RU2659873C1 - Способ определения оптических констант пленок химически активных металлов или их сплавов - Google Patents
Способ определения оптических констант пленок химически активных металлов или их сплавов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2659873C1 RU2659873C1 RU2017117560A RU2017117560A RU2659873C1 RU 2659873 C1 RU2659873 C1 RU 2659873C1 RU 2017117560 A RU2017117560 A RU 2017117560A RU 2017117560 A RU2017117560 A RU 2017117560A RU 2659873 C1 RU2659873 C1 RU 2659873C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- optical
- glass
- films
- air
- Prior art date
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 20
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 title claims abstract description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 30
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 abstract description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 6
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000009102 absorption Effects 0.000 description 4
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 235000013861 fat-free Nutrition 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0641—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of polarization
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к способам оптико-физических измерений. Способ определения оптических констант пленок химически активных металлов или их сплавов включает измерения эллипсометрических параметров 
и 
пленки соответствующего металла или его сплава, предварительно нанесенной путем вакуумного напыления на подложку с последующим расчетом значений констант. Причем пленку толщиной 0,5-0,6 мкм наносят на внешнюю поверхность нижней грани треугольной 45-градусной призмы, выполненной из оптического стекла. При этом на наружную и боковую поверхность пленки наносят путем вакуумного напыления слой алюминия толщиной 0,5-1,0 мкм, а эллипсометрические параметры и 
определяют по формулам:
где 
, 
— экспериментально измеренные значения эллипсометрических параметров, 
— минимальная эллиптичность отраженного света при угле Брюстера 
, выражаемая как
где n0 =1 (воздух), n1 =1.51 (стекло), nсл, dсл– показатель преломления и толщина переходного слоя воздух - стекло соответственно. Технический результат заключается в возможности определения оптических постоянных тонких пленок химически активных металлов посредством метода эллипсометрии на воздухе. 2 ил.
Description
Изобретение относится к измерительной технике, к способам оптико-физических измерений, основанных на эллипсометрии, и предназначено для определения оптических констант пленок химически активных металлов и сплавов.
Известен способ определения оптических констант, авторы которого определяли оптические константы пленок Pr, Eu, Tm, полученных методом электронно-лучевого испарения. С использованием источника синхротронного излучения в видимом, ультрафиолетовом и мягком рентгеновском излучении были получены спектры пропускания и поглощения пленок РЗМ. Значения коэффициента поглощения k и показателя преломления n были рассчитаны с использованием закона Бугера-Ламберта-Бера и интегралов Крамерса-Кронига, соответственно. (M. Fernández-Perea , M. Vidal-Dasilva , J. A. Aznárez et al. Transmittance and optical constants of evaporated Pr, Eu and Tm films in the 4 − 1600 eV spectral range // Proc. SPIE, Advances in X-Ray/EUV Optics and Components III. 2008.Vol 7077, doi:10.1117/12.793740).
Однако недостатком известного способа является возможность исследования и измерения оптических свойств пленок только in-situ во избежание окисления образцов кислородом воздуха.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому техническому решению является способ измерения оптических констант металлического кальция с использованием эллипсометрии, который предварительно был напылен в вакууме на подложку в виде тонкой пленки (O. Hunderi “Optical properties of metallic calcium”, J/ Phys.F: Metal Phys., vol. 6, №6, 1976). При этом оптические исследования проводят в той же камере, что и напыление, в условиях сверхвысокого вакуума (Р~10-9Torr).
К недостаткам известного способа относится возможность измерения оптических параметров только в вакууме вследствие высокой химической активности металла, что значительно усложняет процесс измерения, при этом отдельную сложность составляет юстировка пучка поляризованного света относительно пленки и окон вакуумной камеры, а также оценка погрешностей измерения.
Таким образом, перед авторами была поставлена задача разработать способ определения оптических констант пленок химических активных металлов или их сплавов, позволяющий упростить процесс получения за счет осуществления возможности проводить оптические измерения на воздухе.
Поставленная задача решена в предлагаемом способе определения оптических констант пленок химически активных металлов или их сплавов, включающем измерения эллипсометрических параметров Δ и Ψ пленки соответствующего металла или его сплава, предварительно нанесенной путем вакуумного напыления на подложку с последующим расчетом значений констант, в котором пленку толщиной 0,5-0,6 мкм наносят на внешнюю поверхность нижней грани треугольной 45-градусной призмы, выполненной из оптического стекла, при этом на наружную и боковую поверхность пленки наносят путем вакуумного напыления слой алюминия толщиной 0,5-1,0 мкм, а эллипсометрические параметры Δ и Ψ определяют по формулам:
где ΔЭ, ψЭ — экспериментально измеренные значения Δ и ψ, ψm — минимальная эллиптичность отраженного света при угле Брюстера φБ=arctg n1, выражаемая как
где n0 =1 (воздух), n1 =1.51 (стекло), nсл, dсл– показатель преломления и толщина переходного слоя воздух-стекло.
В настоящее время из патентной и научно-технической литературы не известен способ определения оптических констант пленок химически активных металлов или их сплавов с использованием эллипсометрии путем нанесения пленки толщиной 0,5-0,6 мкм на внешнюю поверхность нижней грани треугольной 45-градусной призмы, выполненной из оптического стекла с нанесением на наружную и боковую поверхности пленки путем вакуумного напыления слоя алюминия толщиной 0,5-1,0 мкм, с последующим определением эллипсометрических параметров Δ и Ψ по предлагаемым формулам.
В предлагаемом способе авторы осуществляют измерения эллипсометрических параметров в соответствии с геометрией Кречмана, то есть для луча, отраженного от пленки химически активного металла или его сплава, прилегающей к нижней грани 45-градусной треугольной призмы (см. фиг.1). На фиг.1 представлена схема, где 1 - призма, 2- пленка химически активного металла или его сплава, 3 – защитный слой алюминия. В настоящее время известно использование геометрии Кречмана для исследования поверхностных плазмонных резонансов в тонких пленках серебра или золота, толщина d которых меньше глубины проникновения луча света δ (скин-слоя):
На Фиг.2 изображено прохождение падающего (под углом φ0) и отраженного луча света через боковые грани 45-градусной призмы. При угле падения φ0=45° эллипсометрические параметры Δ и ψ определяют на стандартном эллипсометре для модели: полубесконечная среда/стекло. В случае, если угол падения φ0>45° (как на Фиг.2), истинный угол падения луча света на образец φ1 определяют из закона Снеллиуса:
где n0 =1 - показатель преломления воздуха, n1=1.51 – показатель преломления стекла, α -угол преломления луча.
Истинные значения эллипсометрических параметров Δ и Ψ определяются по формулам (1) и (2).
Нанесение слоем большей площади и толщиной 0,5-1,0 мкм алюминия (см. фиг.1) обеспечивает защиту исследуемой пленки от окисления кислородом воздуха, поскольку при попадании на воздух алюминий покрывается плотной пассивирующей пленкой оксида Al2O3.
Предлагаемый способ заключается в следующем.
Пленку толщиной 0,5-0,6 мкм химически активного металла или его сплава наносят способом вакуумного напыления, например, методом термического вакуумного испарения на чистую обезжиренную нижнюю грань треугольной 45-градусной призмы из оптического стекла. Далее, таким же образом, то есть путем вакуумного напыления, наносят второй слой большей площади и толщиной 0,5 – 1,0 мкм на внешнюю (не контактирующую с поверхностью призмы) и боковые поверхности пленки химически активного металла или его сплава алюминия (см. фиг.1). При попадании на воздух алюминий покрывается плотной пассивирующей пленкой оксида Al2O3, которая обеспечивает защиту первого слоя от окисления кислородом воздуха. Измерения эллипсометрических параметров проводят по геометрии Кречмана. Эллипсометрические параметры Δ и ψ при этом определяют по формулам, выведенным на основе соотношений, представленных в работе (Мардежов А.С., Свиташев К.К., Швец В.А. «Учет пленки на границе воздух-жидкость при проведении иммерсионных измерений через плоскопараллельный слой жидкости» Украинский физический журнал. -1986. т.31, №1. –С.48-50):
где ΔЭ, ψЭ — экспериментально измеренные значения Δ и ψ, ψm — минимальная эллиптичность отраженного света при угле Брюстера φБ=arctg n1, выражаемая как
где n0 =1 (воздух), n1 =1.51 (стекло), nсл, dсл– показатель преломления и толщина переходного слоя воздух-стекло.
Предлагаемый способ иллюстрируется следующими примерами.
Пример 1. На вакуумной установке ВУП-5М (давление около p=10-6Торр) методом термического испарения на нижнюю грань 45-градусной призмы из оптического стекла K8 сначала была нанесена пленка лантана, толщиной 0.5мкм и покрыта слоем алюминия толщиной 0,5 мкм. Измерение эллипсометрических параметров Δ и ψ проводилось на эллипсометре ЛЭФ-3М (длина волны 0,6328 мкм, угол падения φ0=82°), по схеме, показанной на фиг.2.
Согласно соотношению (1), если φ0=82°, n0 =1 (воздух), n1 =1.51 (стекло К8), то sin α= 0,39855 => α=23,48°, φ1=68.48°. Измеренные значения Δ и ψ при длине волны λ=0.6328 мкм равны ψЭ=33°, ΔЭ=92.2°. Согласно формулам (1-3):
Поскольку поправка для Δ, вычисленная по формулам (2,3) как правило очень мала (
), то ею можно пренебречь.
Используя уравнения однородной полубесконечной среды :
были вычислены показатель преломления и коэффициент поглощения пленки лантана при длине волны λ=0,6328мкм, равные nLa=1.8, kLa=3.05. Полученные значения хорошо согласуются с результатами, приведенными в работе (Князев Ю.В., Кузьмин Ю.И., Кириллова М.М. Оптическое поглощение в легких редкоземельных металлах (La, Ce, Pr, Nd) // Физика металлов и металловедение. 1995. Т.79, c.60-69).
Пример 2. На вакуумной установке ВУП-5М (давление около p=10-6Торр) методом термического испарения на нижнюю грань 45-градусной призмы из оптического стекла K8 сначала была нанесена пленка неодима, толщиной 0.5мкм и покрыта слоем алюминия толщиной около 0,5 мкм. Измерение эллипсометрических параметров Δ и ψ проводилось на эллипсометре ЛЭФ-3М (длина волны 0,6328 мкм, угол падения φ0=82°), по схеме, показанной на Фиг.2.
Согласно соотношению (1), если φ0=82°, n0 =1 (воздух), n1 =1.51 (стекло К8), то sin α= 0,39855 => α=23,48°, φ1=68.48°. Измеренные значения Δ и ψ при длине волны λ=0.6328 мкм равны ψЭ=31.66
, ΔЭ=89.91. Согласно формулам (1-3):
Поскольку поправка для Δ, вычисленная по формулам (2, 3), как правило, очень мала (), то ею можно пренебречь.
Используя уравнения однородной полубесконечной среды:
были вычислены показатель преломления и коэффициент поглощения пленки неодима при длине волны λ=0,6328мкм, равные nNd=1.9, kNd=2.85. Полученные значения хорошо согласуются с результатами, приведенными в работе (Князев Ю.В., Кузьмин Ю.И., Кириллова М.М. Оптическое поглощение в легких редкоземельных металлах (La, Ce, Pr, Nd) // Физика металлов и металловедение. 1995. Т.79, c.60-69).
Таким образом, авторами предлагается высокоточный способ определения оптических постоянных тонких пленок химически активных металлов и сплавов с использованием метода эллипсометрии на воздухе.
Claims (6)
- Способ определения оптических констант пленок химически активных металлов или их сплавов, включающий измерения эллипсометрических параметров
-
; (1) -
, (2) - где
-
, - где n0 =1 (воздух), n1 =1.51 (стекло), nсл, dсл– показатель преломления и толщина переходного слоя воздух - стекло.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017117560A RU2659873C1 (ru) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | Способ определения оптических констант пленок химически активных металлов или их сплавов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017117560A RU2659873C1 (ru) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | Способ определения оптических констант пленок химически активных металлов или их сплавов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2659873C1 true RU2659873C1 (ru) | 2018-07-04 |
Family
ID=62815918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017117560A RU2659873C1 (ru) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | Способ определения оптических констант пленок химически активных металлов или их сплавов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2659873C1 (ru) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5125740A (en) * | 1989-03-17 | 1992-06-30 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for measuring optical constants of a thin film as well as method and apparatus for fabricating a thin film utilizing same |
| US5311285A (en) * | 1991-08-29 | 1994-05-10 | Nkk Corporation | Measuring method for ellipsometric parameter and ellipsometer |
| RU2463554C1 (ru) * | 2011-05-10 | 2012-10-10 | Учреждение Российской академии наук Институт химии твердого тела Уральского отделения РАН | Способ определения толщины тонкой прозрачной пленки |
| RU2558645C1 (ru) * | 2014-01-17 | 2015-08-10 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Пульсар" | Способ определения толщины металлических пленок |
-
2017
- 2017-05-22 RU RU2017117560A patent/RU2659873C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5125740A (en) * | 1989-03-17 | 1992-06-30 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for measuring optical constants of a thin film as well as method and apparatus for fabricating a thin film utilizing same |
| US5311285A (en) * | 1991-08-29 | 1994-05-10 | Nkk Corporation | Measuring method for ellipsometric parameter and ellipsometer |
| RU2463554C1 (ru) * | 2011-05-10 | 2012-10-10 | Учреждение Российской академии наук Институт химии твердого тела Уральского отделения РАН | Способ определения толщины тонкой прозрачной пленки |
| RU2558645C1 (ru) * | 2014-01-17 | 2015-08-10 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Пульсар" | Способ определения толщины металлических пленок |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| LUKES F., et. all, "ELLIPSOMETRIC LIQUID IMMERSION METHOD FOR THE DETERMINATION OF ALL THE OPTICAL PARAMETERS OF THE SYSTEMS NONABSORBING FILMS ON AN ABSORBING SUBSTRATE ", SURFACE SCIENCE, 1969 г., Т. 16, СТР. 112-117. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Gordon II et al. | The effect of thin organic films on the surface plasma resonance on gold | |
| WO2022105223A1 (zh) | 一种多层膜厚度及光学特性检测方法 | |
| RU2659873C1 (ru) | Способ определения оптических констант пленок химически активных металлов или их сплавов | |
| Huang et al. | The determination of the thickness and the optical dispersion property of gold film using spectroscopy of a surface plasmon in the frequency domain | |
| Lafait et al. | Determination of the infrared optical constants of highly reflecting materials by means of surface plasmon excitation-application to Pd | |
| Pustelny et al. | Optical investigations on layered metalphthalocyanine nanostructures affected by NO2 applying the surface plasmon resonance method | |
| Machorro et al. | Optical properties of Mg, from UV to IR, using ellipsometry and reflectometry | |
| WO2006109408A1 (ja) | 全反射減衰型光学プローブおよびそれを用いた遠紫外分光測定装置 | |
| RU2199110C2 (ru) | Способ контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в процессе их изменения и устройство его осуществления | |
| Grigor’eva et al. | Optical constants of nanosized films of metal titanium | |
| RU2787807C1 (ru) | Способ определения толщины пленки | |
| RU2558645C1 (ru) | Способ определения толщины металлических пленок | |
| Zudans et al. | In situ measurements of sensor film dynamics by spectroscopic ellipsometry. Demonstration of back-side measurements and the etching of indium tin oxide | |
| Khasanov et al. | Optical Characterization of Diffusion Transition Layers in Thin Films Using Surface Plasmon Resonance Multiwavelength Measurements | |
| Shinya et al. | Wavelength dependences of the dielectric constant of thermally evaporated aluminum films | |
| Gushterova et al. | On the determination of the optical constants of very thin (λ/50) films | |
| Mohammadian et al. | Optical and morphological studies of gold nano thin films on glass substrates for surface plasmon resonance sensors | |
| Vaicikauskas et al. | Optical constants of indium tin oxide films as determined by a surface plasmon phase method | |
| CN113654995B (zh) | 一种封装条件下测量椭圆偏振光谱的方法 | |
| Bennett | Anomalous Skin Effect: Reflectance and Scattering | |
| da Silva Almeida et al. | Ellipsometric characterization of AZ31 magnesium alloy | |
| Wang et al. | The medium-related optical constants of noble metals observed by ellipsometric study | |
| Herffurth et al. | Light scattering to detect imperfections relevant for laser-induced damage | |
| Galiev et al. | Mirror coating based on aluminum and copper alloy with a lutetium oxide protective coating | |
| Zhang et al. | Development of neutral-density infrared filters using metallic thin films |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200523 |