RU2684943C1 - Method for increasing reliability and quality of functioning batch of hybrid and monolithic integrated circuits - Google Patents

Method for increasing reliability and quality of functioning batch of hybrid and monolithic integrated circuits Download PDF

Info

Publication number
RU2684943C1
RU2684943C1 RU2018122679A RU2018122679A RU2684943C1 RU 2684943 C1 RU2684943 C1 RU 2684943C1 RU 2018122679 A RU2018122679 A RU 2018122679A RU 2018122679 A RU2018122679 A RU 2018122679A RU 2684943 C1 RU2684943 C1 RU 2684943C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
parameters
probability
informative
informative parameters
batch
Prior art date
Application number
RU2018122679A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Анатольевич МЕШКОВ
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана)
Priority to RU2018122679A priority Critical patent/RU2684943C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2684943C1 publication Critical patent/RU2684943C1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302Contactless testing
    • G01R31/303Contactless testing of integrated circuits

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

FIELD: technological processes.SUBSTANCE: invention relates to high reliability and quality of operation of a batch of semiconductor monolithic and hybrid integrated circuits (IC). Essence: IC is subject to artificial aging, as a result of which degradation of parameters of materials and structure of IC and change of their informative parameters takes place. Based on patterns of degradation of IC information-bearing parameters under action of destabilizing operation factors, functions of changing information-bearing parameters in time are determined, building dependencies of probability of execution of specified functions of IC from values of information-bearing parameters, constructing a function of probability density of information-bearing parameters taking into account technological errors of parameters of the IC structure, constructing a probability density function of information-bearing parameters taking into account technological errors of parameters of the design of IC and probability of performing given functions. Probability of performing the given functions with the IC batch at the initial moment in time is obtained, and the probability of performing the given functions by the batch of the IC during a given time is obtained. Nominal informative parameters of the integrated circuit are corrected based on the criterion of the maximum probability of performing given functions by the IC batch during a given operating time and new nominal parameters of the structure of the IC are synthesized, providing optimal by the criterion of maximum probability of the given functions performance by the IC batch during the specified operating time nominal values of the informative parameters.EFFECT: high reliability and quality of operation of batch of hybrid and monolithic integrated circuits.3 cl, 6 dwg

Description

Область техникиTechnical field

Изобретение относится к способу повышения надежности и качества функционирования партии полупроводниковых монолитных и гибридных интегральных схем (ИС) в заданных условиях эксплуатации.The invention relates to a method for improving the reliability and quality of operation of a batch of semiconductor monolithic and hybrid integrated circuits (ICs) under given operating conditions.

Уровень техникиThe level of technology

Из уровня техники известен способ повышения надежности наноэлектронного резонансно-туннельного диода (РТД) на основе многослойных AlGaAs (алюминий, галлий, арсеникум) полупроводниковых гетероструктур путем определения стойкости к радиационным и температурным воздействиям (см. RU 2606174 С1, кл. G01R 31/28, 10.01.2017).The prior art a method of improving the reliability of nanoelectronic resonant tunneling diode (RTD) based on multilayer AlGaAs (aluminum, gallium, arsenicum) semiconductor heterostructures by determining the resistance to radiation and temperature effects (see RU 2606174 C1, cl. G01R 31/28, 10.01.2017).

Сущность известного изобретения заключается в последовательном приложении циклов радиационных воздействий на партию РТД, доза которых постепенно накапливается в каждом цикле, и температурных воздействий, время воздействия которых увеличивается с тем, чтобы получить вызванные ими изменения вольт - амперной характеристики (ВАХ) в рабочей области не менее чем на порядок больше погрешности измерения, в определении количества циклов радиационных и температурных воздействий путем установления ВАХ, соответствующей параметрическому отказу для конкретного применения РТД, в построении семейства ВАХ, в определении на основе анализа кинетики ВАХ скорости деградации РТД и в определении стойкости к радиационным и температурным воздействиям РТД на основе скорости деградации РТД. Технический результат - повышение надежности путем определения стойкости к радиационным и температурным воздействиям наноэлектронного резонансно-туннельного диода.The essence of the known invention consists in the sequential application of cycles of radiation effects on a batch of RTDs, the dose of which gradually accumulates in each cycle, and temperature effects, the exposure time of which is increased in order to get the changes in the volt-ampere characteristic (VAC) caused by them in the work area than an order of magnitude more measurement error in determining the number of cycles of radiation and temperature effects by establishing the IV characteristics corresponding to the parametric failure for a specific application of RTD, in building a family of IVC, in determining, based on the analysis of the kinetics of IVC, the rate of degradation of RTD and in determining resistance to radiation and temperature effects of RTD based on the rate of degradation of RTD. The technical result is increased reliability by determining the resistance to radiation and temperature effects of a nanoelectronic resonant tunneling diode.

Недостатком известного способа являются ограниченность применения.The disadvantage of this method is the limited application.

Наиболее близким аналогом (прототипом) является способ повышения надежности полупроводниковых монолитных и гибридных интегральных схем путем искусственного старения, в результате которого происходит деградация параметров материалов и структуры ИС и, как следствие, изменение их информативных параметров (см. US 2014/088947, кл. G01R 31/26, 27.03.2014).The closest analogue (prototype) is a way to improve the reliability of semiconductor monolithic and hybrid integrated circuits by artificial aging, which results in degradation of material parameters and the structure of an IC and, as a result, changes in their informative parameters (see US 2014/088947, class G01R 31/26, 03/27/2014).

В известном способе осуществляют ускоренное стресс-тестирование. Способ осуществляют с помощью встроенного в микросхему микропроцессора, который избирательно чередует работу испытуемой интегральной схемы между тестовым режимом и стрессовым режимом. Микросхема запитывается таким образом, что в режиме стресса испытуемая схема работает при более высоком уровне напряжения, чем функциональная схема. Результаты тестирования интегральной схемы используют для моделирования характеристик деградации и прогнозирования момента времени отказа схемы.In the known method carry out accelerated stress testing. The method is carried out using a microprocessor embedded in the chip, which selectively alternates the work of the tested integrated circuit between the test mode and the stress mode. The microcircuit is powered in such a way that in the stress mode the tested circuit operates at a higher voltage level than the functional circuit. The test results of the integrated circuit are used to simulate the degradation characteristics and predict the time of failure of the circuit.

Недостатком прототипа является ограниченность его использования только в условиях эксплуатации.The disadvantage of the prototype is its limited use only in operating conditions.

Раскрытие изобретенияDISCLOSURE OF INVENTION

Технический результат, на достижение которого направлено изобретение, заключается в повышении вероятности выполнения заданных функций партией гибридных и монолитных ИС в течение заданной наработки за счет учета технологических разбросов параметров конструкции и закономерностей их деградации под действием дестабилизирующих факторов при эксплуатации и, соответственно, повышении надежности и качества функционирования радиоэлектронной аппаратуры на их основе в условиях действия перечисленных факторов.The technical result, the achievement of which the invention is directed, is to increase the likelihood of fulfilling the specified functions by the batch of hybrid and monolithic integrated circuits during a given operating time by taking into account the technological variations of the design parameters and the patterns of their degradation under the influence of destabilizing factors during operation and, accordingly, increasing reliability and quality the functioning of electronic equipment based on them in terms of the factors listed.

Технический результат достигается тем, что предложен способ повышения надежности и качества функционирования партии ИС путем искусственного старения, в результате которого происходит деградация параметров материалов и структуры ИС и, как следствие, изменение их информативных параметров. При этом на основе закономерностей деградации информативных параметров ИС под действием дестабилизирующих факторов эксплуатации определяют функции изменения информативных параметров во времени, строят зависимости вероятности выполнения заданных функций ИС от значений информативных параметров, строят функцию плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС, строят функцию плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций, получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в начальный момент времени, получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки, корректируют номинальные информативные параметры ИС по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки, синтезируют новые номинальные параметры конструкции ИС, обеспечивающие оптимальные по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки номиналы информативных параметров.The technical result is achieved by the fact that a method has been proposed for increasing the reliability and quality of functioning of an IP batch by means of artificial aging, as a result of which degradation of material parameters and structure of an IC occurs and, as a result, a change in their informative parameters. At the same time, on the basis of patterns of degradation of informative parameters of the IC under the action of destabilizing factors of operation, functions of changing informative parameters in time are determined, dependencies of the probability of performing specified functions of the IS on the values of informative parameters are constructed, the technological errors of the parameters of the IC design are built, a function is built probability density of informative parameters taking into account technological errors s of the IP design and the probability of performing the specified functions, get the probability of the specified functions performed by the IP party at the initial time, receive the likelihood of the specified functions being performed by the IP party during the specified operating time, correct the nominal informative parameters of the IP according to the criterion of the maximum likelihood of performing the specified functions by the IP party developments, synthesize new nominal parameters of the design of the IC, providing the optimal by the criterion of the maximum probability of the fulfillment of specified functions ktsy IP party within a predetermined operating time ratings information parameters.

Причем искусственное старение ИС ведут циклами: воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 часов под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 часов под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 часов под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров таким образом, чтобы вызванное их действием изменение информативных параметров было не менее чем на порядок больше погрешности измерений.Moreover, artificial aging of ICs is carried out in cycles: the effect of elevated temperature is about 150 ° C for 1-20 hours under electrical load, the measurement of informative parameters, the effect of elevated temperature is about 150 ° C for 1-20 hours under electrical load, the measurement of informative parameters, the effect elevated temperature of about 150 ° C for 1–20 hours under electrical load, measurement of informative parameters in such a way that the change in informative parameters caused by their action was not less than row is greater than measurement error.

Причем искусственное старение ИС ведут циклами: ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров, ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров таким образом, чтобы вызванное их действием изменение информативных параметров было не менее чем на порядок больше погрешности измерений.Moreover, artificial aging of ICs is carried out in cycles: ionizing radiation with a dose of the order of 10 3 -10 6 happy, measurement of informative parameters, ionizing radiation with a dose of about 10 3 -10 6 happy, measurement of informative parameters so that their change in informative parameters is not less than an order of magnitude more than the measurement error.

Перечень фигурList of figures

На фиг. 1 показаны вольт - амперные характеристики РТД, полученные в результате циклов термических воздействий и циклов ионизирующих излучений гамма-квантами.FIG. 1 shows the current-voltage characteristics of the RTD obtained as a result of cycles of thermal effects and cycles of ionizing radiation by gamma quanta.

На фиг. 2 показан пучок функций изменения информативного параметра Y(t) во времени.FIG. 2 shows a bundle of functions for changing the informative parameter Y (t) with time.

На фиг. 3 показана зависимость вероятности Рф выполнения заданных функций ИС от значения информативного параметра.FIG. 3 shows the dependence of the probability R f of the execution of specified functions of the IC on the value of the informative parameter.

На фиг. 4 показана функция плотности вероятности информативного параметра ƒ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС.FIG. 4 shows the probability density function of the informative parameter ƒ (Y), taking into account the technological errors of the parameters of the IC design.

На фиг. 5 показана функция плотности вероятности информативного параметра ƒФ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций.FIG. 5 shows the probability density function of the informative parameter ƒ Ф (Y), taking into account the technological errors of the parameters of the IC design and the probability of performing the specified functions.

На фиг. 6 показаны зависимость вероятности Рф выполнения заданных функций ИС от значения информативного параметра, функция плотности вероятности информативного параметра ƒ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС, функция плотности вероятности информативного параметра ƒФ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций в начальный момент времени t=t0 и после заданной наработки в момент времени t=t1 и оптимальное положение функции плотности вероятности информативного параметра ƒ(Y), которому соответствует новое номинальное значение информативного параметра

Figure 00000001
.FIG. 6 shows the dependence of the probability R f of performing the specified functions of the IC on the value of the informative parameter, the probability density function of the informative parameter ƒ (Y), taking into account the technological errors of the parameters of the IC design, the probability density function of the informative parameter Ф (Y) taking into account the technological errors of the parameters of the IC design and the probability of performing the specified functions in the initial time t = t 0 and, after a predetermined operating time at time t = t 1 and the optimum position of the probability density function inf rmativnogo parameter ƒ (Y), which corresponds to the new nominal value of the informative parameter
Figure 00000001
.

Осуществление изобретенияThe implementation of the invention

Способ повышения надежности и качества функционирования гибридных и монолитных интегральных схем осуществляется следующим образом.The way to improve the reliability and quality of operation of hybrid and monolithic integrated circuits as follows.

Для определения функций изменения информативных параметров Y ИС под действием дестабилизирующих факторов от времени эксплуатации проводится искусственное старение, заключающееся в воздействии на ИС повышенной температуры и ионизирующих излучений (ИИ), в результате которых происходит деградация материалов ИС и, как следствие, изменение их электрических характеристик. В результате действия ИИ в гетероструктуру и в контактные области ИС вносятся дефекты, ускоряющие диффузионные процессы в них. Под действием повышенной температуры диффузионные процессы в гетероструктуре и контактных областях также ускоряются, что является причиной дополнительных изменений информативных параметров.To determine the functions of changing the informative parameters Y of the IC under the action of destabilizing factors from the time of operation, artificial aging is carried out, which consists in exposing the IC to elevated temperature and ionizing radiation (AI), resulting in degradation of the IC materials and, as a result, changes in their electrical characteristics. As a result of the action of AI, defects are introduced into the heterostructure and into the contact regions of the IC, which accelerate diffusion processes in them. Under the action of elevated temperature, diffusion processes in the heterostructure and contact areas are also accelerated, which is the cause of additional changes in the informative parameters.

В качестве информативных параметров полупроводниковых приборов, таких как транзисторы, диоды и др., наиболее часто используются их вольт-амперные характеристики (ВАХ), из которых можно получить такие параметры, как дифференциальное сопротивление в рабочей области, крутизна, напряжение отсечки и др. В качестве информативных параметров устройств на основе диодов и транзисторов могут использоваться их показатели назначения, такие как коэффициент усиления для усилителей, потери преобразования и ширина динамического диапазона для смесителей.As informative parameters of semiconductor devices such as transistors, diodes, etc., their current-voltage characteristics (VAC) are most often used, from which parameters such as differential resistance in the working area, slope, cut-off voltage, etc. can be obtained. As informative parameters of devices based on diodes and transistors, their assignment indicators can be used, such as gain for amplifiers, conversion loss and dynamic range width for a mixer her.

Радиационное облучение может производиться с помощью источника γ-квантов 60Со, например, ГИК-17М. Для температурного воздействия может использоваться лабораторная электронагревательная печь, например, СНОЛ 6/11.Radiation exposure can be performed using a 60 Co source of γ-quanta, for example, GIC-17M. For temperature exposure, a laboratory electric heating furnace can be used, for example, SNOL 6/11.

Доза ИИ, температура и длительность термического воздействия выбираются такими, чтобы вызванное их действием изменение информативных параметров было не менее чем на порядок больше погрешности измерений. Опытным путем установлено, что искусственное старение ИС оптимально вести циклами, например, воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 час. под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 час. под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°C в течение 1-20 час. под электрической нагрузкой, измерение информативных параметров и/или ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров, ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров.The dose of AI, temperature and duration of heat exposure are chosen such that the change in the informative parameters caused by their action is at least an order of magnitude larger than the measurement error. It has been experimentally established that artificial aging of the IC is optimally carried out in cycles, for example, the effect of an elevated temperature of about 150 ° C for 1-20 hours. under electrical load, measurement of informative parameters, the effect of elevated temperature of about 150 ° C for 1-20 hours. under electrical load, measurement of informative parameters, the effect of elevated temperature of about 150 ° C for 1-20 hours. under electrical load, measurement of informative parameters and / or ionizing radiation with a dose of the order of 10 3 -10 6 glad, measurement of informative parameters, ionizing radiation with a dose of the order of 10 3 -10 6 glad, measurement of informative parameters.

Изменение ВАХ диодов и транзисторов регистрируется измерительным прибором (например, совместное использование микрозондового устройства (МЗУ) «ЛОМО 900072» и источника питания с цифровым управлением «Agilent 3640А DC Power Supply»). Изменение информативных параметров функциональных устройств регистрируется измерительными приборами, соответствующими выбранным информативным параметрам.Changes in the current-voltage characteristics of diodes and transistors are recorded by a measuring device (for example, the joint use of the LOMO 900072 microprobe device (MSD) and the Agilent 3640A DC Power Supply digital power supply). The change of informative parameters of functional devices is recorded by measuring devices corresponding to the selected informative parameters.

Пример изменения информативных параметров, в результате которых получается кинетика информативных параметров, приведен на фиг. 1. На оси абсцисс приведены значения напряжения U в вольтах, на оси ординат приведены значения тока I в амперах.An example of changing the informative parameters, which result in the kinetics of the informative parameters, is shown in FIG. 1. On the x-axis shows the values of the voltage U in volts, on the y-axis shows the values of current I in amperes.

На фигуре 1 показаны кривые 1 - ВАХ до ионизирующих и температурных воздействий, 2 - ВАХ после 1-го цикла ионизирующих и температурных воздействий, 3 - ВАХ после 2-го цикла ионизирующих и температурных воздействий, 4 - ВАХ после 3-го цикла ионизирующих и температурных воздействий, 5 - ВАХ после 4-го цикла ионизирующих и температурных воздействий, 6 - ВАХ после 5-го цикла ионизирующих и температурных воздействий.The figure 1 shows the curves 1 - VAC before ionizing and temperature effects, 2 - VAC after the 1st cycle of ionizing and temperature effects, 3 - VAC after the 2nd cycle of ionizing and temperature effects, 4 - IVC after the 3rd cycle of ionizing and temperature effects, 5 - VAC after the 4th cycle of ionizing and temperature effects, 6 - VAC after the 5th cycle of ionizing and temperature effects.

На основе полученных закономерностей деградации информативных параметров ИС строят функции их изменения во времени. На фиг. 2 показан пучок функций изменения информативного параметра Y(t) во времени.On the basis of the obtained laws of degradation of the informative parameters of the IC, functions of their change over time are built. FIG. 2 shows a bundle of functions for changing the informative parameter Y (t) with time.

Строят зависимости вероятности Рф(Y) выполнения заданных функций ИС от значений информативных параметров. На фиг. 3 показан пример зависимости Рф(Y). Зависимости Рф(Y) строятся методом экспертных оценок. Методика экспертного оценивания излагается в учебном пособии Абомелик Т.П. Управление качеством электронных средств: учебное пособие / Т.П. Абомелик. - Ульяновск: УлГТУ, 2007, с. 39-44.Dependencies of probability Р ф (Y) of fulfillment of given functions of information systems on values of informative parameters are built. FIG. 3 shows an example of the dependence of P f (Y). Dependencies R f (Y) are constructed by the method of expert estimates. The method of expert assessment is described in the textbook Abomelik, TP Quality management of electronic tools: a textbook / TP. Abomelic. - Ulyanovsk: UlSTU, 2007, p. 39-44.

Строят функцию плотности вероятности информативных параметров ƒ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС (см. фиг. 4). Методы и алгоритмы построения функций плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС рассматриваются в учебном пособии Технологическая оптимизация микроэлектронных устройств СВЧ: учебное, пособие / А.Г. Гудков, С.А. Мешков, М.А. Синельщикова, Е.А. Скороходов. - М., Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014, с. 16-20.The probability density function of informative parameters параметров (Y) is constructed taking into account the technological errors of the parameters of the IC design (see Fig. 4). Methods and algorithms for constructing probability density functions of informative parameters, taking into account the technological errors of the parameters of an IP design, are considered in the textbook Technological optimization of microelectronic microwave devices: training manual / AG Gudkov, S.A. Meshkov, M.A. Sinelschikova, E.A. Skorokhodov. - M., Publishing House of Moscow State Technical University. N.E. Bauman, 2014, p. 16-20.

На основе зависимостей вероятности Рф(Y) выполнения заданных функций ИС от значений информативных параметров и функции плотности вероятности информативных параметров ƒ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС получают функцию плотности вероятности информативных параметров ƒФ(Y) (фиг. 5) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций какBased on the dependences of the probability R f (Y) of performing the specified functions of the IC on the values of the informative parameters and the probability density function of the informative parameters Y (Y), taking into account the technological errors of the parameters of the IC design, a probability density function of the informative parameters F (Y) (Fig. 5) taking into account the technological errors of the design parameters of the IC and the probability of performing the specified functions as

fФ(Y)=РФ(Y)ƒ(Y).f Ф (Y) = Р Ф (Y) (Y).

Путем численного интегрирования функции плотности вероятности информативных параметров ƒФ(Y) по значениям информативного параметра получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в момент времени ti:By numerical integration of the probability density function of informative parameters ƒ Ф (Y) according to the values of the informative parameter, the probability of fulfillment of the specified functions by the IC at the moment of time t i is obtained:

Figure 00000002
Figure 00000002

Путем численного интегрирования функции

Figure 00000003
по времени в пределах заданной наработкиBy numerical integration of the function
Figure 00000003
on time within the set operating time

Figure 00000004
Figure 00000004

получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки.receive the probability of performing the specified functions by the party of IP for a given operating time.

Корректируют номинальные информативные параметры ИС по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки, синтезируют новые номинальные параметры конструкции ИС, обеспечивающие оптимальные по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки номиналы информативных параметров.Adjust the nominal informative parameters of the IC according to the criterion of the maximum probability of performing the specified functions by the IP lot during a given operating time, synthesize new nominal parameters of the IC design that provide the optimal by the criterion of the maximum probability of performing the specified functions by the IC part for a given operating time nominal informative parameters.

Корректировка номинальных информативных параметров ИС по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки является задачей оптимизации. На фиг. 6 представлена графическая интерпретация решаемой задачи. На ней показана зависимость Рф вероятности выполнения заданных функций ИС от значения информативного параметра, функция плотности вероятности информативного параметра ƒ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС, функция плотности вероятности информативного параметра ƒФ(Y) с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций в начальный момент времени t=t0 и после заданной наработки в момент времени t=t1 и оптимальное положение функции плотности вероятности информативного параметра ƒ(Y), которому соответствует новое номинальное значение информативного параметра

Figure 00000001
.The correction of the nominal informative parameters of the IC according to the criterion of the maximum probability of the fulfillment of specified functions by the IC lot during a given operating time is an optimization problem. FIG. 6 shows a graphical interpretation of the problem being solved. It shows the dependence of R f on the probability of performing the specified functions of the IC on the value of the informative parameter, the probability density function of the informative parameter ƒ (Y), taking into account the technological errors of the parameters of the IC design, the probability density function of the informative parameter Ф (Y) taking into account the technological errors of the parameters of the IC design and the probability of performing specified functions at the initial time t = t 0 and after a given operating time at time t = t 1 and the optimal position of the probability density function and informative parameter ƒ (Y), which corresponds to the new nominal value of the informative parameter
Figure 00000001
.

Задача оптимизации ставится следующим образом. Целевая функция: вероятность выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки (t0-t1)The optimization problem is set as follows. Target function: the probability of the fulfillment of specified functions by the party of IP during a given operating time (t 0 -t 1 )

Figure 00000005
Figure 00000005

где вероятность выполнения заданных функций партией ИС в момент времени ti where is the probability of the fulfillment of the specified functions by the IC party at the moment of time t i

Figure 00000006
Figure 00000006

где

Figure 00000007
- вектор параметров конструкции ИС.Where
Figure 00000007
- vector of parameters of the IC design.

Критерий оптимальности:

Figure 00000008
.Optimality criterion:
Figure 00000008
.

Управляемые параметры: номиналы информативных параметров Yном.Controlled parameters: informative parameters nominal Y nom .

Ограничения:

Figure 00000009
, где
Figure 00000010
- вектор разбросов (технологическая точность) параметров конструкции ИС, Ok,OT - ограничения конструкторского и технологического характера. Задача решается методами одномерной условной оптимизации, описанными в книге Норенков И.П. Основы автоматизированного проектирования: Учебник для вузов. 2-е изд., М., Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2002, с 157-170.Limitations:
Figure 00000009
where
Figure 00000010
- vector of variations (technological accuracy) of the design parameters of the IC, O k , O T - design and technological constraints. The problem is solved by the methods of one-dimensional conditional optimization described in the book I.P. Norenkov. Basics of computer-aided design: A textbook for universities. 2nd ed., M., Publishing House MSTU. N.E. Bauman, 2002, p 157-170.

В результате решения задачи оптимизации получают новые значения номиналов информативных параметров

Figure 00000001
, которым соответствует
Figure 00000008
.As a result of solving the optimization problem, new values of informative parameters are obtained.
Figure 00000001
which corresponds
Figure 00000008
.

Затем осуществляется синтез параметров конструкции

Figure 00000011
, обеспечивающих новые оптимальные по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки номиналы информативных параметров
Figure 00000001
. Синтез ведется итерационными методами с использованием методов оптимизации нулевого, первого, второго порядка, которые рассматриваются в книге Норенков И.П. Основы автоматизированного проектирования: Учебник для вузов. 2-е изд., М., Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2002, с 157-170.Then the synthesis of parameters of the structure is carried out.
Figure 00000011
, providing new optimal according to the criterion of maximum probability of fulfillment of specified functions by the party of information systems during a given operating time, informative parameters nominal
Figure 00000001
. Synthesis is conducted by iterative methods using the methods of optimization of zero, first, second order, which are considered in the book by I.N. Norenkov. Basics of computer-aided design: A textbook for universities. 2nd ed., M., Publishing House MSTU. N.E. Bauman, 2002, p 157-170.

В результате указанного выше синтеза новых параметров конструкции ИС решается поставленная задача, а именно обеспечиваются новые оптимальные по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки параметры и достигается повышение надежности и качества функционирования партии гибридных и монолитных ИС за счет учета технологических разбросов параметров конструкции и закономерностей их деградации под действием дестабилизирующих факторов при эксплуатации и, соответственно, повышение надежности и качества функционирования радиоэлектронной аппаратуры на их основе в условиях действия перечисленных факторов.As a result of the above synthesis of the IP design parameters, the problem is solved, namely, new optimal under the maximum criterion of fulfillment of the specified functions by the IP party are provided for the given operating time parameters and improved reliability and quality of the batch of hybrid and monolithic integrated circuits is achieved by taking into account technological variations of parameters of their degradation under the influence of destabilizing factors during operation and, accordingly, an increase in reliability and quality of functioning of electronic equipment based on them in terms of the factors listed.

Claims (11)

1. Способ повышения надежности и качества функционирования партии гибридных и монолитных интегральных схем (ИС) путем искусственного старения, в результате которого происходит деградация параметров материалов и структуры ИС и, как следствие, изменение их информативных параметров, отличающийся тем, что1. A method of improving the reliability and quality of operation of a batch of hybrid and monolithic integrated circuits (IC) by artificial aging, which results in the degradation of material parameters and the structure of an IC and, as a result, a change in their informative parameters, characterized in that на основе закономерностей деградации информативных параметров ИС под действием дестабилизирующих факторов эксплуатации определяют функции изменения информативных параметров во времени,on the basis of the patterns of degradation of the informative parameters of the IC under the action of the destabilizing factors of operation, determine the functions of changing the informative parameters in time, строят зависимости вероятности выполнения заданных функций ИС от значений информативных параметров,build dependencies of the probability of performing the specified functions of the IP from the values of informative parameters строят функцию плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС,build the probability density function of informative parameters taking into account the technological errors of the design parameters of the IC, строят функцию плотности вероятности информативных параметров с учетом технологических погрешностей параметров конструкции ИС и вероятности выполнения заданных функций,build the probability density function of informative parameters taking into account the technological errors of the parameters of the IC design and the probability of performing the specified functions, получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в начальный момент времени,get the probability of performing the specified functions by the party of IP at the initial time, получают вероятность выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки,get the probability of performing the specified functions by the party of IP for a given operating time, корректируют номинальные информативные параметры ИС по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки,correct the nominal informative parameters of the information system according to the criterion of the maximum probability of fulfillment of specified functions by the party of information systems during a given operating time, синтезируют новые номинальные параметры конструкции ИС, обеспечивающие оптимальные по критерию максимума вероятности выполнения заданных функций партией ИС в течение заданной наработки номиналы информативных параметров.they synthesize new nominal parameters of the IC design, which ensure the optimal by the maximum criterion probabilities of the fulfillment of specified functions by the IC lot for a given operating time, informative parameters. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что искусственное старение ИС ведут циклами: воздействие повышенной температуры около 150°С в течение 1-20 ч, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°С в течение 1-20 ч, измерение информативных параметров, воздействие повышенной температуры около 150°С в течение 1-20 ч, измерение информативных параметров таким образом, чтобы вызванное их действием изменение информативных параметров было не менее чем на порядок больше погрешности измерений.2. The method according to p. 1, characterized in that the artificial aging of IP conduct cycles: the impact of elevated temperature of about 150 ° C for 1-20 hours, measurement of informative parameters, the impact of elevated temperature of about 150 ° C for 1-20 hours, measurement of informative parameters, the impact of elevated temperature of about 150 ° C for 1-20 hours, measurement of informative parameters so that the change in informative parameters caused by their effect is no less than an order of magnitude greater than the measurement error. 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что искусственное старение ИС ведут циклами: ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров, ионизирующие излучения дозой порядка 103-106 рад, измерение информативных параметров таким образом, чтобы вызванное их действием изменение информативных параметров было не менее чем на порядок больше погрешности измерений.3. The method according to p. 1, characterized in that the artificial aging of IP conduct cycles: ionizing radiation with a dose of about 10 3 -10 6 happy, measurement of informative parameters, ionizing radiation with a dose of 10 3 -10 6 happy, measurement of informative parameters in such a way so that the change in the informative parameters caused by their action was no less than an order of magnitude larger than the measurement error.
RU2018122679A 2018-06-21 2018-06-21 Method for increasing reliability and quality of functioning batch of hybrid and monolithic integrated circuits RU2684943C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018122679A RU2684943C1 (en) 2018-06-21 2018-06-21 Method for increasing reliability and quality of functioning batch of hybrid and monolithic integrated circuits

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018122679A RU2684943C1 (en) 2018-06-21 2018-06-21 Method for increasing reliability and quality of functioning batch of hybrid and monolithic integrated circuits

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2684943C1 true RU2684943C1 (en) 2019-04-16

Family

ID=66168247

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018122679A RU2684943C1 (en) 2018-06-21 2018-06-21 Method for increasing reliability and quality of functioning batch of hybrid and monolithic integrated circuits

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2684943C1 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2326394C1 (en) * 2006-11-22 2008-06-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" Method of increasing reliability of batches of semi-conductor items
US8201038B2 (en) * 2009-09-29 2012-06-12 International Business Machines Corporation Integrating design for reliability technology into integrated circuits
US20120167025A1 (en) * 2010-12-22 2012-06-28 Advanced Micro Devices, Inc. Method for analyzing sensitivity and failure probability of a circuit
US20140088947A1 (en) * 2012-09-25 2014-03-27 International Business Machines Corporation On-going reliability monitoring of integrated circuit chips in the field
RU2578053C1 (en) * 2014-09-22 2016-03-20 Федеральное государственное унитарное предприятие федеральный научно-производственный центр "Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова" Method for evaluating resistance of digital electronic equipment to ionising radiation (versions)
US20170171434A1 (en) * 2014-06-17 2017-06-15 Sony Corporation Imaging system, imaging device, information processing device, method, and program

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2326394C1 (en) * 2006-11-22 2008-06-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" Method of increasing reliability of batches of semi-conductor items
US8201038B2 (en) * 2009-09-29 2012-06-12 International Business Machines Corporation Integrating design for reliability technology into integrated circuits
US20120167025A1 (en) * 2010-12-22 2012-06-28 Advanced Micro Devices, Inc. Method for analyzing sensitivity and failure probability of a circuit
US20140088947A1 (en) * 2012-09-25 2014-03-27 International Business Machines Corporation On-going reliability monitoring of integrated circuit chips in the field
US20170171434A1 (en) * 2014-06-17 2017-06-15 Sony Corporation Imaging system, imaging device, information processing device, method, and program
RU2578053C1 (en) * 2014-09-22 2016-03-20 Федеральное государственное унитарное предприятие федеральный научно-производственный центр "Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова" Method for evaluating resistance of digital electronic equipment to ionising radiation (versions)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Celaya et al. Towards prognostics of power MOSFETs: Accelerated aging and precursors of failure
US20080114558A1 (en) Augmenting semiconductor's devices quality and reliability
US7272523B1 (en) Trimming for accurate reference voltage
Madge et al. In search of the optimum test set-adaptive test methods for maximum defect coverage and lowest test cost
US7353128B2 (en) Measurement system optimization
TW200929411A (en) Method and apparatus for monitoring vias in a semiconductor fab
RU2684943C1 (en) Method for increasing reliability and quality of functioning batch of hybrid and monolithic integrated circuits
CN115015723A (en) State monitoring method and device of GaN power device, computer equipment and medium
US7129735B2 (en) Method for test data-driven statistical detection of outlier semiconductor devices
Boruzdina et al. Automatic control system for memory chips performance in a radiation experiment
US7524683B2 (en) Method of monitoring a semiconductor manufacturing trend
US7340360B1 (en) Method for determining projected lifetime of semiconductor devices with analytical extension of stress voltage window by scaling of oxide thickness
RU2664759C1 (en) Method of increasing the reliability of hybrid and monolithic integrated circuits
JP2016045042A (en) Test method for semiconductor transistor
CN116840670A (en) Switch life assessment method of GaN power conversion device
Burnham et al. Towards an RF GaN reliability standard
KR102164784B1 (en) Life test method for thermoelectric module
Nikiforov et al. Experimental studies of the adequacy of laser simulations of dose rate effects in integrated circuits and semiconductor devices
Xuan et al. Sensitivity and reliability evaluation for mixed-signal ICs under electromigration and hot-carrier effects
Bisewski Parameters estimation of SPICE models for silicon carbide devices
Chatterjee et al. Celebrating fifty years of physics of failure
RU2082178C1 (en) Method for selecting plates with radiation-resistant mos integrated circuits
Varecha et al. Effect of MOSFET lifetime on reliability of low-side MOSFET current sensing technique
KR102327213B1 (en) Apparatus and method for measuring mechanical electromigration of three-dimensional planar structures
Tyulevin et al. Methods of bipolar microcircuits learning experiment

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200622