-15 Харьковский Ордена Ленина Авиационный Институт Им.Н.Е.Жуковского Piezoelectric pressure pickup (its versions)
US4441044A (en) * 1981-05-20 1984-04-03 Hans List Transducer with a piezoelectric sensor element
SU1283558A1 (en) * 1984-11-10 1987-01-15 Проектно-конструкторское бюро электрогидравлики АН УССР Pressure transducer
SU1760413A1 (en) * 1990-09-24 1992-09-07 Научно-исследовательский институт физических измерений Pressure transducer
RU2339013C1 (en) * 2007-04-20 2008-11-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт физических измерений" Method of piezoelectric pressure transducer production
RU2489694C2 (en) * 2011-07-13 2013-08-10 ООО "ГлобалТест" Manufacturing method of piezoelectric pressure sensor
RU2523091C2 (en) * 2012-08-23 2014-07-20 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Piezoelectric pressure transducer

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4441044A (en) * 1981-05-20 1984-04-03 Hans List Transducer with a piezoelectric sensor element
SU1080043A1 (en) * 1982-12-24 1984-03-15 Харьковский Ордена Ленина Авиационный Институт Им.Н.Е.Жуковского Piezoelectric pressure pickup (its versions)
SU1283558A1 (en) * 1984-11-10 1987-01-15 Проектно-конструкторское бюро электрогидравлики АН УССР Pressure transducer
SU1760413A1 (en) * 1990-09-24 1992-09-07 Научно-исследовательский институт физических измерений Pressure transducer
RU2339013C1 (en) * 2007-04-20 2008-11-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт физических измерений" Method of piezoelectric pressure transducer production
RU2489694C2 (en) * 2011-07-13 2013-08-10 ООО "ГлобалТест" Manufacturing method of piezoelectric pressure sensor
RU2523091C2 (en) * 2012-08-23 2014-07-20 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Piezoelectric pressure transducer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Scheeper et al. A new measurement microphone based on MEMS technology
US4098133A (en) Vibrating diaphragm fluid pressure sensor device
GB2125213A (en) Piezoelectric transducer notably for pressure measurement
US4085349A (en) Piezo electric transducer for measuring instantaneous vibration velocity
JP2008232886A (en) Pressure sensor
CN105158507A (en) Fiber grating acceleration sensor and manufacturing method thereof
Rahaman et al. Effect of torsional beam length on acoustic functionalities of bio-inspired piezoelectric MEMS directional microphone
RU2743633C1 (en) Piezoelectric pressure sensor
US10935679B2 (en) Coupling evaluation geophone and method for eliminating ground-geophone coupling effect
US9140619B2 (en) Piezoelectric vacuum gauge and measuring method thereof
Kälvesten et al. Small piezoresistive silicon microphones specially designed for the characterization of turbulent gas flows
US7380459B1 (en) Absolute pressure sensor
Löfdahl et al. Small silicon based pressure transducers for measurements in turbulent boundary layers
Willmarth Unsteady force and pressure measurements
RU2815862C1 (en) Piezoelectric shock wave pressure sensor
SU1270593A1 (en) Piezoelectric pressure transducer
RU2776043C1 (en) Ultrasonic piezoelectric transducer
SU888045A1 (en) Acceleration sensor
CN115183741B (en) Optical fiber grating inclination sensor
RU2043610C1 (en) Acoustic pressure transducer
CA1106638A (en) Vibrating diaphragm fluid pressure sensor device
CN117870844A (en) Resonance high-sensitivity detection acoustic vector hydrophone realized by utilizing resonance characteristic of second-order inertial system, and design method and working method thereof
CA1106639A (en) Vibrating diaphragm fluid pressure sensor device
SU1157462A1 (en) Accelerometer
JPH05118933A (en) Strain sensor