RU2688583C1 - Method of measuring the angular speed using a spherical resonator of the whispering gallery - Google Patents

Method of measuring the angular speed using a spherical resonator of the whispering gallery Download PDF

Info

Publication number
RU2688583C1
RU2688583C1 RU2018111005A RU2018111005A RU2688583C1 RU 2688583 C1 RU2688583 C1 RU 2688583C1 RU 2018111005 A RU2018111005 A RU 2018111005A RU 2018111005 A RU2018111005 A RU 2018111005A RU 2688583 C1 RU2688583 C1 RU 2688583C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
whispering gallery
angular velocity
spherical resonator
frequency
resonator
Prior art date
Application number
RU2018111005A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Егор Вадимович Шалымов
Original Assignee
Егор Вадимович Шалымов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Егор Вадимович Шалымов filed Critical Егор Вадимович Шалымов
Priority to RU2018111005A priority Critical patent/RU2688583C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2688583C1 publication Critical patent/RU2688583C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light

Abstract

FIELD: measuring equipment.SUBSTANCE: invention relates to measurement equipment, namely, to devices for measuring the angular velocity. Beam of coherent optical radiation with a controlled frequency of radiation is formed. Using a spherical resonator mode whispering gallery the parameters of the beam are changed. Optical radiation of the beam is converted into an electrical signal and the amplitude-frequency characteristic of a spherical resonator of the whispering gallery mode is measured by the change in the amplitude of the electrical signal. According to the amplitude-frequency characteristic of the spherical resonator, the frequency difference caused by centrifugal forces between those neighboring whispering gallery modes, which differ from each other by one in the azimuthal index, is measured. For this difference the angular velocity is defined.EFFECT: higher accuracy of determining the angular velocity with changing parameters (temperature, pressure et cetera) of the environment surrounding the spherical resonator of the whispering gallery mode, and the absence of second-kind errors resulting from changes in these parameters.1 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к устройствам для измерения угловой скорости и может быть использовано для измерения величины угловой скорости объектов совершающих вращательное движение, в частности центрифуг, валов и т.д.The invention relates to the field of measurement technology, namely, devices for measuring the angular velocity and can be used to measure the magnitude of the angular velocity of objects performing rotational motion, in particular centrifuges, shafts, etc.

Известен способ определения угловой скорости (патент US 5141315) путем формирования двух пучков когерентного оптического излучения П1 и П2 с управляемой частотой излучения, изменения параметров пучков с помощью кольцевого интерферометра, ввод пучков в резонатор которого осуществляется во взаимно противоположных направлениях, с последующим преобразованием оптического излучения пучков в электрический сигналы, измерения по электрическим сигналам разности собственных частот резонатора кольцевого интерферометра для волн, обходящих его по взаимно противоположным направлениям и определения угловой скорости по величине этой разности.A known method for determining the angular velocity (US patent 5141315) by forming two beams of coherent optical radiation P1 and P2 with a controlled frequency of radiation, changing the parameters of the beams using an annular interferometer, the input of beams into the resonator which is carried out in mutually opposite directions, with the subsequent conversion of optical radiation beams in electrical signals, measurements on electrical signals of the difference in the natural frequencies of the resonator of the ring interferometer for waves around it in aimno opposite directions and determining the angular velocity magnitude of this difference.

Недостатком такого устройства является наличие ошибки измерений вызванной обратным рассеянием.The disadvantage of this device is the presence of measurement errors caused by backscattering.

Наиболее близким по совокупности существенных признаков к предлагаемому является способ определения угловой скорости (A.R. Ali and Т. Ioppolo, "Effect of angular velocity on sensors based on morphology dependent resonances," J. Sens. 14 (4), 2014, 7041-7048) путем формирования пучка когерентного оптического излучения с управляемой частотой излучения, изменения параметров пучка с помощью шарообразного резонатора мод шепчущей галереи, с последующим преобразованием оптического излучения в электрический сигнал, измерения по изменению амплитуды электрического сигнала амплитудно-частотной характеристики шарообразного резонатора мод шепчущей галереи, измерения по амплитудно-частотной характеристике шарообразного резонатора сдвига частот мод шепчущей галереи вызванного центробежными силами и по величине этого сдвига определения угловой скорости.The closest set of essential features to the present is the method of determining the angular velocity (AR Ali and T. Ioppolo, "Effect of angular velocity," Sens. 14 (4), 2014, 7041-7048) by forming a beam of coherent optical radiation with a controlled frequency of radiation, changing the beam parameters using a spherical resonator of the whispering gallery mode, followed by converting optical radiation into an electrical signal, measuring the change in the amplitude of the electrical signal of the amplitude-frequency characteristic acteristics spherical resonator whispering gallery modes, measurements of the amplitude-frequency characteristic of the spherical resonator frequency shift whispering gallery modes caused by the centrifugal forces and the value of this shift determining angular velocity.

Недостатком такого способа измерения угловой скорости является низкая точность определения угловой скорости при изменении параметров (температуры, давления и т.п.) среды окружающей шарообразный резонатор мод шепчущей галереи. Изменение этих параметров вызывает изотропное изменение размера резонатора, что в свою очередь приводит к появлению сдвига частот мод шепчущей галереи не отличимого от, вызванного центробежными силами, измеряемого сдвига частот мод шепчущей галереи и, как следствие, к снижению точности определения угловой скорости и появлению ошибок второго рода.The disadvantage of this method of measuring the angular velocity is the low accuracy of determining the angular velocity with changing parameters (temperature, pressure, etc.) of the environment surrounding the spherical resonator of the whispering gallery mode. Changing these parameters causes an isotropic change in the size of the resonator, which in turn leads to the appearance of the frequency shift of the whispering gallery modes indistinguishable from that caused by centrifugal forces, measured by the frequency shift of the whispering gallery modes and, as a result, to a decrease in the accuracy of determining the angular velocity and the appearance of errors kind of.

Задачей, решаемой изобретением, является разработка способа определения угловой скорости, позволяющего повысить точность определения угловой скорости при изменении параметров (температуры, давления и т.п.) среды окружающей шарообразный резонатор мод шепчущей галереи и не имеющего ошибок второго рода возникающих из-за изменения этих параметров.The problem solved by the invention is to develop a method for determining the angular velocity, which allows to increase the accuracy of determining the angular velocity when the parameters (temperature, pressure, etc.) of the environment surrounding the whispering gallery mode spherical resonator and which do not have second-order errors arising due to changes in these parameters parameters.

Поставленная задача решается за счет того, что в предлагаемом способе, также, как и в известном, угловую скорость определяют путем формирования пучка когерентного оптического излучения с управляемой частотой излучения, изменения параметров пучка с помощью шарообразного резонатора мод шепчущей галереи, с последующим преобразованием оптического излучения в электрический сигнал и измерением по изменению амплитуды электрического сигнала амплитудно-частотной характеристики шарообразного резонатора мод шепчущей галереи. Но, в отличие от известного, в предлагаемом способе по амплитудно-частотной характеристике шарообразного резонатора дополнительно измеряют вызванную центробежными силами разность частот между теми соседними модами шепчущей галереи, которые отличаются друг от друга на единицу по азимутальному индексу, и по этой разности определяют угловую скорость.The problem is solved due to the fact that in the proposed method, as well as in the well-known, the angular velocity is determined by forming a beam of coherent optical radiation with a controlled radiation frequency, changing the beam parameters using a spherical resonator whispering gallery modes, electrical signal and measuring the amplitude-frequency characteristic of a spherical resonator whispering gallery mode by measuring the amplitude of the electrical signal. But, in contrast to the known, in the proposed method, according to the amplitude-frequency characteristic of a spherical resonator, the frequency difference caused by centrifugal forces between those neighboring whispering gallery modes, which differ from each other by one azimuth index, is also measured, and this difference determines the angular velocity.

Достигаемым техническим результатом, является увеличение точности определения угловой скорости при изменении параметров (температуры, давления и т.п.) среды окружающей шарообразный резонатор мод шепчущей галереи и отсутствие ошибок второго рода возникающих из-за изменения этих параметров.Achievable technical result is to increase the accuracy of determining the angular velocity when changing parameters (temperature, pressure, etc.) of the environment surrounding a spherical resonator of the whispering gallery mode and the absence of second-type errors arising from changes in these parameters.

Изобретение поясняется чертежом на фиг. 1. На фиг. 1 представлена принципиальная схема устройства в основе работы которого лежит предложенный способ измерения угловой скорости.The invention is illustrated by the drawing in FIG. 1. In FIG. 1 is a schematic diagram of the device based on the proposed method for measuring the angular velocity.

Рассмотрим предлагаемый способ на примере работы устройства его реализующего. Устройство схематично изображено на фиг. 1. Оно содержит источник монохроматического когерентного оптического излучения с управляемой частотой излучения 1, одномодовое оптическое волокно 2 с биконическим участком 3, шарообразный резонатор мод шепчущей галереи 4, фотодетектор 5 и вычислительную систему 6. В качестве источника монохроматического когерентного оптического излучения с управляемой частотой излучения 1 может выступать, например, сканирующий лазер или лазер с установленной на выходе системой фазовых модуляторов. Управление частотой излучения источника 1 осуществляется вычислительной системой 6. Излучение источника 1 заводится в одномодовое оптическое волокно 2 через один из его концов. Другой конец одномодового оптического волокна 2 подсоединен к фоточувствительной площадки фотодетектора 5. Волокно 2 содержит биконический участок 3. Биконический участок 3 жестко закреплен (например, с помощью оптического клея) относительно шарообразного резонатора мод шепчущей галереи 4 и оптически связан с ним за счет эффекта оптического туннелирования. Шарообразный резонатор мод шепчущей галереи 4 может быть выполнен из кварца, оптического полимера или другого оптического материала. Пусть шарообразный резонатор мод шепчущей галереи 4 выполнен из полидиметилсилоксана с 1/60 долей отвердителя [A.R. Ali and Т. Ioppolo, "Effect of angular velocity on sensors based on morphology dependent resonances," J. Sens. 14 (4), 2014, 7041-7048]. Фотодетектор 5 преобразует оптический сигнал в пропорциональный ему по амплитуде электрический сигнал. Сигнал с фотодетектора 5 направляется на вычислительную систему 6.Consider the proposed method on the example of the device implements it. The device is shown schematically in FIG. 1. It contains a source of monochromatic coherent optical radiation with a controlled frequency of radiation 1, a single-mode optical fiber 2 with a biconical section 3, a spherical resonator whispering gallery mode 4, a photodetector 5 and a computing system 6. As a source of monochromatic coherent optical radiation with a controlled frequency of radiation 1 can act, for example, a scanning laser or a laser with a phase modulator system installed at the output. The frequency of the radiation source 1 is controlled by the computing system 6. The radiation source 1 is inserted into a single-mode optical fiber 2 through one of its ends. The other end of the single-mode optical fiber 2 is connected to the photosensitive area of the photodetector 5. Fiber 2 contains a biconical section 3. The biconical section 3 is rigidly fixed (for example, using optical glue) relative to the spherical resonator of the whispering gallery 4 and is optically connected to it due to the optical tunneling effect . The spherical resonator of the whispering gallery mode 4 can be made of quartz, an optical polymer, or other optical material. Let the spherical resonator of the whispering gallery mode 4 be made of polydimethylsiloxane with 1/60 of a hardener [A.R. Ali and T. Ioppolo, "Effect of angular velocity on morphology dependent resonances," J. Sens. 14 (4), 2014, 7041-7048]. The photodetector 5 converts the optical signal into an electrical signal proportional to it in amplitude. The signal from the photodetector 5 is sent to the computing system 6.

При измерении угловой скорости объекта, совершающего вращательное движение, устройство закрепляется на объекте и вращается вместе с ним. Вычислительная система 6 производит сканирование шарообразного резонатора мод шепчущей галереи 4 по частоте и по сигналу с фотодетектора измеряет амплитудно-частотную характеристику шарообразного резонатора мод шепчущей галереи. При этом по провалам в амплитудно-частотной характеристике резонатора 4 определяются частоты соседних, отличающимися по азимутальному индексу на единицу, мод шепчущей галереи.When measuring the angular velocity of an object making a rotational movement, the device is fixed on the object and rotates with it. The computing system 6 scans the spherical resonator of the whispering gallery mode 4 by frequency and measures the amplitude-frequency characteristic of the spherical resonator of the whispering gallery mode by a signal from the photodetector. At the same time, by the dips in the amplitude-frequency characteristic of the resonator 4, the frequencies of the whispering gallery modes differing in azimuth index by one are determined.

Как известно, моды шепчущей галереи с различными азимутальными индексами m, но одинаковыми полярными n у шарообразных резонаторов вырождены по частоте [А.Н. Ораевский, "Волны шепчущей галереи," Квантовая электроника 32 (5), 2002, 377-400]. При вращении шарообразного резонатора 4, в следствии влияния центробежных сил, он деформируется в эллипсоид вращения. Отклонение формы резонатора 4 от шарообразной снимает частотное вырождение его мод с различными азимутальными индексами m. При этом частоты мод шепчущей галереи описываются следующим выражением [А.Н. Ораевский, "Волны шепчущей галереи," Квантовая электроника 32 (5), 2002, 377-400]:As is known, whispering gallery modes with different azimuthal indices m, but with the same polar n, of spherical resonators are degenerate in frequency [A.N. Oraevsky, "Whispering Gallery Waves," Quantum Electronics 32 (5), 2002, 377-400]. During the rotation of the spherical resonator 4, due to the influence of centrifugal forces, it deforms into an ellipsoid of rotation. Deviation of the shape of the resonator 4 from the spherical removes the frequency degeneration of its modes with different azimuthal indices m. The frequencies of the whispering gallery modes are described by the following expression [A.N. Oraevsky, "Whispering Gallery Waves," Quantum Electronics 32 (5), 2002, 377-400]:

Figure 00000001
Figure 00000001

где ƒn - частота мод шепчущей галереи с полярным индексом равным п у неподвижного шарообразного резонатора; R0 - радиус шарообразного резонатора 4 в неподвижном состоянии; Δb - отклонение наименьшей полуоси эллипсоида вращения от радиуса R0. Исходя из выражения (1), разность частот между соседними, отличающимися по индексу т на единицу, модами шепчущей галереи:where ƒ n is the frequency of the whispering gallery modes with a polar index equal to n in the fixed spherical resonator; R 0 - the radius of the spherical resonator 4 in a stationary state; Δb is the deviation of the smallest semi-axis of the ellipsoid of rotation from the radius R 0 . Based on the expression (1), the frequency difference between the neighboring, differing in index m per unit, whispering gallery modes:

Figure 00000002
Figure 00000002

При этом отклонение наименьшей полуоси эллипсоида вращения Δb связано с угловой скоростью устройства Ω. Если резонатор выполнен из мягкого оптического полимера - полидиметилсилокеан с 1/60 долей отвердителя, у которого коэффициент Пуассона ν≈0,5 [A.R. Ali and Т. Ioppolo, "Effect of angular velocity on sensors based on morphology dependent resonances," J. Sens. 14 (4), 2014, 7041-7048], то отклонение наименьшей полуоси эллипсоида вращения определяется следующим выражением [Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц, Квантовая механика - 6-е изд., испр., М: ФИЗМАТ ЛИТ, 2004, 176]:In this case, the deviation of the smallest semi-axis of the ellipsoid of rotation Δb is related to the angular velocity of the device Ω. If the resonator is made of a soft optical polymer - polydimethylsiloxane with 1/60 of a hardener, in which Poisson's ratio ν≈0.5 [A.R. Ali and T. Ioppolo, "Effect of angular velocity on morphology dependent resonances," J. Sens. 14 (4), 2014, 7041-7048], then the deviation of the smallest semi-axis of the ellipsoid of rotation is determined by the following expression [LD Landau, E.M. Lifshits, Quantum Mechanics - 6th ed., Rev., M: FIZMAT LIT, 2004, 176]:

Figure 00000003
Figure 00000003

где Δа - отклонение радиуса экватора эллипсоида вращения от радиуса R0. Если материал резонатора имеет другое значение коэффициента Пуассона, то связь между отклонением наименьшей полуоси эллипсоида и отклонением радиуса экватора эллипсоида можно определить экспериментально, с помощью имитационного моделирования или, при известной величине коэффициента Пуассона, аналитически. Как известно, отклонение радиуса экватора эллипсоида вращения связано с угловой скоростью устройства Ω и определяется следующим выражением [A.R. Ali and Т. Ioppolo, "Effect of angular velocity on sensors based on morphology dependent resonances," J. Sens. 14 (4), 2014, 7041-7048]:where Δ and - the deviation of the equator radius of the ellipsoid of rotation from the radius R 0 . If the resonator material has a different Poisson's ratio, then the relationship between the deviation of the smallest semi-axis of the ellipsoid and the deviation of the equator radius of the ellipsoid can be determined experimentally, using simulation or, with a known Poisson coefficient, analytically. As is known, the deviation of the equator radius of the ellipsoid of rotation is related to the angular velocity of the device Ω and is determined by the following expression [AR Ali and T. Ioppolo, "Effects of angular velocity," J. Sens. 14 (4), 2014, 7041-7048]:

Figure 00000004
Figure 00000004

где ρ - плотность резонатора; G - модуль сдвига. Подставив (3) и (4) в выражение (2), можно получить выражение связывающее разность частот между теми соседними шепчущей галереи, которые отличаются по индексу m на единицу, и угловую скорость:where ρ is the resonator density; G is the shear modulus. Substituting (3) and (4) into expression (2), we can obtain the expression connecting the difference in frequency between those neighboring whispering galleries, which differ by index m by one, and the angular velocity:

Figure 00000005
Figure 00000005

В вычислительную систему внесены значения параметров резонатора, индексы регистрируемых мод шепчущей галереи и частота ƒn. Используя выражение (5), по величине разности частот между соседними модами шепчущей галереи, вычислительная система 6 определяет угловую скорость.The values of the parameters of the resonator, the indices of the recorded whispering gallery modes, and the frequency ƒ n are introduced into the computer system. Using expression (5), by the magnitude of the frequency difference between adjacent modes of the whispering gallery, computer system 6 determines the angular velocity.

Изменение значений параметров (температуры, давления и т.п.) среды окружающей шарообразный резонатор мод шепчущей галереи 4 приводит к изотропному изменению размера резонатора, и как следствие к сдвигу частот мод шепчущей галереи. Поскольку их изменение не приводит к отклонению формы резонатора от шарообразной, то оно не вызывает расщепления частот мод шепчущей галереи с различными азимутальными индексами. Таким образом, при определении угловой скорости по величине разности частот между соседними модами шепчущей галереи, сдвиг частот мод шепчущей галереи вызванный изменением параметров среды окружающей шарообразный резонатор не влияет на результат измерений и не вносит дополнительной погрешности.Changing the values of the parameters (temperature, pressure, etc.) of the environment surrounding the spherical resonator of the whispering gallery 4 modes leads to an isotropic change in the size of the resonator, and as a result, the frequencies of the whispering gallery are shifted. Since their change does not lead to a deviation of the shape of the resonator from the spherical one, it does not cause a splitting of the frequencies of the whispering gallery modes with different azimuthal indices. Thus, when determining the angular velocity by the magnitude of the frequency difference between adjacent whispering gallery modes, the frequency shift of the whispering gallery modes caused by a change in the environmental parameters of the surrounding spherical resonator does not affect the measurement result and does not introduce additional error.

Описание предложенного устройства доказывает возможность достижения технического результата - увеличение точности определения угловой скорости при изменении параметров (температуры, давления и т.п.) среды окружающей шарообразный резонатор мод шепчущей галереи и отсутствие ошибок второго рода возникающих из-за изменения этих параметров.The description of the proposed device proves the possibility of achieving a technical result — an increase in the accuracy of determining the angular velocity when the environment (temperature, pressure, etc.) of the environment surrounding the spherical resonator of the whispering gallery mode and the absence of second-type errors arising from changes in these parameters.

Claims (1)

Способ определения угловой скорости путем формирования пучка когерентного оптического излучения с управляемой частотой излучения, изменения параметров пучка с помощью шарообразного резонатора мод шепчущей галереи, с последующим преобразованием оптического излучения в электрический сигнал и измерением по изменению амплитуды электрического сигнала амплитудно-частотной характеристики шарообразного резонатора мод шепчущей галереи, отличающийся тем, что по амплитудно-частотной характеристике шарообразного резонатора дополнительно измеряют вызванную центробежными силами разность частот между теми соседними модами шепчущей галереи, которые отличаются друг от друга на единицу по азимутальному индексу, и по этой разности определяют угловую скорость.The method of determining the angular velocity by forming a beam of coherent optical radiation with controlled frequency radiation, changing the beam parameters using a spherical resonator whispering gallery mode, followed by converting optical radiation into an electrical signal and measuring the amplitude-frequency characteristic of a spherical resonator whispering gallery mode , characterized in that the amplitude-frequency response of the spherical resonator additionally they measure the frequency difference caused by centrifugal forces between those neighboring whispering gallery modes, which differ from each other by one in the azimuthal index, and determine the angular velocity by this difference.
RU2018111005A 2018-03-27 2018-03-27 Method of measuring the angular speed using a spherical resonator of the whispering gallery RU2688583C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018111005A RU2688583C1 (en) 2018-03-27 2018-03-27 Method of measuring the angular speed using a spherical resonator of the whispering gallery

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018111005A RU2688583C1 (en) 2018-03-27 2018-03-27 Method of measuring the angular speed using a spherical resonator of the whispering gallery

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2688583C1 true RU2688583C1 (en) 2019-05-21

Family

ID=66636916

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018111005A RU2688583C1 (en) 2018-03-27 2018-03-27 Method of measuring the angular speed using a spherical resonator of the whispering gallery

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2688583C1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2286581C2 (en) * 2003-11-18 2006-10-27 ОАО "Уральский приборостроительный завод" Highly stable angular-rate sensor
US7746475B2 (en) * 2007-10-09 2010-06-29 Samsung Electronics Co., Ltd. Microgyroscope
RU2547888C1 (en) * 2013-12-11 2015-04-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" Method of angular speed determination
RU2562149C2 (en) * 2013-04-10 2015-09-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) Resonant measuring method of rotation frequency of object and device implementing this method
US9389079B2 (en) * 2014-02-21 2016-07-12 University Of Rochester Optomechanical disk vibratory gyroscopes

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2286581C2 (en) * 2003-11-18 2006-10-27 ОАО "Уральский приборостроительный завод" Highly stable angular-rate sensor
US7746475B2 (en) * 2007-10-09 2010-06-29 Samsung Electronics Co., Ltd. Microgyroscope
RU2562149C2 (en) * 2013-04-10 2015-09-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) Resonant measuring method of rotation frequency of object and device implementing this method
RU2547888C1 (en) * 2013-12-11 2015-04-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" Method of angular speed determination
US9389079B2 (en) * 2014-02-21 2016-07-12 University Of Rochester Optomechanical disk vibratory gyroscopes

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
A.R. ALI, Т. IOPPOLO, Effect of angular velocity on sensors based on morphology dependent resonances, J. Sensors. 14 (4), 2014, 7041-7048. *
C2. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0203682B1 (en) Wavelength switched passive interferometric sensor system
CN103115628B (en) A kind of resonant mode optical gyroscope scale factor method of testing
BR112017017942B1 (en) METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING A PARAMETER BELOW A LAND SURFACE, INCLUDING FIBER OPTIC SENSORS IN WELL INTERIOR WITH INTERROGATOR
CN106125131B (en) A kind of rotation seismic wave measuring device based on compound interferometer
CN111006753B (en) Phase feedback controlled optical fiber interference ultralow frequency vibration measuring device and method
CN108287056B (en) System and method for evaluating coupling characteristics of optical fiber sensitive ring polarization mode
JP2005512047A (en) Sensor and method for detecting defects in optical fibers
CN107202573A (en) A kind of pair of light source high-precision optical fiber gyro
EP3066423A1 (en) Single-end brillouin optical distributed sensing device and method
CN109556702A (en) Optical fibre grating acceleration sensor based on diaphragm type equi intensity cantilever structure
Rodriguez-Cobo et al. Speckle characterization in multimode fibers for sensing applications
RU2688583C1 (en) Method of measuring the angular speed using a spherical resonator of the whispering gallery
CN117128945B (en) Super-sensitive angular velocity sensor based on singular surface and measuring method
CN114964577B (en) Optical fiber torsion scale micro-thrust measuring device and method
DK202270271A1 (en) Drift correction in a fiber optic distributed acoustic sensing system
US20180356546A1 (en) Method of measurement and apparatus for measurement of amplitude ratio of two first harmonics of the signal obtained from sagnac system
Diamandi et al. Distributed opto-mechanical sensing outside polyimide-coated fiber
Masek et al. Fibre optic based 3-D accelerometer design
RU2749844C1 (en) Optical gravimeter
CN117387591A (en) On-chip high-sensitivity angular velocity sensor based on second-order singular surface and measuring method
Filatov et al. Use of Whispering Gallery Modes Frequency Splitting for Rotation Speed Measurement
Zilberman et al. Fiber optic sensing in rapidly rotating mechanical structures
CN213209300U (en) Underground fiber grating sensor integrating fiber temperature measurement and detection functions
EP4202362A1 (en) Calibration method for a micromachined inertial angle sensor and calibration system
JP2013019813A (en) Gyro sensor

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20210328