RU2660621C1 - Vibration frequency gauge of absolute pressure - Google Patents

Vibration frequency gauge of absolute pressure Download PDF

Info

Publication number
RU2660621C1
RU2660621C1 RU2017132223A RU2017132223A RU2660621C1 RU 2660621 C1 RU2660621 C1 RU 2660621C1 RU 2017132223 A RU2017132223 A RU 2017132223A RU 2017132223 A RU2017132223 A RU 2017132223A RU 2660621 C1 RU2660621 C1 RU 2660621C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
housing
resonator
axis
symmetry
vibration frequency
Prior art date
Application number
RU2017132223A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Василий Николаевич Перебатов
Дмитрий Михайлович Хованов
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом")
Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный Ядерный Центр - Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Технической Физики имени академика Е.И. Забабахина" (ФГУП "РФЯЦ-ВНИИТФ им. академ. Е.И. Забабахина")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом"), Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный Ядерный Центр - Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Технической Физики имени академика Е.И. Забабахина" (ФГУП "РФЯЦ-ВНИИТФ им. академ. Е.И. Забабахина") filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом")
Priority to RU2017132223A priority Critical patent/RU2660621C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2660621C1 publication Critical patent/RU2660621C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/10—Measuring force or stress, in general by measuring variations of frequency of stressed vibrating elements, e.g. of stressed strings

Abstract

FIELD: measuring equipment.
SUBSTANCE: invention relates to the field of measuring technology, namely to devices for measuring the pressure of rarefaction. Claimed vibration frequency absolute pressure sensor comprises a cover with a fitting closing the housing within which the sensing element is disposed, a vibrating frequency element comprising a support base, a rectangular section resonator and a power transmission rod transmitting a force from the sensing element, and an electromagnetic system of excitation and removal of oscillations, consisting of an electromagnet-driver and an electromagnet-adapter and interacting with a terminal block with the current leads installed in it, the internal volume of the body is sealed, while the axis of symmetry of the vibrating frequency element coincides with the axis of symmetry of the resonator, in the axial direction enclosed between two additional masses, made with them for a single whole and interfaced with the support base through the elastic beam suspension, separated through an acoustic decoupling from sectors providing a combination of a vibrating frequency element with respect to the housing and the sensing element, the sensing element being made in the form of a diaphragm installed in the housing with the help of a clamp so that the axis of rotation of the diaphragm coincides with the axis of symmetry of the resonator, and the internal volume of the housing is evacuated.
EFFECT: technical result consists in increasing the accuracy of the conversion and increasing the sensitivity while maintaining the overall characteristics and a given level of reliability due to the arrangement of the resonator of the vibration frequency element perpendicular and coaxial to the plane of the diaphragm, made in the form of a flat membrane, as well as by introducing an acoustic isolation in the form of microscales into the design of the vibration frequency element, designed to reduce the energy losses of the mechanical vibrations of the resonator as a result of contact with the sensor housing.
1 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к устройствам для измерения давления разрежения.The invention relates to the field of measuring equipment, and in particular to devices for measuring vacuum pressure.

Известен частотный датчик давления [а.с. СССР №1675705, МПК5 G01L 11/00, опубликовано 07.09.1991 г.], содержащий корпус, внутри которого расположены воспринимающий элемент, виброчастотный элемент и постоянные магниты, внутренний объем корпуса герметизирован. Воспринимающий элемент выполнен в виде мембраны с установленными на ней стойками, между которыми закреплен виброчастотный элемент - измерительная струна. Введены две дополнительные стойки, между которыми закреплена дополнительная опорная струна. Место закрепления измерительной и опорной струн выполнено путем спаивания металлических струн в стекле с втулками, выполненными из материала с малым температурным коэффициентом линейного расширения.Known frequency pressure sensor [and.with. USSR No. 1675705, IPC 5 G01L 11/00, published on 09/07/1991], comprising a housing, inside which there is a receiving element, a vibration frequency element and permanent magnets, the internal volume of the housing is sealed. The sensing element is made in the form of a membrane with racks installed on it, between which a vibration frequency element is fixed - a measuring string. Two additional posts have been introduced, between which an additional support string is fixed. The fixing point of the measuring and supporting strings is made by soldering metal strings in glass with bushings made of a material with a low temperature coefficient of linear expansion.

Указанный частотный датчик давления обладает повышенной погрешностью преобразования за счет заделки струны в стойках при помощи стеклометаллических соединений, при которых возникает гистерезис девиации частоты выходного сигнала, что приводит к снижению точности преобразования.The specified frequency pressure sensor has an increased conversion error due to embedment of the strings in the stands using glass-metal compounds, in which there is a hysteresis of the frequency deviation of the output signal, which reduces the accuracy of the conversion.

Известен датчик давления с частотным выходом [п. РФ №2026540, МПК6 G01L 11/00, опубликован 09.01.1995 г.], содержащий корпус, внутри которого расположены воспринимающий элемент, виброчастотный элемент, содержащий резонатор прямоугольного сечения, и система возбуждения и съема колебаний; внутренний объем корпуса герметизирован. Воспринимающий элемент выполнен в виде плоских идентичных мембран. Резонатор жестко соединен с центрами мембран, имеющих одинаковые характеристики. Корпус мембраны и резонатор выполнены за одно целое из единой металлической заготовки.Known pressure sensor with frequency output [p. RF №2026540, IPC 6 G01L 11/00, published on 01/01/1995], comprising a housing inside which there is a receiving element, a vibration frequency element containing a rectangular resonator, and a system of excitation and removal of vibrations; the internal volume of the housing is sealed. The sensing element is made in the form of flat identical membranes. The resonator is rigidly connected to the centers of the membranes having the same characteristics. The membrane housing and the resonator are made in one piece from a single metal billet.

Недостатком приведенной конструкции виброчастотного элемента является пониженная чувствительность за счет отсутствия дополнительных масс, соединенных с резонатором, в результате чего часть энергии механических колебаний резонатора передается сопрягаемым мембранам в виду их малой массы и жесткости.The disadvantage of the design of the vibration frequency element is the reduced sensitivity due to the absence of additional masses connected to the resonator, as a result of which part of the energy of the mechanical vibrations of the resonator is transferred to the mating membranes due to their low mass and rigidity.

Известен частотный датчик давления [а.с. СССР №666446, МПК2 G01L 1/10, G01L 11/00, опубликовано 05.06.1979 г.], содержащий крышку со штуцером, закрывающую корпус, внутри которого расположены воспринимающий элемент, виброчастотный элемент, содержащий опорное основание, резонатор прямоугольного сечения и силопередающий шток, передающий усилие от воспринимающего элемента, и электромагнитная система возбуждения и съема колебаний, состоящая из электромагнита-возбудителя и электромагнита-адаптера и взаимодействующая с контактной колодкой с установленными в ней токовыводами. С целью повышения надежности работы при измерении высоких давлений воспринимающий элемент выполнен в виде эластичной мембраны с цилиндрическим выступом в центральной ее части, обращенным в сторону камеры давления, а отношение диаметра выступа к диаметру отверстия втулки составляет D/d=1,1/1,5, где D - диаметр выступа, d - диаметр отверстия втулки. Мембрана выполнена в виде опрокинутого стакана, на дне центральной части которого сформирован выступ, предотвращающий чрезмерный прогиб мембраны и как следствие ее разрушение.Known frequency pressure sensor [and.with. USSR No. 666446, IPC 2 G01L 1/10, G01L 11/00, published on 06/05/1979], containing a cover with a fitting that covers the housing, inside which there is a receiving element, a vibration frequency element containing a support base, a rectangular section and a power transmitting a rod transmitting force from the sensing element, and an electromagnetic system of excitation and removal of vibrations, consisting of an electromagnet exciter and an electromagnet adapter and interacting with a terminal block with current leads installed in it. In order to increase the reliability of operation when measuring high pressures, the receiving element is made in the form of an elastic membrane with a cylindrical protrusion in its central part facing the pressure chamber, and the ratio of the diameter of the protrusion to the diameter of the sleeve bore is D / d = 1.1 / 1.5 where D is the diameter of the protrusion, d is the diameter of the hole of the sleeve. The membrane is made in the form of an overturned glass, on the bottom of the central part of which a protrusion is formed, which prevents excessive deflection of the membrane and, as a consequence, its destruction.

Недостатком известного устройства является снижение чувствительности к воздействующему давлению за счет выполнения мембраны в виде опрокинутого стакана, в значительной степени увеличивающее жесткость мембраны за счет образования жесткого центра. Также к снижению чувствительности ведет увеличенная жесткость подвесов резонатора за счет использования в конструкции рычагов.A disadvantage of the known device is the decrease in sensitivity to the acting pressure due to the implementation of the membrane in the form of an overturned glass, which significantly increases the rigidity of the membrane due to the formation of a rigid center. Also, increased rigidity of the resonator suspensions due to the use of levers in the design leads to a decrease in sensitivity.

Данный частотный датчик давления принимается за прототип как наиболее близкий по технической сущности к заявляемому.This frequency pressure sensor is taken as a prototype as the closest in technical essence to the claimed.

Задачей, на решение которой направлено заявляемое изобретение, является повышение чувствительности и точности преобразования.The problem to which the invention is directed, is to increase the sensitivity and accuracy of conversion.

Технический результат, на достижение которого направлено заявляемое изобретение, заключается в повышении точности преобразования и увеличении чувствительности при сохранении габаритных характеристик и заданного уровня надежности за счет расположения резонатора виброчастотного элемента перпендикулярно и соосно плоскости диафрагмы, выполненной в виде плоской мембраны, а также за счет введения в конструкцию виброчастотного элемента акустической развязки в виде микропазов, предназначенной для снижения потерь энергии механических колебаний резонатора в результате контакта с корпусом датчика.The technical result to which the claimed invention is directed is to increase the conversion accuracy and increase sensitivity while maintaining overall characteristics and a given level of reliability due to the location of the resonator of the vibrating frequency element perpendicularly and coaxially to the plane of the diaphragm made in the form of a flat membrane, and also due to the introduction of design of a vibration frequency acoustic decoupling element in the form of micro-grooves designed to reduce mechanical energy losses cavity oscillations as a result of contact with the sensor housing.

Указанный технический результат достигается тем, что вибрационный датчик абсолютного давления содержит крышку со штуцером, закрывающую корпус, внутри которого расположены воспринимающий элемент, виброчастотный элемент, содержащий опорное основание, резонатор прямоугольного сечения и силопередающий шток, передающий усилие от воспринимающего элемента, и электромагнитная система возбуждения и съема колебаний, состоящая из электромагнита-возбудителя и электромагнита-адаптера и взаимодействующая с контактной колодкой с установленными в ней токовыводами, внутренний объем корпуса герметизирован, согласно изобретению, ось симметрии виброчастотного элемента совпадает с осью симметрии резонатора, в осевом направлении заключенного между двумя дополнительными массами, выполненного с ними за единое целое и сопряженного с опорным основанием через упругие балочные подвесы, отделенным через акустическую развязку от секторов, обеспечивающих совмещение виброчастотного элемента относительно корпуса и воспринимающего элемента, при этом воспринимающий элемент выполнен в виде диафрагмы, установленной в корпусе при помощи прижима так, что ось вращения диафрагмы совпадает с осью симметрии резонатора, причем внутренний объем корпуса вакуумирован.The specified technical result is achieved by the fact that the vibration absolute pressure sensor contains a cover with a fitting that closes the housing, inside of which there is a receiving element, a vibration frequency element containing a support base, a rectangular cavity and a power transmitting rod transmitting force from the receiving element, and an electromagnetic excitation system and oscillation removal, consisting of an electromagnet exciter and an electromagnet adapter and interacting with a terminal block with an installed and in it with current leads, the internal volume of the housing is sealed, according to the invention, the axis of symmetry of the vibrating frequency element coincides with the axis of symmetry of the resonator, axially enclosed between two additional masses, made with them in a single unit and interfaced with the support base through elastic beam suspensions separated through acoustic isolation from sectors providing the combination of the vibrating element relative to the housing and the receiving element, while the receiving element is made in e diaphragm mounted in the housing by means of a clip so that the rotational axis of the aperture coincides with the symmetry axis of the resonator, wherein the housing interior volume is evacuated.

Выполнение вибрационного датчика абсолютного давления в виде виброчастотного элемента, ось симметрии которого совпадает с осью симметрии резонатора в осевом направлении, заключенного между двумя дополнительными массами, выполненного с ними за единое целое и сопряженного с опорным основанием через упругие балочные подвесы, отделенным через акустическую развязку от секторов, обеспечивающих совмещение виброчастотного элемента относительно корпуса и воспринимающего элемента, при этом воспринимающий элемент выполнен в виде диафрагмы, установленной в корпусе при помощи прижима так, что ось вращения диафрагмы совпадает с осью симметрии резонатора, причем внутренний объем корпуса вакуумирован, позволяет увеличить чувствительности при увеличении уровня надежности и сохранении габаритных характеристик.The implementation of the vibration absolute pressure sensor in the form of a vibratory frequency element, the axis of symmetry of which coincides with the axis of symmetry of the resonator in the axial direction, enclosed between two additional masses, made with them as a whole and mated with the supporting base through elastic beam suspensions, separated through acoustic isolation from the sectors providing a combination of the vibrating element relative to the housing and the receiving element, while the receiving element is made in the form of a diaphragm, installed in the housing by means of a clamp so that the axis of rotation of the diaphragm coincides with the axis of symmetry of the resonator, and the internal volume of the housing is evacuated, it allows to increase the sensitivity while increasing the level of reliability and maintaining overall characteristics.

Наличие в заявляемом изобретении признаков, отличающих его от прототипа, позволяет считать его соответствующим условию «новизна».The presence in the claimed invention features that distinguish it from the prototype, allows us to consider it appropriate to the condition of "novelty."

Новые признаки, которые содержит отличительная часть формулы изобретения, не выявлены в технических решениях аналогичного назначения, на этом основании можно сделать вывод о соответствии заявляемого изобретения условию «изобретательский уровень».New features that contain a distinctive part of the claims are not identified in technical solutions for a similar purpose, on this basis we can conclude that the claimed invention meets the condition of "inventive step".

Изобретение иллюстрируется чертежами:The invention is illustrated by drawings:

на фиг. 1 представлен продольный разрез виброчастотного датчика абсолютного давления,in FIG. 1 shows a longitudinal section of a vibration frequency absolute pressure sensor,

на фиг. 2 - конструкция виброчастотного элемента.in FIG. 2 - design of the vibratory frequency element.

Виброчастотный датчик абсолютного давления содержит крышку 1 со штуцером 2, закрывающую корпус 3.Vibrational absolute pressure sensor contains a cover 1 with a fitting 2 that covers the housing 3.

Внутри корпуса 3 расположены воспринимающий элемент 4, виброчастотный элемент 5 и электромагнитная система возбуждения и съема колебаний.Inside the housing 3, there is a sensing element 4, a vibration frequency element 5, and an electromagnetic excitation and vibration removal system.

Воспринимающий элемент 4 выполнен в виде диафрагмы, установленной под крышкой 1 в корпусе 3 при помощи прижима 6. (фиг. 1)The sensing element 4 is made in the form of a diaphragm mounted under the cover 1 in the housing 3 by means of the clamp 6. (Fig. 1)

Виброчастотный элемент 5 состоит из опорного основания 7, отделенного акустической развязкой 8 от секторов 9, обеспечивающих точное совмещение виброчастотного элемента 5 относительно корпуса 3 и воспринимающего элемента 4, резонатора 10 прямоугольного сечения и силопередающего штока 11, передающего усилие от воспринимающего элемента 4. Ось симметрии резонатора 10 совпадает с осью симметрии виброчастотного элемента 5. Резонатор 10 в осевом направлении заключен между двумя плоскопараллельными упругими подвесами 12, каждый из которых состоит из расположенной на оси симметрии подвеса 12 дополнительной массы 13 в виде недеформируемого объема и не менее двух противолежащих относительно оси симметрии виброчастотного элемента 5 балок 14, сформированных таким образом, что один конец сопряжен с опорным основанием 7, а другой - с дополнительной массой 13 (фиг. 2).The vibrational frequency element 5 consists of a support base 7, separated by acoustic isolation 8 from sectors 9, providing an accurate combination of the vibrational frequency element 5 relative to the housing 3 and the receiving element 4, the rectangular resonator 10 and the power-transmitting rod 11, transmitting the force from the receiving element 4. The axis of symmetry of the resonator 10 coincides with the axis of symmetry of the vibration frequency element 5. The resonator 10 in the axial direction is enclosed between two plane-parallel elastic suspensions 12, each of which consists of located on the axis of symmetry of the suspension 12 of the additional mass 13 in the form of a non-deformable volume and at least two beams 14 opposite relative to the axis of symmetry of the vibro-frequency element 5, formed in such a way that one end is interfaced with the support base 7 and the other with the additional mass 13 (Fig. 2).

Электромагнитная система возбуждения и съема колебаний содержит электромагнит-возбудитель 15 и электромагнит-адаптер 16, установленные на кронштейне 17. Для обеспечения электрической связи электромагнитная система возбуждения и съема колебаний взаимодействует с вмонтированной в корпус 3 колодкой 18, в которой установлены токовыводы 19, электрически изолированные друг от друга и от колодки 18.The electromagnetic system of excitation and removal of vibrations contains an electromagnet exciter 15 and an electromagnet adapter 16 mounted on the bracket 17. To ensure electrical communication, the electromagnetic system of excitation and removal of vibrations interacts with a block 18 mounted in the housing 3, in which current outputs 19 are installed, electrically isolated from each other from a friend and from block 18.

В корпусе 3 выполнен штуцер 20 для откачки газов.In the housing 3, a fitting 20 is made for pumping gases.

Работает устройство следующим образом.The device operates as follows.

Внутренний объем датчика герметизируется при помощи штуцера 20 для откачки газов, при этом диафрагма 4 под действием атмосферного давления перемещается до посадки на корпус 3, тем самым нагружая резонатор 10. При создании давления в принимающей полости датчика, равного номинальному, диафрагма 4 отходит от корпуса 3 под действием сил упругих подвесов 12, изменяя силу нагружения резонатора 10 пропорционально величине преобразуемого давления. С изменением силы нагружения резонатора 10 происходит пропорциональное величине преобразуемого давления изменение частоты его собственных колебаний, регистрируемое электромагнитной системой. Таким образом, происходит преобразование изменения давления в девиацию частоты выходного сигнала.The internal volume of the sensor is sealed using a nozzle 20 for pumping gases, while the diaphragm 4 under the influence of atmospheric pressure moves before landing on the housing 3, thereby loading the resonator 10. When creating a pressure in the receiving cavity of the sensor equal to the nominal, the diaphragm 4 moves away from the housing 3 under the action of the forces of the elastic suspensions 12, changing the loading force of the resonator 10 in proportion to the magnitude of the converted pressure. With a change in the loading force of the resonator 10, a change in the frequency of its own vibrations proportional to the pressure being converted is detected by the electromagnetic system. Thus, the pressure change is converted to the frequency deviation of the output signal.

Таким образом, вышеизложенные сведения свидетельствуют о выполнении при использовании заявленного изобретения следующей совокупности условий:Thus, the above information indicates the fulfillment of the following set of conditions when using the claimed invention:

- средство, воплощающее заявленное изобретение при его осуществлении, предназначено для измерительной техники, а именно для устройств измерения давления разрежения;- a tool embodying the claimed invention in its implementation, is intended for measuring equipment, namely, devices for measuring pressure rarefaction;

- для заявленного устройства в том виде, как оно охарактеризовано в независимом пункте формулы изобретения, подтверждена возможность его осуществления;- for the claimed device in the form as it is described in the independent claim, the possibility of its implementation is confirmed;

- средство, воплощающее заявленное изобретение при осуществлении, способно обеспечить повышение точности преобразования.- a tool embodying the claimed invention in the implementation, is able to provide increased accuracy of the conversion.

Следовательно, заявленное изобретение соответствует условию «промышленная применимость».Therefore, the claimed invention meets the condition of "industrial applicability".

Claims (1)

Виброчастотный датчик абсолютного давления, содержащий крышку со штуцером, закрывающую корпус, внутри которого расположены воспринимающий элемент, виброчастотный элемент, содержащий опорное основание, резонатор прямоугольного сечения и силопередающий шток, передающий усилие от воспринимающего элемента, и электромагнитная система возбуждения и съема колебаний, состоящая из электромагнита-возбудителя и электромагнита-адаптера и взаимодействующая с контактной колодкой с установленными в ней токовыводами, внутренний объем корпуса герметизирован, отличающийся тем, что ось симметрии виброчастотного элемента совпадает с осью симметрии резонатора, в осевом направлении заключенного между двумя дополнительными массами, выполненного с ними за единое целое и сопряженного с опорным основанием через упругие балочные подвесы, отделенным через акустическую развязку от секторов, обеспечивающих совмещение виброчастотного элемента относительно корпуса и воспринимающего элемента, при этом воспринимающий элемент выполнен в виде диафрагмы, установленной в корпусе при помощи прижима так, что ось вращения диафрагмы совпадает с осью симметрии резонатора, причем внутренний объем корпуса вакуумирован.A vibration frequency absolute pressure sensor comprising a cover with a fitting covering the housing inside which the receiving element is located, a vibration frequency element containing a supporting base, a rectangular cavity and a power transmitting rod transmitting force from the receiving element, and an electromagnetic oscillation excitation and removal system consisting of an electromagnet of the pathogen and the electromagnet adapter and interacting with the terminal block with current outputs installed in it, the internal volume of the housing sealed, characterized in that the axis of symmetry of the vibrational frequency element coincides with the axis of symmetry of the resonator, in the axial direction enclosed between two additional masses, made with them in a single unit and mated with a support base through elastic beam suspensions, separated through acoustic decoupling from sectors providing alignment vibration frequency element relative to the housing and the sensing element, while the sensing element is made in the form of a diaphragm mounted in the housing using so that the axis of rotation of the diaphragm coincides with the axis of symmetry of the resonator, and the internal volume of the housing is evacuated.
RU2017132223A 2017-09-14 2017-09-14 Vibration frequency gauge of absolute pressure RU2660621C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017132223A RU2660621C1 (en) 2017-09-14 2017-09-14 Vibration frequency gauge of absolute pressure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017132223A RU2660621C1 (en) 2017-09-14 2017-09-14 Vibration frequency gauge of absolute pressure

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2660621C1 true RU2660621C1 (en) 2018-07-06

Family

ID=62815346

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017132223A RU2660621C1 (en) 2017-09-14 2017-09-14 Vibration frequency gauge of absolute pressure

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2660621C1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU666446A2 (en) * 1977-10-03 1979-06-05 Предприятие П/Я А-7451 Frequency-output pressure pick-up
SU1675705A1 (en) * 1989-09-04 1991-09-07 Предприятие П/Я А-1891 Oscillatory-type pressure transducer
RU2026540C1 (en) * 1991-07-09 1995-01-09 Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики Pressure gauge
US8015881B2 (en) * 2008-03-25 2011-09-13 Epson Toyocom Corporation Pressure sensor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU666446A2 (en) * 1977-10-03 1979-06-05 Предприятие П/Я А-7451 Frequency-output pressure pick-up
SU1675705A1 (en) * 1989-09-04 1991-09-07 Предприятие П/Я А-1891 Oscillatory-type pressure transducer
RU2026540C1 (en) * 1991-07-09 1995-01-09 Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики Pressure gauge
US8015881B2 (en) * 2008-03-25 2011-09-13 Epson Toyocom Corporation Pressure sensor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4922745A (en) Fluid transducer
KR100731821B1 (en) Gyroscopic sensor
US7779700B2 (en) Pressure sensor
US4098133A (en) Vibrating diaphragm fluid pressure sensor device
US9476710B2 (en) Axially symmetric Coriolis vibratory gyroscope (variants)
RU2511629C2 (en) Method and device for pressure measurement with use of filling pipe
EP2359115A1 (en) Method and apparatus for pressure measurement using quartz crystal
KR20030097874A (en) Accelerometer strain relief structure
US2800796A (en) Pressure measuring device
US3529470A (en) Force-transducers
JP2008232886A (en) Pressure sensor
US5969257A (en) Pressure measuring membrane with resonant element vibrating orthogonal to membrane movement
NO152713B (en) PRESSURE MEASURER USING VIBRERABLE TRAAD
RU2660621C1 (en) Vibration frequency gauge of absolute pressure
US10697844B2 (en) Compact pressure transducer
GB1228401A (en)
US20080257035A1 (en) Apparatus for Determining and/or Monitoring at Least One Process Variable
CN109461728B (en) Sealed cavity in packaged electronic clock generator
US20210348923A1 (en) Gyroscope
RU2309435C1 (en) Piezo-electric bending transformer with controllable resonance frequency
RU2518379C1 (en) Vibratory vacuum microgyroscope
CA1106639A (en) Vibrating diaphragm fluid pressure sensor device
RU2051348C1 (en) Differential frequency pressure transducer
SU951754A1 (en) Ultrasonic piezoelectric force pickup
SU1560997A1 (en) Transducer with frequency output signal