RU2695027C2 - Method for detecting near-field optical response for scanning probe microscope - Google Patents

Method for detecting near-field optical response for scanning probe microscope Download PDF

Info

Publication number
RU2695027C2
RU2695027C2 RU2017128877A RU2017128877A RU2695027C2 RU 2695027 C2 RU2695027 C2 RU 2695027C2 RU 2017128877 A RU2017128877 A RU 2017128877A RU 2017128877 A RU2017128877 A RU 2017128877A RU 2695027 C2 RU2695027 C2 RU 2695027C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
mirror
signal
reference arm
optical
frequency
Prior art date
Application number
RU2017128877A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2017128877A (en
RU2017128877A3 (en
Inventor
Андрей Викторович Быков
Владимир Валерьевич Котов
Дмитрий Всеволодович Казанцев
Евгений Владимирович Кузнецов
Вячеслав Викторович Поляков
Людмила Петровна Прилепская
Сергей Владимирович Тимофеев
Артем Викторович Шелаев
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "НТ-МДТ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "НТ-МДТ" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "НТ-МДТ"
Priority to RU2017128877A priority Critical patent/RU2695027C2/en
Publication of RU2017128877A publication Critical patent/RU2017128877A/en
Publication of RU2017128877A3 publication Critical patent/RU2017128877A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2695027C2 publication Critical patent/RU2695027C2/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/18—SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
    • G01Q30/04—Display or data processing devices
    • G01Q30/06—Display or data processing devices for error compensation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

FIELD: optics.
SUBSTANCE: invention relates to high spatial resolution optical methods based on probe microscopy methods. Summary of the invention is that in the method for detecting near-field optical response for a scanning probe microscope, involving approaching the probe transducer oscillating at frequency Ω with the sample, focusing on a tip of a probe optical radiation sensor with a wavelength λ in range of 0.4 to 500 mcm of the radiation source by means of the focusing element, measuring near-field optical response by a first synchronous detector by detecting an optical detector signal at a higher harmonic of oscillations of the probe sensor nΩ, where n is the order of the higher harmonics, using the Michelson interferometer scheme, in which the displacement unit places the reference arm mirror into the predetermined positions using the feedback system, position of mirror of support arm is changed by means of displacement module so that difference of phases of near-field optical response and radiation reflected from mirror of support arm is kept constant.
EFFECT: reduced measurement time, faster operation, reduced noise during measurement and reduced measurement error of near-field response of the sample, as well as broader functional capabilities of the device.
8 cl, 4 dwg

Description

Способ детектирования ближнепольного оптического отклика для сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) относится к методам ближнепольной оптической микроскопии рассеивающего типа и может быть использован для исследования оптических свойств образцов с нанометровым разрешением, например, позволяет различать металлические, полупроводниковые и диэлектрические участки на поверхности образцов, выполнять картирование образцов в ИК микроскопии и спектроскопии на наноуровне.The method of detecting the near-field optical response for a scanning probe microscope (SPM) refers to the methods of near-field optical microscopy of the scattering type and can be used to study the optical properties of samples with a nanometer resolution, for example, allows you to distinguish metallic, semiconductor and dielectric sections on the surface of samples, to perform sample mapping in IR microscopy and spectroscopy at the nanoscale.

Известен способ детектирования ближнепольного оптического отклика для сканирующего зондового микроскопа, включающий сближение осциллирующего на частоте Ω зондового датчика, с образцом, фокусирование на острие зондового датчика оптического излучения с длиной волны λ в диапазоне от 0.4 мкм до 500 мкм источника излучения, посредством фокусирующего элемента, измерение ближнепольного оптического отклика первым синхронным детектором посредством детектирования сигнала оптического детектора на высшей гармонике осцилляций зондового датчика nΩ, где n - порядок высшей гармоники, с использованием схемы интерферометра Майкельсона, в которой модуль подвижки устанавливает зеркало опорного плеча в заданные положения [F. Keilmann and R. Hillenbrand, "Near-field microscopy by elastic light scattering from a tip", Philos. Trans. A. Math. Phys. Eng. Sci., vol. 362, no. 1817, pp. 787-805, 2004].There is a method of detecting a near-field optical response for a scanning probe microscope, including converging a probe sensor oscillating at frequency Ω, with a sample, focusing optical radiation with a wavelength λ in the range from 0.4 μm to 500 μm, using a focusing element, measuring near-field optical response by the first synchronous detector by detecting the signal of the optical detector at the highest harmonic of oscillations of the probe sensor nΩ, where n is the highest harmonic order, using the Michelson interferometer scheme, in which the slip module sets the mirror of the reference arm to the given positions [F. Keilmann and R. Hillenbrand, "Near-field microscopy by elastic light scattering from a tip", Philos. Trans. A. Math. Phys. Eng. Sci., Vol. 362, no. 1817, pp. 787-805, 2004].

Этот способ выбран в качестве прототипа предложенного решения.This method is chosen as a prototype of the proposed solution.

Недостаток этого способа заключается в том, что механические перемещения зеркала опорного плеча в каждой точке на величину λ/8 ограничивают быстродействие методики скоростью в ~3 мс/точку, так как типичные резонансные частоты модуля подвижки зеркала опорного пучка составляют около 300 Гц. Кроме этого, механические вибрации при перемещениях зеркала приводят к дополнительным вибрациям, увеличивающим погрешность измерения.The disadvantage of this method is that the mechanical displacements of the reference arm mirror at each point by λ / 8 limit the speed of the technique at a speed of ~ 3 ms / point, since the typical resonant frequencies of the module for moving the reference beam mirror are about 300 Hz. In addition, mechanical vibrations during movement of the mirror lead to additional vibrations, which increase the measurement error.

Технический результат изобретения заключается в увеличении быстродействия измерения благодаря слежению за фазой регистрируемого сигнала посредством системы обратной связи. Это также приводит к уменьшению механических вибраций и соответственно уменьшению погрешности измерений.The technical result of the invention is to increase the measurement performance by tracking the phase of the recorded signal through a feedback system. This also leads to a decrease in mechanical vibrations and, accordingly, to a decrease in measurement error.

Указанный технический результат достигается тем, что в способе детектирования ближнепольного оптического отклика для сканирующего зондового микроскопа, включающем сближение осциллирующего на частоте Ω зондового датчика, с образцом, фокусирование на острие зондового датчика оптического излучения с длиной волны λ в диапазоне от 0.4 мкм до 500 мкм источника излучения, посредством фокусирующего элемента, измерение ближнепольного оптического отклика первым синхронным детектором посредством детектирования сигнала оптического детектора на высшей гармонике осцилляций зондового датчика nΩ, где n - порядок высшей гармоники, с использованием схемы интерферометра Майкельсона, в которой модуль подвижки устанавливает зеркало опорного плеча в заданные положения, используя систему обратной связи, изменяют положение зеркала опорного плеча посредством модуля подвижки таким образом, чтобы разница фаз ближнепольного оптического отклика и излучения, отраженного от зеркала опорного плеча, поддерживалась постоянной.This technical result is achieved by the fact that in the method of detecting the near-field optical response for a scanning probe microscope, including the convergence of the probe sensor oscillating at the frequency Ω with a sample, focusing on the tip of the probe optical radiation with a wavelength λ in the range from 0.4 μm to 500 μm of the source radiation, by means of a focusing element, the measurement of the near-field optical response by the first synchronous detector by detecting the signal of the optical detector on the highest harmonic oscillations of the probe sensor nΩ, where n is the highest harmonic order, using the Michelson interferometer scheme in which the slip module sets the reference arm mirror to the specified positions using the feedback system, change the position of the reference arm mirror by means of the slip module so that the difference phases of the near-field optical response and radiation reflected from the mirror of the reference arm were kept constant.

Существует вариант, в котором на вход системы обратной связи подают сигнал синусоидальной компоненты оптической амплитуды, измеренный первым синхронным детектором на частоте nΩ, а выходной сигнал системы обратной связи управляет положением зеркала опорного плеча посредством модуля подвижки, компенсируя разницу между сигналом синусоидальной компоненты оптической амплитуды и близким к нулю значением рабочей точки, при этом регистрируется сигнал положения зеркала опорного плеча, который умножают на коэффициент пересчета 4π/λ и получают сигнал фазы оптического отклика.There is an option in which a signal of a sinusoidal optical amplitude component measured by the first synchronous detector at a frequency Ω is input to the feedback system, and the output signal of the feedback system controls the position of the reference arm mirror by shifting the module, compensating for the difference between the signal of the sinusoidal optical amplitude component and the close to zero the value of the operating point, this registers the signal of the position of the mirror of the reference arm, which is multiplied by the conversion factor 4π / λ and get phase optical response signal.

Существует вариант, в котором после получения сигнала фазы оптического отклика зеркало опорного плеча смещают при помощи модуля подвижки на заданную величину, соответствующую сдвигу фазы опорного пучка на детекторе близким к π/2+πk, k - это целое число, и в этом положении регистрируется сигнал полной оптической амплитуды, измеренный первым синхронным детектором на частоте nΩ, а после этого образец перемещают в новую точку и повторяют описанную выше процедуру в каждой точке сканирования.There is an option in which, after receiving the signal of the optical response phase, the mirror of the reference arm is shifted with a slider by a predetermined amount, corresponding to the phase shift of the reference beam at the detector close to π / 2 + πk, k is an integer, and in this position the signal is recorded total optical amplitude, measured by the first synchronous detector at a frequency Ω, and then the sample is moved to a new point and the procedure described above is repeated at each scanning point.

Существует вариант, в котором при первом сканировании линии по поверхности образца в каждой точке линии регистрируют положение зеркала опорного плеча, а затем при повторном сканировании той же линии в каждой точке посредством модуля подвижки обеспечивают сдвиг фазы луча, отраженного от зеркала опорного плеча на величину, близкой к π/2+πk, k - это целое число, относительно зарегистрированного при первом сканировании линии положения зеркала опорного плеча в этой же точке, при этом при повторном сканировании линии первым синхронным детектором регистрируется сигнал полной оптической амплитуды на частоте nΩ, после этого образец перемещают на следующую линию и повторяют описанную выше процедуру для каждой следующей линии сканирования.There is an option in which when the line is scanned for the first time on the sample surface at each point of the line, the position of the reference arm mirror is recorded, and then when the same line is re-scanned at each point, the shift module provides a phase shift of the beam reflected from the reference arm mirror by an amount close to to π / 2 + πk, k is an integer relative to the reference arm registered at the first scanning line of the position of the mirror of the reference arm at the same point, while re-scanning the line with the first synchronous detector m, a full optical amplitude signal is recorded at the frequency Ω, then the sample is moved to the next line and the procedure described above is repeated for each subsequent scan line.

Существует вариант, в котором с частотой f модулируют сигнал, управляющий положением зеркала опорного плеча посредством модуля подвижки, и на вход системе обратной связи подают сигнал синусоидальной компонентой измеренный вторым синхронным детектором на частоте f, при этом на вход второму синхронному детектору подают сигнал синусоидальной компоненты оптической амплитуды, измеренный первым синхронным детектором на частоте nΩ, и выходной сигнал системы обратной связи изменяет положение зеркала опорного плеча посредством модуля подвижки, компенсируя разницу между сигналом синусоидальной компоненты, измеренный вторым синхронным детектором на частоте f, и близким к нулю значением рабочей точки, при этом в процессе сканирования регистрируется сигнал полной оптической амплитуды и положение зеркала опорного плеча, которое умножают на коэффициент пересчета 4π/λ, и получают сигнал фазы оптического отклика.There is an option in which the signal that controls the position of the mirror of the reference arm is modulated with a frequency module with a frequency f, and a sinusoidal component measured by a second synchronous detector at a frequency f is input to the feedback system, and a sinusoidal optical signal is fed to the second synchronous detector amplitude, measured by the first synchronous detector at a frequency Ω, and the output signal of the feedback system changes the position of the reference arm through the slider module and, compensating for the difference between the signal of the sinusoidal component, measured by the second synchronous detector at frequency f, and the operating point value close to zero, the scanning process records the full optical amplitude signal and the position of the reference arm mirror, which is multiplied by a conversion factor of 4π / λ, and an optical response phase signal is obtained.

Существует вариант, в котором в заданном диапазоне изменяют длину волны λ источника излучения и строят зависимость сигнала полной оптической амплитуды от длины волны λ источника излучения, при этом в результате получается спектральная зависимость амплитуды ближнепольного оптического отклика от длины волны λ.There is a variant in which in a given range they change the wavelength λ of the radiation source and build the dependence of the full optical amplitude signal on the wavelength λ of the radiation source, and the result is a spectral dependence of the amplitude of the near-field optical response on the wavelength λ.

Существует вариант, в котором положение зеркала опорного плеча регистрируют посредством датчиков смещения.There is an option in which the position of the support arm mirror is recorded by means of displacement sensors.

Существует вариант, в котором угол зеркала опорного плеча поддерживают постоянным при перемещении посредством модуля подвижки с помощью системы обратной связи, на вход которой подаются значения датчиков углового смещения, а выходной сигнал управляет углом модуля подвижки, компенсируя угловые отклонения при перемещениях.There is an option in which the angle of the mirror of the support arm is kept constant during movement by the slide module using a feedback system, to the input of which the values of the angular displacement sensors are fed, and the output signal controls the angle of the slide module compensating the angular deviations during the movements.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема установки для детектирования ближнепольного оптического отклика.FIG. 1 is a schematic diagram of an installation for detecting a near-field optical response.

На фиг. 2 изображена зависимость сигнала полной оптической амплитуды от перемещения зеркала опорного плеча.FIG. 2 shows the dependence of the full optical amplitude signal on the movement of the reference arm mirror.

На фиг. 3 изображена зависимость сигнала синусоидальной компоненты оптической амплитуды от перемещения зеркала опорного плеча.FIG. 3 shows the dependence of the signal of the sinusoidal component of the optical amplitude on the displacement of the mirror of the reference arm.

На фиг. 4 изображена зависимость сигнала синусоидальной компонентой со второго синхронного детектора от перемещения зеркала опорного плеча.FIG. 4 shows the dependence of the signal of the sinusoidal component from the second synchronous detector on the displacement of the mirror of the reference arm.

Предложенный способ реализуется на устройстве, схема которого изображена на фиг. 1. Это устройство включает зондовый датчик 1, образец 2, зафиксированный на сканирующем основании 3. Зондовый датчик 1 в зоне взаимодействия с образцом 2 заканчивается острием 4. Источник излучения 5, оптически сопряжен посредством фокусирующего элемента 6 закрепленного на подвижке 7 с острием 4 зондовый датчик 1. Схема СЗМ в общем виде описана в [Миронов, В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии - Н. Новгород: Институт физики микроструктур, 2004., 110 с.]. Оптический детектор 8 посредством делителя пучка 12 оптически сопряжен с острием 4, которое вносит периодические возмущения в ближнепольный отклик образца. Также с оптическим детектором 8 оптически сопряжено зеркало опорного плеча 14, закрепленное на модуле подвижке 13. Используемая схема интерферометра Майкельсона. Оптический детектор 8 электрически сопряжен с первым синхронным детектором 11. В свою очередь первый генератор 9 электрически сопряжен с пьезовибратором 10 и первым синхронным детектором 11. Второй генератор 16 электрически сопряжен с модулем подвижки 13 и вторым синхронным детектором 18. Система обратной связи 15 электрически сопряжена с первым синхронным детектором 11 или вторым синхронным детектором 18 и блоком управления 17 модуля подвижки 13. Датчики линейного смещения 19 и углового смещения 20 сопряжены с зеркалом опорного плеча 14.The proposed method is implemented on a device whose circuit is shown in FIG. 1. This device includes a probe sensor 1, sample 2 fixed on a scanning base 3. The probe sensor 1 in the zone of interaction with sample 2 ends with a tip 4. The radiation source 5 is optically coupled by means of a focusing element 6 fixed on a slide 7 with a tip 4 probe probe 1. The SPM scheme in general form is described in [Mironov, V.L. Basics of scanning probe microscopy - N. Novgorod: Institute of Physics of Microstructures, 2004., 110 p.]. The optical detector 8 by means of the beam splitter 12 is optically coupled to the tip 4, which introduces periodic perturbations in the near-field response of the sample. Also with the optical detector 8, the mirror of the reference arm 14 is optically coupled, mounted on the slide module 13. The Michelson interferometer scheme used. The optical detector 8 is electrically connected with the first synchronous detector 11. In turn, the first generator 9 is electrically connected with the piezovibrator 10 and the first synchronous detector 11. The second generator 16 is electrically connected with the slide module 13 and the second synchronous detector 18. The feedback system 15 is electrically connected with the first synchronous detector 11 or the second synchronous detector 18 and the control unit 17 of the slide module 13. The linear displacement sensors 19 and the angular displacement 20 are interfaced with the mirror of the support arm 14.

Способ детектирования ближнепольного оптического отклика для сканирующего зондового микроскопа реализуется следующим образом. Производят сближение осциллирующего на частоте Ω (например, 100 кГц.) зондового датчика 1 с образцом 2. После этого фокусируют на острие 4 зондового датчика 1 оптическое излучение от источника излучения 5, в качестве которого можно использовать, например, перестраиваемый ИК СО2 лазер или квантово-каскадный лазер с перестраиваемой длиной волны или лазер видимого или ближнего ИК диапазона или источник ТГц излучения. Длина волны λ этого излучения находится в диапазоне от 0.4 мкм до 500 мкм. Фокусировка оптического излучения осуществляется посредством фокусирующего элемента 6, в качестве которого можно использовать, например, параболическое металлическое зеркало с Au напылением или Ge линзу Измерение ближнепольного оптического отклика первым синхронным детектором 11 осуществляют посредством детектирования сигнала оптического детектора 8 на высшей гармонике осцилляций зондового датчика 1 nΩ, где n - порядок высшей гармоники. Для этого используют интерферометр Майкельсона, в котором модуль подвижки 13 устанавливает зеркало опорного плеча 14 в заданные положения. В качестве модуля подвижки 13 можно использовать пьезокерамическую подвижку с блоком управления. Далее, используя систему обратной связи 15, изменяют положение зеркала опорного плеча 14 посредством модуля подвижки 13 таким образом, чтобы разница фаз ближнепольного оптического отклика и излучения, отраженного от зеркала опорного плеча 14, поддерживалась постоянной.The method of detecting the near-field optical response for a scanning probe microscope is implemented as follows. Probe sensor 1 with sample 2 oscillating at a frequency Ω (for example, 100 kHz.) Is then approached. After that, optical radiation from radiation source 5 is focused on tip 4 of probe 1, for example, a tunable IR CO 2 laser or a tunable laser wavelength laser or a visible or near-IR laser or a THz radiation source. The wavelength λ of this radiation is in the range from 0.4 μm to 500 μm. The optical radiation is focused by means of a focusing element 6, for example, a parabolic metal mirror with Au sputtering or a Ge lens can be used as a measurement. where n is the highest harmonic order. For this, a Michelson interferometer is used, in which the slip module 13 sets the mirror of the support arm 14 to the specified positions. As the module of the slide 13 you can use piezoceramic slide with the control unit. Next, using the feedback system 15, change the position of the mirror of the reference arm 14 by means of the slide module 13 so that the phase difference between the near-field optical response and the radiation reflected from the mirror of the reference arm 14 is kept constant.

Существует вариант, в котором на вход системы обратной связи 15 подают сигнал синусоидальной компоненты оптической амплитуды 25, измеренный первым синхронным детектором 11 на частоте nΩ. При этом выходной сигнал системы обратной связи 15 управляет положением зеркала опорного плеча 14 посредством модуля подвижки 13. В результате компенсируется разница между сигналом синусоидальной компоненты оптической амплитуды 25 и близким к нулю значением рабочей точки. Эта величина может быть в диапазоне от -10% до 10% величины максимального значения сигнала синусоидальной компоненты оптической амплитуды 25. При этом регистрируется сигнал положения зеркала опорного плеча 14, который умножают на коэффициент пересчета 4π/λ и получают сигнал фазы оптического отклика 28. После этого при необходимости образец 2 перемещают в новую точку и повторяют описанную выше процедуру в каждой точке сканирования.There is an option in which a signal of a sinusoidal component of an optical amplitude 25, measured by the first synchronous detector 11 at a frequency Ω, is fed to the input of the feedback system 15. At the same time, the output signal of the feedback system 15 controls the position of the mirror of the reference arm 14 by means of the slide module 13. As a result, the difference between the signal of the sinusoidal component of the optical amplitude 25 and the operating point value close to zero is compensated. This value can be in the range from -10% to 10% of the maximum value of the signal of the sinusoidal component of the optical amplitude 25. The signal of the position of the mirror of the reference arm 14 is recorded, which is multiplied by the conversion factor 4π / λ and the optical response signal 28 is received. After If necessary, sample 2 is moved to a new point and the procedure described above is repeated at each scan point.

Существует вариант, в котором после получения сигнала фазы оптического отклика 28 зеркало опорного плеча 14 смещают при помощи модуля подвижки 13 на заданную величину. Эта величина соответствует сдвигу фазы опорного пучка на детекторе близким к π/2+πk (k - это целое число) и может быть в диапазоне ±π/20. В этом положении регистрируется сигнал полной оптической амплитуды 26, измеренный первым синхронным детектором 11 на частоте nΩ. После этого образец 2 перемещают в новую точку и повторяют описанную выше процедуру в каждой точке сканирования. Существует вариант, в котором при первом сканировании линии по поверхности образца 2 в каждой точке линии регистрируют положение зеркала опорного плеча 14. Затем при повторном сканировании той же линии в каждой точке посредством модуля подвижки 13 обеспечивают сдвиг фазы луча, отраженного от зеркала опорного плеча 14 на величину, близкой к π/2+πk (k - это целое число), относительно зарегистрированного при первом сканировании линии положения зеркала опорного плеча 14 в этой же точке. При этом при повторном сканировании линии первым синхронным детектором 11 регистрируется сигнал полной оптической амплитуды 26 на частоте nΩ. После этого образец 2 перемещают на следующую линию и повторяют описанную выше процедуру для каждой следующей линии сканирования.There is an option in which, after receiving the signal of the optical response phase 28, the mirror of the support arm 14 is shifted by means of the slide module 13 by a predetermined value. This value corresponds to the phase shift of the reference beam on the detector close to π / 2 + πk (k is an integer) and can be in the range of ± π / 20. In this position, a full optical amplitude signal 26 is recorded, measured by the first synchronous detector 11 at a frequency Ω. After that, sample 2 is moved to a new point and the procedure described above is repeated at each scan point. There is an option in which, when the line is scanned for the first time on the surface of sample 2, at each point of the line, the position of the mirror of the reference arm 14 is recorded. a value close to π / 2 + πk (k is an integer), relative to the position of the mirror of the support arm 14 registered at the first point at the same point registered during the first scan. In this case, when the line is re-scanned by the first synchronous detector 11, a signal of full optical amplitude 26 is recorded at the frequency Ω. After that, sample 2 is moved to the next line and the procedure described above is repeated for each subsequent scan line.

Существует вариант, в котором с частотой f модулируют сигнал, управляющий положением зеркала опорного плеча 14 посредством модуля подвижки 13. Частота f может быть в диапазоне 100 Гц до 10 кГц. На вход системе обратной связи подают сигнал синусоидальной компонентой 27 измеренный вторым синхронным детектором 18 на частоте f. При этом на вход второму синхронному детектору 18 подают сигнал синусоидальной компоненты оптической амплитуды 25, измеренный первым синхронным детектором 11 на частоте nΩ. Выходной сигнал системы обратной связи изменяет положение зеркала опорного плеча 14 посредством модуля подвижки 13, компенсируя разницу между сигналом синусоидальной компоненты 27, измеренный вторым синхронным детектором 18 на частоте f, и близким к нулю значением рабочей точки. При этом в процессе сканирования регистрируется сигнал полной оптической амплитуды 26 и положение зеркала опорного плеча 14, которое умножают на коэффициент пересчета 4π/λ и получают сигнал фазы оптического отклика.There is a variant in which, with a frequency f, a signal is modulated that controls the position of the mirror of the reference arm 14 by means of a sliding module 13. The frequency f can be in the range of 100 Hz to 10 kHz. To the input of the feedback system, a signal is emitted by a sinusoidal component 27 measured by a second synchronous detector 18 at a frequency f. At the same time, the input to the second synchronous detector 18 is given a signal of the sinusoidal component of the optical amplitude 25, measured by the first synchronous detector 11 at the frequency Ω. The output signal of the feedback system changes the position of the mirror of the reference arm 14 by means of the slide module 13, compensating for the difference between the signal of the sinusoidal component 27, measured by the second synchronous detector 18 at the frequency f, and the operating point value close to zero. In the scanning process, the signal of the full optical amplitude 26 and the position of the mirror of the reference arm 14 are recorded, which is multiplied by a conversion factor of 4π / λ and the optical response phase signal is obtained.

Существует вариант, в котором в заданном диапазоне (например, для квантово-каскадного ИК лазера в диапазоне от 9,5 мкм до 12 мкм) изменяют длину волны λ источника излучения 5 и строят зависимость сигнала полной оптической амплитуды 26 от длины волны λ источника излучения 5. При этом в результате получают спектральную зависимость амплитуды ближнепольного оптического отклика от длины волны λ.There is an option in which in a given range (for example, for a quantum cascade IR laser in the range from 9.5 μm to 12 μm) change the wavelength λ of the radiation source 5 and build the dependence of the signal of the full optical amplitude 26 on the wavelength λ of the radiation source 5 As a result, the spectral dependence of the amplitude of the near-field optical response on the wavelength λ is obtained.

Существует вариант, в котором положение зеркала опорного плеча 14 регистрируют посредством датчиков линейного смещения 19. Они могут быть выполнены в виде емкостных датчиков смещенияThere is an option in which the position of the mirror of the support arm 14 is recorded by means of linear displacement sensors 19. They can be made in the form of capacitive displacement sensors

Существует вариант, в котором угол зеркала опорного плеча 14 поддерживают постоянным при перемещении посредством модуля подвижки 13 с помощью системы обратной связи 15. На ее вход подают значения датчиков углового смещения 20. При этом выходной сигнал управляет углом модуля подвижки 13, компенсируя угловые отклонения при перемещениях.There is an option in which the angle of the mirror of the support arm 14 is kept constant during movement by the slide module 13 using the feedback system 15. The values of the angular displacement sensors 20 are fed to its input. The output signal controls the angle of the slide module 13, compensating for the angular deviations during the movements .

То, что в способе детектирования ближнепольного оптического отклика для сканирующего зондового микроскопа, используя систему обратной связи 15 изменяют положение зеркала опорного плеча 14 посредством модуля подвижки 13 таким образом, чтобы разница фаз ближнепольного оптического отклика и излучения, отраженного от зеркала опорного плеча 14, поддерживалась постоянной приводит к тому, что увеличивается быстродействие, а также снижается уровень механических шумов и вибрации, создаваемых модулем подвижки 13 зеркала опорного плеча 14 и, соответственно, уменьшается погрешность измерений.The fact that the method of detecting the near-field optical response for a scanning probe microscope, using the feedback system 15, changes the position of the mirror of the support arm 14 by means of the slide module 13 so that the phase difference between the near-field optical response and the radiation reflected from the mirror of the reference arm 14 is kept constant leads to the fact that increases the speed, and also reduces the level of mechanical noise and vibration generated by the module of the slide 13 of the mirror of the support arm 14 and, respectively Twain reduced measurement error.

То, что на вход системы обратной связи 15 подают сигнал синусоидальной компоненты оптической амплитуды 25, измеренный первым синхронным детектором 11 на частоте nΩ, а выходной сигнал системы обратной связи 15 управляет положением зеркала опорного плеча 14 посредством модуля подвижки 13, компенсируя разницу между сигналом синусоидальной компоненты оптической амплитуды 25 и близким к нулю значением рабочей точки, при этом регистрируется сигнал положения зеркала опорного плеча 14, который умножают на коэффициент пересчета 4π/λ, и получают сигнал фазы оптического отклика приводит к тому, что увеличивается быстродействие, а также снижается уровень механических шумов и вибрации, создаваемых модулем подвижки 13 зеркала опорного плеча 14 и, соответственно, уменьшается погрешность измерений.The fact that the input of the feedback system 15 is given a signal of a sinusoidal optical amplitude component 25, measured by the first synchronous detector 11 at a frequency Ω, and the output signal of the feedback system 15 controls the position of the mirror of the reference arm 14 by means of a slide module 13, compensating for the difference between the signal of the sinusoidal component the optical amplitude of 25 and close to zero value of the operating point, this registers the signal of the position of the mirror of the reference arm 14, which is multiplied by the conversion factor 4π / λ, and receive the signal f The basics of the optical response lead to an increase in speed, and also a decrease in the level of mechanical noise and vibration produced by the slide module 13 of the mirror of the support arm 14 and, accordingly, the measurement error decreases.

То, что после получения сигнала фазы оптического отклика зеркало опорного плеча 14 смещают при помощи модуля подвижки 13 на заданную величину, соответствующую сдвигу фазы опорного пучка на детекторе близким к π/2+πk, k - это целое число и в этом положении регистрируется сигнал полной оптической амплитуды 26, измеренный первым синхронным детектором 11 на частоте nΩ, а после этого образец 2 перемещают в новую точку и повторяют описанную выше процедуру в каждой точке сканирования приводит к тому, что снижается погрешность измерений.The fact that after receiving the signal of the optical response phase, the mirror of the reference arm 14 is shifted by means of the slip module 13 by a predetermined amount, corresponding to the phase shift of the reference beam on the detector close to π / 2 + πk, k is an integer number and the full signal is recorded in this position optical amplitude 26, measured by the first synchronous detector 11 at a frequency Ω, and then sample 2 is moved to a new point and the procedure described above is repeated at each scanning point, which reduces the measurement error.

То, что при первом сканировании линии по поверхности образца 2 в каждой точке линии регистрируют положение зеркала опорного плеча 14, а затем при повторном сканировании той же линии в каждой точке посредством модуля подвижки 13 обеспечивают сдвиг фазы луча, отраженного от зеркала опорного плеча 14 на величину, близкой к π/2+πk, k - это целое число, относительно зарегистрированного при первом сканировании линии положения зеркала опорного плеча 14 в этой же точке, при этом при повторном сканировании линии первым синхронным детектором 11 регистрируется сигнал полной оптической амплитуды 26 на частоте nΩ, после этого образец 2 перемещают на следующую линию и повторяют описанную выше процедуру для каждой следующей линии сканирования приводит к тому, что снижается уровень механических шумов и вибрации, создаваемых модулем подвижки 13 зеркала опорного плеча 14 и, соответственно, уменьшается погрешность измерений.The fact that the first scan of the line on the surface of sample 2 at each point of the line records the position of the mirror of the reference arm 14, and then when the same line is re-scanned at each point, the slip module 13 shifts the phase of the beam reflected from the mirror of the reference arm 14 by close to π / 2 + πk, k is an integer relative to the support arm 14 registered at the first scanning line of the position of the mirror of the support arm 14 at the same point, while registering the first synchronous detector 11 again when scanning the line The signal of full optical amplitude 26 at the frequency Ω, then sample 2 is moved to the next line and the procedure described above is repeated for each of the next scanning lines, which leads to a decrease in the mechanical noise and vibration generated by the slide module 13 of the reference arm mirror 14 and, accordingly, the measurement error decreases.

То, что с частотой f модулируют сигнал, управляющий положением зеркала опорного плеча 14 посредством модуля подвижки 13, и на вход системе обратной связи подают сигнал синусоидальной компонентой 27 измеренный вторым синхронным детектором 18 на частоте f, при этом на вход второму синхронному детектору 18 подают сигнал синусоидальной компоненты оптической амплитуды 25, измеренный первым синхронным детектором 11 на частоте nΩ, и выходной сигнал системы обратной связи изменяет положение зеркала опорного плеча 14 посредством модуля подвижки 13, компенсируя разницу между сигналом синусоидальной компоненты 27, измеренный вторым синхронным детектором 18 на частоте f, и близким к нулю значением рабочей точки, при этом в процессе сканирования регистрируется сигнал полной оптической амплитуды 26 и положение зеркала опорного плеча 14, которое умножают на коэффициент пересчета 4π/λ и получают сигнал фазы оптического отклика приводит к тому, что увеличивается быстродействие, а также снижается уровень механических шумов и вибрации, создаваемых модулем подвижки 13 зеркала опорного плеча 14 и, соответственно, уменьшается погрешность измерений.The fact that with a frequency f modulate the signal that controls the position of the mirror of the reference arm 14 by means of the slide module 13, and a sinusoidal component 27 measured by the second synchronous detector 18 at the frequency f is input to the feedback system, and the second synchronous detector 18 is input to the input of the sinusoidal component of the optical amplitude 25, measured by the first synchronous detector 11 at a frequency Ω, and the output signal of the feedback system changes the position of the mirror of the reference arm 14 by means of a slide module 13, a computer Measuring the difference between the signal of the sinusoidal component 27, measured by the second synchronous detector 18 at the frequency f, and the operating point value close to zero, while the scanning process records the signal of the full optical amplitude 26 and the position of the mirror of the reference arm 14, which is multiplied by the conversion factor 4π / λ and receive the signal phase of the optical response leads to an increase in speed, and also reduces the level of mechanical noise and vibration generated by the module of the slide 13 of the mirror of the support arm 14 and, respectively Actually, the measurement error is reduced.

То, что в заданном диапазоне изменяют длину волны λ источника излучения 5 и строят зависимость сигнала полной оптической амплитуды 26 от длины волны λ источника излучения 5, при этом в результате получается спектральная зависимость амплитуды ближнепольного оптического отклика от длины волны λ приводит снижению времени измерения, кроме того это это приводит к расширению функциональных возможностей устройства.The fact that in a given range change the wavelength λ of the radiation source 5 and build the dependence of the full optical amplitude signal 26 on the wavelength λ of the radiation source 5, this results in a spectral dependence of the amplitude of the near-field optical response on the wavelength λ leads to a decrease in the measurement time, except In addition, this leads to increased functionality of the device.

То, что положение зеркала опорного плеча 14 регистрируют посредством датчиков линейного смещения 19 приводит к тому, что устраняются нежелательные эффекты модуля подвижки 13, такие как нелинейность, люфт, гистерезис, и таким образом, приводит к уменьшению погрешности измерения сигнала фазы оптического отклика 28 и сигнала полной оптической амплитуды 26.The fact that the position of the mirror of the support arm 14 is recorded by means of linear displacement sensors 19 causes undesirable effects of the slip module 13, such as non-linearity, play, hysteresis, to be eliminated, and thus reduces the measurement error of the optical response signal 28 and the signal full optical amplitude 26.

То, что угол зеркала опорного плеча 14 поддерживают постоянным при перемещении посредством модуля подвижки 13 с помощью системы обратной связи 15, на вход которой подаются значения датчиков углового смещения 20, а выходной сигнал управляет углом модуля подвижки 13, компенсируя угловые отклонения при перемещениях приводит к тому, что снижается погрешность измерения сигнала фазы оптического отклика 28 и сигнала полной оптической амплитуды 26.The fact that the angle of the mirror of the support arm 14 is kept constant during movement by the slide module 13 via the feedback system 15, the input of which is fed to the values of the angular displacement sensors 20, and the output signal controls the angle of the slide module 13, compensating for the angular deviations during the movements , which reduces the measurement error of the signal phase of the optical response 28 and the signal of the full optical amplitude 26.

Claims (8)

1. Способ детектирования ближнепольного оптического отклика для сканирующего зондового микроскопа, включающий сближение осциллирующего на частоте Ω зондового датчика (1) с образцом (2), фокусирование на острие (4) зондового датчика (1) оптического излучения с длиной волны λ в диапазоне от 0.4 до 500 мкм источника излучения (5) посредством фокусирующего элемента (6), измерение ближнепольного оптического отклика первым синхронным детектором (11) посредством детектирования сигнала оптического детектора (8) на высшей гармонике осцилляций зондового датчика (1) nΩ, где n - порядок высшей гармоники, с использованием схемы интерферометра Майкельсона, в которой модуль подвижки (13) устанавливает зеркало опорного плеча (14) в заданные положения, отличающийся тем, что используя систему обратной связи (15) изменяют положение зеркала опорного плеча (14) посредством модуля подвижки (13) таким образом, чтобы разница фаз ближнепольного оптического отклика и излучения, отраженного от зеркала опорного плеча (14), поддерживалась постоянной.1. A method for detecting a near-field optical response for a scanning probe microscope, including converging a probe sensor (1) oscillating at a frequency Ω with a sample (2), focusing the optical radiation probe probe (1) with a wavelength λ in the range of 0.4 from the tip (4) up to 500 μm of the radiation source (5) by means of the focusing element (6), measurement of the near-field optical response by the first synchronous detector (11) by detecting the signal of the optical detector (8) at the highest harmonic of oscillations of the probe and (1) nΩ, where n is the highest harmonic order, using the Michelson interferometer circuit, in which the slip module (13) sets the mirror of the reference arm (14) to the specified positions, characterized in that using the feedback system (15) they change the position mirrors of the reference arm (14) by means of the shift module (13) so that the phase difference between the near-field optical response and the radiation reflected from the mirror of the reference arm (14) is kept constant. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что на вход системы обратной связи (15) подают сигнал синусоидальной компоненты оптической амплитуды (25), измеренный первым синхронным детектором (11) на частоте nΩ, а выходной сигнал системы обратной связи (15) управляет положением зеркала опорного плеча (14) посредством модуля подвижки (13), компенсируя разницу между сигналом синусоидальной компоненты оптической амплитуды (25) и близким к нулю значением рабочей точки, при этом регистрируется сигнал положения зеркала опорного плеча (14), который умножают на коэффициент пересчета 4π/λ и получают сигнал фазы оптического отклика (28).2. A method according to claim 1, characterized in that the input of the feedback system (15) is given a signal of a sinusoidal component of the optical amplitude (25), measured by the first synchronous detector (11) at a frequency Ω, and the output signal of the feedback system (15) controls the position of the mirror of the reference arm (14) by means of the slide module (13), compensating for the difference between the signal of the sinusoidal component of the optical amplitude (25) and the value of the operating point close to zero, while registering the signal of the position of the mirror of the reference arm (14), which is multiplied by the coefficient recalculate the 4π / λ and receive the optical response phase signal (28). 3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что после получения сигнала фазы оптического отклика (28) зеркало опорного плеча (14) смещают при помощи модуля подвижки (13) на заданную величину, соответствующую сдвигу фазы опорного пучка на детекторе, близкую к π/2+πk, и в этом положении регистрируется сигнал полной оптической амплитуды (26), измеренный первым синхронным детектором (11) на частоте nΩ, а после этого образец (2) перемещают в новую точку и повторяют описанную выше процедуру в каждой точке сканирования.3. The method according to claim 2, characterized in that after receiving the signal of the optical response phase (28), the mirror of the reference arm (14) is shifted by means of the slide module (13) by a predetermined value corresponding to the phase shift of the reference beam on the detector, close to π / 2 + πk, and the full optical amplitude signal (26) measured by the first synchronous detector (11) at the frequency nΩ is recorded in this position, and then the sample (2) is moved to a new point and the procedure described above is repeated at each scan point. 4. Способ по п. 2, отличающийся тем, что при первом сканировании линии по поверхности образца (2) в каждой точке линии регистрируют положение зеркала опорного плеча (14), а затем при повторном сканировании той же линии в каждой точке посредством модуля подвижки (13) обеспечивают сдвиг фазы луча, отраженного от зеркала опорного плеча, (14) на величину, близкую к π/2+πk (k - это целое число), относительно зарегистрированного при первом сканировании линии положения зеркала опорного плеча (14) в этой же точке, при этом при повторном сканировании линии первым синхронным детектором (11) регистрируется сигнал полной оптической амплитуды (26) на частоте nΩ, после этого образец (2) перемещают на следующую линию и повторяют описанную выше процедуру для каждой следующей линии сканирования.4. The method according to p. 2, characterized in that when the line is scanned for the first time on the sample surface (2) at each point of the line, the position of the support arm mirror (14) is recorded, and then when the same line is re-scanned at each point by means of the displacement module ( 13) provide a phase shift of the beam reflected from the mirror of the reference arm, (14) by an amount close to π / 2 + πk (k is an integer) relative to the reference arm registered at the first scan of the position of the mirror of the reference arm (14) in the same point, while re-scanning the line first the synchronous detector (11) registers the signal of the full optical amplitude (26) at the frequency Ω, then the sample (2) is moved to the next line and the procedure described above is repeated for each next scanning line. 5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что с частотой f модулируют сигнал, управляющий положением зеркала опорного плеча (14) посредством модуля подвижки (13), и на вход системе обратной связи подают сигнал синусоидальной компонентой (27), измеренный вторым синхронным детектором (18) на частоте f, при этом на вход второму синхронному детектору (18) подают сигнал синусоидальной компоненты оптической амплитуды (25), измеренный первым синхронным детектором (11) на частоте nΩ, и выходной сигнал системы обратной связи изменяет положение зеркала опорного плеча (14) посредством модуля подвижки (13), компенсируя разницу между сигналом синусоидальной компоненты (27), измеренным вторым синхронным детектором (18) на частоте f, и близким к нулю значением рабочей точки, при этом в процессе сканирования регистрируется сигнал полной оптической амплитуды (26) и положение зеркала опорного плеча (14), которое умножают на коэффициент пересчета 4π/λ и получают сигнал фазы оптического отклика (28).5. The method according to claim 1, characterized in that with a frequency f modulate the signal that controls the position of the mirror of the reference arm (14) by means of the slider (13), and a sinusoidal component (27), measured by the second synchronous signal, is input to the feedback system the detector (18) at frequency f, while the input to the second synchronous detector (18) is given a signal of the sinusoidal optical amplitude component (25), measured by the first synchronous detector (11) at a frequency Ω, and the output signal of the feedback system changes the position of the reference arm mirror ( 14) by means of the slide module (13), compensating for the difference between the signal of the sinusoidal component (27), measured by the second synchronous detector (18) at the frequency f, and the operating point value close to zero, while the full optical amplitude signal (26 ) and the position of the mirror of the reference arm (14), which is multiplied by a conversion factor of 4π / λ and receive the signal phase of the optical response (28). 6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что в заданном диапазоне изменяют длину волны λ источника излучения (5) и строят зависимость сигнала полной оптической амплитуды (26) от длины волны λ источника излучения (5), при этом в результате получают спектральную зависимость амплитуды ближнепольного оптического отклика от длины волны λ.6. The method according to claim 5, characterized in that in a given range change the wavelength λ of the radiation source (5) and build the dependence of the full optical amplitude signal (26) on the wavelength λ of the radiation source (5), with the result that the spectral dependence of the amplitude of the near-field optical response on the wavelength λ. 7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что положение зеркала опорного плеча (14) регистрируют посредством датчиков линейного смещения (19).7. A method according to claim 1, characterized in that the position of the mirror of the support arm (14) is recorded by means of linear displacement sensors (19). 8. Способ по п. 1, отличающийся тем, что угол зеркала опорного плеча (14) поддерживают постоянным при перемещении посредством модуля подвижки (13) с помощью системы обратной связи (15), на вход которой подаются значения датчиков углового смещения (20), а выходной сигнал управляет углом модуля подвижки (13), компенсируя угловые отклонения при перемещениях.8. A method according to claim 1, characterized in that the angle of the mirror of the support arm (14) is kept constant during movement by the slide module (13) using a feedback system (15), the input of which is fed to the values of the angular displacement sensors (20), and the output signal controls the angle of the slide module (13), compensating for the angular deviations during the movements.
RU2017128877A 2017-08-14 2017-08-14 Method for detecting near-field optical response for scanning probe microscope RU2695027C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017128877A RU2695027C2 (en) 2017-08-14 2017-08-14 Method for detecting near-field optical response for scanning probe microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017128877A RU2695027C2 (en) 2017-08-14 2017-08-14 Method for detecting near-field optical response for scanning probe microscope

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2017128877A RU2017128877A (en) 2019-02-20
RU2017128877A3 RU2017128877A3 (en) 2019-06-19
RU2695027C2 true RU2695027C2 (en) 2019-07-18

Family

ID=65442297

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017128877A RU2695027C2 (en) 2017-08-14 2017-08-14 Method for detecting near-field optical response for scanning probe microscope

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2695027C2 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6229609B1 (en) * 1993-04-12 2001-05-08 Seiko Instruments Inc. Scanning near-field optic/atomic force microscope
US7498564B2 (en) * 2001-02-06 2009-03-03 University Of Bristol Of Senate House Resonant scanning near-field optical microscope
US20100115673A1 (en) * 2006-11-27 2010-05-06 Christine Kranz Near field scanning measurement-alternating current-scanning electrochemical microscopy devices and mehtods of use thereof

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6229609B1 (en) * 1993-04-12 2001-05-08 Seiko Instruments Inc. Scanning near-field optic/atomic force microscope
US7498564B2 (en) * 2001-02-06 2009-03-03 University Of Bristol Of Senate House Resonant scanning near-field optical microscope
US20100115673A1 (en) * 2006-11-27 2010-05-06 Christine Kranz Near field scanning measurement-alternating current-scanning electrochemical microscopy devices and mehtods of use thereof

Also Published As

Publication number Publication date
RU2017128877A (en) 2019-02-20
RU2017128877A3 (en) 2019-06-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3081979B2 (en) microscope
US11714103B2 (en) Method and apparatus for resolution and sensitivity enhanced atomic force microscope based infrared spectroscopy
Thurner et al. Fiber-based distance sensing interferometry
CN101600388B (en) Methods and apparatus for swept-source optical coherence tomography
US9372154B2 (en) Method and apparatus for infrared scattering scanning near-field optical microscopy
US9658247B2 (en) Method and apparatus for infrared scattering scanning near-field optical microscopy with high speed point spectroscopy
US10082523B2 (en) Method and apparatus for infrared scattering scanning near-field optical microscopy with high speed point spectroscopy
US20140310839A1 (en) Mechanical detection of raman resonance
RU2010154664A (en) PROBE DETECTION SYSTEM
US8680467B2 (en) High frequency deflection measurement of IR absorption with a modulated IR source
CN113639776B (en) Graphene-based mechanical vibrator high-temperature sensor and working method
Barg et al. Measuring and imaging nanomechanical motion with laser light
RU2695027C2 (en) Method for detecting near-field optical response for scanning probe microscope
JP2005147979A (en) Scanning probe microscope
Lipiäinen et al. Stabilized stroboscopic full-field interferometer for characterization of subnanometer surface vibrations
WO2014112027A1 (en) Fourier transform spectrometer
US11905165B2 (en) System and method of continuous, vibration-less, and bi-directional MEMS mirror motion via periodic driving force for rapid data acquisition
Paritsky et al. Fiber optic distance sensor with subangstrom resolution
JPH10170523A (en) Scanning probe microscope, and cantilever for scanning probe microscope
Heikkinen et al. Sub-kHz traceable characterization of stroboscopic scanning white light interferometer
TW202436878A (en) Nano-mechanical infrared spectroscopy system and method using gated peak force ir
JPH11316240A (en) Scanning near-field optical microscope
Lin et al. Nanoscale defect detection by heterodyne interferometry
CN117629384A (en) Microscopic laser vibration meter based on astigmatic detection
CN115597695A (en) Frequency mixing vibration measurement device and method based on ultrafast pulse laser interference

Legal Events

Date Code Title Description
HE9A Changing address for correspondence with an applicant