RU2685573C1 - Method of focusing optical radiation on object - Google Patents
Method of focusing optical radiation on object Download PDFInfo
- Publication number
- RU2685573C1 RU2685573C1 RU2018124560A RU2018124560A RU2685573C1 RU 2685573 C1 RU2685573 C1 RU 2685573C1 RU 2018124560 A RU2018124560 A RU 2018124560A RU 2018124560 A RU2018124560 A RU 2018124560A RU 2685573 C1 RU2685573 C1 RU 2685573C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- image
- focusing lens
- focusing
- target
- length
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 28
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 25
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 230000004297 night vision Effects 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007619 statistical method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B23/00—Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
- G02B23/02—Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices involving prisms or mirrors
- G02B23/06—Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices involving prisms or mirrors having a focussing action, e.g. parabolic mirror
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Astronomy & Astrophysics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности, к способам оптического наведения и прицеливания, и может быть использовано для решения широкого круга технических задач, таких как создание плазмы, ускорение частиц, генерирование сверхкоротких рентгеновских импульсов.The invention relates to an optical instrument, in particular, to methods of optical targeting and aiming, and can be used to solve a wide range of technical problems, such as creating a plasma, accelerating particles, generating ultrashort x-ray pulses.
Плазменный объект образуется при облучении поверхности плоской мишени лазерным пучком. Для создания лазерной плазмы применяют лазеры с пикосекундной длительностью импульса. В качестве мишени используются тонкие пластины (фольги) из золота, алюминия, дейтерированного полиэтилена и другие. Большинство явлений в плазме, происходит, когда интенсивность на поверхности мишени достигает величин порядка 1020 Вт/см2 и более. Для достижения таких интенсивностей лазерные пучки концентрируют с помощью фокусирующих объективов.A plasma object is formed by irradiating the surface of a flat target with a laser beam. To create a laser plasma, lasers with a picosecond pulse duration are used. Thin plates (foils) made of gold, aluminum, deuterated polyethylene and others are used as targets. Most of the phenomena in the plasma occurs when the intensity on the target surface reaches values of the order of 10 20 W / cm 2 and more. To achieve such intensities, laser beams are concentrated using focusing lenses.
Известно, что пучок концентрируется в некотором объеме, который называют фокальным. Фокальный объем имеет протяженную вдоль оптической оси цилиндрическую структуру, а распределение интенсивности вдоль оси неоднородно. Максимальная интенсивность достигается в центре фокального объема. Сечение, нормальное к оптической оси объектива и проходящее через центр, соответствует фокальной плоскости, а центр объема - главному фокусу объектива. Таким образом, излучение с выходного зрачка лазера, распространяющееся в виде параллельного пучка лучей, концентрируется в главном фокусе фокусирующего объектива, в котором реализуется максимальная интенсивность сфокусированного излучения.It is known that the beam is concentrated in a certain volume, which is called focal. The focal volume has a cylindrical structure extended along the optical axis, and the intensity distribution along the axis is non-uniform. Maximum intensity is achieved in the center of the focal volume. The cross section normal to the optical axis of the lens and passing through the center corresponds to the focal plane, and the center of the volume corresponds to the main focus of the lens. Thus, the radiation from the exit pupil of the laser, propagating in the form of a parallel beam of rays, is concentrated in the main focus of the focusing lens, in which the maximum intensity of the focused radiation is realized.
Задача фокусировки состоит в совмещении поверхности объекта (мишени) с главным фокусом.The task of focusing is to combine the surface of the object (target) with the main focus.
Принципиальным является выполнение фокусировки на объект, поверхность которого расположена наклонно к оптической оси. Наклон осуществляют по двум основным причинам. Во-первых, параметры плазмы, подлежащие исследованию, зависят от поляризации лазерного пучка, влияние которой проявляется при наклонном падении излучения. Во-вторых, часть излучения лазера, которая зеркально отражается плазмой, распространяется далее в направлении, исключающем попадание этого излучения в выходной зрачок лазера, предохраняя лазер от разрушения.It is fundamental to focus on an object whose surface is inclined to the optical axis. The slope is carried out for two main reasons. First, the plasma parameters to be investigated depend on the polarization of the laser beam, the effect of which is manifested with an oblique incidence of radiation. Secondly, part of the laser radiation, which is specularly reflected by the plasma, propagates further in the direction that prevents this radiation from entering the exit pupil of the laser, preventing the laser from being destroyed.
Как правило, установку мишени в фокальную плоскость контролируют с помощью видеоконтрольного устройства (ВКУ), например, на основе зрительной трубы. ВКУ настраивают на параллельный пучок и согласовывают с лазерным пучком. Последней операцией визуализируют изображение главного фокуса в плоскости наблюдения ВКУ, и фиксируют его положение окулярной маркой, например, крестом.As a rule, the installation of the target in the focal plane is controlled with the help of a video monitor (CCU), for example, on the basis of a telescope. VKU set up on a parallel beam and coordinate with the laser beam. The last operation visualizes the image of the main focus in the plane of observation of the internal control system, and fix its position with an ocular mark, for example, a cross.
Так, по одному из известных способов фокусировки оптического излучения на объект [Мак А.А., Стариков А.Д., Тузов В.Г. Наведение и фокусировка мощных световых пучков на поверхность малоразмерных мишеней. ОМП, 1976, №1, с. 42-44], настраивают ВКУ на лазерный пучок, формируют в плоскости наблюдения зрительной трубы изображение мишени, на которую осуществляют фокусировку, устанавливают мишень в положение, при котором реализуется ее резкое изображение в ВКУ.So, in one of the known methods of focusing optical radiation on an object [Mac A.A., Starikov A.D., Tuzov V.G. Targeting and focusing of powerful light beams on the surface of small targets. OMP, 1976, No. 1, p. 42-44], adjusting the VKU to the laser beam, form an image of the target on which the focus is carried out in the plane of observation of the telescope, set the target to the position at which its sharp image in the VKU is realized.
По этому способу коллимированный лазерный пучок поступает во входной зрачок фокусирующего объектива и концентрируется в его главном фокусе. ВКУ настраивают на наблюдение фокальной плоскости и далее вспомогательными элементами согласовывают световую апертуру и ось трубы со световым диаметром и осью фокусируемого лазерного пучка. Мишень перемещают с помощью манипулятора вдоль оптической оси. Излучение, рассеянное мишенью в апертуру фокусирующего объектива, поступает в ВКУ, в плоскости наблюдения которого формируется изображение мишени. Выбирают такое положение мишени, при котором наблюдается наиболее резкое изображение.In this method, the collimated laser beam enters the entrance pupil of the focusing lens and is concentrated in its main focus. VKU set up to observe the focal plane and then the auxiliary elements coordinate the light aperture and the axis of the tube with a light diameter and axis of the focused laser beam. The target is moved using the manipulator along the optical axis. The radiation scattered by the target into the aperture of the focusing lens enters the ICS, in the plane of observation of which the image of the target is formed. Choose a position of the target, in which there is the most sharp image.
Способ с такой схемой фокусировки не обеспечивает необходимую точность фокусировки лазерного излучения на мишень. Это объясняется тем, что при перемещении в пределах фокального объема резкость изображения сохраняется, а интенсивность вдоль оптической объектива оси изменяется. Визуальная чувствительность к изменению интенсивности не позволяет совместить поверхность мишени с фокальной плоскостью точнее, чем 
Известен также способ фокусировки оптического излучения на объект, предложенный в работе [Латыев С.М., Сухопарое С.А., Митрофанов С.С., Тимощук И.Н. Повышение чувствительности фотоэлектрического индикатора расфокусировки. «Оптический журнал», том 70, №9, 2003, с. 37-39] и выбранный нами в качестве прототипа.There is also known a method of focusing optical radiation on an object proposed in [Latyev S.M., Sukhopary S.A., Mitrofanov S.S., Tymoshchuk I.N. Increased sensitivity of the photoelectric defocus indicator. Optical Journal, Vol. 70, No. 9, 2003, p. 37-39] and chosen by us as a prototype.
По этому способу формируют коллимированный пучок излучения, подлежащий фокусировке на мишень с сформированными в нем изображениями репера в виде двух оптических сеток, настраивают ВКУ на пучок, концентрируют пучок на мишени фокусирующим объективом, отраженным от мишени пучком строят с помощью ВКУ изображения сеток на приемнике излучения, регистрируют приемником изображения сеток, и измеряют параметр изображения, определяющий положение мишени относительно фокуса объектива, перемещают мишень до получения на приемнике нулевого значения параметра.According to this method, a collimated beam of radiation to be focused on a target with images of a frame formed in it in the form of two optical grids is formed; register with the grid image receiver, and measure the image parameter, which determines the position of the target relative to the lens focus, move the target until a zero value is obtained at the receiver i parameter.
В прототипе параметром изображения служит освещенность изображений сеток. Нулевой сигнал с приемника свидетельствует о равенстве освещенностей обоих изображений и, следовательно, о совмещении мишени с главным фокусом фокусирующего объектива.In the prototype, the image parameter is the luminance of the images of the grids. The zero signal from the receiver indicates the equality of illumination of both images and, therefore, the combination of the target with the main focus of the focusing lens.
Способ осуществляют следующим образом.The method is as follows.
Известно, что если в плоскости наблюдения зрительной трубы сформировано изображение предмета, то при этом плоскости, расположенные вдоль оси симметрично относительно предмета, изображаются этой трубой равно освещенными. Отсюда следует, что равная освещенность изображений пары вспомогательных плоскостей, свидетельствует о том, что плоскость наблюдения совмещена с изображением предмета, который расположен точно посередине между вспомогательными плоскостями. Это свойство используют в прототипе. ВКУ настраивают на наблюдение фокальной плоскости фокусирующего объектива Подходы к решению этой задачи известны.It is known that if an image of an object is formed in the plane of observation of the telescope, then the planes that are located along the axis symmetrically with respect to the object are depicted by this pipe equally illuminated. It follows that the equal illumination of images of a pair of auxiliary planes indicates that the observation plane is aligned with the image of the object, which is located exactly in the middle between the auxiliary planes. This property is used in the prototype. WCS are tuned to observe the focal plane of the focusing lens. Approaches to solving this problem are known.
Формируют фокусируемый пучок коллиматором, содержащим сформированный в нем репер в виде двух оптических сеток (тонких прозрачных плоско-параллельных пластинок, на которые нанесены тонкие штрихи), установленных последовательно друг за другом. Сетки располагают симметрично относительно фокальной плоскости коллиматора: одну - перед фокальной плоскостью, другую - после.A focused beam is formed with a collimator containing a reper in it in the form of two optical grids (thin transparent flat-parallel plates, on which thin strokes are applied) arranged in series with each other. The grids are arranged symmetrically relative to the focal plane of the collimator: one - in front of the focal plane, the other - after.
Фокусирующим объективом концентрируют пучок на мишени. Пучок зеркально отражается от мишени, поступает в обратном ходе лучей в фокусирующий объектив и далее в ВКУ. В плоскости наблюдения ВКУ (или в плоскости, оптически сопряженной с ней) расположен приемник. По данному способу параметром, однозначно связанным с положением мишени, служит измеряемая разность освещенностей расфокусированных изображений сеток, регистрируемая приемником. В процессе перемещения мишени, регистрируют освещенности изображений, измеряют разность. Достижение нулевой разности свидетельствует о том, что мишень совмещена с фокальной плоскостью фокусирующего объектива, и, следовательно, главный фокус как одна из точек фокальной плоскости совмещен с мишенью. По данному способу точность совмещения фокальной плоскости с мишенью значительно превосходит точность, достигаемую при непосредственном наведении на резкость (аналог).The focusing lens concentrates the beam on the target. The beam is specularly reflected from the target, enters in the reverse course of the rays into the focusing lens and then into the ICD. A receiver is located in the plane of observation of the internals (or in the plane optically conjugated with it). In this method, the parameter unambiguously related to the position of the target is the measured difference in illumination of the defocused images of the grids recorded by the receiver. In the process of moving the target, record the illumination of images, measure the difference. Achieving a zero difference indicates that the target is aligned with the focal plane of the focusing lens, and, therefore, the main focus as one of the points of the focal plane is aligned with the target. In this method, the accuracy of combining the focal plane with the target is much higher than the accuracy achieved by direct focusing (analog).
Однако, известные способы не обеспечивают необходимую точность фокусировки лазерного излучения на мишень, расположенную наклонно к оптической оси.However, the known methods do not provide the necessary accuracy of focusing laser radiation on a target inclined to the optical axis.
При наклоне мишень и фокальная плоскость совмещаются только по линии их пересечения. При этом главный фокус в общем случае не лежит на этой линии, т.е. не совмещен с поверхностью мишени.When tilting the target and the focal plane are combined only along the line of their intersection. In this case, the main focus in the general case does not lie on this line, i.e. not aligned with the target surface.
Следовательно, задача фокусировки излучения на объект, расположенный не нормально (под углом) к оптической оси фокусирующего объектива, заключается в том, чтобы совместить точку на поверхности объекта, принадлежащую фокальной плоскости с главным фокусом фокусирующего объектива.Therefore, the task of focusing radiation on an object that is not normally (at an angle) to the optical axis of the focusing lens is to combine a point on the surface of the object belonging to the focal plane with the main focus of the focusing lens.
Предложенный нами способ фокусировки лазерного излучения на наклонную поверхность основан на изображении предметов дифракционного размера на ней.Our proposed method of focusing laser radiation on an inclined surface is based on the image of objects of diffraction size on it.
Поясним это. Фокусирующий объектив совместно с ВКУ выполняет роль изображающей системы, используемой для контроля фокусировки.We explain this. The focusing lens in conjunction with the VKU performs the role of the imaging system used to control the focus.
Известно, что для всякой изображающей системы существует минимальный элемент dдиф разрешения (dдиф называют дифракционным размером). Предметы размером dп<dдиф называют в оптике дифракционной точкой (см., например, [1] на с. 340).It is known that for any system showing a minimal element permits differential d (d dif called diffraction size). Objects size d p <d differential diffractive optics called a point (see., E.g., [1] p. 340).
Основное свойство изображений дифракционных точек применительно к оптической системе ВКУ - фокусирующий объектив, состоит в том, что геометрическая форма и распределение освещенности в изображении дифракционных точек не зависит от размера и формы точек, а определяется только законами дифракции и геометрическими параметрами фокусирующего объектива. В случае высококачественного фокусирующего объектива размер dдиф представляет собой размер 6 основного максимума фокального пятна и может быть рассчитан [2] по известной формуле: dдиф=d=(2,44⋅λ⋅F)/D, где λ-длина волны фокусируемого лазерного излучения, Р - фокусное расстояние фокусирующего объектива, D - его фокусное расстояние. Распределение освещенности по изображению описывается известной функцией Эйри. Свойства изображений дифракционных точек реализуется также и для точек прямой линии дифракционной ширины.The main property of diffraction point images as applied to the VCU optical system — the focusing lens — is that the geometric shape and the distribution of illuminance in the image of diffraction points is not dependent on the size and shape of the points, but is determined only by the diffraction laws and the geometrical parameters of the focusing lens. In the case of high resolution of the focusing lens is a differential
Таким образом, реперы в виде прямых линий различной ширины dл, но удовлетворяющей условию dл<dдиф, будут иметь изображения одинаковой формы и с одинаковым распределением освещенности в тождественных точках.Thus, the reference points of the straight lines of various widths d l, but satisfying d L <d dif, the image will have the same shape and with the same illuminance distribution in points identical.
Нами впервые было показано, что применительно к изображению точек, принадлежащих наклонной поверхности, сформированному оптической системой, состоящей из фокусирующего объектива и ВКУ, если для дифракционной точки, расположенной на поверхности до фокального объема, определена (найдена) точка за фокальным объемом, такая, что распределение освещенности в ее изображении центрально симметрично распределению освещенности в изображении первой точки, то центр симметрии этих распределений является изображением точки поверхности, которая принадлежит фокальной плоскости, и при этом совмещен с изображением главного фокуса.We have shown for the first time that with respect to the image of points belonging to an inclined surface formed by an optical system consisting of a focusing lens and an ICS, if for a diffraction point located on the surface up to the focal volume, a point behind the focal volume was found (such) the distribution of illumination in its image is centrally symmetrical to the distribution of illumination in the image of the first point, then the center of symmetry of these distributions is the image of a point of the surface that is should the focal plane, and wherein the image is aligned with the principal focus.
Авторами предложен надежный и эффективный способ фокусировки излучения на наклонно размещенный объект.The authors have proposed a reliable and efficient method of focusing radiation on an obliquely placed object.
Такой технический эффект получен нами, когда в способе фокусировки оптического излучения на объект, включающем формирование коллимированного пучка лазерного излучения, подлежащего фокусировке на объект облучения, на который осуществляют фокусировку, настройку фокусирующего объектива и видеоконтрольного устройства (ВКУ) на лазерный пучок, формирование репера, установку объекта, в поле зрения ВКУ, определение положения объекта с учетом характеристик репера и концентрацию пучка на поверхность объекта фокусирующим объективом, новым является то, что предварительно на поверхность объекта наносят репер в виде прямой линии длиной l и толщиной dл, длина 1 которой выбрана из условияThis technical effect was obtained by us when in the method of focusing optical radiation on an object, including the formation of a collimated laser beam to be focused on the object of irradiation, which is focused, adjusting the focusing lens and video monitor (ICD) on the laser beam, forming a frame, setting object, in the field of view of the internal control system, determining the position of the object, taking into account the characteristics of the frame and the concentration of the beam on the surface of the object by the focusing lens, It is believed that a frame is preliminarily applied to the surface of the object in the form of a straight line of length l and thickness d l , the length of which is chosen
l>t/(соs(α)), гдеl> t / (cos (α)), where
t - длина фокального объема (мкм);t is the length of the focal volume (μm);
α - угол наклона поверхности облучаемого объекта к оптической оси фокусирующего объектива(град.);α is the angle of inclination of the surface of the irradiated object to the optical axis of the focusing lens (deg.);
толщину dл линии выбирают из условияthickness d l line choose from
dл≤(1/2÷1/3)d, гдеd l ≤ (1/2 ÷ 1/3) d, where
d - диаметр фокального пятна фокусирующего объектива (мкм);d is the diameter of the focal spot of the focusing lens (μm);
облучаемый объект устанавливают так, что нанесенная на поверхность прямая линия расположена в плоскости падения пучка, на изображении репера определяют центр симметрии по точкам с центрально симметричным распределением освещенности, а облучаемый объект перемещают до совмещения центра симметрии с изображением главного фокуса фокусирующего объектива.The irradiated object is set in such a way that a straight line deposited on the surface is located in the plane of beam incidence.
На фиг. 1 представлена оптическая схема системы фокусировки лазерного излучения на мишень, где: лазер 1; ретроотражатель 2; зеркало 3 (вспомогательное); фокусирующий объектив 4; фокусируемый пучок 5; мишень 6 (на которой нанесен репер); зрительная труба 7; плоскость 8 наблюдения зрительной трубы; приемник 9 изображения.FIG. 1 shows the optical scheme of the system focusing laser radiation on a target, where:
На фигуре 2 представлена фотография изображения репера, полученного в плоскости наблюдения ВКУ, где: область 10 изображения точек репера, расположенных до фокального объема; область 11 изображения точек репера, расположенных в пределах фокального объема; область 12 изображении точек репера, расположенных за фокальным объемом; линии 13 и 15, вдоль которых измеряют распределение освещенности; Сф-м изображение точки репера, принадлежащей фокальной плоскости и мишени; крест-марка 14 в плоскости наблюдения ВКУ, центр которой фиксирует изображение главного фокуса фокусирующего объектива.The figure 2 presents a photograph of the image of the reference frame, obtained in the plane of observation of the internal control, where:
Способ осуществляют следующим образом.The method is as follows.
Параллельный пучок излучения направляют с выходного зрачка лазера 1 (фиг. 1) на фокусирующий объектив 4, которым преобразуют параллельный пучок в сходящийся пучок 5.A parallel beam of radiation is directed from the exit pupil of the laser 1 (Fig. 1) to the focusing
Между лазером 1 и объективом 4 на этапе фокусировки традиционно вводят вспомогательное полупрозрачное зеркало 3 и ретроотражатель 2. Пучок, поступивший на ретроотражатель 2, отражается им в обратном направлении, и поступает в видеоконтрольное устройство (ВКУ), состоящее из зрительной трубы 7 и приемника изображения 9. Конструктивно зрительная труба содержит плоскость наблюдения 8, которая визуализируется шкалой или подвижной крест-маркой. Приемник 9, выполненный в виде телекамеры, передает изображения предметов с плоскости наблюдения 8 в компьютер.Between the
ВКУ и фокусирующий объектив настраивают для выполнения контроля фокусировки. Для этого трубу 7 предварительно настраивают на параллельный пучок (подходы к решению этой задачи известны, см. напр. [1 с. 298-299]), согласовывают оси трубы и лазера, а также световые зоны лазерного пучка и объектива трубы. Вследствие этого лазерный пучок, направленный ретроотражателем 2 в ВКУ, изображается в плоскости наблюдения 8 в виде яркой точки. Фокусирующий объектив 4, расположенный далее по ходу лазерного пучка, настраивают на этот же параллельный пучок. В результате настройки изображение лазерного пучка в плоскости 8 сопрягается с главным фокусом, то есть однозначно указывает положение главного фокуса фокусирующего объектива. Для удобства оператора, выполняющего фокусировку, изображение главного фокуса фиксируют центром крест-марки 14 (фиг. 2).VKU and the focusing lens adjust for performance of control of focusing. To do this,
В способе фокусировки используют дифракционные точки, которые лежат только на прямой линии.The focusing method uses diffraction points that lie only on a straight line.
Формируют репер в виде прямой линии с найденными из выбранных условий длиной и шириной:Form a benchmark in the form of a straight line with the length and width found from the selected conditions:
1. Прямая линия, ширина dл которой удовлетворяет условию: dл<(2,44⋅λ⋅F)/D состоит из дифракционных точек.1. A straight line, the width of which d l satisfies the condition: d l <(2.44⋅λ /F) / D consists of diffraction points.
2. Длина l прямой линии, найденная из условия: l>(16⋅λ⋅(F/D)2)/(соs(α)), достаточна, чтобы часть линии была расположена до фокального объема, а часть за фокальным объемом, т.е. такой репер содержит дифракционные точки как до фокального объема и за фокальным объемом. При этом на линии априори существует точка Сф-м пересечения линии репера с фокальной плоскостью.2. The length l of a straight line, found from the condition: l> (16⋅λ⋅ (F / D) 2 ) / (сs (α)), is sufficient for part of the line to be located before the focal volume, and part beyond the focal volume, those. such a frame contains diffraction points both to the focal volume and beyond the focal volume. At the same time on the line a priori, there is a point With the fm intersection of the reference line with the focal plane.
3. Прямая имеет свойство центральной симметрии [3], в соответствии с которым точка Сф-м является центром симметрии для точек, одна из которых находится до фокального объема, а вторая за ним. (При этом очевидно, что на репере существует бесконечное число таких пар точек, для которых Сф-м - центр симметрии).3. Direct has central symmetry property [3], according to which the point C is the f-th center of symmetry for the points, one of which is located before the focal volume and the second behind it. (It is obvious that the reference frame in an infinite number of such pairs of points for which C ^ m - center of symmetry).
Таким образом, репер с выбранными характеристиками, обеспечивает наличие (бесконечного числа) дифракционных точек, как до фокального объема, так и за ним, при этом априори известно, что для любой точки до фокального объема существует центрально симметричная точка за фокальным объемом, а центр Сф-м симметрии лежит на поверхности мишени и принадлежит фокальной плоскости.Thus, a benchmark with selected characteristics ensures the presence (infinite number) of diffraction points, both before and after the focal volume, while it is known a priori that for any point before the focal volume there is a centrally symmetric point behind the focal volume, and center C The pf symmetry lies on the target surface and belongs to the focal plane.
Выбор репера в виде прямой линии сводит выполнение задачи фокусировки к определению (нахождению) и совмещению Сф-м с главным фокусом. Контроль процесса выполняют по изображению репера.The choice of a frame in the form of a straight line reduces the task of focusing to determining (finding) and combining C fm with the main focus. The process control is performed according to the image of the frame.
Как нами было установлено, если для точек репера с выбранными характеристиками (для какой-либо пары точек из бесконечного числа пар) реализуется центрально-симметричное распределение освещенности в изображении, то центр симметрии распределения совмещен с изображением главного фокуса объектива и при этом является изображением точки Сф-м.As it was established by us, if for the points of the frame with selected characteristics (for any pair of points from an infinite number of pairs) the central-symmetric distribution of illuminance in the image is realized, then the center of symmetry of the distribution is aligned with the image of the main focus of the lens and at the same time is an image of point C fm
Поэтому, измеряя и сравнивая распределения освещенности в сечениях на изображении, расположенных симметрично относительно изображения главного фокуса, и добиваясь в распределениях центральной симметрии, можно констатировать, что центр симметрии на изображении совместился с изображением главного фокуса, а значит, сам главный фокус совместился с точкой Сф-м, лежащей на мишени и одновременно принадлежащей фокальной плоскости.Therefore, by measuring and comparing the light distribution in sections on the image symmetrically relative to the image of the main focus, and achieving central symmetry distributions, it can be stated that the center of symmetry in the image is consistent with the image of the main focus, which means that the main focus itself is aligned with point C fm lying on the target and simultaneously belonging to the focal plane.
Для выполнения фокусировки мишень с нанесенным на ней репером перемещают по нормали к плоскости падения лазерного пучка до пересечения репера с главным фокусом и ориентируют репер, устанавливая его в плоскости падения лазерного пучка на мишень. Подходы к решению этой задачи известны. Процесс контролируют по ВКУ.To perform focusing, the target with a frame on it is moved along the normal to the plane of incidence of the laser beam until the reference frame crosses the main focus and orient the frame, setting it in the plane of incidence of the laser beam on the target. Approaches to solving this problem are known. The process is monitored for UHV.
В результате этой операции изображение главного фокуса, зафиксированное центром крест-марки 14 и изображение Сф-м, как точки (искомой) на изображении репера, располагаются на одной линии, ориентированной вдоль изображения репера (см. фиг. 2).As a result of this operation, main image focus, fixed
Такое расположение репера позволяет выполнить последующий поиск и совмещение изображения Сф-м и центра крест-марки путем перемещения мишени вдоль оптической оси фокусирующего объектива.This arrangement of the frame allows you to perform a subsequent search and alignment of the image With the ff and the center of the cross mark by moving the target along the optical axis of the focusing lens.
Затем измеряют на изображении репера распределения освещенности в сечениях, расположенных симметрично относительно центра крест-марки на расстояниях, превышающих половину длины фокального объема. Положение этих сечений обозначено на фиг. 2 линиями 13 и 15.Then, the irradiance distribution in sections, symmetrically relative to the center of the cross-mark at distances exceeding half the length of the focal volume, is measured on the image of the reference frame. The position of these sections is indicated in FIG. 2
Сравнивают распределения освещенности по сечениям с учетом центральной симметрии. В общем случае центральная симметрия отсутствует, следовательно, изображение (искомой) Сф-м не совпадает с центром крест-марки (фиг. 2). Для получения центральной симметрии перемещают мишень вдоль оптической оси фокусирующего объектива. Изображение перемещается, при этом положение линий 13 и 15 (фиг. 2) сохраняют неизменным. Поэтому по линиям 13 и 15 последовательно реализуются различные распределения освещенности.Compare the distribution of illumination on the cross sections, taking into account the central symmetry. In general central symmetry is absent, therefore, the image (required) C f-m does not coincide with the center of the cross-mark (Fig. 2). To obtain central symmetry, move the target along the optical axis of the focusing lens. The image moves, while the position of
В момент достижения центральной симметрии в распределениях освещенности процесс перемещения прекращают. При этом центр симметрии совмещен с изображением главного фокуса, а, следовательно, сам главный фокус совмещен с точкой Сф-м, лежащей на мишени и одновременно принадлежащей фокальной плоскости.At the time of achieving central symmetry in the distribution of light, the process of moving is stopped. In this case the center of symmetry is aligned with the image of the main focus, and, therefore, itself aligned with the main focus point f-C m lying on a target and simultaneously belonging to the focal plane.
Пример конкретного исполнения.An example of a specific implementation.
Выбор длины репера, определяется следующим образом.The choice of the length of the frame is determined as follows.
Как отмечалось выше, центральная симметрия в изображении реализуется для таких точек на линии, одна из которых расположена в области 10 (фиг. 1) до фокального объема (ближе к фокусирующему объективу, чем фокальная плоскость), а вторая - в области 12 (фиг. 1) за фокальным объемом (дальше от фокусирующего объектива, чем фокальная плоскость). В области 11 изображена часть линии репера, расположенная в пределах фокального объема. Длина t фокального объема однозначно определяется параметрами фокусирующего объектива и может быть определена по формуле: t=16⋅λ⋅(F/D)2 [2]. (Например, для D=145 мм, F=200 мм и длины волны излучения λ=1,06 мкм, получим l=32,3 мкм). На поверхности мишени, расположенной под углом α к оптической оси фокусирующего объектива, длине t соответствует отрезок репера размером l=1/(соз(α)). Следовательно, выбор длины l репера из условия l>t/(соs(α)) обеспечивает на репере наличие дифракционных точек, находящихся до фокального объема, в пределах фокального объема и за фокальным объемом.As noted above, the central symmetry in the image is realized for such points on the line, one of which is located in area 10 (FIG. 1) to the focal volume (closer to the focusing lens than the focal plane), and the second in area 12 (FIG. 1) behind the focal volume (farther from the focusing lens than the focal plane). In
Выбор ширины репера, определяют следующим образом.The choice of the width of the frame is determined as follows.
Ширину dл линии выбирают как долю δ от размера d дифракционной точки: dл=δ d. Обычно принимают δ=(1/2÷1/3). Пример расчета и численная величина доли δ приведены в [1, 4].The width of the d l line is chosen as the fraction δ from the size d of the diffraction point: d l = δ d. Usually take δ = (1/2 ÷ 1/3). An example of the calculation and the numerical value of the fraction δ are given in [1, 4].
Таким образом, выбор ширины линии репера из условия dл≤(1/2÷1/3)(2,44⋅λ⋅F)/D соответствует прямой линии, состоящей из дифракционных точек, и поэтому позволяет реализовать в изображении свойство центральной симметрии.Thus, the choice of the reference line width from the condition d l ≤ (1/2 ÷ 1/3) (2.44⋅λ⋅F) / D corresponds to a straight line consisting of diffraction points, and therefore allows to realize the central symmetry property in the image .
Последовательность операций фокусировки состоит в следующем.The sequence of focusing operations is as follows.
Мишень устанавливают на трехкоординатный линейный транслятор. Перемещают мишень по нормали к оптической оси фокусирующего объектива, до совмещения изображения репера с центром крест-марки 14 (фиг. 2) и ориентируют, вращая относительно оси нормальной к поверхности мишени, до совмещения репера с плоскостью падения лазерного пучка на мишень. Выполнение данной операции осуществляют, наблюдая изображение репера. Фотография изображения репера с экрана монитора приведена на фиг. 2.The target is mounted on a three-coordinate linear translator. Move the target along the normal to the optical axis of the focusing lens, to align the image of the frame with the center of the cross-mark 14 (Fig. 2) and orient, rotating about the axis normal to the surface of the target, to align the frame with the plane of incidence of the laser beam on the target. The execution of this operation is carried out by observing the image of the frame. Photograph of the image of the reference from the monitor screen is shown in FIG. 2
Вдоль параллельных линий 13 и 15, расположенных симметрично относительно центра крест-марки 14, измеряют и сравнивают распределения освещенности. В общем случае эти распределения несимметричны.Along the
Перемещают мишень транслятором вдоль оптической оси фокусирующего объектива. При этом изображение репера (см. фиг. 2) перемещается вдоль линии репера вверх или вниз в зависимости от направления движения транслятора. Линии 13, 15 и изображение крест-марки 14 сохраняют свое положение на экране неизменным (т.е. не движутся). В процессе движения измеряют и сравнивают распределения освещенности по линиям 13 и 15. В тот момент, когда в распределениях достигается центральная симметрия, центр симметрии совмещается с центром крест-марки, а, следовательно, главный фокус фокусирующего объектива совмещается с точкой Сф-м, принадлежащей как фокальной плоскости, так и поверхности мишени.Move the target translator along the optical axis of the focusing lens. The image of the reference frame (see Fig. 2) moves along the reference line up or down, depending on the direction of movement of the translator.
Юстировка мощного лазера, включающая фокусировку излучения на мишень, осуществлялась с помощью непрерывного лазера DTL-423, пучок которого согласован по спектральным и геометрическим характеристикам с пучком мощного рабочего лазера. Лазер DTL-423 генерировал излучение на длине волны λ=1053 нм. В качестве ретроотражателя использовалась триппель-призма со световым диаметром 80 мм. Диэлектрическое частично прозрачное зеркало диаметром 190 мм, выполненное на плоско-параллельной подложке из стекла К8, имело коэффициент отражения ρ=50%. Фокусирующий объектив выполнен в виде внеосевого параболического зеркала с коэффициентом отражения ρ=99,8% (для длины волны λ=1053 нм). Объектив имел световой диаметр 145 мм, фокусное расстояние 200 мм. Видеоконтрольное устройство (ВКУ) состояло из зрительной трубы на базе автоколлимационного прибора ночного видения (АПНВ), аналогичного применявшемуся в прототипе, и цифровой телекамеры УАС-748 на основе ПЗС-матрицы. Телекамера передавала изображение с плоскости наблюдения, входящей в состав зрительной трубы, в компьютер, который визуализировал изображение на экране монитора. Мишень устанавливалась на трехкоординатный манипулятор, собранный на основе моторизованных линейных трансляторов 8МТ173-20. Манипулятор размещался в мишенной камере, которая вакуумировалась при проведении экспериментов по облучению мишени. Мишень представляла собой тонкую зеркальную фольгу из алюминия или пластинку из германия или иного материала, приклеенную по контуру к держателю мишени, выполненному с возможностью вращения мишени вокруг оси нормальной к ее поверхности. Держатель крепился непосредственно к манипулятору. На мишень предварительно наносился репер в виде прямой линии. Репер наносился различными методами в зависимости от материала мишени (фотолитографией, лазерным маркером с энергией излучения, подобранной экспериментально, и другими). Для фокусирующего объектива с параметрами: D=145 мм, F=200 мм и длиной волны излучения λ=1053 нм рассчитывался размер дифракционной точки d=3,6 мкм. Полагая δ=1/2, рассчитали ширину линии репера: dл=1,5 мкм.The alignment of a high-power laser, including the focusing of radiation onto a target, was carried out using a DTL-423 cw laser, the beam of which is matched in spectral and geometrical characteristics with the beam of a high-power working laser. A DTL-423 laser generated radiation at a wavelength of λ = 1053 nm. A triple prism with a light diameter of 80 mm was used as a retroreflector. A dielectric partially transparent mirror 190 mm in diameter, made on a plane-parallel K8 glass substrate, had a reflection coefficient ρ = 50%. The focusing lens is designed as an off-axis parabolic mirror with a reflection coefficient of ρ = 99.8% (for a wavelength of λ = 1053 nm). The lens had a light diameter of 145 mm, a focal length of 200 mm. The video monitoring device (VKU) consisted of a telescope on the basis of an autocollimation night vision device (APNV), similar to the one used in the prototype, and a digital camera UAS-748 based on a CCD sensor. The camera transmitted the image from the observation plane, which is part of the telescope, to the computer, which rendered the image on the monitor screen. The target was mounted on a three-coordinate manipulator, assembled on the basis of the motorized 8MT173-20 motorized linear translators. The manipulator was placed in the target chamber, which was evacuated when conducting experiments on the irradiation of the target. The target was a thin mirror foil of aluminum or a plate of germanium or other material glued along the contour to the target holder, made with the possibility of rotating the target around an axis normal to its surface. The holder was attached directly to the manipulator. A target was preliminarily deposited on the target in the form of a straight line. The frame was applied by various methods depending on the target material (photolithography, laser marker with radiation energy, selected experimentally, and others). For the focusing lens with the parameters: D = 145 mm, F = 200 mm and the radiation wavelength λ = 1053 nm, the diffraction point size d = 3.6 μm was calculated. Putting δ = 1/2, we calculated the width of the reference line: d l = 1.5 μm.
В экспериментах поверхность облучаемого объекта располагалась, под углом α=45° к оси фокусирующего объектива. Длина l линии репера выбиралась равной 5t/соs(α)≈250 мкм. При этом часть прямой с длиной примерно ≈100 мкм располагалась до фокального объема, средняя часть длиной ≈45 мкм располагалась в пределах фокального объема. Оставшаяся часть длиной ≈100 мкм располагалась за фокальным объемом.In the experiments, the surface of the irradiated object was located at an angle α = 45 ° to the axis of the focusing lens. The length l of the reference frame was chosen equal to 5t / сs (α) ≈ 250 microns. In this case, a part of a straight line with a length of about ≈100 μm was located to the focal volume, the middle part with a length of ≈45 μm was located within the focal volume. The remaining part with a length of ≈100 µm was located behind the focal volume.
После установки мишени на транслятор, мишенная камера откачивалась до получения в ней вакуума порядка 10-5 мм рт. ст. Мишень перемещалась манипулятором вдоль оптической оси и в плоскости нормальной к ней. Управление трансляторами манипулятора осуществлялось оператором через компьютер. Сигнал на трансляторы поступал в мишенную камеру через вакуумный электрический разъем.After installing the target on the translator, the target chamber was pumped out until a vacuum of about 10 -5 mm Hg was obtained in it. Art. The target was moved by the manipulator along the optical axis and in the plane normal to it. The manipulator translators are controlled by the operator through a computer. The signal to the translators entered the target chamber through a vacuum electrical connector.
Последующие операции фокусировки выполнялась с помощью компьютерной программы. Оператор, осуществляющий фокусировку и наблюдающий изображение репера на экране монитора, задавал положение сечения 13 (фиг. 2). При этом учитывалось, что расстояние от сечения до центра крест-марки 14 должно превышать на изображении половину длины фокального объема (т.е. соответствовать на репере точке до фокального объема). Далее программа определяла положение сечения 15 (фиг. 2), как симметричное относительно центра крест-марки (т.е. положение сечения соответствовало на репере точке за фокальным объемом) и измеряла распределения освещенности в сечениях 13 и 15. Программно сравнивались распределения, и рассчитывалось среднеквадратическое значение отклонения. Данная операция выполнялась непрерывно в процессе перемещения мишени вдоль оптической оси фокусирующего объектива. Перемещение мишени прекращалось при достижении минимального значения среднеквадратического отклонения в распределениях освещенности. Это означало, что в распределениях достигнута центральная симметрия, центр симметрии совмещен с центром крест-марки (то есть с изображением главного фокуса) и, следовательно, главный фокус фокусирующего объектива совмещен с точкой Сф-м, принадлежащей как фокальной плоскости, так и поверхности мишени.Subsequent focusing operations were performed using a computer program. The operator performing the focus and observing the image of the reference frame on the monitor screen, set the position of section 13 (Fig. 2). It was taken into account that the distance from the cross-section to the center of the cross-mark 14 should exceed half the length of the focal volume in the image (i.e. correspond to a point on the reference point to the focal volume). Next, the program determined the position of section 15 (Fig. 2) as symmetrical with respect to the center of the cross-mark (i.e., the position of the section corresponded to the reference point beyond the focal volume) and measured the light distribution in
В нашей Организации была проведена серия облучений мишеней, размещенных под углом 30° и 45° к оси фокусирующего объектива.In our Organization, a series of irradiation of targets placed at an angle of 30 ° and 45 ° to the axis of the focusing lens was carried out.
Погрешность определения точки фокусировки в соответствии с предлагаемым способом рассчитывалась в 3 сериях по 10 измерений в каждой. Каждое измерение заключалось в определении по предлагаемому способу положения на репере изображения точки Сф-м, относительно изображения главного фокуса (в идеальном случае они должны совпадать). Обработка результатов, проведенная известными статистическими методами, показала, что погрешность фокусировки не превышает (1/10 - 1/12) от длины фокального объема.The error in determining the focus point in accordance with the proposed method was calculated in 3 series of 10 measurements each. Each measurement consisted in determining, by the proposed method, the position on the reper image of the C f-m point relative to the main focus image (ideally, they should be the same). Processing of the results, carried out by well-known statistical methods, showed that the focusing error does not exceed (1/10 - 1/12) of the length of the focal volume.
При выполнении фокусировки без репера с выбранными характеристиками погрешность фокусировки составляла не менее
ЛитератураLiterature
1. Н.П. Гвоздева, К.И. Коркина Теория оптических систем М., "Машиностроение", 1984, с. 298-299 и с. 340-341).1. N.P. Gvozdev, K.I. Korkina Theory of Optical Systems M., "Mashinostroenie", 1984, p. 298-299 and with. 340-341).
2. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики. М., "Наука", 1970, с. 432-433.2. M. Born, E. Wolf. Basics of optics. M., "Science", 1970, p. 432-433.
3. Л.С. Атанасян и др. Геометрия 7-9 кл. М., "Просвещение", 2014, с. 111.3. L.S. Atanasyan and others. Geometry 7-9 cells. M., "Enlightenment", 2014, p. 111.
4. Г.В. Креопалова, Д.Т. Пуряев. Исследование и контроль оптических систем. М., "Машиностроение", 1978, с. 59-60)4. G.V. Kreopalova, D.T. Puryaev. Research and control of optical systems. M., "Mechanical Engineering", 1978, p. 59-60)
Claims (8)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018124560A RU2685573C1 (en) | 2018-07-04 | 2018-07-04 | Method of focusing optical radiation on object |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018124560A RU2685573C1 (en) | 2018-07-04 | 2018-07-04 | Method of focusing optical radiation on object |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2685573C1 true RU2685573C1 (en) | 2019-04-22 |
Family
ID=66314428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018124560A RU2685573C1 (en) | 2018-07-04 | 2018-07-04 | Method of focusing optical radiation on object |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2685573C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111243739A (en) * | 2020-01-07 | 2020-06-05 | 四川大学 | Anti-interference physiological parameter telemetering method and system |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6185051B1 (en) * | 1999-06-23 | 2001-02-06 | Read-Rite Corporation | High numerical aperture optical focusing device for use in data storage systems |
| RU2212763C2 (en) * | 2001-08-16 | 2003-09-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Подсолнечник Технологии" | Open optical communication system |
| RU2289153C1 (en) * | 2005-07-04 | 2006-12-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие Научно-исследовательский институт импульсной техники | Device for focusing optical radiation onto object |
| RU166760U1 (en) * | 2016-06-21 | 2016-12-10 | Акционерное общество "ЛОМО" | VIDEO ENDOSCOPE LENS FOCUS DEVICE |
-
2018
- 2018-07-04 RU RU2018124560A patent/RU2685573C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6185051B1 (en) * | 1999-06-23 | 2001-02-06 | Read-Rite Corporation | High numerical aperture optical focusing device for use in data storage systems |
| RU2212763C2 (en) * | 2001-08-16 | 2003-09-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Подсолнечник Технологии" | Open optical communication system |
| RU2289153C1 (en) * | 2005-07-04 | 2006-12-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие Научно-исследовательский институт импульсной техники | Device for focusing optical radiation onto object |
| RU166760U1 (en) * | 2016-06-21 | 2016-12-10 | Акционерное общество "ЛОМО" | VIDEO ENDOSCOPE LENS FOCUS DEVICE |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111243739A (en) * | 2020-01-07 | 2020-06-05 | 四川大学 | Anti-interference physiological parameter telemetering method and system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101140196B (en) | Measurement mechanism of lens focal length, measurement method and thereof and optical quality evaluation method | |
| EP2875383B1 (en) | Laser tracker with calibration unit for self-calibration | |
| CN101776516B (en) | Position detector-based dividing plane-sharing multispectral target | |
| CN105066910B (en) | Electro-optic crystal Z axis deviate angle measuring device and measuring method | |
| RU2685573C1 (en) | Method of focusing optical radiation on object | |
| JP2014186035A (en) | Defect detection method and defect detection device | |
| US4744649A (en) | Ophthalmological measuring apparatus | |
| JP2008026294A (en) | High-precision posture control method of x-ray mirror | |
| RU2697436C1 (en) | Method for angular reflector angular parameters measurement and device for its implementation | |
| JP6810801B2 (en) | Focusing leveling device | |
| Förster et al. | New crystal spectrograph designs and their application to plasma diagnostics | |
| US3323417A (en) | Testing apparatus for optical lenses | |
| Meshcheryakov et al. | Measuring the focal lengths of long-focus optical systems | |
| RU2289153C1 (en) | Device for focusing optical radiation onto object | |
| US3471237A (en) | Method of alignment of concave parabolic reflective optics | |
| RU2731526C1 (en) | Method of measuring lens focal distance | |
| CN115388765B (en) | Automatic focusing device for ellipsometry system | |
| CN113639665B (en) | High-stability nanoradian magnitude angle measurement method and device based on drift amount feedback | |
| RU2785768C1 (en) | System for shaping and guidance on the target of the laser radiation of emitters with fibre-optic leads | |
| RU2793613C1 (en) | System for forming and directing laser radiation of emitters with optical fiber outputs to a target | |
| CN115166903B (en) | Multi-beam small-angle incident beam target coupling aiming positioning device and method | |
| US3572929A (en) | Range finder with rotating prism & successive reflections | |
| CN112629680B (en) | Aviation camera focus detection device and method based on shack-Hartmann wavefront sensing | |
| RU162944U1 (en) | DEVICE FOR CONTROL OF LENS DECENTRATION | |
| US3603687A (en) | Alignment telescope |