RU2709558C1 - Method of selective etching of steel - Google Patents

Method of selective etching of steel Download PDF

Info

Publication number
RU2709558C1
RU2709558C1 RU2018145395A RU2018145395A RU2709558C1 RU 2709558 C1 RU2709558 C1 RU 2709558C1 RU 2018145395 A RU2018145395 A RU 2018145395A RU 2018145395 A RU2018145395 A RU 2018145395A RU 2709558 C1 RU2709558 C1 RU 2709558C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
etching
steel
solution
hydrogen peroxide
oxalic acid
Prior art date
Application number
RU2018145395A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Геннадьевич Каплунов
Original Assignee
Сергей Геннадьевич Каплунов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сергей Геннадьевич Каплунов filed Critical Сергей Геннадьевич Каплунов
Priority to RU2018145395A priority Critical patent/RU2709558C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2709558C1 publication Critical patent/RU2709558C1/en

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41NPRINTING PLATES OR FOILS; MATERIALS FOR SURFACES USED IN PRINTING MACHINES FOR PRINTING, INKING, DAMPING, OR THE LIKE; PREPARING SUCH SURFACES FOR USE AND CONSERVING THEM
    • B41N3/00Preparing for use and conserving printing surfaces
    • B41N3/03Chemical or electrical pretreatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/02Local etching
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/10Etching compositions
    • C23F1/14Aqueous compositions
    • C23F1/16Acidic compositions
    • C23F1/28Acidic compositions for etching iron group metals

Abstract

FIELD: technological processes.
SUBSTANCE: invention relates to chemical etching of metals, particularly to selective etching of steel in a solution based on oxalic acid and hydrogen peroxide, and can be used in making decorative articles with a relief image in the form of recesses and when making a printing plate for etching. In the method, steel sections not subject to etching are protected by deposition of copper, nickel, lead or their alloys with other metals, and selective etching is carried out at the following content of components in the solution, wt%: oxalic acid 4–22, hydrogen peroxide 1–6, water – balance.
EFFECT: invention provides higher rate of selective etching of steel with reduction of its lateral picking and reduced consumption of hydrogen peroxide per unit weight of etched metal, and consequently, and with reduced consumption of solution.
1 cl, 3 ex

Description

Изобретение относится к химическому травлению металлов, в частности к способу избирательного травления стали в растворе на основе щавелевой кислоты и перекиси водорода, и может быть использовано при создании декоративных изделий с рельефным изображением в виде углублений и при изготовлении печатной формы для офорта.The invention relates to chemical etching of metals, in particular to a method for the selective etching of steel in a solution based on oxalic acid and hydrogen peroxide, and can be used to create decorative products with a relief image in the form of recesses and in the manufacture of a printing plate for etching.

Известен раствор для травления стали, содержащий щавелевую кислоту, перекись водорода и органические добавки, улучшающие качество травления. [А.с. 1035093 СССР, МПК C23G 1/04. Раствор для травления стали./ Г.А. Шапкин и др. (СССР).-№3404504/22-02; заявл. 01.03.82; опубл. 15.08.83 Бюл. №30]. Раствор обеспечивает удовлетворительную скорость избирательного травления, малую величину бокового подтравливания, высокую чистоту обработки поверхности, сохранность пленки фоторезиста при длительном контакте с раствором. Недостатком раствора является сложность состава и приготовления, а также то, что все его преимущества могут быть реализованы только при струйном травлении, которое применимо лишь для изделий листовой формы. При травлении погружением раствор становится по своим свойствам аналогичным раствору без органических добавок.Known solution for the etching of steel, containing oxalic acid, hydrogen peroxide and organic additives that improve the quality of the etching. [A.S. 1035093 USSR, IPC C23G 1/04. The solution for pickling steel. / G.A. Shapkin et al. (USSR) .- No. 3404504 / 22-02; declared 03/01/82; publ. 08/15/83 Bul. No. 30]. The solution provides a satisfactory speed of selective etching, a small amount of side etching, high surface finish, the safety of the photoresist film during prolonged contact with the solution. The disadvantage of the solution is the complexity of the composition and preparation, as well as the fact that all its advantages can be realized only by jet etching, which is applicable only for sheet-shaped products. During etching by immersion, the solution becomes similar in its properties to a solution without organic additives.

Наиболее близким к предложенному решению является способ избирательного травления листовой стали в растворе на основе щавелевой кислоты и перекиси водорода, который обеспечивает высокую скорость травления, высокое качество обработки поверхности и другие преимущества. Указанный способ принят за прототип.[А.с. 239755 СССР, МПК C23G 1/02. Способ избирательного травления листовой стали./ Л.Т. Дьяконова и др. (СССР).- №1149250/22-1; заявл. 15.04.67; опубл. 03.03.70 Бюл. №9].Closest to the proposed solution is a method of selective etching of sheet steel in a solution based on oxalic acid and hydrogen peroxide, which provides a high etching rate, high quality surface treatment and other advantages. The specified method is adopted as a prototype. [A.s. 239755 USSR, IPC C23G 1/02. The method of selective etching of sheet steel. / L.T. Dyakonova and others (USSR) .- No. 1149250 / 22-1; declared 04/15/67; publ. 03.03.70 Bull. No. 9].

Однако он имеет существенный недостаток, связанный с требованием специальных условий и оборудования для его реализации, который ограничивает применение способа. Вызвано это тем, что в перекисных растворах процесс травления сопровождается обильным газообразованием, обусловленным разложением перекиси водорода на воду и кислород. Из-за разной каталитической активности участков открытого металла и покрытого защитным рисунком на полимерной основе степень разложения перекиси водорода на них не одинакова, в результате на границе раздела металл-резист адсорбируются пузырьки, создающие барьер для травителя, что приводит к неравномерному травлению. Для получения качественного результата необходимо предпринимать меры для принудительного удаления пузырьков. С этой целью травление проводят при периодических ударах листовой заготовки с защитным слоем о поверхность зеркала травителя. В момент отрыва заготовки от поверхности травителя пузырьки лопаются. Можно также механически перемещать заготовку в растворе или перемешивать раствор таким образом, чтобы травитель находился в состоянии интенсивного турбулентного движения и сбивал газовый барьер.However, it has a significant drawback associated with the requirement of special conditions and equipment for its implementation, which limits the application of the method. This is due to the fact that in peroxide solutions the etching process is accompanied by abundant gas formation due to the decomposition of hydrogen peroxide into water and oxygen. Due to the different catalytic activity of the open metal sites and the polymer-coated protective pattern, the degree of decomposition of hydrogen peroxide on them is not the same, as a result, bubbles are adsorbed at the metal-resist interface, creating a barrier to the etchant, which leads to uneven etching. To obtain a qualitative result, it is necessary to take measures for the forced removal of bubbles. To this end, etching is carried out during periodic impacts of the sheet blank with a protective layer on the surface of the etchant mirror. At the moment of separation of the workpiece from the surface of the etchant, the bubbles burst. You can also mechanically move the workpiece in the solution or mix the solution so that the etchant is in a state of intense turbulent motion and breaks down the gas barrier.

Другим недостатком способа является высокий расход реактивов, что делает способ дорогостоящим. Травильная способность раствора основана на окисляющем действии перекиси водорода на сталь и растворении образующихся окислов щавелевой кислотой. Поскольку перекись реагирует не только со сталью, но также с полимерным резистом, часть ее потребляется без пользы.Another disadvantage of this method is the high consumption of reagents, which makes the method expensive. The pickling ability of a solution is based on the oxidizing effect of hydrogen peroxide on steel and the dissolution of oxides formed with oxalic acid. Since peroxide reacts not only with steel, but also with a polymer resist, part of it is consumed without benefit.

Кроме того, при травлении рельефов этим способом наблюдается боковое подтравливание элементов изображения тем большее, чем уже штрих. Это обусловлено отделением полимерного резиста от стали из-за слабой адгезии и интенсивного газообразования с мест травления.In addition, when etching reliefs in this way, side etching of image elements is observed all the more, the narrower the stroke. This is due to the separation of the polymer resist from the steel due to poor adhesion and intense gas formation from the etching sites.

Предлагаемый способ не имеет указанных недостатков и позволяет упростить технологический процесс травления, снизить расход реактивов и себестоимость изготовления изделий, уменьшить боковое подтравливание элементов изображения.The proposed method does not have these drawbacks and allows to simplify the etching process, reduce the consumption of reagents and the cost of manufacturing products, reduce side etching of image elements.

Поставленная задача достигается тем, что в способе избирательного травления стали в растворе на основе щавелевой кислоты и перекиси водорода, для защиты участков стали, не подлежащих травлению, осаждают медь, никель, свинец или их сплавы с другими металлами, а травление осуществляют при следующем содержании компонентов в растворе (мас.%): щавелевая кислота 4-22%, перекись водорода 1-6%, вода остальное.This object is achieved in that in the method of selective etching of steel in a solution based on oxalic acid and hydrogen peroxide, copper, nickel, lead, or their alloys with other metals are deposited to protect sections of steel not subject to etching, and etching is carried out at the following components in solution (wt.%): oxalic acid 4-22%, hydrogen peroxide 1-6%, the rest is water.

Использование металлорезиста значительно изменяет процесс травления.Using a metal resist significantly changes the etching process.

Во-первых, было обнаружено, что реакция между перекисью водорода и металлорезистом протекает значительно медленнее, чем соответствующая нежелательная реакция с полимерными резистами, и на границе раздела сталь-резист пузырьки не адсорбируются. Это позволяет вести травление методом погружения в травильную ванну в стационарном режиме, а также свести к минимуму потребление перекиси водорода на единицу массы вытравленного металла, так как она не теряется в побочных реакциях.First, it was found that the reaction between hydrogen peroxide and metal resist proceeds much more slowly than the corresponding undesirable reaction with polymer resistors, and bubbles are not adsorbed at the steel-resist interface. This allows etching by immersion in an etching bath in a stationary mode, as well as minimizing the consumption of hydrogen peroxide per unit mass of the etched metal, since it is not lost in side reactions.

Во-вторых, металлорезист находится в электрическом контакте со сталью, образуя активную гальваническую пару, в которой сталь является анодом. Поэтому к химическому растворению добавляется электрохимическое и травление идет с большей скоростью. Это дает возможность, при той же скорости травления, осуществлять процесс при пониженном в сравнении с прототипом содержании щавелевой кислоты и перекиси водорода.Secondly, the metal resist is in electrical contact with steel, forming an active galvanic pair in which steel is the anode. Therefore, electrochemical is added to the chemical dissolution and etching proceeds at a higher rate. This makes it possible, at the same etching rate, to carry out the process at a lower content of oxalic acid and hydrogen peroxide in comparison with the prototype.

В третьих, адгезия металлорезиста к поверхности стали более высокая и нет нарушения сцепления защитного рисунка с основанием из-за газообразования с мест травления. В связи с этим, при травлении рельефов, содержащих штриховые элементы изображения малой ширины (до 300-500 мкм), фактор травления может достигать 2-3 и более, что позволяет осуществить травление на большую глубину и повысить выход качественной продукции за счет уменьшения бокового подтравливания.Thirdly, the adhesion of the metal resist to the surface of the steel is higher and there is no violation of the adhesion of the protective pattern to the base due to gas formation from the etching sites. In this regard, when etching reliefs containing dashed elements of an image of small width (up to 300-500 microns), the etching factor can reach 2-3 or more, which allows etching to a greater depth and increase the yield of quality products by reducing lateral etching .

Кроме этого, преимуществом предлагаемого способа является возможность использовать при изготовлении различных декоративных изделий с рельефным изображением металлорезист (например, из латуни, бронзы или никеля) одновременно в качестве декоративного покрытия и, таким образом, снизить их себестоимость.In addition, the advantage of the proposed method is the ability to use in the manufacture of various decorative products with a relief image metal resist (for example, from brass, bronze or nickel) simultaneously as a decorative coating and, thus, reduce their cost.

Экспериментально было обнаружено, что при использовании в качестве резиста меди или ее сплава с цинком (содержание меди 65-70%) и при площади поверхности резиста больше площади поверхности открытых участков стали, травление не начинается или начинается и сразу прекращается или имеет циклический характер, что заметно по изменению интенсивности газообразования с мест травления. По-видимому, пассивное состояние стали вызвано смещением электродных потенциалов металлов образующих гальваническую пару. В пользу предположения свидетельствует тот факт, что при травлении заготовок с той же топологией резиста, но выполненного из свинца или никеля, данное явление не наблюдается. Соотношение площади поверхности резиста и открытых участков стали, при котором проявляется указанный эффект зависит от концентрации и температуры раствора и обычно более или равно 1. В этом случае травление заготовки следует вести в контакте с отрезком из стали, причем площадь его поверхности должна быть выбрана такой, чтобы сталь находилась в состоянии активного растворения.It was experimentally found that when using copper or its alloy with zinc as a resist (copper content is 65-70%) and when the surface area of the resist is greater than the surface area of open sections of steel, etching does not start or begins and immediately stops or has a cyclic nature, which noticeable by the change in the intensity of gas formation from the etching sites. Apparently, the passive state of steel is caused by a displacement of the electrode potentials of the metals forming a galvanic pair. The assumption is supported by the fact that when etching workpieces with the same resistivity topology, but made of lead or nickel, this phenomenon is not observed. The ratio of the surface area of the resist and the open areas of steel at which this effect is manifested depends on the concentration and temperature of the solution and is usually greater than or equal to 1. In this case, the workpiece must be etched in contact with a piece of steel, and its surface area should be chosen such so that the steel is in a state of active dissolution.

Использование травильного раствора, в котором концентрации компонентов не укладываются в пределы, нецелесообразно, так как при меньшем содержании щавелевой кислоты и перекиси водорода ухудшается качество травленой поверхности. Увеличение содержания перекиси водорода более 6% сопровождается самопроизвольным разложением в растворе. Увеличение концентрации щавелевой кислоты более 22% не приводит к возрастанию скорости травления. Процесс травления рекомендуется проводить в температурном интервале 18-35°С. Этот интервал определен прежде всего растворимостью щавелевой кислоты. Щавелевая кислота умеренно растворимая, при 20°С насыщенный раствор получается при ее содержании 8,7%, повышение температуры позволяет применять более концентрированные растворы.The use of an etching solution in which the concentrations of the components do not fall within the limits is impractical, since with a lower content of oxalic acid and hydrogen peroxide the quality of the etched surface deteriorates. An increase in the content of hydrogen peroxide of more than 6% is accompanied by spontaneous decomposition in solution. An increase in oxalic acid concentration of more than 22% does not increase the etching rate. The etching process is recommended to be carried out in the temperature range of 18-35 ° C. This range is primarily determined by the solubility of oxalic acid. Oxalic acid is sparingly soluble, at 20 ° C a saturated solution is obtained with its content of 8.7%, an increase in temperature allows the use of more concentrated solutions.

Настоящее изобретение поясняется примерами, наглядно демонстрирующими возможность достижения приведенной совокупностью признаков требуемого технического результата.The present invention is illustrated by examples that clearly demonstrate the ability to achieve the above set of features of the desired technical result.

Образцы изготавливали из тонколистовой стали холодной прокатки марки 08КП. Подготовка поверхности образца включает шлифование, полирование, обезжиривание, формирование методом фотолитографии защитного рисунка, содержащего штриховые элементы изображения шириной 300-500 мкм из фоторезиста ФН11 и гальванической меди или латуни (содержание меди 65-70%) толщиной 5-8 мкм, осажденной в окна фоторезиста. В каждом примере топология защитного рисунка и размеры образцов одинаковы.The samples were made of cold rolled steel sheet 08KP. Preparation of the sample surface includes grinding, polishing, degreasing, forming by means of photolithography a protective pattern containing line elements of the image with a width of 300-500 microns from photoresist FN11 and galvanic copper or brass (copper content 65-70%) with a thickness of 5-8 microns deposited in windows photoresist. In each example, the topology of the protective pattern and the dimensions of the samples are the same.

Об эффективности изобретенного способа судили по скорости и фактору травления (отношение глубины травления к величине бокового травления) и внешнему виду.The effectiveness of the invented method was judged by the speed and etching factor (the ratio of the etching depth to the value of lateral etching) and appearance.

Измерение глубины травления и отклонение размеров элементов рисунка осуществляли металлографическим методом. Внешний вид образца оценивали визуально по состоянию травленной поверхности, неровности края элементов рисунка и наличию растравливания при увеличении 50-80Х.The etching depth and the deviation of the sizes of the elements of the pattern were measured by the metallographic method. The appearance of the sample was evaluated visually by the condition of the etched surface, the roughness of the edge of the elements of the pattern, and the presence of etching with an increase of 50-80 X.

Пример 1. Образцы с резистом из ФН11 и меди одновременно погружали в раствор, содержащий, вес.%: перекись водорода 1,5, щавелевая кислота 6, вода остальное. Процесс вели в стационарном режиме при 20-22°С. Скорость травления составила 1,5-1,6 мкм/мин и 0,9-1,0 мкм/мин для образца с резистом из меди и ФН11 соответственно, фактор травления 2,5-3 и 1,5-2. Образцы с медным резистом протравлены равномерно, поверхность мелкозернистая, однородная, край контура ровный, процесс травления не сопровождается адсорбцией пузырьков. Образцы с резистом из ФН11 протравлены не равномерно, поверхность не однородная по фактуре, край контура не ровный, в процессе травления поверхность образца покрыта пузырьками.Example 1. Samples with resist from FN11 and copper were simultaneously immersed in a solution containing, wt.%: Hydrogen peroxide 1.5, oxalic acid 6, the rest was water. The process was conducted in a stationary mode at 20-22 ° C. The etching rate was 1.5-1.6 μm / min and 0.9-1.0 μm / min for the sample with resist from copper and FN11, respectively, the etching factor is 2.5-3 and 1.5-2. Samples with a copper resist are etched evenly, the surface is fine-grained, uniform, the edge of the contour is even, the etching process is not accompanied by bubble adsorption. Samples with a resistor from ФН11 are not etched uniformly, the surface is not uniform in texture, the edge of the contour is not even, during etching the surface of the sample is covered with bubbles.

Пример 2. Образцы с резистом из ФН11 и латуни одновременно погружали в раствор, содержащий, вес.%: перекись водорода 5, щавелевая кислота 20, вода остальное. Процесс вели в стационарном режиме при 33-35°С. Скорость травления составила 11-12 мкм/мин и 7-8 мкм/мин для образца с резистом из латуни и ФН11 соответственно, фактор травления 2-2,5 и 1,5-2. Образцы с металорезистом протравлены равномерно, поверхность мелкозернистая, однородная, край контура ровный, процесс травления не сопровождается адсорбцией пузырьков. Образцы с резистом из ФН11 протравлены не равномерно, поверхность не однородная по фактуре, край контура не ровный, в процессе травления поверхность образца покрыта пузырьками.Example 2. Samples with resist from FN11 and brass were simultaneously immersed in a solution containing, wt.%: Hydrogen peroxide 5, oxalic acid 20, the rest water. The process was conducted in a stationary mode at 33-35 ° С. The etching rate was 11–12 μm / min and 7–8 μm / min for the sample with brass and FN11 resist, respectively, the etching factor was 2–2.5 and 1.5–2. Samples with a metal resist are etched evenly, the surface is fine-grained, homogeneous, the edge of the contour is even, the etching process is not accompanied by bubble adsorption. Samples with a resistor from ФН11 are not etched uniformly, the surface is not uniform in texture, the edge of the contour is not even, during etching the surface of the sample is covered with bubbles.

Пример 3. Предварительно взвешенные образцы с резистом из ФН11 и меди одновременно погружали в отдельные емкости с одинаковыми порциями раствора, отлитыми от общего объема раствора содержащего, вес.%: перекись водорода 2%, щавелевая кислота 8%, вода остальное. Процесс вели в стационарном режиме при 18-22°С до полной выработки раствора (24 часа). После окончания травления образцы взвешивали и по убыли массы образцов оценивали эффективность использования раствора. Расход раствора на единицу массы вытравленной стали для образцов с защитным рисунком из меди (в зависимости от топологии защитного рисунка) меньше на 15-25% в сравнении с образцами с защитным рисунком из ФН11.Example 3. Pre-weighed samples with resist from FN11 and copper were simultaneously immersed in separate containers with equal portions of the solution, cast from the total volume of the solution containing, wt.%: Hydrogen peroxide 2%, oxalic acid 8%, water the rest. The process was conducted in a stationary mode at 18-22 ° C until the solution was completely developed (24 hours). After etching, the samples were weighed and the efficiency of the solution was evaluated by the decrease in the mass of the samples. The flow rate of the solution per unit mass of the etched steel for samples with a protective pattern of copper (depending on the topology of the protective pattern) is 15–25% less compared to samples with a protective pattern of FN11.

Из приведенных примеров видно, что получение качественного результата при травлении погружением в стационарном режиме в растворе с концентрацией исходных компонентов в выбранных интервалах без применения для защиты участков не подлежащих травлению металлорезиста, невозможно, так как нет условий предотвращающих блокирование пузырьками поверхности заготовки. Полученные данные также показывают, что предлагаемый способ избирательного травления повышает эффективность травления за счет увеличения скорости травления, уменьшения бокового подтравливания и потребления раствора на единицу массы вытравленного металла и, следовательно, обеспечивает экономические преимущества по сравнению с известными техническими решениями той же задачи.It can be seen from the above examples that obtaining a qualitative result during etching by immersion in a stationary mode in a solution with a concentration of the starting components in the selected intervals without the use of a metal resist to protect the etched sections is impossible, since there are no conditions preventing the surface of the workpiece from blocking by bubbles. The obtained data also show that the proposed method of selective etching increases the etching efficiency by increasing the etching rate, reducing side etching and consumption of the solution per unit mass of the etched metal and, therefore, provides economic advantages compared with the known technical solutions to the same problem.

Анализ известных способов избирательного травления показывает, что большинство существенных признаков используемых в заявляемом способе избирательного травления по отдельности известны, однако неочевидность, а следовательно, изобретательский уровень заявляемого технического решения вытекает из того, что их совместное применение дает новый положительный результат, не прямо вытекающий из этих способов, например, возможность травления погружением в стационарном режиме и уменьшение расхода травильного раствора.The analysis of known methods of selective etching shows that most of the essential features used in the inventive method of selective etching separately are known, however, the non-obviousness and, therefore, the inventive step of the claimed technical solution follows from the fact that their combined use gives a new positive result, not directly derived from these methods, for example, the possibility of etching by immersion in a stationary mode and reducing the consumption of etching solution.

Claims (1)

Способ избирательного травления стали в растворе на основе щавелевой кислоты и перекиси водорода, отличающийся тем, что для защиты участков стали, не подлежащих травлению, осаждают медь, никель, свинец или их сплавы с другими металлами, а травление осуществляют при следующем содержании компонентов в растворе (мас.%): щавелевая кислота 4-22, перекись водорода 1-6, вода – остальное.The method of selective etching of steel in a solution based on oxalic acid and hydrogen peroxide, characterized in that copper, nickel, lead or their alloys with other metals are deposited to protect sections of steel not subject to etching, and etching is carried out at the following components in the solution ( wt.%): oxalic acid 4-22, hydrogen peroxide 1-6, water - the rest.
RU2018145395A 2018-12-19 2018-12-19 Method of selective etching of steel RU2709558C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018145395A RU2709558C1 (en) 2018-12-19 2018-12-19 Method of selective etching of steel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018145395A RU2709558C1 (en) 2018-12-19 2018-12-19 Method of selective etching of steel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2709558C1 true RU2709558C1 (en) 2019-12-18

Family

ID=69006614

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018145395A RU2709558C1 (en) 2018-12-19 2018-12-19 Method of selective etching of steel

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2709558C1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU239755A1 (en) * Л. Т. конова, Г. А. Шапкин, Г. М. Белевич, Н. А. Кудр шова METHOD OF ELECTING THE SHEET STEEL
SU77042A1 (en) * 1948-03-24 1948-11-30 Г.С. Варыпаева The method of obtaining the relief image on steel
SU1035093A1 (en) * 1982-03-01 1983-08-15 Предприятие П/Я В-8657 Solution for pickling steel
US7008548B2 (en) * 2001-12-06 2006-03-07 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Etchant for etching metal wiring layers and method for forming thin film transistor by using the same
US20160042993A1 (en) * 2014-01-08 2016-02-11 Ebara Corporation Etching liquid, etching method, and method of manufacturing solder bump

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU239755A1 (en) * Л. Т. конова, Г. А. Шапкин, Г. М. Белевич, Н. А. Кудр шова METHOD OF ELECTING THE SHEET STEEL
SU77042A1 (en) * 1948-03-24 1948-11-30 Г.С. Варыпаева The method of obtaining the relief image on steel
SU1035093A1 (en) * 1982-03-01 1983-08-15 Предприятие П/Я В-8657 Solution for pickling steel
US7008548B2 (en) * 2001-12-06 2006-03-07 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Etchant for etching metal wiring layers and method for forming thin film transistor by using the same
US20160042993A1 (en) * 2014-01-08 2016-02-11 Ebara Corporation Etching liquid, etching method, and method of manufacturing solder bump

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10738383B2 (en) Method for nickel-free phosphating metal surfaces
JP2010077532A (en) Sealing method for anodic oxide film
JP2005538249A (en) Surface treatment of magnesium and magnesium alloys
US4849124A (en) Copper etching solution
US7833404B2 (en) Electrolytic phosphate chemical treatment method
EP1002644B1 (en) Production of support for lithographic printing plate.
US4363708A (en) Process for exposing silicon crystals on the surface of a component of an aluminum alloy of high silicon content
KR20020077150A (en) Chemical conversion reagent for magnesium alloy, surface treating method, and magnesium alloy substrate
RU2709558C1 (en) Method of selective etching of steel
EP3034654B1 (en) Composition and method for micro etching of copper and copper alloys
US20040242449A1 (en) Nitric acid and chromic acid-free compositions and process for cleaning aluminum and aluminum alloy surfaces
KR20140126680A (en) Method for treating wiring substrate, and wiring substrate prepared by using the method
WO2020162784A1 (en) Method for manufacturing a printing plate for etching and etching solution for carrying out said method
JPS6256579A (en) Acidic aqueous solution and method for passivating surface of zinc or zinc/aluminum alloy
US8236190B2 (en) Recast removal method
JP2003277960A (en) Surface treatment method of magnesium alloy
JP6081224B2 (en) Manufacturing method of surface-treated steel sheet
EP1230445A1 (en) A sealant composition
US11280005B2 (en) Method for producing relief image on a metal base
Raj et al. Chemical machining process-an overview
JP6507652B2 (en) Aluminum or aluminum alloy member and method of manufacturing the same
JPH02153098A (en) Phosphating method
RU2722966C1 (en) Method of making etching plate
KR100213470B1 (en) The coating composition and process for the chemical polishing of aluminium and its alloy
JPS61166999A (en) Method for cleaning surface of steel sheet