RU2680115C1 - Способ нанесения покрытия на лопатки газотурбинного двигателя - Google Patents
Способ нанесения покрытия на лопатки газотурбинного двигателя Download PDFInfo
- Publication number
- RU2680115C1 RU2680115C1 RU2017139185A RU2017139185A RU2680115C1 RU 2680115 C1 RU2680115 C1 RU 2680115C1 RU 2017139185 A RU2017139185 A RU 2017139185A RU 2017139185 A RU2017139185 A RU 2017139185A RU 2680115 C1 RU2680115 C1 RU 2680115C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- blades
- coating
- gte
- electron beam
- vacuum
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 56
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 6
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 abstract 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 9
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 5
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 4
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 4
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 3
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000004861 thermometry Methods 0.000 description 2
- 238000003723 Smelting Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010410 dusting Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007669 thermal treatment Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
- C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01D—NON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
- F01D5/00—Blades; Blade-carrying members; Heating, heat-insulating, cooling or antivibration means on the blades or the members
- F01D5/12—Blades
- F01D5/14—Form or construction
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме электронно-лучевым способом, конкретно к контролю качества и скорости нанесения покрытий на изделия со сложным профилем, а именно на лопатки газотурбинного двигателя (ГТД). Способ включает обеспечение заданного температурного поля на поверхности лопаток ГТД посредством программатора, для настройки программы которого в вакуумную камеру напыления помещают контрольную кассету с лопатками ГТД, у замка и пера каждой из которых расположены контрольные термопары, и проводят нагрев упомянутых лопаток ГТД в вакуумной камере путем сканирования электронного луча электронно-лучевой пушки по поверхности лопаток ГТД. После подачи в вакуумную камеру напыления материала для нанесения покрытия осуществляют настройку программы программатора. Сканирование, проводимое при нагреве упомянутых лопаток, размещенных в контрольной кассете, осуществляют с изменением режима сканирования электронного луча по поверхности лопаток ГТД до достижения температур, соответствующих температурам в местах расположения контрольных термопар и обеспечивающих равномерный нагрев поверхностей лопаток ГТД и нанесение покрытия на их поверхности. Затем в вакуумную камеру напыления подают рабочие кассеты с установленными в них лопатками ГТД с контрольными термопарами и проводят нанесение покрытия путем сканирования электронного луча по поверхности лопаток ГТД по настроенной программе в течение времени, ограниченного заданной толщиной наносимого слоя и скоростью осаждения покрытия. Обеспечивается уменьшение отклонений по толщине покрытия, стабилизация скорости нанесения покрытия, формирование равномерной, идентичной стабильной структуры в виде слоя с одинаковыми физико-химическими свойствами по всей обрабатываемой поверхности детали, повышение стабильности измерения температуры, сокращение расхода электроэнергии и повышение механических свойств изделий. 1 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 пр.
Description
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме электронно-лучевым способом, конкретно к контролю качества и скорости нанесения покрытий на изделия со сложным профилем, а именно, на лопатки газотурбинного двигателя (ГТД).
Наибольший интерес при создании покрытий с заданными физико-механическими характеристиками на лопатках представляют, так называемые металлические и неметаллические функциональные материалы, которые, взаимодействуя с материалом лопатки на атомарном и молекулярном уровне, позволяют придавать лопаткам особые конструктивные свойства.
Одним из способов нанесения покрытия является метод электроннолучевого испарения и конденсации в вакууме (ЭЛИКВ). Изменяя температуру лопаток, концентрацию вводимых фаз, скорость вращения лопаток, легко получить покрытие с контролируемым градиентом концентраций и микропористостью вводимых фаз. Вместе с тем электронно-лучевое испарение в вакууме сопровождается возникновением различного рода нестабильностей, которые приводят к изменению скорости испарения материалов для покрытий и, следовательно, к отклонению толщины покрытия от заданного значения и неравномерности получаемых свойств. Существенная нестабильность процесса нанесения покрытия возникает при изменении температурного поля лопаток в камере испарения и вакуумного осаждения.
Нанесение жаростойких и композиционных покрытий, в частности на лопатки турбины авиационных ГТД, методом электронно-лучевого испарения и конденсации в вакууме осуществляется в специализированных установках типа УЭ-175, разработанных в ИЭС им. БЕ.О. Патона.
Важным технологическим параметром, который определяет качество, как наносимого покрытия, так и материала лопаток, является температура лопаток в процессе осаждения покрытия. Предварительный нагрев и поддержание постоянной температуры лопаток производят электронным лучом с высокой плотностью энергии. Для равномерного нагрева поверхности тонкостенных лопаток сложного профиля в установках предусмотрено сканирование электронного луча по определенной программе. Также на температуру поверхности лопаток влияют дополнительные источники нагрева такие, как плотный паровой поток осаждаемого материала и излучение поверхности испаряемого материала.
Известными способами измерения температуры в процессе нанесения покрытий, являются бесконтактный контроль температуры вращающихся деталей: это устройства на основе фотоэлектрического яркостного пирометра частичного излучения типа ТФПГ-2, а также электронно-оптический пирометр.
Наиболее существенными недостатками этих способов являются сложность, низкая точность, связанная с изменением степени черноты поверхности при конденсации покрытий, и нестабильность работы приборов определения температуры из-за запыления частицами испаряемого материала входных оптических устройств.
Указанные недостатки не позволяют непрерывно проводить оценку температуры лопаток в процессе нагрева и нанесения покрытия, а также с высокой точностью определять скорость нагрева и охлаждения лопаток при серийной работе установки
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является известный способ нанесения покрытия на лопатки газотурбинного двигателя (ГТД), включающий подачу в вакуум камеру осаждения материалов для покрытий лопаток, установленных в контрольную кассету оснащенную лопаткой с двумя контрольными термопарами, расположенными у ее замка и торца пера, и трубчатой стойкой с четырьмя термопарами, при этом одна из термопар в стойке установлена на расстоянии от торца кассеты равном расстоянию до замка, а другая - до торца пера лопатки, а две остальные установлены симметрично им, предварительный нагрев и поддержание температуры лопаток с помощью устройства генерации электронного луча с высокой плотностью энергии, измерение температуры и определение усредненного перепада температур между лопаткой с контрольными термопарами, и трубчатой стойкой, настройка программатора на поддержание усредненной температуры при сканировании электронного луча по поверхности лопаток сложного профиля, подачу в камеру рабочей кассеты с лопатками и сканирование электронного луча по поверхности лопаток по настроенной программе для равномерного нагрева и нанесения покрытия в течение времени ограниченного толщиной слоя и скоростью осаждения материалов для покрытий на поверхности лопаток.
/А.А. Трофименко, В.А. Иванов, В.В. Баринов Система измерения температуры лопаток авиационных ГТД при нанесении жаростойких и композиционных покрытий методом электронно-лучевого испарения и конденсации в вакууме. - Москва, НПО Сатурн, 1989 с. 72-76./
Такая система, в результате проведенной оценки при термометрировании, позволяет получить зависимость температур на кассете (Т1, Т2, Т3, Т4) и температур на контрольной лопатке (Т5, Т6). В дальнейшем оценку температуры лопаток в процессе нанесения покрытий производится по показаниям установленных в кассете термопар в точках Т1, T2 и Т3, Т4 с учетом полученных при термометрировании зависимостей.
Существенным недостатком такой системы является недостоверность реальных показаний температуры на лопатках, из-за различной теплоемкости лопаток и трубок кассеты происходит значительное расхождение температур, особенно в процессе нагрева.
Также недостоверно отображается изменение температуры во время переменных режимов в работе некоторых систем установки УЭ-175 (отклонение электронного луча, скачков напряжения, пробоев и т.п.).
Задача изобретения - повышение качества покрытия лопаток, стабилизация их конструктивных свойств, снижение энергетических затрат.
Технический результат изобретения - уменьшение отклонений по толщине и стабилизация скорости нанесения покрытия, формирование равномерной, идентичной стабильной структуры в виде слоя с одинаковыми физико-химическими свойствами по всей обрабатываемой поверхности лопатки, повышение стабильности измерения температуры, сокращение расхода электроэнергии, повышение механических свойств изделий. Возможность с высокой точностью в реальном времени, непрерывно проводить оценку температуры лопаток в процессе нагрева и нанесения покрытия, а также с высокой точностью определять скорость нагрева и охлаждения лопаток с целью повышение качества покрытия лопаток, стабилизация конструктивных свойств покрытия, снижение энергетических затрат.
Технический результат изобретения достигается тем, что в известном способе нанесения покрытия на лопатки газотурбинного двигателя, включающий, подачу в вакуум камеру осаждения материалов для покрытий лопаток, установленных в контрольную кассету, оснащенную лопаткой с контрольными термопарами, расположенными у ее замка и торца пера, и трубчатой стойкой с четырьмя термопарами, при этом одна из термопар в стойке установлена на расстоянии от торца кассеты равном расстоянию до замка, а другая - до торца пера лопатки, а две остальные установлены симметрично им, предварительный нагрев и поддержание температуры лопаток с помощью устройства генерации электронного луча с высокой плотностью энергии, измерение температуры и определение усредненного перепада температур между лопаткой с контрольными термопарами и трубчатой стойкой, настройка программатора на поддержание усредненной температуры при сканировании электронного луча по поверхности лопаток сложного профиля, подачу в камеру рабочей кассеты с лопатками и сканирование электронного луча по поверхности лопаток по настроенной программе для равномерного нагрева и нанесения покрытия в течение времени ограниченного толщиной слоя и скоростью осаждения материала для покрытий на поверхности лопаток, по предложению, в рабочую кассету устанавливают две лопатки с контрольными термопарами, расположенными у ее замка и торца пера, а программатор настраивают на сканирование электронного луча по поверхности лопаток до достижения заданных температур в местах расположения контрольных термопар, обеспечивающих равномерный нагрев и нанесение покрытия, после чего в камеру подают рабочие кассеты с установленными в них лопатками с контрольными термопарами, а сканирование электронного луча по поверхности лопаток производят по настроенной программе. В качестве материалов для покрытий в вакуум камеру осаждения можно подавать жаростойкий сплав или композитный керамический материал или керамический материал.
При осуществлении всех электронно-лучевых процессов электронный луч используют в качестве энергоносителя, который в соответствующем виде воздействует на обрабатываемый материал. Луч генерируется в электронной пушке. В пушке происходит эмиссия свободных электронов, их ускорение в электростатическом поле, фокусировка и отклонение пучка с помощью магнитного и электрического полей. Через выходное отверстие пушки луч выводится в рабочую камеру. В ней размещены или в нее вводятся объекты электроннолучевого процесса - заготовки или материалы. При напылении в рабочей камере наряду с устройствами для подачи испаряемого материала для покрытий устанавливают приспособления для крепления и перемещения изделия, на поверхность которого производится напыление покрытия. Подобные устройства сугубо специфичны и соответствуют конкретной задаче, для которой они предназначены.
Генерация электронного луча и беспрепятственное прохождение его до объекта возможно только в высоком вакууме. Поэтому необходимо откачивать не только камеры, в которых создается и фокусируется луч, но и рабочую камеру. Вакуумные откачные системы являются важной составной частью любой электронно-лучевой установки. В камере электронной пушки устанавливается вакуум в пределах 10-3-10-4 Па, вакуум в рабочей камере - около 10-4 Па.
При встрече электронного луча с мишенью кинетическая энергия электронов луча, взаимодействуя с атомами мишени, преобразуется в другие формы энергии, в том числе и тепловую энергию. Тепловая энергия используется при плавке, сварке, испарении и термической обработке деталей. При нетермической обработке и других процессах химической электронно-лучевой технологии столкновение электронов луча с атомами и молекулами возбуждают и ионизируют последние, вызывая химические реакции между ними.
Любой из видов электронно-лучевой обработки лопаток газотурбинного двигателя, в частности нанесение покрытия из композитного или керамического материала или химико-термической обработки поверхностного слоя лопаток, в зависимости от используемых материалов и химического состава изделия, требуют строгого подбора параметров обработки, а именно температуры, давления, ускоряющего напряжения тока луча.
Нанесение покрытий на лопатки газотурбинного двигателя требует установок среднего класса мощности, что вызывает необходимость интенсивного охлаждения устройства генерирующего электронный луч.
Предложенный способ предусматривает возможность получать защитные покрытия почти всех типов, металлические, металлокерамические, керамические покрытия градиентного и микрослойного типов.
Сущность изобретения поясняется чертежами
Способ нанесения покрытия на лопатки реализован на специализированной установке типа УЭ-175
На Фиг. 1 - структурная схема системы измерения температуры в контрольной кассете;
На Фиг. 2 - конструкция системы измерения температуры в рабочей кассете;
На Фиг. 3 - функциональная схема установки нанесения покрытий на лопатки газотурбинного двигателя.
Для настройки температурного поля в вакуумной камере используется контрольная кассета 1, в которую вмонтированы шесть лопаток турбины и трубчатая стойка с установленными в нее термопарами (Т5, Т6, Т7, Т8). Спаи термопар 10, в стойке выведены на внешнюю поверхность стойки и защищены съемным экраном 9. При нанесении композиционных покрытий предусмотрена возможность после каждой осадки производить замену экрана 9 для исключения погрешности измерения, обусловленной увеличением толщины теплоизолирующего слоя на нем. На торцевых пластинах кассеты установлены две лопатки с контрольными термопарами (T1, Т2, Т3, Т4). Ввиду того, что кассета съемная и установлена с возможностью вращения, в конструкции предусмотрены легкосъемные штырьковые разъемы 2, соединяющие термопары в кассете с линией вывода из вакуумной камеры. Для установки кассеты, передачи вращения и соединения термопар использован полый шток 3 с водяным охлаждением, установленный в конструкцию 4 с помощью уплотнения 5. Линия вывода термопар с помощью штырькового разъема 2, выведена на коллектор 6, соединенный токосъемником 7, с линией показывающего прибора 8. Установка для нанесения покрытия содержит вакуум камеру напыления 11, с устанавливаемой в нее контрольной или рабочей кассетой 1, устройство герметичной подачи реагента 12, аксиальную электронную пушку 13, установленную в вакуумную нагревательную камеру 14 (камера электронной пушки), соединенную с вакуум камерой напыления 11 (рабочей). Установка оборудована блоком дополнительного оборудования 15, содержим средства дифференциальной откачки газовой среды 16, и средство напуска 17 технологического газа в вакуумную нагревательную камеру 14 и камеру напыления 11 для обеспечения стабильной работы пушки 13. Электронный луч 18 от электронной пушки 13, испаряет реагент штапиков 12, а образуемые пары керамики 19 осаждаются на лопатки.
Пример реализации способа
Требуется сформировать на поверхности лопаток газотурбинных двигателей теплозащитное покрытие на основе ZrO2 - 6…8 мас. % Y2O3, - ост, толщиной 100…120 мкм.
В рабочую камеру устанавливают штабики из ZrO2 - 6…8 мас. % Y2O3, - ост. Рабочие кассеты с лопатками и установленными в каждую из них по две лопатки с контрольными термопарами, загружают в камеру. Установку герметизируют и с помощью средств дифференциальной откачки пространство камеры электронной пушки и рабочей камеры вакуумируют. После достижения степени вакуума в камерах 5*10-4 Па, рабочую кассету перемещают в камеру напыления и нагревают лопатки в ней с помощью сканирования электронного луча электронно-лучевой пушки по поверхности лопаток до температуры 900°С. Для достижения равномерного температурного поля на поверхности лопаток настраивают программатор изменением режима сканирования электронного луча электроннолучевой пушки по поверхности лопаток. Затем выходят на заданный режим прогревания лопаток, испарения материалов для покрытий, на поддержание заданного режима и производят нанесение покрытия на лопатки со скоростью 1 мкм /мин. При толщине покрытия 120 мкм продолжительность нанесения покрытия 120 мин.
После выхода на заданный режим испарения и прогревания лопаток и настройки программатора рабочие кассеты с лопатками последовательно перемещают в камеру напыления и производят формирование внешнего керамического покрытия ZrO2 Y2O3, по настроенной программе.
Измерение толщины нанесенного слоя, на лопатках с различных рабочих кассет, показало, что отклонение толщины слоев не превышает 1,0%,, расход электроэнергии снижается на ~3,5%. смещение термокатода относительно оптической оси и нарушение фокусировки электронного пучка не наблюдалось.
Приведенный пример является частным вариантом реализации способа, в рамках предложения могут быть реализованы и другие варианты поверхностной обработки изделий.
Применение изобретения позволяет повысить точность измерения и стабильность оценки температуры деталей, сформировать равномерную, идентичную стабильную структуру в виде слоя с одинаковыми физико-химическими свойствами по всей обрабатываемой поверхности детали, уменьшить отклонения по толщине покрытия, стабилизировать скорость нанесения покрытия, сократить расход электроэнергии, повысить механические свойства изделий.
Claims (2)
1. Способ нанесения покрытия на лопатки газотурбинного двигателя (ГТД) в вакууме электронно-лучевым методом, включающий обеспечение заданного температурного поля на поверхности лопаток ГТД посредством программатора, для настройки программы которого в вакуумную камеру напыления помещают контрольную кассету с лопатками ГТД, у замка и пера каждой из которых расположены контрольные термопары, и проводят нагрев упомянутых лопаток ГТД в вакуумной камере путем сканирования электронного луча электронно-лучевой пушки по поверхности лопаток ГТД, отличающийся тем, что после подачи в вакуумную камеру напыления материала для нанесения покрытия осуществляют настройку программы программатора, при этом сканирование, проводимое при нагреве упомянутых лопаток, размещенных в контрольной кассете, осуществляют с изменением режима сканирования электронного луча по поверхности лопаток ГТД до достижения температур, соответствующих температурам в местах расположения контрольных термопар и обеспечивающих равномерный нагрев поверхностей лопаток ГТД и нанесение покрытия на их поверхности, после чего в вакуумную камеру напыления подают рабочие кассеты с установленными в них лопатками ГТД с контрольными термопарами и проводят нанесение покрытия путем сканирования электронного луча по поверхности лопаток ГТД по настроенной программе в течение времени, ограниченного заданной толщиной наносимого слоя и скоростью осаждения покрытия.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала для покрытия в вакуумную камеру осаждения подают жаростойкий сплав, или композитный керамический материал, или керамический материал.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017139185A RU2680115C1 (ru) | 2017-11-13 | 2017-11-13 | Способ нанесения покрытия на лопатки газотурбинного двигателя |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017139185A RU2680115C1 (ru) | 2017-11-13 | 2017-11-13 | Способ нанесения покрытия на лопатки газотурбинного двигателя |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2680115C1 true RU2680115C1 (ru) | 2019-02-15 |
Family
ID=65442625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017139185A RU2680115C1 (ru) | 2017-11-13 | 2017-11-13 | Способ нанесения покрытия на лопатки газотурбинного двигателя |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2680115C1 (ru) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6348099B1 (en) * | 1996-11-13 | 2002-02-19 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for depositing premetal dielectric layer at sub-atmospheric and high temperature conditions |
| RU2265078C1 (ru) * | 2003-09-23 | 2005-11-27 | Гба С.А. | Установка для электронно-лучевого нанесения покрытий |
| EP1593752B1 (en) * | 2004-05-07 | 2012-09-12 | United Technologies Corporation | Multi-component coating deposition |
| RU2496913C2 (ru) * | 2011-12-28 | 2013-10-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | Установка для ионно-лучевой и плазменной обработки |
-
2017
- 2017-11-13 RU RU2017139185A patent/RU2680115C1/ru active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6348099B1 (en) * | 1996-11-13 | 2002-02-19 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for depositing premetal dielectric layer at sub-atmospheric and high temperature conditions |
| RU2265078C1 (ru) * | 2003-09-23 | 2005-11-27 | Гба С.А. | Установка для электронно-лучевого нанесения покрытий |
| EP1593752B1 (en) * | 2004-05-07 | 2012-09-12 | United Technologies Corporation | Multi-component coating deposition |
| RU2496913C2 (ru) * | 2011-12-28 | 2013-10-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | Установка для ионно-лучевой и плазменной обработки |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Трофименко А.А. и др. Система измерения температуры лопаток авиационных ГТД при нанесении жаростойких и композиционных покрытий методом электронно-лучевого испарения и конденсации в вакууме, Электронно-лучевые и газотермические покрытия, Киев, 1988, с.72-76. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Liu et al. | Gaseous material capacity of open plasma jet in plasma spray-physical vapor deposition process | |
| US20120308733A1 (en) | Method of manufacturing a thermal barrier coating structure | |
| US8343591B2 (en) | Method for use with a coating process | |
| Salhi et al. | Development of coating by thermal plasma spraying under very low-pressure condition< 1 mbar | |
| Bleykher et al. | Magnetron deposition of coatings with evaporation of the target | |
| RU2680115C1 (ru) | Способ нанесения покрытия на лопатки газотурбинного двигателя | |
| Zhang et al. | Characteristics of Cu film deposited using VLPPS | |
| Kirkopulo et al. | Design of a set of nonlinear control systems of the ARC PVD ion-plasma installation | |
| Bhandari et al. | Temperature Profile in YPO 4 Laden Plasma Jet and Its Evolution with Arc Current and Powder Loading | |
| RU2632927C2 (ru) | Способ генерации плотной объемной импульсной плазмы | |
| RU2597447C2 (ru) | Лазерный способ получения функциональных покрытий | |
| Haase et al. | Plasma characterization in reactive sputtering processes of Ti in Ar/O 2 mixtures operated in metal, transition and poisoned modes: a comparison between direct current and high-power impulse magnetron discharges | |
| Gavrilov et al. | Discharge with a self-heated hollow cathode and a vaporizable anode in an inhomogeneous magnetic field | |
| Gorokhovsky et al. | Processes in a plasma arc installation for vacuum coating depositions: Part 1. Plasma generation | |
| EP2192607A2 (en) | Vapor deposition electron beam current control | |
| Li et al. | Hybrid evaporation: Glow discharge source for plasma immersion ion implantation | |
| RU2653399C2 (ru) | Способ нанесения покрытия из аморфного оксида алюминия реактивным испарением алюминия в разряде низкого давления | |
| Tyunkov et al. | Local ion-plasma etching of dielectrics initiated and controlled by the electron beam in fore-vacuum pressure range | |
| Gavrila et al. | A numerical simulation of the phenomena in Be plasma | |
| Thakur et al. | Spatial distribution of copper vapour flux during strip electron beam evaporation | |
| Nishimura et al. | Angular distribution of gadolinium vapor produced by electron beam heating | |
| DE19720652A1 (de) | Beheizungsvorrichtung und Verfahren zur Erwärmung eines Bauteils | |
| RU2708489C1 (ru) | Способ нанесения кадмиевого покрытия прецизионным вакуумным напылением на поверхность детали | |
| Grechanyuk et al. | Industrial electron-beam installation L-8 for deposition of heat-protective coating on turbine blades | |
| Glova et al. | Coating formation at laser irradiation of a dusty gas medium |