RU2661049C1 - Method and device for mounting large-size mirror of optical-mechanical device in holder (versios) - Google Patents
Method and device for mounting large-size mirror of optical-mechanical device in holder (versios) Download PDFInfo
- Publication number
- RU2661049C1 RU2661049C1 RU2017130453A RU2017130453A RU2661049C1 RU 2661049 C1 RU2661049 C1 RU 2661049C1 RU 2017130453 A RU2017130453 A RU 2017130453A RU 2017130453 A RU2017130453 A RU 2017130453A RU 2661049 C1 RU2661049 C1 RU 2661049C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- mirror
- frame
- unloading
- supports
- magnetic
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 74
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims abstract description 18
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 claims abstract description 18
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 27
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 239000004519 grease Substances 0.000 claims description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 34
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 28
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 abstract description 10
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000013461 design Methods 0.000 description 11
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 5
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 5
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 2
- QJVKUMXDEUEQLH-UHFFFAOYSA-N [B].[Fe].[Nd] Chemical compound [B].[Fe].[Nd] QJVKUMXDEUEQLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003831 antifriction material Substances 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 1
- 229910000746 Structural steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 1
- 230000037396 body weight Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/183—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors specially adapted for very large mirrors, e.g. for astronomy, or solar concentrators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Astronomy & Astrophysics (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области лазерной техники и может быть использовано для монтажа крупногабаритных оптических элементов, в частности зеркал транспортировки лазерного излучения, а также для закрепления подвижных зеркал опорно-поворотных устройств (ОПУ).The invention relates to the field of laser technology and can be used for mounting large-sized optical elements, in particular mirrors for transporting laser radiation, as well as for fixing movable mirrors of slewing-rotary devices (OPU).
Решение задачи по доставке лазерного излучения большой мощности на многоканальных лазерных установках особенно проблематично в силу их сложности, большого количества оптических элементов и протяженности оптического тракта. Кроме того, лазерное излучение, проходящее через оптические схемы данных установок, заметно искажается (приобретает аберрации), что вносит дополнительные трудности в задачу автоматической юстировки и коррекции волнового фронта.The solution to the problem of delivering high-power laser radiation in multichannel laser systems is especially problematic due to their complexity, a large number of optical elements and the length of the optical path. In addition, laser radiation passing through the optical circuits of these devices is noticeably distorted (acquires aberrations), which introduces additional difficulties in the task of automatic alignment and correction of the wavefront.
Опыт эксплуатации таких установок показывает, что практически перед каждым выстрелом лазера для его эффективной работы требуется юстировка лазерного канала. Сложность разработки и поддержания в работоспособном состоянии системы автоматической юстировки напрямую зависит от стабильности положения каждого ее элемента, в первую очередь зеркал. Поэтому максимальное внимание при конструировании зеркал системы транспортировки нужно уделить стабильности пространственного и углового положения каждого зеркала и элементов его крепления и юстировки, а также максимальному уменьшению влияния конструктивных элементов на оптические характеристики зеркала, как оптического элемента. Вносимые зеркалом в оптический тракт погрешности должны быть минимизированы, так как их дополнительное исправление накладывает повышенные требования к эффективности системы корректировки волнового фронта установки.The operational experience of such installations shows that before almost every shot of the laser, for its effective operation, alignment of the laser channel is required. The complexity of the development and maintenance of a system of automatic adjustment directly depends on the stability of the position of each of its elements, primarily mirrors. Therefore, when designing the mirrors of the transportation system, maximum attention should be paid to the stability of the spatial and angular position of each mirror and its fastening and alignment elements, as well as to the maximum reduction in the influence of structural elements on the optical characteristics of the mirror as an optical element. Errors introduced by the mirror into the optical path should be minimized, since their additional correction imposes increased requirements on the efficiency of the installation's wavefront correction system.
Выполнение требований по минимизации искажений, пространственной и временной нестабильности положения зеркала и надежности в работе существенно усложняется в случае применения транспортных зеркал в сложных многоэлементных, многоканальных установках, где на способ крепления и конструкцию узлов крепления и юстировки оптических элементов дополнительно накладываются ограничения, связанные со сложностью и плотностью монтажа системы транспортировки внутри герметизированных световодов, в чистой, обеспыленной, среде, в среде аргона, а также с необходимостью периодического обслуживания и замены элементов при длительной, многолетней эксплуатации физической установки.Fulfillment of requirements to minimize distortion, spatial and temporal instability of the mirror position and reliability in operation is significantly complicated in the case of using transport mirrors in complex multi-element, multi-channel installations, where the method of fastening and the design of the attachment and alignment points of optical elements are additionally constrained by complexity and the density of the installation of the transportation system inside the sealed optical fibers, in a clean, dust-free environment, in an argon environment, and also with the need for periodic maintenance and replacement of elements during long-term, long-term operation of a physical installation.
В настоящее время создание простых и надежных способов и устройств крепления юстируемых крупногабаритных зеркал, предназначенных для работы в составе системы транспортировки лазерного излучения, обладающих достаточной точностью, жесткостью и долговременной стабильностью, является актуальной и сложной инженерной задачей.Currently, the creation of simple and reliable methods and devices for mounting aligned large-sized mirrors designed to work as part of a laser radiation transportation system with sufficient accuracy, rigidity and long-term stability is an urgent and complex engineering task.
Деформации элементов крепления зеркала, как и самого зеркала должны быть минимальными, независимо от угла положения зеркала. Зеркало с оправой и элементами крепления должно быть максимально компактным, жестким и легким.The deformation of the mirror mounting elements, as well as the mirror itself, should be minimal, regardless of the angle of the mirror position. A mirror with a frame and fasteners should be as compact as possible, rigid and light.
При высоких требованиях к качеству оптического тракта максимальная деформация отражающей поверхности зеркала не должна превышать 0,05…0,1 мкм не только сразу после его монтажа, но и при длительной многолетней эксплуатации. При размерах зеркал, превышающих 500 мм, это требует применения элементов разгрузки зеркала и применения «плавающего» или саморегулируемого закрепления зеркала в оправе.With high demands on the quality of the optical path, the maximum deformation of the reflecting surface of the mirror should not exceed 0.05 ... 0.1 μm, not only immediately after its installation, but also during long-term operation over many years. With mirror sizes exceeding 500 mm, this requires the use of mirror unloading elements and the use of a “floating” or self-adjusting mirror fixing in the frame.
Известны различные типы механического крепления оптических элементов с помощью винтов, резьбовых колец, планок, накладок, уголков или пружин, а также завальцовки оптического элемента в гнезде оправы. («Справочник конструктора оптико-механических приборов». Под редакцией В.А Панова. Л.: «Машиностроение», Ленинградское отделение, 1980 г., с. 277-283).There are various types of mechanical fastening of optical elements with screws, threaded rings, trims, pads, angles or springs, as well as rolling of the optical element in the socket of the frame. (“The Handbook of the Designer of Optical-Mechanical Devices.” Edited by V. A. Panov. L.: “Mechanical Engineering”, Leningrad Branch, 1980, pp. 277-283).
Известны из описания к авторскому свидетельству СССР №943626 (описание опубликовано 15.07.1982 г) устройство крепления крупногабаритного зеркала в оправе и способ его крепления. Известное устройство содержит одну центральную опору и не менее 3-х опор, каждая из которых выполнена в виде приклеенной к тыльной поверхности зеркала опорной пяты, соединенной с оправой с возможностью перемещения вдоль ее поверхности при помощи тяги, пружины, установочного винта и шаровой опоры, выполненной в виде фланца, жестко соединенного с оправой, кольца со сферической поверхностью, концентричной поверхности опорной платы, двух сепараторов с отверстиями, в которых размещены шарики, расположенные между плоскими поверхностями фланца и кольца и между сферическими поверхностями кольца и опорной платы, при этом тяга выполнена в виде гибкого стержня со сферическими головками, одна из которых концентрична сферической поверхности опорной пяты, а вторая соединена с пружиной, один конец которой жестко связан с оправой, а на другом закреплен установочный винт.Known from the description of the USSR author's certificate No. 943626 (the description was published on July 15, 1982) a device for attaching a large-sized mirror in a frame and a method for attaching it. The known device contains one Central support and at least 3 supports, each of which is made in the form of a support heel glued to the rear surface of the mirror, connected to the frame with the possibility of movement along its surface using traction, a spring, a set screw and a ball bearing made in the form of a flange rigidly connected to the frame, a ring with a spherical surface, the concentric surface of the base plate, two separators with holes in which balls are located located between the flat surfaces of the flange and the ring and between the spherical surfaces of the ring and the base plate, while the thrust is made in the form of a flexible rod with spherical heads, one of which is concentric with the spherical surface of the base heel, and the second is connected to a spring, one end of which is rigidly connected to the frame, and is fixed to the other set screw.
Способ крепления зеркала с помощью вышеописанного устройства включает в себя следующие операции: выбирают количество и место расположения опор, в состав которых входят опорные пяты, и определяют необходимость применения разгрузок зеркала, далее приклеивают к тыльной стороне зеркала опорные пяты, которые располагают равномерно по окружности, соединяют зеркало с центральной опорой, а потом монтируют на оправе шаровую опору и с помощью тяги, сферические головки которой контактируют с коническими поверхностями опорной пяты и вкладыша, соединяют зеркало через шаровую опору и пластинчатую пружину с оправой, для чего один конец пластинчатой пружины жестко соединяют с оправой, а на другом с помощью резьбовой втулки и гайки закрепляют установочный винт, с помощью которого регулируют усилие пружины.The method of mounting the mirror using the above-described device includes the following operations: choose the number and location of the supports, which include support heels, and determine the need for the unloading of the mirror, then stick the support heels, which are evenly spaced around the circumference, to connect a mirror with a central support, and then mount the ball bearing on the frame and with the help of a rod, the spherical heads of which are in contact with the conical surfaces of the support heel and insert, with Dinh mirror through a ball bearing and a leaf spring with a rim to which one end of the leaf spring are rigidly connected to the rim, and the other using a threaded bushing and a nut fixed set screw, by which the spring force is adjusted.
Недостатками известных конструкции и способа являются: сложность, большие габариты и вес, наличие дорогостоящей монтажной регулировки усилий поджатая зеркала, а также то, что опоры, расположенные со стороны тыльной поверхности зеркала и выполненные в виде сложного сборного двухслойного подшипникового узла, не обладают достаточной жесткостью и не могут обеспечить однозначного углового положения зеркала относительно оправы при длительной эксплуатации.The disadvantages of the known design and method are: complexity, large dimensions and weight, the presence of expensive mounting adjustment of the forces of the pre-tensioned mirror, as well as the fact that the supports located on the back side of the mirror and made in the form of a complex prefabricated two-layer bearing assembly do not have sufficient rigidity and cannot provide an unambiguous angular position of the mirror relative to the frame during prolonged use.
Также из предшествующего уровня техники известны два варианта способа и устройства крепления крупногабаритного зеркала оптико-механического устройства в оправе (патент RU 2528970, опублик. 10.05.2014). Они выбраны в качестве ближайших аналогов заявляемому изобретению.Also, two variants of the method and device for mounting a large-sized mirror of an optical-mechanical device in a frame (patent RU 2528970, published. 05/10/2014) are known from the prior art. They are selected as the closest analogues of the claimed invention.
Первый вариант известного способа крепления крупногабаритного зеркала в оправе включает определение расчетным путем мест крепления и требуемого количества опор, в состав которых входят опорные пяты, приклеиваемые к тыльной поверхности зеркала, определение необходимости применения разгрузок зеркала, установку оправы с центральной опорой в рабочее положение, соединение зеркала и опорных пят с оправой, при этом в качестве опорных пят используют постоянные магниты, которые примагничивают либо непосредственно на выбранные места оправы, либо, при необходимости применения разгрузок зеркала, на элементы разгрузки, которые предварительно соединяют с оправой при помощи шарниров, после чего поверхность магнитов, обращенную к тыльной стороне зеркала, покрывают клеем, а затем осуществляют соединение зеркала с центральной опорой и магнитами путем наложения зеркала до соприкосновения с магнитами при центрировании зеркала по центральной опоре.The first variant of the known method of mounting a large-sized mirror in the frame includes determining by calculation the mounting points and the required number of supports, which include support heels glued to the rear surface of the mirror, determining the need for unloading the mirror, installing the frame with the central support in the working position, connecting the mirror and supporting heels with a frame, while permanent magnets are used as supporting heels, which magnetize either directly to the selected places of the frame, for, if it is necessary to use the unloading of the mirror, on the unloading elements, which are previously connected to the frame using hinges, after which the surface of the magnets facing the back of the mirror is covered with glue, and then the mirror is connected to the central support and magnets by applying the mirror until it touches with magnets when centering the mirror on a central support.
Второй вариант известного способа крепления крупногабаритного зеркала оптико-механического устройства в оправе включает определение расчетным путем мест крепления и требуемого количества опор, в состав которых входят опорные пяты, приклеиваемые к тыльной поверхности зеркала, определение необходимости применения разгрузок зеркала, установку оправы в рабочее положение, соединение опор и зеркала с оправой, - опоры, в состав которых входят опорные пяты, дополнительно размещают на боковой поверхности зеркала, для чего определяют расчетным путем места их крепления и требуемое количество, при этом в качестве всех опорных пят используют постоянные магниты, которые примагничивают на выбранные места оправы со стороны боковой поверхности зеркала, а со стороны тыльной поверхности их примагничивают, либо непосредственно на выбранные места оправы, либо при необходимости применения разгрузок зеркала на элемент разгрузки, который предварительно соединяют с оправой при помощи шарнира, после чего поверхность магнитов, обращенную к зеркату, покрывают клеем, а затем осуществляют соединение зеркала с магнитами путем наложения и поджатая зеркала до соприкосновения со всеми магнитам.The second variant of the known method of fastening a large-sized mirror of an optical-mechanical device in a frame includes determining by calculation the attachment points and the required number of supports, which include support heels glued to the rear surface of the mirror, determining the need for unloading the mirror, setting the frame in working position, connecting supports and mirrors with a frame, - supports, which include support heels, are additionally placed on the side surface of the mirror, for which m by the place of their fastening and the required number, while all supporting heels use permanent magnets that magnetize to selected points of the frame from the side of the side surface of the mirror, and from the side of the back surface they are magnetized, either directly to selected places of the frame, or if necessary application of unloading the mirror onto the unloading element, which is previously connected to the frame using a hinge, after which the surface of the magnets facing the mirror is coated with glue, and then union of a mirror with a magnet and preloaded by applying a mirror to the contact with all of the magnets.
Первый вариант известного устройства крепления крупногабаритного зеркала в оправе содержит центральную опору и не менее 3-х периферийных опор, каждая из которых включает в себя приклеенную к тыльной поверхности зеркала опорную пяту, соединенную с оправой с возможностью перемещения относительно нее, при этом в качестве опорных пят использованы постоянные магниты, выполненные из редкоземельных материалов и установленные либо с примыканием к оправе, которая в этом случае полностью или частично в зоне размещения магнитов выполнена из ферромагнитного материала, либо к элементам разгрузки, шарнирно соединенным с оправой и выполненным из ферромагнитного материала, при этом к каждому элементу разгрузки примыкает не менее 2-х магнитов, общее количество которых кратно 3-м, причем в качестве элементов разгрузки использованы равноплечие рычаги-коромысла, либо треугольники.The first variant of the known device for attaching a large-sized mirror in the frame contains a central support and at least 3 peripheral supports, each of which includes a support heel glued to the rear surface of the mirror, connected to the frame with the possibility of movement relative to it, while as supporting heels permanent magnets are used, made of rare-earth materials and installed either adjacent to the frame, which in this case is completely or partially in the magnet placement area made of fer of magnetic material, or to unloading elements pivotally connected to a frame and made of ferromagnetic material, with at least 2 magnets adjacent to each unloading element, the total number of which is a multiple of 3, moreover, equal arms levers-rockers are used as unloading elements or triangles.
Второй вариант известного устройства крепления крупногабаритного зеркала оптико-механического устройства в оправе содержит не менее трех опор, каждая из которых включает в себя приклеенную к тыльной поверхности зеркала опорную пяту, соединенную с оправой с возможностью перемещения относительно оправы, кроме того устройство дополнительно включает не менее двух опор, выполненных также в виде опорных пят, но приклеенных к боковой поверхности зеркала, при этом в качестве опорных пят использованы постоянные магниты, которые выполнены из редкоземельных материалов и установлены либо все с примыканием к оправе, которая в этом случае полностью или частично в зоне размещения магнитов выполнена из ферромагнитного материала, либо при необходимости применения разгрузок зеркала магниты, установленные с тыльной стороны зеркала, примыкают к элементу разгрузки, в качестве которого использован либо равноплечий рычаг-коромысло, либо треугольник, шарнирно соединенный с оправой, при этом элемент разгрузки выполнен из ферромагнитного материала, и к каждому элементу разгрузки примыкает не менее двух магнитов, причем общее количество магнитов, расположенных со стороны тыльной поверхности зеркала, кратно трем.The second variant of the known device for attaching a large-sized mirror of an optical-mechanical device in a frame contains at least three supports, each of which includes a support heel glued to the rear surface of the mirror connected to the frame with the possibility of movement relative to the frame, in addition, the device further includes at least two supports, also made in the form of supporting heels, but glued to the side surface of the mirror, while permanent magnets made of p of earth materials and either everything is installed adjacent to the frame, which in this case is completely or partially in the magnet placement area made of ferromagnetic material, or if it is necessary to use the unloading of the mirror, the magnets mounted on the back of the mirror are adjacent to the unloading element, which is used as either an equal arm lever-rocker, or a triangle pivotally connected to the frame, while the discharge element is made of ferromagnetic material, and to each discharge element is adjacent t least two magnets, the total number of magnets arranged side rear surface of the mirror, a multiple of three.
Известные варианты способов и устройств простыми методами позволяют получить надежное безлюфтовое закрепление зеркал ОПУ мобильного оптико-механического комплекса, отказаться от дорогостоящей монтажной регулировки усилий поджатий зеркала, снизить деформации оптических элементов при монтаже и в эксплуатации и тем самым улучшить качественные показатели оптического излучения, уменьшить габариты и вес конструкции транспортабельного опорно-поворотного устройства.Known variants of methods and devices by simple methods make it possible to obtain reliable backlash-free mounting of OPU mirrors of a mobile optical-mechanical complex, refuse from expensive mounting adjustment of the mirror preload forces, reduce the deformation of optical elements during installation and operation, and thereby improve the quality of optical radiation, reduce dimensions and design weight of transportable slewing ring.
Однако ближайшие аналоги имеют недостатки, которые связаны с ограничением на размеры зеркал и углов их установки в пространстве. При увеличении габаритов, при углах близких к вертикали, площади магнитных опорных пят, расположенных на боковых поверхностях зеркала, будет недостаточно без принятия дополнительных конструктивных мер по уменьшению деформаций зеркала, вызванных локальными перегрузками по боковым граням. Приклеивание магнита непосредственно к зеркалу ограничивает применение клеевых составов горячего отверждения, т.к. самые распространенные низкотемпературные неодимовые магниты не допускается нагревать до температуры выше 75°С, поскольку происходит их необратимое размагничивание, что серьезно ограничивает номенклатуру используемых клеев и прочность склеивания зеркала и магнита. Каждая марка редкоземельных магнитов имеет вполне определенный коэффициент температурного линейного расширения (КТЛР), заданный структурой и химическим составом. Магнитные материалы анизотропны, в зависимости от направления намагничивания, и не ко всем материалам зеркал подходят одинаково хорошо. Кроме того, для «отрицательных» и «положительных» углов расположения зеркал в пространстве, относительно центра Земли, необходимо, в каждом случае, разрабатывать оригинальные конструкции оправ, что в нашем случае вдвое увеличивает их номенклатуру.However, the closest analogues have disadvantages that are associated with a restriction on the size of mirrors and their installation angles in space. With an increase in size, at angles close to vertical, the area of the magnetic supporting heels located on the side surfaces of the mirror will not be sufficient without additional structural measures to reduce the deformation of the mirror caused by local overloads along the side faces. Gluing the magnet directly to the mirror limits the use of hot cure adhesives, as the most common low-temperature neodymium magnets are not allowed to be heated to temperatures above 75 ° C, since they are irreversibly demagnetized, which seriously limits the range of adhesives used and the bonding strength of the mirror and magnet. Each brand of rare-earth magnets has a well-defined coefficient of temperature linear expansion (KTLR), given the structure and chemical composition. Magnetic materials are anisotropic, depending on the direction of magnetization, and not all mirror materials are equally well suited. In addition, for the "negative" and "positive" angles of the mirrors in space, relative to the center of the Earth, it is necessary, in each case, to develop original designs of frames, which in our case doubles their nomenclature.
Техническим результатом заявляемого изобретения является снижение механических деформаций крупногабаритного зеркала, как при его монтаже, так и в процессе эксплуатации, повышение стабильности положения зеркала относительно оправы, тем самым, повышение качественных характеристик оптического тракта всей установки, в которой зеркало применяется.The technical result of the claimed invention is to reduce the mechanical deformations of a large-sized mirror, both during its installation and during operation, increasing the stability of the position of the mirror relative to the frame, thereby improving the quality of the optical path of the entire installation in which the mirror is used.
Указанный технический результат достигается за счет того, что в соответствии с первым вариантом известного способа крепления крупногабаритного зеркала оптико-механического устройства в оправе, включающего установку с тыльной поверхности зеркала центральной опоры и периферийных магнитных опор, для чего определяют расчетным путем места крепления, размер и требуемое количество магнитных опор, в состав которых входят опорные пяты, которые приклеивают к поверхности зеркала, определение необходимости применения разгрузок зеркала, установку оправы с центральной опорой в рабочее положение и соединение зеркала с оправой, новым является то, что магнитные опоры выполняют в виде составного узла, в который кроме опорной пяты, изготовленной из ферромагнитного материала, входит постоянный магнит из редкоземельного материала, который размещают в сформированном в оправе или разгрузочном элементе, или вставке посадочном месте, при этом процесс соединения зеркала с опорами начинают с приклеивания опорных пят магнитных опор, затем осуществляют установку зеркала в оправу и перевод его в рабочее положение путем наложения и поджатая зеркала до соприкосновения и примагничивания опорных пят магнитных опор с магнитами и оправой или элементом разгрузки при центрировании зеркала по центральной опоре.The specified technical result is achieved due to the fact that, in accordance with the first embodiment of the known method of mounting a large-sized mirror of an optical-mechanical device in a frame, including installing from the rear surface of the mirror the central support and peripheral magnetic supports, for which the attachment points, size and required are calculated by calculation the number of magnetic supports, which include support heels that are glued to the surface of the mirror, determining the necessity of using the unloading of the mirror, is established The taste of the frame with the central support in the working position and the connection of the mirror with the frame, it is new that the magnetic supports are made in the form of a composite unit, which, in addition to the support foot made of ferromagnetic material, includes a permanent magnet of rare-earth material, which is placed in the the frame or the unloading element, or insert the seat, while the process of connecting the mirror to the supports begins by gluing the support heels of the magnetic supports, then the mirror is mounted in the frame and the translation a first operating position and preloaded by applying mirrors to contact and support toe Magnet of magnetic poles with magnets and a rim element or unloading when centering the mirror along the central support.
Указанный технический результат достигается также за счет того, что в соответствии со вторым вариантом известного способа крепления крупногабаритного зеркала оптико-механического устройства в оправе, включающего соединение зеркала с опорами и оправой и установкой его в рабочее положение, для чего определяют расчетным путем места крепления, размер и требуемое количество магнитных опор, предназначенных для размещения на тыльной поверхности зеркала и опор, предназначенных для размещения на боковых поверхностях зеркала, определяют необходимость применения разгрузок зеркала, процесс соединения зеркала с магнитными опорами включает приклеивание опорных пят, входящих в состав этих опор, новым является то, что магнитные опоры выполняют в виде составного узла, в который кроме опорной пяты, изготовленной из ферромагнитного материала, входит постоянный магнит из редкоземельного материала, который размещают в посадочном месте, сформированном в оправе или разгрузочном элементе, или вставке, а в качестве опоры, предназначенной для размещения на боковой поверхности зеркала, используют рычаг-балку или саму оправу, на которых формируют опорные площадки, при этом процесс соединения зеркала с опорами начинают с приклеивания опорных пят магнитных опор, затем осуществляют установку зеркала в оправу и перевод его в рабочее положение путем наложения и поджатия зеркала до соприкосновения и примагничивания опорных пят магнитных опор с магнитами и оправой или элементом разгрузки и опирания на опорную площадку боковой поверхностью зеркала.The specified technical result is also achieved due to the fact that, in accordance with the second embodiment of the known method of mounting a large-sized mirror of an optical-mechanical device in a frame, including connecting the mirror with supports and the frame and setting it in the working position, for which the attachment points are determined by calculation, size and the required number of magnetic supports intended to be placed on the rear surface of the mirror and supports intended to be placed on the side surfaces of the mirror are determined The applicability of mirror unloading, the process of connecting the mirror to magnetic supports involves gluing the support heels that make up these supports, it is new that the magnetic supports are made in the form of a component assembly, which, in addition to the support heel made of ferromagnetic material, includes a permanent magnet from rare earth material, which is placed in a seat formed in the frame or unloading element, or insert, and as a support intended to be placed on the side surface of the mirror, is used they use a beam lever or the frame itself, on which support platforms are formed, and the process of connecting the mirror with the supports begins by gluing the support heels of the magnetic supports, then the mirror is mounted in the frame and put into working position by applying and preloading the mirror until it touches and magnetizes supporting heels of magnetic supports with magnets and a frame or an element of unloading and resting on the supporting platform with the side surface of the mirror.
Указанный технический результат достигается также за счет того, что в соответствии со вторым вариантом известного способа крепления крупногабаритного зеркала оптико-механического устройства в оправе, включающего соединение зеркала с опорами и оправой и установкой его в рабочее положение, для чего определяют расчетным путем места крепления, размер и требуемое количество магнитных опор, предназначенных для размещения на тыльной и боковых поверхностях зеркала, определяют необходимость применения разгрузок зеркала, процесс соединения зеркала с магнитными опорами, предназначенными для размещения на тыльной поверхности зеркала, включает приклеивание опорных пят, входящих в состав опор, новым является то, что магнитные опоры выполняют в виде составного узла, в который кроме опорной пяты, изготовленной из ферромагнитного материала, входит постоянный магнит из редкоземельного материала, который размешают в посадочном месте, сформированном в оправе или разгрузочном элементе, или вставке, процесс соединения зеркала с опорами начинают с приклеивания всех опорных пят, установку зеркала в оправу и перевод его в рабочее положение осуществляют путем наложения и поджатия зеркала до соприкосновения и примагничивания с магнитами всех опорных пят и оправы.The specified technical result is also achieved due to the fact that, in accordance with the second embodiment of the known method of mounting a large-sized mirror of an optical-mechanical device in a frame, including connecting the mirror with supports and the frame and setting it in the working position, for which the attachment points are determined by calculation, size and the required number of magnetic supports designed to be placed on the rear and side surfaces of the mirror, determine the need to use the unloading of the mirror, the connection process Mirrors with magnetic poles designed to be placed on the rear surface of the mirror include gluing the supporting heels that make up the poles; it is new that the magnetic poles are made in the form of a component assembly, which, in addition to the supporting heel made of ferromagnetic material, includes a permanent magnet of rare-earth material, which is placed in a seat formed in the frame or unloading element, or insert, the process of connecting the mirror with the supports begins by gluing all the supporting heels, installed Patent Application mirror frame and transfer it into the working position is carried out by overlapping and compression of the mirror to the ground and with magnets Magnet all reference frames and toe.
Указанный технический результат достигается также за счет того, что в соответствии с первым вариантом известного устройства крепления крупногабаритного зеркала оптико-механического устройства в оправе, содержащего центральную опору и не менее трех периферийных магнитных опор, включающих приклеенные к тыльной поверхности зеркала опорные пяты, которые соединены с оправой силами магнитного сцепления с возможностью перемещения относительно ее, при необходимости применения элементов разгрузки зеркала, опорные пяты соединены силами магнитного сцепления с элементами разгрузки с возможностью перемещения относительно них, новым является то, что опорные пяты магнитных опор выполнены из ферромагнитного материала, коэффициент объемного расширения которого соответствует коэффициенту объемного расширения материала зеркала, постоянный магнит из редкоземельного материала, входящий в состав магнитной опоры, выполнен в виде отдельного элемента, размещен в посадочном месте, сформированном в оправе или элементе разгрузки или вставке, скрепленной с оправой или элементом разгрузки.The specified technical result is also achieved due to the fact that in accordance with the first embodiment of the known device for mounting a large-sized mirror of an optical-mechanical device in a frame containing a central support and at least three peripheral magnetic supports, including support heels glued to the rear surface of the mirror, which are connected to the frame by magnetic cohesion with the ability to move relative to it, if necessary, use the unloading elements of the mirror, the supporting heels are connected by coupling with unloading elements with the ability to move relative to them, it is new that the supporting heels of the magnetic supports are made of ferromagnetic material, the coefficient of volume expansion of which corresponds to the coefficient of volume expansion of the material of the mirror, a permanent magnet of rare-earth material, which is part of the magnetic support, is made in in the form of a separate element, placed in a seat formed in the frame or unloading element or insert fastened to the frame or unloading element dressing.
Указанный технический результат достигается также за счет того, что в соответствии со вторым вариантом известного устройства крепления крупногабаритного зеркала оптико-механического устройства в оправе, содержащего не менее одной опоры, установленной на боковой поверхности зеркала, и не менее трех магнитных опор, включающих приклеенные к тыльной поверхности зеркала опорные пяты, которые соединены с оправой силами магнитного сцепления с возможностью перемещения относительно ее, при необходимости применения элементов разгрузки зеркала, опорные пяты соединены силами магнитного сцепления с элементами разгрузки с возможностью перемещения относительно них, новым является то, что опорные пяты магнитных опор выполнены из ферромагнитного материала, коэффициент объемного расширения которого соответствует коэффициенту объемного расширения материала зеркала, постоянный магнит из редкоземельного материала, входящий в состав магнитной опоры, выполнен в виде отдельного элемента, размещен в посадочном месте, сформированном в оправе или элементе разгрузки или вставке, скрепленной с оправой или элементом разгрузки, в качестве опоры, установленной на боковой поверхности зеркала, используют конструктивно совмещенную с оправой рычаг-балку или непосредственно оправу с формированием на них опорных поверхностей, на которых размещены эластичные деформируемые прокладки.The specified technical result is also achieved due to the fact that in accordance with the second embodiment of the known device for mounting a large-sized mirror of an optical-mechanical device in a frame containing at least one support mounted on the side surface of the mirror and at least three magnetic supports, including glued to the back the surface of the mirror supporting heels that are connected to the frame by magnetic adhesion with the possibility of movement relative to it, if necessary, use the elements of the unloading of the mirror la, the support heels are connected by magnetic cohesion with the unloading elements with the possibility of movement relative to them, new is that the support heels of the magnetic supports are made of ferromagnetic material, the coefficient of volume expansion of which corresponds to the coefficient of volume expansion of the material of the mirror, a permanent magnet of rare-earth material included in the composition of the magnetic support, made in the form of a separate element, is placed in a seat formed in the frame or element of unloading or insert, fasten flush with the frame or the unloading element, as a support mounted on the side surface of the mirror, a beam-beam or directly the frame is used structurally combined with the frame with the formation of support surfaces on which elastic deformable gaskets are placed.
Указанный технический результат достигается также за счет того, что в соответствии со вторым вариантом известного устройства крепления крупногабаритного зеркала оптико-механического устройства в оправе, содержащего не менее двух магнитных опор, установленных на боковой поверхности зеркала, и не менее трех магнитных опор, установленных на тыльной поверхности зеркала, включающих приклеенные к тыльной поверхности зеркала опорные пяты, которые соединены с оправой силами магнитного сцепления с возможностью перемещения относительно ее, а при необходимости применения элементов разгрузки зеркала, опорные пяты соединены силами магнитного сцепления с элементами разгрузки с возможностью перемещения относительно них, новым является то, что опорные пяты всех магнитных опор выполнены из ферромагнитного материала, коэффициент объемного расширения которого соответствует коэффициенту объемного расширения материала зеркала, постоянный магнит из редкоземельного материала, входящий в состав магнитной опоры, выполнен в виде отдельного элемента, размещен в посадочном месте, сформированном в оправе или элементе разгрузки, или вставке.The specified technical result is also achieved due to the fact that in accordance with the second embodiment of the known device for mounting a large-sized mirror of an optical-mechanical device in a frame containing at least two magnetic supports mounted on the side surface of the mirror, and at least three magnetic supports mounted on the rear the surface of the mirror, including supporting heels glued to the rear surface of the mirror, which are connected to the frame by magnetic adhesion with the possibility of movement relative to it, and if it is necessary to use mirror unloading elements, the support heels are connected by magnetic adhesion forces with the unloading elements with the possibility of moving relative to them, it is new that the support heels of all magnetic supports are made of ferromagnetic material, the volume expansion coefficient of which corresponds to the coefficient of volume expansion of the mirror material, permanent magnet of rare-earth material, which is part of the magnetic support, made in the form of a separate element, placed in a seat, lined in a frame or an unloading element, or an insert.
Для всех вариантов заявляемых устройств:For all variants of the claimed devices:
Оправа или элемент разгрузки в зоне размещения магнита могут быть выполнены из ферромагнитного материала.The frame or the unloading element in the magnet placement zone may be made of ferromagnetic material.
Вставки, установленные в оправе или разгрузочном элементе, могут быть выполнены из ферромагнитного материала в форме стакана, в котором размещают магнит.The inserts installed in the frame or discharge element can be made of ferromagnetic material in the form of a glass in which the magnet is placed.
Разгрузочные элементы могут быть выполнены в виде шарнирных балок или пластин.Unloading elements can be made in the form of articulated beams or plates.
Разгрузочные элементы могут быть выполнены равноплечими и/или неравноплечими.The unloading elements can be performed with equal arms and / or unequal arms.
Суммарная площадь поверхности постоянных магнитов может быть выбрана из соотношения 1/20…1/250 от площади поверхности зеркала.The total surface area of the permanent magnets can be selected from a ratio of 1/20 ... 1/2 of the surface area of the mirror.
Постоянные магниты могут быть выполнены в форме диска, толщина которого выбрана из соотношения 1/2…1/20 его диаметра.Permanent magnets can be made in the form of a disk, the thickness of which is selected from the
Опорные пяты могут быть выполнены в форме диска, одна поверхность которого плоская, а другая - выпуклая.Supporting heels can be made in the form of a disk, one surface of which is flat and the other is convex.
На примыкающую к опорным пятам поверхность постоянного магнита может быть нанесена смазка или антифрикционное покрытие.The surface of the permanent magnet adjacent to the reference heels may be coated with a lubricant or anti-friction coating.
Для второго варианта заявляемого устройства: Опорная поверхность рычага-балки может быть снабжена неметаллическим покрытием, через которое она контактирует с боковой поверхностью зеркала.For the second variant of the claimed device: The supporting surface of the beam arm can be provided with a non-metallic coating through which it contacts the side surface of the mirror.
Рычаг-балка может быть соединена с оправой с помощью регулируемого винта со сферической головкой.The beam arm can be connected to the frame using an adjustable screw with a spherical head.
Выполнение опорных пят из ферромагнитного материала, которые наклеивают на тыльную поверхность зеркала в точках, оптимальных с точки зрения минимума деформаций от воздействия собственного веса или нагрузок зеркала, возникающих при эксплуатации, позволяет не применять крепление-поджим по краям зеркала и, соответственно, избавиться от изгибных напряжений и значительной деформации зеркала, даже при небольших усилиях поджатия, возникающих от смещения опорной пяты относительно места приложения поджимающей силы.The implementation of the support foot of the ferromagnetic material, which is glued to the rear surface of the mirror at points that are optimal from the point of view of minimum deformations from the influence of its own weight or the loads of the mirror that occur during operation, allows not to use fastening-pressing along the edges of the mirror and, accordingly, get rid of bending stresses and significant deformation of the mirror, even with small compressive forces arising from the displacement of the supporting heel relative to the place of application of the compressive force.
Выполнение магнитных опор зеркала в виде составного узла, в который входит опорная пята из ферромагнитного материала с определенным коэффициентом объемного расширения и в виде отдельного элемента постоянный магнит из редкоземельного материала позволяет снизить требования к системе автоматической юстировки и системе коррекции волнового фронта установки. Кроме того, заявляемые устройства позволяют применять одни и те же технические решения для большого количества углов пространственного расположения зеркала, вне зависимости от того, «лежит» зеркало на опорах или «висит» на них, что позволяет вдвое снизить номенклатуру разрабатываемых оправ и зеркал многоканальной, многокаскадной установки.The implementation of the magnetic support of the mirror in the form of a composite unit, which includes a support point made of ferromagnetic material with a certain coefficient of volume expansion and as a separate element, a permanent magnet made of rare-earth material can reduce the requirements for the automatic alignment system and the installation wavefront correction system. In addition, the inventive devices allow the use of the same technical solutions for a large number of angles of the spatial arrangement of the mirror, regardless of whether the mirror "lies" on the supports or "hangs" on them, which allows to halve the range of developed frames and mirrors multi-channel, multi-stage installation.
Выполнение отдельного элемента магнитной опоры из постоянного магнита, который размещают в сформированном для этого посадочном месте, обеспечивает безлюфтовое и беззазорное поджатие, точнее притягивание зеркала к опорной поверхности, или поверхностям, независимо от температуры, положения в пространстве, времени и любых других условий.The implementation of a separate element of the magnetic support from a permanent magnet, which is placed in the seat formed for this, provides clearance-free and clearance-free compression, more precisely, the attraction of the mirror to the supporting surface, or surfaces, regardless of temperature, position in space, time and any other conditions.
При наклонах или опрокидывании оптического элемента необходимо, чтобы суммарное усилие магнитов в заданном направлении превышало вес зеркала на заданную величину. Усилие, развиваемое магнитом в рабочем диапазоне температур практически постоянно в течение многих лет. Спеченные магниты обладают низким по сравнению с конструкционной сталью коэффициентом температурного расширения и высокой жесткостью. При любых углах наклона или поворота зеркала при данном способе закрепления мы имеем высокостабильное положение зеркала относительно оправы и, соответственно, рамы в которой эта оправа установлена. При больших перепадах температур сдвиговые напряжения, возникающие от различия коэффициентов линейного расширения материала зеркала и (или) оправы, в которую оно установлено, автоматически компенсируются, при проскальзывании магнита относительно опорных пят, тем самым, снижая деформацию оптической поверхности. Для уменьшения сил трения скольжения магнита относительно ферромагнитной подложки и лучшей компенсации температурных деформаций, сопрягаемые поверхности магнита и опорной пяты должны иметь минимальную шероховатость. Их лучше отполировать. При необходимости, возможно использование пластичной смазки, а также применение антифрикционного материала в виде пленки, фольги или тонкостенного стакана, в который вставляется или вклеивается магнит.When tilting or tipping over the optical element, it is necessary that the total force of the magnets in a given direction exceed the weight of the mirror by a predetermined amount. The force developed by the magnet in the operating temperature range is almost constant for many years. Sintered magnets have a low coefficient of thermal expansion compared to structural steel and high rigidity. At any angle of inclination or rotation of the mirror with this method of fixing, we have a highly stable position of the mirror relative to the frame and, accordingly, the frame in which this frame is installed. At large temperature differences, shear stresses arising from the difference in the linear expansion coefficients of the mirror material and (or) the frame in which it is installed are automatically compensated when the magnet slips relative to the supporting heels, thereby reducing the deformation of the optical surface. In order to reduce the sliding friction forces of the magnet relative to the ferromagnetic substrate and better compensate for temperature deformations, the mating surfaces of the magnet and the support heel should have a minimum roughness. They are better polished. If necessary, it is possible to use grease, as well as the use of anti-friction material in the form of a film, foil or thin-walled cup into which a magnet is inserted or glued.
Проскальзывание магнита вклеенного во вставку в форме стакана оправы или разгрузочного элемента относительно опор зеркала обеспечивает температурную компенсацию и сводит к минимуму деформацию зеркала, связанную с перепадом температур, и в тоже время обеспечивает однозначное, безлюфтовое положение зеркала относительно оправы в процессе эксплуатации.The slip of the magnet glued into the insert in the form of a barrel of a frame or an unloading element relative to the mirror supports provides temperature compensation and minimizes the deformation of the mirror associated with a temperature difference, and at the same time provides an unambiguous, backlash-free position of the mirror relative to the frame during operation.
На фиг. 1, 2, 3 схематично изображены варианты заявляемых устройств, которые также поясняют соответствующие варианты заявляемых способов. На фиг. 1 - первый вариант, на фиг 2 - второй вариант, на фиг. 3 - третий вариант. На фиг. 4 и 5 изображены крепление магнитных опор при использовании в конструкции разгрузочных элементов. При этом приняты следующие обозначения: 1 - зеркало; 2 - оправа; 3 - пята магнитной опоры; 4 - магнит; 5 - центральная опора; 6 - балка разгрузки; 7 - нижняя опора шарнирная самоустанавливающаяся; 8 - нижняя опорная площадка; 9 - боковая опора шарнирная самоустанавливающаяся с соответствующей опорной площадкой; 10 - стакан ферромагнитный.In FIG. 1, 2, 3 schematically depict variants of the claimed devices, which also explain the corresponding variants of the claimed methods. In FIG. 1 is a first embodiment; FIG. 2 is a second embodiment; FIG. 3 - the third option. In FIG. 4 and 5 show the fastening of magnetic supports when used in the design of unloading elements. The following notation is accepted: 1 - mirror; 2 - frame; 3 - heel of the magnetic support; 4 - magnet; 5 - central support; 6 - unloading beam; 7 - lower support hinged self-aligning; 8 - lower supporting platform; 9 - lateral support articulated with a corresponding supporting platform; 10 - a ferromagnetic glass.
Примером конкретного выполнения первого варианта заявляемого устройства, поясняющего также заявляемый способ по первому варианту, может служить устройство крепления крупногабаритного зеркала из ситалла (или кварца) в оправе мобильного опорно-поворотного устройства с помощью центральной опоры и группы магнитных опор, расположенных на периферии по тыльной поверхности зеркала. Центральная опора выполнена в виде мембраны толщиной 0.5 мм. и диаметром 145 мм, которая с помощью винтов закреплена к кольцу из супеинвара, вкленного в гнездо диаметром 150 мм и глубиной 50 мм, выполненное на тыльной поверхности зеркала. В требуемых местах на тыльной поверхности зеркала приклеены 6 цилиндрических опорных пят из суперинвара диаметром 35 мм и толщиной 5 мм, которые с помощью цилиндрических неодимовых магнитов диаметром 30 мм и высотой 10 мм примагничиваются к трем рычагам-коромыслам - элементам разгрузки. Процесс соединения зеркала 1 с опорами 3, 4 и 5 начинают с приклеивания опорных пят 3 магнитных опор, затем центральную опору 5 прикрепляют к оправе 2, осуществляют установку зеркала 1 в оправу 2 и переводят его в рабочее положение путем наложения и поджатия зеркала 1 до соприкосновения и примагничивания опорных пят 3 магнитных опор с магнитами 4 и оправой 2 или элементом разгрузки 6 при центрировании зеркала по центральной опоре 5. Таким образом, боковую составляющую веса зеркала воспринимает оправа через мембрану центральной опоры, а вертикальную составляющую воспринимают магнитные опоры, закрепленные непосредственно на оправе, либо через рычаги разгрузки, если они применяются. Центральная опора совместно с магнитными опорами обеспечивают надежное безлюфтовое закрепление зеркала при его транспортировке, рабочих наклонах и поворотах в трех взаимно перпендикулярных плоскостях.An example of a specific implementation of the first embodiment of the inventive device, which also explains the inventive method according to the first embodiment, can be a device for attaching a large mirror made of glass (or quartz) in the frame of a mobile slewing ring using a central support and a group of magnetic supports located on the periphery of the rear surface mirrors. The central support is made in the form of a membrane with a thickness of 0.5 mm. and a diameter of 145 mm, which is screwed to a ring made of a super-invar, inserted into a socket with a diameter of 150 mm and a depth of 50 mm, made on the rear surface of the mirror. In the required places on the rear surface of the mirror, 6 cylindrical support heels are glued from a superinvar with a diameter of 35 mm and a thickness of 5 mm, which are magnetized with three neodymium magnets with a diameter of 30 mm and a height of 10 mm to three rocker arms - unloading elements. The process of connecting the
Примером конкретного выполнения второго варианта заявляемого устройства, которое поясняет заявляемый способ по второму варианту, является устройство крепления зеркала транспортировки лазерного излучения к оправе. Оправа может иметь предохранительные пластины, расположенные по краям зеркала и установленные с зазором к нему, но предохраняющие от выпадения зеркала в случае нештатной или аварийной ситуации. Оправа может быть соединена с внешней несущей рамой с помощью сферического или упругого шарнира и упругой тяги, или являться частью карданной оправы, внутренняя рамка которой соединена с внешней с помощью подшипников качения или скольжения, и юстироваться по двум координатам с помощью моторных или ручных подвижек.An example of a specific implementation of the second variant of the inventive device, which explains the inventive method according to the second embodiment, is a device for mounting a mirror for transporting laser radiation to the frame. The frame can have safety plates located at the edges of the mirror and installed with a gap to it, but protecting them from falling out of the mirror in case of an emergency or emergency. The frame can be connected to an external supporting frame using a spherical or elastic hinge and elastic traction, or be part of a gimbal frame, the internal frame of which is connected to the external using rolling or sliding bearings, and adjusted in two coordinates using motor or manual movements.
Крепление зеркала 1 (фиг. 2) на оправе 2 осуществляют с помощью группы-комплекта из шести опорных пят 3, выполненных из ферромагнитного материала, имеющего коэффициент объемного расширения менее чем 1×10-6 1/°С, соответствующий коэффициенту объемного расширения материала ситаллового или кварцевого зеркала. Пяты 3 наклеены на нерабочую, тыльную поверхность зеркала 1. шесть постоянных дисковых магнитов 4 вклеены в гнезда ферромагнитных стаканов 10 (фиг. 5), закрепленных на концах трех балок разгрузки 6. Нижняя торцевая поверхность зеркала опирается на неметаллические опорные площадки 8 (фиг. 2), приклеенные с определенным шагом к нижней самоустанавливающейся опоре 7. При установке зеркала под ʺсложнымʺ пространственным углом, когда все грани зеркала находятся под углами к горизонтали, соответствующая боковая поверхность зеркала также опирается дополнительно на опорные площадки, приклеенные к боковой самоустанавливающейся опоре 9 (фиг. 2). При снижении требований к оптическим характеристикам зеркала, а также небольшой нагрузке на опорные площадки 8, т.е. при углах близких к горизонтали, возможно сформировать эти опорные площадки непосредственно на оправе, без применения самоустанавливающихся опор. При выполнение зеркала из ситалла или кварца, опорные пяты 3 выполняют из инвара или суперинвара, в случае изготовления зеркала из стекла К8, К108 их выполняют из ковара. Опорная пята имеет цилиндрическую форму диаметром 35 мм, высотой 5 мм. Одна грань опоры выполнена плоской, другая - сферической радиусом 250 мм. Редкоземельный (неодим-железо-бор) магнит 4 имеет цилиндрическую форму, диаметром 30 мм, высотой 10 мм, обеспечивает усилие на отрыв в этих условиях более 15 кг. Процесс соединения зеркала 1 с опорами 3, 4, 7 и 9 начинают с приклеивания опорных пят 3 магнитных опор, затем осуществляют установку зеркала 1 в оправу 2 и перевод его в рабочее положение путем наложения и поджатия зеркала 1 до соприкосновения и примагничивания опорных пят 3 магнитных опор с магнитами 4 и оправой 1 или элементом разгрузки 6 и до опирания боковой поверхности зеркала опорных площадок 8 на самоустанавливаюшихся опорах 7 и 9.The
Примером конкретного выполнения третьего варианта заявляемого устройства может служить устройство крепления крупногабаритного зеркала из ситалла (кварца) в оправе мобильного опорно-поворотного устройства (см. фиг. 3). На тыльной поверхности зеркала приклеены 3 цилиндрические пяты из суперинвара диаметром 30 мм и толщиной 3 мм. От боковой цилиндрической поверхности зеркала отрезаны два симметричных сегмента. На одной из этих полученных поверхностей также приклеены две цилиндрические пяты. Еще одна пята приклеена на боковой поверхности зеркала снизу перпендикулярно к ним. Места расположения опор определены расчетом путем. Зеркало, с приклеенными к нему ферромагнитными опорами, примагничивается к оправе или к элементам разгрузки с помощью шести цилиндрических редкоземельных магнитов диаметром 25 мм и толщиной 5 мм, которые приклеенных к оправе аксиально опорам. Опоры совместно с магнитами обеспечивают надежное безлюфтовое закрепление зеркала при его транспортировке, рабочих наклонах и поворотах в 3 взаимно перпендикулярных плоскостях. Процесс соединения зеркала 1 с опорами 3 и 4 начинают с приклеивания всех опорных пят 3, установку зеркала 1 в оправу 2 и перевод ею в рабочее положение осуществляют путем наложения и поджатия зеркала 1 до соприкосновения и примагничивания с магнитами 4 всех опорных пят 3 и оправы 2.An example of a specific implementation of the third variant of the claimed device can be a device for mounting a large mirror of glass (quartz) in the frame of a mobile slewing ring (see Fig. 3). On the rear surface of the
Для всех заявляемых вариантов выбор места расположения магнитов 4 и их количество определяется, в первую очередь, из условий расчетной минимизации деформаций зеркала 1, а также минимального смещения его относительно оправы 2, и монтажной рамы в которой оправа установлена, под действием собственного веса и возникающих в процессе эксплуатации нагрузок. Оправа обладает высокой жесткостью и обеспечивает минимальный прогиб и надежную фиксацию зеркала под действием собственного веса и веса зеркала под воздействием прилагаемых в процессе эксплуатации нагрузок. Приклеивание ферромагнитных опорных пят 3 на поверхность зеркала 1, а также магнитов 4 в ферромагнитный стакан 10 и опорных площадок 8 к самоустанавливающимся опорам 7 и 9 или непосредственно к оправе 2 осуществляют заблаговременно, по отношению к остальным этапам процесса сборки, или, при необходимости, выбирается вариант технологического процесса склейки компенсирующий погрешности прилегания сопрягаемых деталей, за счет толщины клеевого шва. Лучшими по сочетанию свойств качество - цена на сегодняшний день для решения поставленной задачи являются спеченные магниты группы Ne-Fe- В (неодим-железо-бор). Постоянные магниты 4 обеспечивают поджатие и притягивание зеркала 1 к заданной опорной поверхности, независимо от условий эксплуатации. Рабочая температура магнита 4 в местах склейки не должна превышать температуру в 75°С. При наклонах или опрокидывании зеркала 1 суммарное усилие магнитов 4 в заданном направлении вдвое превышает вес зеркала. При больших перепадах температур сдвиговые напряжения, возникающие от различия коэффициентов линейного расширения материала зеркала 1 и оправы 2, автоматически компенсируются при проскальзывании магнита 4, тем самым, снижая деформацию оптической поверхности. Для уменьшения сил трения скольжения магнита 4 относительно оправы 2 из ферромагнитного материала и лучшей компенсации температурных деформаций, сопрягаемые поверхности магнита 4 и оправы могут быть отполированы и смазаны антифрикционным материалом. Проскальзывание магнита 4 относительно оправы обеспечивает также безлюфтовое положение зеркала 1 в процессе эксплуатации оправы, поскольку пяты 3 наклеивают на поверхность зеркала в точках оптимальных с точки зрения минимума деформаций, возникающих от воздействия собственного веса или нагрузок зеркала, возникающих при эксплуатации. При этом не требуется крепления-поджима по краям зеркала и, соответственно, нет изгибных напряжений и значительной деформации зеркала даже при небольших усилиях поджатия, возникающих от смещения опорной площадки относительно места приложения поджимающей силы. В нашем случае, место приложения удерживающей силы соответствует месту расположения опорной площадки и изгибные напряжения от смещения отсутствуют. Ферромагнитная пята 3, магнит 4 и ферромагнитный стакан 10 расположены коаксиально. Незначительное (в пределах 1 мм) отклонение от соосности магнитов и опорных пят практически не влияет на усилие отрыва магнитной опоры. Для компенсации неточности изготовления элементов оправы 2 и зеркала 1 размеры магнита 4 при этом лучше сделать меньшими, чем размеры элементов, входящих в магнитное сцепление, для исключения появления усилий сдвига. Отрыв пяты 3 от зеркала 1 или магнита 4 от ферромагнитного стакана 10 исключен при правильном подборе клеящего состава. Клей требуется достаточно эластичный, а размеры магнита 4 должны быть существенно меньше размеров оптической детали. Причем оптимальной является форма пяты 3 и магнита 4 в виде диска. Тогда влияние самой опоры и клеевого шва при изменении условий эксплуатации, например изменении влажности или температуры, практически не будет сказываться на оптическом качестве самого зеркала из-за малых размеров опоры относительно размеров зеркала Слой клея должен быть достаточно тонким. Толстый слой эластичного клея уменьшает жесткость соединения зеркало-опора-оправа соответственно уменьшается жесткость и стабильность - важные качественные характеристики оптического тракта системы транспортировки. К тому же даже очень тонкого слоя клея (в несколько микрон) достаточно, чтобы компенсировать локальные микронеровности прилегающих поверхностей зеркала и пяты. Поверхности, прилегающей к магниту, лучше придать слегка сферическую форму, тогда при микродеформациях пяты 3, магнита 4 и рычагов разгрузки, на которых установлено зеркало, неизбежных при изменении температуры, наклонах или повороте, угловое положение зеркала относительно опоры не меняется.For all the claimed options, the choice of the location of the
Заявляемые способы и устройства крепления обеспечивают высокую жесткость и долговременную стабильность положения рабочего зеркала и позволяют:The inventive mounting methods and devices provide high rigidity and long-term stability of the position of the working mirror and allow:
- снизить механические деформации крупногабаритного оптического элемента, как при его монтаже, так и в процессе работы, тем самым, повысить качественные характеристики оптического тракта всей установки, что позволяет снизить требования к системе коррекции волнового фронта;- reduce mechanical deformation of a large optical element, both during installation and during operation, thereby improving the quality characteristics of the optical path of the entire installation, which reduces the requirements for the wavefront correction system;
- повысить точность перемещений и разрешающую способность элементов системы юстировки силового оптического тракта;- increase the accuracy of movements and the resolution of the elements of the alignment system of the power optical path;
- увеличить точность и жесткость установки рабочего элемента- зеркала, как во время юстировки, так и после ее проведения и отключения приводов системы юстировки, независимо от времени;- increase the accuracy and rigidity of the installation of the working element-mirrors, both during the adjustment, and after it and disconnecting the drives of the adjustment system, regardless of time;
- уменьшить стоимость, габариты и вес оправ зеркал системы транспортировки лазерного излучения;- reduce the cost, dimensions and weight of the frames of the mirrors of the laser transportation system;
- снизить требования к системе автоматической юстировки;- reduce the requirements for an automatic adjustment system;
- расширить температурный диапазон использования установки;- expand the temperature range of the installation;
- провести унификацию конструкции оправ транспортных зеркал, сделать их универсальными для большого количества углов их расположения, без существенного ухудшения характеристик оптического тракта.- to unify the design of the frames of the transport mirrors, to make them universal for a large number of angles of their location, without significantly degrading the characteristics of the optical path.
- уменьшить искажения профиля рабочей поверхности оптического элемента, как в горизонтальном положении, так и во всем диапазоне рабочих углов, добиться качественного повышения характеристик силового оптического тракта - снижения астигматизма и комы транспортной системы и всей установки в целом;- to reduce the distortion of the profile of the working surface of the optical element, both in a horizontal position and in the entire range of working angles, to achieve a qualitative increase in the characteristics of the power optical path - to reduce astigmatism and coma of the transport system and the entire installation as a whole;
- увеличить точность и жесткость установки рабочих элементов- зеркал транспортировки лазерного излучения, независимо от времени, повысить точность слежения и разрешающую способность системы автоматической юстировки- increase the accuracy and rigidity of the installation of the working elements - mirrors for the transportation of laser radiation, regardless of time, increase the tracking accuracy and resolution of the automatic alignment system
-уменьшить стоимость, габариты и вес установки;-decrease the cost, dimensions and weight of the installation;
- упростить конструкцию, отказаться от дорогостоящей монтажной регулировки усилий поджатия зеркала, снизить себестоимость узла крепления;- to simplify the design, abandon the costly mounting adjustment of the efforts of preloading the mirror, reduce the cost of the mount;
Предлагаемый способ крепления оптических элементов позволяет сделать «плавающее» крепление крупногабаритного зеркала ОПУ с развязкой на 6, 9 и более точек, т.е. в нашем случае опорных площадок - магнитных и немагнитных. Причем в отличие от существующих способов сделать это существенно дешевле и надежнее.The proposed method of mounting optical elements allows you to make a "floating" mount large-sized mirrors of the OPU with isolation of 6, 9 or more points, i.e. in our case, the reference sites - magnetic and non-magnetic. Moreover, unlike existing methods to do this, it is much cheaper and more reliable.
Используя магнитную систему закрепления оптических элементов появляется возможность провести конструктивную унификацию оправ системы транспортировки Л.И. при высоких требованиях к качеству оптического тракта и достаточно больших размерах зеркала, независимо от того «лежит» зеркало на опорах или «висит» на них. В любом случае зеркало с наклеенными в нужных местах опорами конструктивно опирается на оправу, (при небольших размерах), или на систему балок разгрузки (при установке, например, на 6 точек) или жестких треугольных пластин (при установке на 9 точек), а середины пластин- балок через шарнир (лучше упругий шарнир) опираются на оправу. В случае, если зеркало находиться ниже оправы, т.е. «висит» на ней, и удерживается магнитами, вклеенными в рычаги разгрузки. В случае если зеркало лежит на оправе - магниты не обязательны, хотя могут присутствовать, для уменьшения неконтролируемых перемещений зеркала относительно оправы в процессе эксплуатации.Using a magnetic system for fixing optical elements, it becomes possible to constructively unify the frames of the transportation system L.I. with high demands on the quality of the optical path and the sufficiently large size of the mirror, regardless of whether the mirror “lies” on the supports or “hangs” on them. In any case, the mirror with supports glued in the right places is structurally supported by the frame (for small sizes), or by a system of unloading beams (when installed, for example, at 6 points) or rigid triangular plates (when installed at 9 points), and the middle the beam plates through the hinge (preferably an elastic hinge) rest on the frame. In case the mirror is below the frame, i.e. “Hangs” on it, and is held by magnets glued to the unloading levers. If the mirror lies on the frame - magnets are not required, although they may be present, to reduce uncontrolled movements of the mirror relative to the frame during operation.
Благодаря своим преимуществам способ и устройство крепления найдут применение в системах транспортировки лазерного излучения мощных лазерных установок и систем, а также для закрепления крупногабаритных оптических элементов, установленных в подвижных оправах отведения лазерного излучения на диагностику или опорно-поворотных устройств.Due to its advantages, the mounting method and device will be used in laser transportation systems of powerful laser systems and systems, as well as for fixing large-sized optical elements installed in movable frames of the laser radiation for diagnostics or slewing devices.
На ряд оправ, выполненных по заявляемым способу и устройству крепления зеркала, разработаны 3D-модели, на основе которых проведены расчеты деформаций основных элементов конструкции и оптических элементов - зеркал. На варианта оправ, для зеркал, установленных под углом 45 градусов к горизонту, разработан комплект конструкторской документации. Изготовлены опытные экземпляры нескольких типов этих оправ с разгрузкой. Продолжается выпуск КД на оправы для зеркал с разгрузкой для других углов и условий закрепления для системы транспортировки Л.И.For a number of frames made according to the claimed method and device for mounting the mirror, 3D models have been developed, based on which deformations of the main structural elements and optical elements - mirrors are calculated. On the option of frames, for mirrors installed at an angle of 45 degrees to the horizon, a set of design documentation has been developed. Prototypes of several types of these frames were manufactured with unloading. The production of CD for frames for mirrors with unloading for other angles and fixing conditions for the transportation system continues.
Применение заявляемого изобретения позволит снизить требования к системе автоматической юстировки и системе коррекции волнового фронта установки. Кроме того, заявляемые устройства позволяют применять одну и ту же конструкцию опор для большого количества углов пространственного расположения зеркала, вне зависимости от того, «лежит» зеркало на опорах или «висит» на них, что позволяет вдвое снизить номенклатуру разрабатываемых оправ и зеркал многоканальной, многокаскадной установки. Это позволяет сделать универсальным конструкцию узлов крепления и существенно снизить себестоимость, как системы транспортировки, так и всей установки в целом. Упрощение монтажа крупногабаритных зеркал в оправу, при «автоматическом» выравнивании напряжений, обеспечиваемых конструкцией, для большого числа вариантов расположения зеркал в пространстве, при отсутствии сложных и дорогостоящих регулировок разгрузочных устройств, которые при заданных требованиях по точности должны контролироваться с помощью широкоапертурного интерферометра, позволит обеспечить существенный выигрыш по времени и стоимости монтажа сложной многоканальной лазерной установки.The use of the claimed invention will reduce the requirements for the automatic alignment system and the correction system of the wavefront of the installation. In addition, the inventive devices allow the use of the same design of supports for a large number of angles of the spatial arrangement of the mirror, regardless of whether the mirror "lies" on the supports or "hangs" on them, which allows to halve the range of developed frames and mirrors multi-channel, multi-stage installation. This allows you to make universal the design of the attachment points and significantly reduce the cost of both the transportation system and the entire installation as a whole. Simplification of the installation of large-sized mirrors in the frame, with the "automatic" equalization of stresses provided by the design, for a large number of options for the location of the mirrors in space, in the absence of complex and costly adjustments of the unloading devices, which, given the accuracy requirements, must be controlled using a wide-aperture interferometer, will allow Significant gain in time and cost of installation of a complex multi-channel laser installation.
Claims (31)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017130453A RU2661049C1 (en) | 2017-08-28 | 2017-08-28 | Method and device for mounting large-size mirror of optical-mechanical device in holder (versios) |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017130453A RU2661049C1 (en) | 2017-08-28 | 2017-08-28 | Method and device for mounting large-size mirror of optical-mechanical device in holder (versios) |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2661049C1 true RU2661049C1 (en) | 2018-07-11 |
Family
ID=62916918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017130453A RU2661049C1 (en) | 2017-08-28 | 2017-08-28 | Method and device for mounting large-size mirror of optical-mechanical device in holder (versios) |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2661049C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2727320C1 (en) * | 2019-11-11 | 2020-07-21 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Holder for fastening of large-size element of optical-mechanical installation (versions) |
| RU2748827C1 (en) * | 2020-10-27 | 2021-05-31 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) | Frame for non-deformational high-precision installation of optical parts |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1545184A1 (en) * | 1988-05-17 | 1990-02-23 | Пензенский Политехнический Институт | Arrangement for fixing optical elements |
| RU2237268C1 (en) * | 2003-01-13 | 2004-09-27 | Открытое акционерное общество "Консорциум "Космическая регата" | Expanding mirror reflector |
| RU2528970C2 (en) * | 2012-10-31 | 2014-09-20 | Федеральное Государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр-всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ" | Method of mounting large-size mirror of optical-mechanical device in holder (versions) and mounting device (versions) |
| CN106772921A (en) * | 2017-01-26 | 2017-05-31 | 西安应用光学研究所 | A kind of microstress adhesive asserably method for heavy caliber scanning reflection mirror |
-
2017
- 2017-08-28 RU RU2017130453A patent/RU2661049C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1545184A1 (en) * | 1988-05-17 | 1990-02-23 | Пензенский Политехнический Институт | Arrangement for fixing optical elements |
| RU2237268C1 (en) * | 2003-01-13 | 2004-09-27 | Открытое акционерное общество "Консорциум "Космическая регата" | Expanding mirror reflector |
| RU2528970C2 (en) * | 2012-10-31 | 2014-09-20 | Федеральное Государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр-всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ" | Method of mounting large-size mirror of optical-mechanical device in holder (versions) and mounting device (versions) |
| CN106772921A (en) * | 2017-01-26 | 2017-05-31 | 西安应用光学研究所 | A kind of microstress adhesive asserably method for heavy caliber scanning reflection mirror |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2727320C1 (en) * | 2019-11-11 | 2020-07-21 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Holder for fastening of large-size element of optical-mechanical installation (versions) |
| RU2748827C1 (en) * | 2020-10-27 | 2021-05-31 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) | Frame for non-deformational high-precision installation of optical parts |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Kihm et al. | Adjustable bipod flexures for mounting mirrors in a space telescope | |
| RU2661049C1 (en) | Method and device for mounting large-size mirror of optical-mechanical device in holder (versios) | |
| US7715129B2 (en) | Method for aligning and assembling two lens pieces, and a machine to accomplish this task | |
| CN107450146B (en) | A kind of high-precision heavy-caliber lens flexible supporting device | |
| CN107329225B (en) | Side standing lens group and mounting method thereof | |
| US8857265B2 (en) | System and method for aligning a test article with a load | |
| JPH0696216B2 (en) | Positioning device | |
| EP1720068A1 (en) | Highly reproducible positioning low torque mirror-actuator interface | |
| WO2007016413A2 (en) | Method for aligning and assembling two lens pieces, and a machine to accomplish this task | |
| CN111624729B (en) | Fast reflector | |
| CN112946852B (en) | Primary and secondary mirror system adjustment method | |
| JP2015079221A (en) | Optical element support device and adjustment method of optical element support device | |
| USRE46564E1 (en) | Kinematic optical device mount | |
| Civitani et al. | IXO x-ray mirrors based on slumped glass segments with reinforcing ribs: optical and mechanical design, image error budget, and optics unit integration process | |
| Cayrel et al. | ELT optomechanics: construction status | |
| RU2528970C2 (en) | Method of mounting large-size mirror of optical-mechanical device in holder (versions) and mounting device (versions) | |
| EP0357748B1 (en) | Apparatus and method for the strain-free mounting of optical components | |
| Doel et al. | Assembly, alignment, and testing of the DECam wide field corrector optics | |
| US11150439B2 (en) | Bi-metal optical mount | |
| CN107831584B (en) | Composite support structure, support and adjustment method of large-aperture reflector | |
| CN115728905A (en) | Reflector surface shape regulating and controlling device | |
| EP0276900B1 (en) | Apparatus and method for aligning two surfaces | |
| Chan et al. | Mounting and alignment of IXO mirror segments | |
| TWI669549B (en) | Connecting arrangement for a lithography system | |
| CN111221095A (en) | Space optical remote sensor |