RU2727610C1 - Linear stepped piezoelectric motor - Google Patents
Linear stepped piezoelectric motor Download PDFInfo
- Publication number
- RU2727610C1 RU2727610C1 RU2019119539A RU2019119539A RU2727610C1 RU 2727610 C1 RU2727610 C1 RU 2727610C1 RU 2019119539 A RU2019119539 A RU 2019119539A RU 2019119539 A RU2019119539 A RU 2019119539A RU 2727610 C1 RU2727610 C1 RU 2727610C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- rod
- frame
- spacer
- flexible hinges
- piezoelectric motor
- Prior art date
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 45
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 13
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области электротехники и автоматики и может быть использовано как исполнительный элемент для прецизионных перемещений в оптико-механических приборах, в технологическом оборудовании для микроэлектроники, в системах автоматического наведения, в механических сканирующих устройствах и пьезоприводах.The invention relates to the field of electrical engineering and automation and can be used as an actuator for precision movements in opto-mechanical devices, in technological equipment for microelectronics, in automatic guidance systems, in mechanical scanning devices and piezo drives.
Известен линейный пьезодвигатель, содержащий неподвижный и подвижный корпуса, соединенные упругими элементами, шток, пьезоэлементы с рычагами прямого и обратного хода, которые жестко закреплены на подвижном корпусе. [Патент РФ №2617209 Линейный пьезоэлектрический двигатель / С.В.Пономарев, С.В. Рикконен, А.В. Азии, С.А. Орлов]. Недостаток конструкции заключается в том, что для организации реверсивной работы линейного пьезодвигателя используются по два, встречно расположенных пьезоэлемента, имеется подвижный корпус, дополнительные упругости - это увеличивает массогабаритные характеристики и усложняет управление устройством.Known linear piezoelectric motor containing a fixed and movable body, connected by elastic elements, a rod, piezoelectric elements with levers of forward and reverse motion, which are rigidly fixed to the movable body. [RF patent №2617209 Linear piezoelectric motor / S.V. Ponomarev, S.V. Rikkonen, A.V. Asia, S.A. Orlov]. The disadvantage of the design is that for the organization of the reverse operation of the linear piezoelectric motor, two oppositely located piezoelements are used, there is a movable body, additional elasticity - this increases the weight and size characteristics and complicates the control of the device.
Известен линейный пьезоэлектрический двигатель [Патент РФ №2390090 Линейный пьезоэлектрический двигатель / А.Л. Гриценко, А.Я. Сафронов], который содержит ползун с направляющими и пьезоприводную систему, состоящую из замкнутой рамки с упругим элементом в виде двух плоских пружин на ее боковых гранях. В рамку вставлен пьезоэлемент продольного удлинения. На концах рамки в плоские пружины вставлены пьезоэлементы поперечных перемещений. Недостаток конструкции заключается в невысокой жесткости конструкции двигателя.Known linear piezoelectric motor [RF Patent №2390090 Linear piezoelectric motor / A.L. Gritsenko, A. Ya. Safronov], which contains a slider with guides and a piezo-drive system, consisting of a closed frame with an elastic element in the form of two flat springs on its lateral faces. A piezoelectric element of longitudinal elongation is inserted into the frame. At the ends of the frame, piezoelectric elements of transverse displacements are inserted into flat springs. The design flaw is the low rigidity of the engine design.
Наиболее близким (прототип) к заявляемому устройству является линейный пьезоэлектрический двигатель [Patent CN №104410323 Large linear displacement of the piezoelectric actuator and method of the clamp with power / UNIV XI AN JIAOTONG(CN)]. Двигатель содержит основание, эллиптический приводной механизм, направляющий и выходной стержень, левый и правый сжимающие механизмы, которые соответственно закреплены винтами на двух концах основания. Каждый сжимающий механизм состоит из пьезоэлектрического элемента, гибких шарниров и двух сжимающих элементов для фиксации стержня. Между левым и правым сжимающими механизмами расположен эллиптический приводной механизм с пьезоэлектрическим элементом. Направляющий стержень и выходной стержень соответственно соединены с левым концом и правым концом эллиптического приводного механизма и фиксируются в сжимающих механизмах.The closest (prototype) to the claimed device is a linear piezoelectric motor [Patent CN No. 104410323 Large linear displacement of the piezoelectric actuator and method of the clamp with power / UNIV XI AN JIAOTONG (CN)]. The engine contains a base, an elliptical drive mechanism, a guide and an output rod, left and right compression mechanisms, which are respectively fixed with screws at two ends of the base. Each clamping mechanism consists of a piezoelectric element, flexible hinges and two clamping elements for securing the rod. An elliptical actuator with a piezoelectric element is located between the left and right compression mechanisms. The guide rod and the output rod are respectively connected to the left end and the right end of the elliptical drive mechanism and are fixed in the compression mechanisms.
Основной недостаток конструкции прототипа заключается в ограничении перемещений стержня за счет эллиптического приводного механизма, увеличение диапазона перемещения стержня возможно лишь за счет увеличения основания двигателя, что повлечет увеличение массогабаритных показателей. Кроме этого, надежность конструкции прототипа во многом зависит от надежности конструкционного узла направляющий стержень-эллиптический приводной механизм-выходной стержень, который должен держать всю нагрузку, оказываемую на двигатель при его работе.The main disadvantage of the prototype design is to limit the movement of the rod due to the elliptical drive mechanism, increasing the range of movement of the rod is possible only by increasing the base of the engine, which will lead to an increase in weight and dimensions. In addition, the reliability of the design of the prototype largely depends on the reliability of the structural assembly of the guide rod-elliptical drive mechanism-output rod, which must hold all the load exerted on the engine during its operation.
Выше перечисленный недостаток исключает предложенная конструкция линейного шагового пьезоэлектрического двигателя.The above disadvantage is eliminated by the proposed design of a linear stepping piezoelectric motor.
Технический результат, достигаемый при осуществлении предлагаемого изобретения, состоит в увеличении жесткости конструкции и конструктивной независимости двигателя от величины стержня.The technical result achieved by the implementation of the invention consists in increasing the rigidity of the structure and the structural independence of the engine from the size of the rod.
Технический результат достигается тем, что линейный шаговый пьезоэлектрический двигатель содержит основание, левый прижимающий механизм, приводной механизм и правый прижимающий механизм, включающие пьезоэлементы и гибкие шарниры, направляющий и выходной стержни, причем направляющий и выходной стержни выполнены в виде единого цилиндрического стержня, при этом приводной механизм представляет собой одноконтурный механический преобразователь, состоящий из рамки с гибкими шарнирами, внутри которой установлены два пьезоэлемента и проставка между ними, а прижимающие механизмы представляют собой двухконтурные механические преобразователи, состоящие из внешней и внутренней рамок, расположенных перпендикулярно друг к другу и содержащие гибкие шарниры, при этом внешняя рамка содержит два пьезоэлемента, каждый из которых с одной стороны имеют проставку, с другой стороны опорную площадку, которая крепиться к внешней рамке, а на внутренней рамке закреплены губки захвата стержня с возможностью их перемещения внутри проставки, причем прижимающие и приводной механизмы являются единым неразъемным элементом.The technical result is achieved in that the linear stepping piezoelectric motor comprises a base, a left clamping mechanism, a drive mechanism and a right clamping mechanism, including piezoelectric elements and flexible hinges, a guide and output rods, and the guide and output rods are made in the form of a single cylindrical rod, while the drive the mechanism is a single-circuit mechanical transducer, consisting of a frame with flexible hinges, inside which there are two piezoelements and a spacer between them, and the clamping mechanisms are double-circuit mechanical transducers, consisting of an outer and an inner frame located perpendicular to each other and containing flexible hinges, in this case, the outer frame contains two piezoelectric elements, each of which has a spacer on one side, on the other side a support platform, which is attached to the outer frame, and the jaws of the rod grip are fixed on the inner frame with the possibility of their spacers inside the spacer, with the clamping and drive mechanisms being one integral part.
Сущность изобретения поясняется рисунками.The essence of the invention is illustrated by drawings.
Фиг. 1 - Схема линейного шагового пьезоэлектрического двигателя.FIG. 1 - Diagram of a linear stepping piezoelectric motor.
Линейный шаговый пьезоэлектрический двигатель состоит из основания (1); стержня (2), двух прижимающих механизмов (3) и приводного механизма (4). Прижимающие (3) и приводной (4) механизмы являются единым неразъемным элементом. Основание (1) с помощью винтов (5) крепится сбоку к прижимающему механизму (3). Стержень (2) проходит сквозь прижимающие (3) и приводной (4) механизмы и основание (1) и фиксируется прижимающими механизмами (3). Приводной механизм (4) представляет собой одноконтурный механический преобразователь, состоящий из рамки (6) с гибкими шарнирами (7), внутри которой установлены два пьезоэлемента (8) и проставка (9) между ними. Прижимающие механизмы (3) выполнены в виде двухконтурных механических преобразователей, которые состоят из внешней (10) и внутренней (11) рамок, расположенных перпендикулярно друг к другу и содержащие гибкие шарниры (7), при этом внешняя рамка (10) содержит два пьезоэлемента (8), каждый из которых с одной стороны имеют проставку (12), с другой стороны опорную площадку (13), которая винтами (14) крепиться к внешней рамке (10), а на внутренней рамке (11) с помощью элементов крепления (15) и (16) закреплены губки захвата стержня (17) с возможностью их перемещения внутри проставки (12).The linear stepper piezoelectric motor consists of a base (1); rod (2), two clamping mechanisms (3) and a drive mechanism (4). The pressing (3) and drive (4) mechanisms are a single integral element. The base (1) is attached to the side to the pressing mechanism (3) with screws (5). The rod (2) passes through the pressing (3) and drive (4) mechanisms and the base (1) and is fixed by the pressing mechanisms (3). The drive mechanism (4) is a single-circuit mechanical converter, consisting of a frame (6) with flexible hinges (7), inside which two piezoelements (8) and a spacer (9) are installed between them. The pressing mechanisms (3) are made in the form of two-circuit mechanical transducers, which consist of an outer (10) and an inner (11) frames located perpendicular to each other and containing flexible hinges (7), while the outer frame (10) contains two piezoelectric elements ( 8), each of which on one side has a spacer (12), on the other side a support platform (13), which is fastened with screws (14) to the outer frame (10), and on the inner frame (11) using fastening elements (15 ) and (16), the rod gripping jaws (17) are fixed with the possibility of their movement inside the spacer (12).
Фиг. 2 - Схема работы двухконтурного механического преобразователя.FIG. 2 - Scheme of operation of a two-circuit mechanical converter.
При подаче напряжения на пьезоэлементы, пьезоэлементы увеличиваются в длину и, упираясь в проставку, давят на внешнюю рамку (10). Внешняя рамка увеличивается в длину и сужается в ширину, тем самым воздействуя на внутреннюю рамку (11). При этом внутренняя рамка (11) сужается в ширину и увеличивается в длину.When voltage is applied to the piezoelectric elements, the piezoelectric elements increase in length and, resting against the spacer, press on the outer frame (10). The outer frame increases in length and narrows in width, thereby acting on the inner frame (11). In this case, the inner frame (11) narrows in width and increases in length.
Фиг. 3 - Конечно-элементная модель линейного шагового пьезоэлектрического двигателя. Результаты испытания на жесткость.FIG. 3 - Finite element model of a linear stepping piezoelectric motor. Stiffness test results.
Расчет жесткости конструкции линейного шагового пьезоэлектрического двигателя проводился с помощью пакета конечно-элементного анализа NX. В процессе численного моделирования решались задачи:The calculation of the structural rigidity of a linear stepping piezoelectric motor was carried out using the NX finite element analysis package. In the process of numerical modeling, the following problems were solved:
1. Определение жесткости конструкций предлагаемого привода и прототипа при оптимальном режиме работы1. Determination of the stiffness of the structures of the proposed drive and prototype at optimal operation
2. Определение тянущего усилия предлагаемого привода и прототипа2. Determination of the pulling force of the proposed drive and prototype
Были разработаны модели предлагаемого привода и прототипа. Конечно-элементная модель предлагаемого привода состоит из 1019346 элементов типа Tetra 4, Неха 8 и 1314883 узлов. Конечно-элементная модель прототипа состоит из 229115 элементов типа Tetra 4 и 52961 узлов. Материал конструкции приводов - сталь 10. Размеры и масса предлагаемого привода и прототипа: 20×20×50 мм при массе 30 г.Models of the proposed drive and prototype were developed. The finite element model of the proposed drive consists of 1,019346 elements of the Tetra 4, Neha 8 and 1,314883 units. The finite element model of the prototype consists of 229115
Конструкция прототипа при использовании указанного материала согласно КЭ расчету не может обеспечить тянущее усилие выше 11 Н. Конструкция предлагаемого привода при использовании указанного материала обеспечивает тянущее усилие 20 Н.The design of the prototype when using the specified material according to the FE calculation cannot provide a pulling force higher than 11 N. The design of the proposed drive when using the specified material provides a pulling force of 20 N.
По результатам расчета определено, что максимальное удлинение конструкции линейного шагового пьезоэлектрического двигателя при тянущем усилии 20 Н составило 10,2 мкм (Фиг. 3а). При этом напряжение в элементах двигателя не превысило 72 МПа при 20 Н (Фиг. 3б). Следовательно, жесткость всей системы линейного шагового пьезоэлектрического двигателя составляет 2 Н/мкм.According to the calculation results, it was determined that the maximum elongation of the structure of a linear stepping piezoelectric motor with a pulling force of 20 N was 10.2 μm (Fig. 3a). In this case, the stress in the engine elements did not exceed 72 MPa at 20 N (Fig. 3b). Therefore, the rigidity of the entire system of the linear stepper piezoelectric motor is 2 N / μm.
Максимальное удлинение конструкции прототипа при тянущем усилии 11 Н составляет 13,1 мкм (Фиг. 3в). При этом напряжение в элементах прототипа не превышает 107 МПа (Фиг. 3 г). Следовательно, жесткость всей системы составляет 0,84 Н/мкм.The maximum elongation of the prototype structure with a pulling force of 11 N is 13.1 μm (Fig. 3c). The stress in the elements of the prototype does not exceed 107 MPa (Fig. 3d). Therefore, the stiffness of the entire system is 0.84 N / μm.
Построение КЭМ и процедуры вычислений относятся к «ноу-хау» изобретения и в данной заявке не рассматривается.The construction of the FEM and the calculation procedures are related to the know-how of the invention and are not considered in this application.
Фиг. 4 - Схема работы линейного шагового пьезоэлектрического двигателя.FIG. 4 - Scheme of operation of a linear stepping piezoelectric motor.
Фиг. 5 - Пример практической реализации линейного шагового пьезоэлектрического двигателя.FIG. 5 - An example of the practical implementation of a linear stepping piezoelectric motor.
Линейный шаговый пьезоэлектрический двигатель (18) такой конструкции (габариты 20×20×50 мм, масса 30 гр) можно использовать в качестве устройства для натяжения шнуров рефлектора (УНПШ). Данное устройство крепится на спице рефлектора (19) (Фиг. 5а), шнур рефлектора фиксируется на стержне (2) двигателя (18). При необходимости шнур можно натягивать или ослаблять при формировании силового каркаса рефлектора для улучшении его отражающей способности. Причем данная конструкция линейного шагового пьезоэлектрического двигателя (18) позволяет использовать стержень (2) любой длины, что позволяет увеличивать диапазон регулировки шнура рефлектора. На (Фиг. 5б) приведена схема работы УНПШ.A linear stepping piezoelectric motor (18) of this design (dimensions 20 × 20 × 50 mm, weight 30 g) can be used as a device for tensioning reflector cords (UNPSh). This device is attached to the reflector spoke (19) (Fig. 5a), the reflector cord is fixed to the rod (2) of the motor (18). If necessary, the cord can be stretched or loosened when forming the power frame of the reflector to improve its reflectivity. Moreover, this design of a linear stepping piezoelectric motor (18) allows the use of a rod (2) of any length, which makes it possible to increase the adjustment range of the reflector cord. In (Fig. 5b) shows a diagram of the operation of the UNPSh.
Линейный шаговый пьезоэлектрический двигатель работает следующим образом.Linear stepper piezoelectric motor works as follows.
В начальном положении прижимные механизмы (3) фиксируют стержень (2) за счет упругих сил двухконтурных механических преобразователей (Фиг. 4а). Подается управляющий сигнал на пьезоэлементы (8) левого прижимающего механизма, пьезоэлементы (8) увеличиваются, при этом внешняя рамка (10) сужается, сжимая внутреннюю рамку (11), причем губки захватов стержня (17) расходятся и стержень (2) освобождается, при этом правый прижимной механизм фиксирует стержень (2) (Фиг. 4б). Подается управляющий сигнал на пьезоэлементы (8) приводного механизма (4), пьезоэлементы (8) увеличиваются, при этом рамка (6) сужается и смещает разжатый левый прижимающий механизм к правому прижимающему механизму (Фиг. 4в). Снимается управляющий сигнал с левого прижимающего механизма и стержень (2) фиксируется (Фиг. 4 г). Подается управляющий сигнал на пьезоэлементы (8) правого прижимающего механизма, пьезоэлементы (8) увеличиваются, при этом внешняя рамка (10) сужается, сжимая внутреннюю рамку (11), причем губки захватов стержня (17) расходятся и стержень (2) освобождается, при этом левый прижимающий механизм фиксирует стержень (2) (Фиг. 4д). Снимается управляющий сигнал с пьезоэлементов (8) приводного механизма, пьезоэлементы (8) уменьшаются, при этом рамка (6) расширяется и смещает разжатый правый прижимающий механизм от левого прижимающего механизма (Фиг. 4е). Снимается управляющий сигнал с правого прижимающего механизма и стержень фиксируется (Фиг. 4ж). Шаг завершен, для дальнейшего перемещения стержня (2) необходимо повторить описанный порядок действий.In the initial position, the clamping mechanisms (3) fix the rod (2) due to the elastic forces of the two-circuit mechanical transducers (Fig. 4a). A control signal is sent to the piezoelectric elements (8) of the left clamping mechanism, the piezoelectric elements (8) increase, while the outer frame (10) narrows, compressing the inner frame (11), and the jaws of the grips of the rod (17) diverge and the rod (2) is released, when the right clamping mechanism fixes the rod (2) (Fig. 4b). A control signal is applied to the piezoelectric elements (8) of the drive mechanism (4), the piezoelectric elements (8) increase, while the frame (6) narrows and displaces the unclenched left pressing mechanism to the right pressing mechanism (Fig. 4c). The control signal is removed from the left clamping mechanism and the rod (2) is fixed (Fig. 4 d). A control signal is sent to the piezoelectric elements (8) of the right clamping mechanism, the piezoelectric elements (8) increase, while the outer frame (10) narrows, compressing the inner frame (11), and the jaws of the grips of the rod (17) diverge and the rod (2) is released, when The left clamping mechanism fixes the rod (2) (Fig. 4e). The control signal is removed from the piezoelectric elements (8) of the drive mechanism, the piezoelectric elements (8) decrease, while the frame (6) expands and displaces the unclenched right pressing mechanism from the left pressing mechanism (Fig. 4e). The control signal is removed from the right clamping mechanism and the rod is fixed (Fig. 4g). The step is completed, for further movement of the rod (2) it is necessary to repeat the described procedure.
Направление и скорость движения линейного шагового пьезоэлектрического двигателя или его стержня определяется управляющими сигналами контроллера двигателя.The direction and speed of movement of the linear stepping piezoelectric motor or its rod is determined by the control signals of the motor controller.
Из приведенного примера реализации следует, что достигается положительный эффект изобретения - увеличение жесткости конструкции и конструктивная независимость двигателя от величины стержня.From the given example of implementation it follows that the positive effect of the invention is achieved - an increase in the rigidity of the structure and the structural independence of the engine from the size of the rod.
ЛИТЕРАТУРАLITERATURE
1. Пат. 2617209 Российская Федерация, Линейный пьезоэлектрический двигатель, МПК H02N 2/02 / Пономарев С.В., Рикконен С.В., Азии А.В., Орлов С.А.; заявитель и патентообладатель Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет". - опубл. 24.04.2017.1. Pat. 2617209 Russian Federation, Linear piezoelectric motor,
2. Пат. 2390090 Российская Федерация, МПК H02N 2/02, H01L 41/09. Линейный пьезоэлектрический двигатель / Гриценко А.Л., Сафронов А.Я.; заявитель и патентообладатель ОАО "Научно исследовательский институт "Элпа" с опытным производством". - опубл. 20.05.2010.2. Pat. 2390090 Russian Federation,
3. Pat. 104410323 Chine, МПК H02N 2/02, H02N 2/04. Large linear displacement of the piezoelectric actuator and method of the clamp with power / Shao Shubao; Xu Minglong; Song Siyang; Chen Nan; Applicant Univ Xi an Jiaotong(CN). - bibliographic data 11.03.2015.3. Pat. 104410323 Chine,
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019119539A RU2727610C1 (en) | 2019-06-21 | 2019-06-21 | Linear stepped piezoelectric motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019119539A RU2727610C1 (en) | 2019-06-21 | 2019-06-21 | Linear stepped piezoelectric motor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2727610C1 true RU2727610C1 (en) | 2020-07-22 |
Family
ID=71741405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2019119539A RU2727610C1 (en) | 2019-06-21 | 2019-06-21 | Linear stepped piezoelectric motor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2727610C1 (en) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU720576A1 (en) * | 1977-03-04 | 1980-03-05 | Предприятие П/Я А-1081 | Piezoelectric linear step motor |
| RU2156535C2 (en) * | 1996-06-05 | 2000-09-20 | Окатов Юрий Владимирович | Piezoelectric linear step motor |
| RU2390090C1 (en) * | 2009-01-23 | 2010-05-20 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Элпа" с опытным производством" (ОАО "НИИ "Элпа") | Linear piezoelectric motor |
| CN103326616A (en) * | 2013-05-28 | 2013-09-25 | 西安交通大学 | Large-step long-inchworm-type actuator |
| CN104410323A (en) * | 2014-12-01 | 2015-03-11 | 西安交通大学 | Linear large-displacement piezoelectric actuator with power outage clamping function and method |
| RU2617209C1 (en) * | 2016-03-31 | 2017-04-24 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ, НИ ТГУ) | Linear piezoelectric motor |
-
2019
- 2019-06-21 RU RU2019119539A patent/RU2727610C1/en active IP Right Revival
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU720576A1 (en) * | 1977-03-04 | 1980-03-05 | Предприятие П/Я А-1081 | Piezoelectric linear step motor |
| RU2156535C2 (en) * | 1996-06-05 | 2000-09-20 | Окатов Юрий Владимирович | Piezoelectric linear step motor |
| RU2390090C1 (en) * | 2009-01-23 | 2010-05-20 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Элпа" с опытным производством" (ОАО "НИИ "Элпа") | Linear piezoelectric motor |
| CN103326616A (en) * | 2013-05-28 | 2013-09-25 | 西安交通大学 | Large-step long-inchworm-type actuator |
| CN104410323A (en) * | 2014-12-01 | 2015-03-11 | 西安交通大学 | Linear large-displacement piezoelectric actuator with power outage clamping function and method |
| RU2617209C1 (en) * | 2016-03-31 | 2017-04-24 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ, НИ ТГУ) | Linear piezoelectric motor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104767421B (en) | Opposite friction drag reduction power inertia piezoelectric motor and control methods and scanning probe microscopy | |
| US11679514B2 (en) | Variable stiffness robotic gripper based on layer jamming | |
| RU2727610C1 (en) | Linear stepped piezoelectric motor | |
| JP4334413B2 (en) | Small material testing apparatus and material testing method | |
| JPH11103583A (en) | Drive unit using electro-mechanical converter and drive pulse generator adapted to its drive | |
| JP2005354829A (en) | Actuator and its control method | |
| CN107911043A (en) | A kind of magnetostriction type splices the twin-stage displacement adjusting mechanism of more minute surfaces | |
| JPH0714279B2 (en) | Linear actuator | |
| CN203495965U (en) | Micro-holder for release based on piezoelectric torsion high-frequency vibration | |
| KR20030074624A (en) | Strain/electrical potential transducer | |
| CN1845443B (en) | High-precision linear driver with arbitrary distance of run | |
| US2469346A (en) | Fatigue-testing machine | |
| KR101999057B1 (en) | Series elastic actuator and controller including the same | |
| SU1538093A2 (en) | Arrangement for testing specimen of sheet material in two-axial loading | |
| KR100876617B1 (en) | Precision linear piezoelectric stepping positioner | |
| CN112345363A (en) | Cable performance measuring equipment | |
| JPH035893Y2 (en) | ||
| RU2684395C1 (en) | Linear reversible vibration motor | |
| SU1226140A1 (en) | Installation for material fatique durability testing | |
| JPH035894Y2 (en) | ||
| RU17963U1 (en) | MEMBRANE DRIVE | |
| SU1430807A1 (en) | Arrangement for testing specimens for strength | |
| RU2022165C1 (en) | Spring drive | |
| WO2019167352A1 (en) | Wave propagation mechanism | |
| SU1078146A1 (en) | Electrohydraulic amplifier |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20210622 |
|
| NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20220405 |