RU2658304C2 - Method of manufacturing of autoemissional cathode from carbon material - Google Patents

Method of manufacturing of autoemissional cathode from carbon material Download PDF

Info

Publication number
RU2658304C2
RU2658304C2 RU2016139932A RU2016139932A RU2658304C2 RU 2658304 C2 RU2658304 C2 RU 2658304C2 RU 2016139932 A RU2016139932 A RU 2016139932A RU 2016139932 A RU2016139932 A RU 2016139932A RU 2658304 C2 RU2658304 C2 RU 2658304C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
laser
carbon material
manufacturing
field emission
Prior art date
Application number
RU2016139932A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2016139932A (en
Inventor
Василий Иванович Шестеркин
Павел Данилович Шалаев
Дмитрий Александрович Бессонов
Елена Львовна Сурменко
Татьяна Николаевна Соколова
Иван Андреевич Попов
Original Assignee
Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Алмаз" (АО "НПП "Алмаз")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Алмаз" (АО "НПП "Алмаз") filed Critical Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Алмаз" (АО "НПП "Алмаз")
Priority to RU2016139932A priority Critical patent/RU2658304C2/en
Publication of RU2016139932A publication Critical patent/RU2016139932A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2658304C2 publication Critical patent/RU2658304C2/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02—Main electrodes
    • H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • H01J1/304—Field-emissive cathodes

Landscapes

  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)

Abstract

FIELD: electronic equipment.
SUBSTANCE: invention relates to electronic engineering, in particular to the production of field emission cathodes by laser milling from carbon materials for vacuum electronic devices, including microwave devices with a microsecond readiness time. Method for manufacturing an autoemission cathode from a carbon material consists in the fact that a parabolic emitting surface is formed, the center of curvature of which is located inside the cathode body, on which the micro-point matrix is formed by the laser micro-engraving method.
EFFECT: technical result is an increase in the emission uniformity over the cathode surface and an increase in the cathode current.
1 cl, 5 dwg

Description

Изобретение относится к электронной технике, в частности к изготовлению автоэмиссионных катодов методом лазерного фрезерования из углеродных материалов для вакуумных электронных устройств, в том числе для СВЧ приборов с микросекундным временем готовности.The invention relates to electronic equipment, in particular to the manufacture of field emission cathodes by laser milling of carbon materials for vacuum electronic devices, including for microwave devices with microsecond readiness.

Известен способ изготовления автоэмиссионного катода на основе углеродных нанотрубок (УНТ) методом нанесения на поверхность произвольной формы органической пасты, содержащей перемешанный в ней порошок из углеродных нанотрубок [H.J Kim, J.J. Choi, J.H. Han, J.H. Park, and J-B Yoo. Design and field emission test of carbon nanotube pasted cathodes for traveling-wave tube applications // IEEE Transaction on Electron Devices. Vol. 53, №11, 2006, PP. 2674-2680]. Недостатком данного способа является неоднородность распределения и хаотичность ориентирования нанотрубок на поверхности катода, что вызывает неоднородность эмиссии по поверхности катода. Существенным недостатком данного способа является недостаточная адгезия нанотрубок к поверхности катода (энергия связи трубок с поверхностью подложки в 4-5 раз меньше энергии связи атомов непосредственно в самой нанотрубке). Под действием пондеромоторных сил нанотрубки могут отделиться от поверхности катода, что снижает надежность и долговечность как самого катода, так и прибора в целом.A known method of manufacturing a field emission cathode based on carbon nanotubes (CNTs) by applying to a surface an arbitrary shape of an organic paste containing a mixed powder of carbon nanotubes in it [H.J Kim, J.J. Choi, J.H. Han, J.H. Park, and J-B Yoo. Design and field emission test of carbon nanotube pasted cathodes for traveling-wave tube applications // IEEE Transaction on Electron Devices. Vol. 53, No. 11, 2006, PP. 2674-2680]. The disadvantage of this method is the heterogeneity of the distribution and random orientation of the nanotubes on the surface of the cathode, which causes heterogeneity of emission over the surface of the cathode. A significant drawback of this method is the insufficient adhesion of nanotubes to the cathode surface (the binding energy of the tubes with the surface of the substrate is 4-5 times less than the binding energy of atoms directly in the nanotube itself). Under the action of ponderomotive forces, nanotubes can separate from the cathode surface, which reduces the reliability and durability of both the cathode itself and the device as a whole.

Известен способ формирования топологии автоэмиссионного катода [Авторское свидетельство СССР №1738013, МПК: H01J 1/30, №4811937/24-21; Заявл. 09.04.2990; Опубл. 12.02.1993], основанный на применении технологий фотолитографии и термохимического травления поверхности заготовки из углеродного материала для формирования матрицы микроострий на катодной поверхности. Микроострия, изготовленные данным способом, формируют путем травления углеродного материала катодной заготовки пленкой никеля с отверстиями, в которых углеродный материал не вытравливается, и в процессе травления формируются микроострия в форме усеченного конуса с плоской вершиной. Микроострия являются продолжением материала катодной заготовки, поэтому проблема их адгезии с поверхностью катода не возникает. Недостатком является невозможность формирования данным способом, как одиночных микроострий, так и матрицы микроострий на криволинейных поверхностях. Данное ограничение является принципиальным при создании автоэмиссионных катодов для триодов, а также для приборов СВЧ диапазона. В приборах данного класса необходимая для автоэлектронной эмиссии напряженность электрического поля на эмитирующей поверхности катода создается подачей положительного, относительно катода, напряжения на вытягивающую сетку с отверстиями, расположенную вблизи вершин микроострий. Вследствие провисания потенциала в отверстия сетки напряженность электрического поля на поверхности катода распределяется не равномерно. Минимальное значение напряженность поля имеет в центре катода и увеличивается по радиусу катода к его периферии примерно на порядок [Исследование эмиссионных характеристик многолучевой электронной пушки с автоэмиссионным катодом из стеклоуглерода, Н.А. Бушуев, О.Е. Глухова, Ю.А. Григорьев, Д.В. Иванов, А.С. Колесникова, А.А. Николаев, П.Д. Шалаев, В.И. Шестеркин // ЖТФ, 2016, том 86, вып. 2, с. 134-139]. Вследствие экспоненциальной зависимости плотности автоэмиссионного тока от напряженности электрического поля плотность автоэмиссионного тока в центре катода на несколько порядков меньше, чем на его периферии, что приводит к уменьшению тока катода. Недостатком данного способа также является сложность и многоэтапность технологических операций, требующих дорогостоящего оборудования на каждом этапе изготовления катодов. Оборудование для каждого этапа технологической цепочки, как правило, размещено на различных производственных площадках, что делает весь процесс изготовления достаточно продолжительным (до нескольких суток) и трудоемким.A known method of forming the topology of the field emission cathode [USSR Author's Certificate No. 1738013, IPC: H01J 1/30, No. 4811937 / 24-21; Claim 04/09/2990; Publ. 02/12/1993], based on the use of photolithography and thermochemical etching of the surface of a workpiece made of carbon material to form a matrix of micropoints on the cathode surface. Micro points made by this method are formed by etching the carbon material of the cathode billet with a nickel film with holes in which the carbon material is not etched, and during the etching, micro points are formed in the form of a truncated cone with a flat top. Micro points are a continuation of the cathode billet material; therefore, the problem of their adhesion to the cathode surface does not arise. The disadvantage is the impossibility of forming in this way, both single micropoints and the matrix of micropoints on curved surfaces. This limitation is fundamental when creating field emission cathodes for triodes, as well as for microwave devices. In devices of this class, the electric field strength necessary for field emission on the emitting surface of the cathode is created by applying a positive voltage relative to the cathode to an extruding mesh with holes located near the vertices of the micropoints. Due to the potential sagging in the mesh holes, the electric field strength on the cathode surface is not distributed evenly. The field strength has a minimum value in the center of the cathode and increases by an order of magnitude along the radius of the cathode to its periphery [Study of the emission characteristics of a multipath electron gun with a field emission cathode made of glassy carbon, N. А. Bushuev, O.E. Glukhova, Yu.A. Grigoriev, D.V. Ivanov, A.S. Kolesnikova, A.A. Nikolaev, P.D. Shalaev, V.I. Shesterkin // ZhTF, 2016, Volume 86, Issue. 2, p. 134-139]. Due to the exponential dependence of the field emission current density on the electric field strength, the field emission current density at the cathode center is several orders of magnitude lower than at its periphery, which leads to a decrease in the cathode current. The disadvantage of this method is also the complexity and multi-stage technological operations that require expensive equipment at each stage of the manufacture of cathodes. Equipment for each stage of the technological chain is usually located at various production sites, which makes the entire manufacturing process quite long (up to several days) and time-consuming.

В качестве прототипа изобретения взят способ изготовления автоэмиссионного катода [Патент RU 2526240, МПК Н01J 1/30, H01J 9/02/ Соколова Т.Н., Конюшин А.В., Сурменко Е.Л., Попов И.А., Бессонов Д.А; Заявлен: 09.01.2013; Опубликован: 20.08.2014]. Для создания автоэмиссионного катода в качестве углеродного материала используют стеклоуглерод. Формирование эмиттеров на поверхности катода производят фрезеровкой сфокусированным лазерным излучением и последующей лазерной очисткой поверхности катодной структуры. Нанесение эмитирующей структуры на поверхности эмиттеров катода производят лазерной микрогравировкой с образованием поля микроострий пирамидальной формы. Полученная структура представляет собой поле микроострий пирамидальной формы с размерами основания одного острия от 10×10 мкм и высотой от 15 мкм, плотность упаковки микроострийной эмитирующей структуры составила порядка 5×105-106 см-2.A method of manufacturing a field emission cathode was taken as a prototype of the invention [Patent RU 2526240, IPC H01J 1/30, H01J 9/02 / Sokolova T.N., Konyushin A.V., Surmenko E.L., Popov I.A., Bessonov YES; Announced: 01/09/2013; Published: 08/20/2014]. To create a field emission cathode, glassy carbon is used as the carbon material. The formation of emitters on the cathode surface is performed by milling by focused laser radiation and subsequent laser cleaning of the surface of the cathode structure. The emitting structure is deposited on the surface of the cathode emitters by laser microengraving with the formation of a field of pyramidal micropoints. The resulting structure is a field of pyramidal micropoints with a base size of one tip from 10 × 10 μm and a height of 15 μm, the packing density of the micro-tip emitting structure was about 5 × 10 5 -10 6 cm -2 .

Достоинством данного способа является его высокая производительность. Для изготовления катода требуется лишь специальная лазерная установка. Процесс является экологически чистым, менее энергозатратным и трудоемким. Время изготовления одного катода сокращается до десятков минут.The advantage of this method is its high performance. For the manufacture of the cathode, only a special laser installation is required. The process is environmentally friendly, less energy intensive and time consuming. The manufacturing time of one cathode is reduced to tens of minutes.

Недостатком данного способа является то, что матрица микроострий, как и в приведенном выше аналоге, формируется на плоских подложках, что приводит к неравномерности автоэлектронной эмиссии по поверхности катода вследствие провисания электрического поля в отверстия сетки катодно-сеточного узла СВЧ прибора.The disadvantage of this method is that the matrix of micropoints, as in the above analogue, is formed on flat substrates, which leads to uneven field emission over the cathode surface due to sagging electric field into the mesh holes of the cathode-grid unit of the microwave device.

Для устранения неравномерности эмиссии по поверхности катода в ячейках сетки и увеличения тока катода необходимо формировать острийную эмитирующую поверхность катода из углеродного материала, имеющую параболическую в сечении форму с кривизной, максимально близкой к кривизне ближайшей к его поверхности линии равного потенциала.To eliminate the non-uniformity of emission over the cathode surface in the grid cells and increase the cathode current, it is necessary to form a pointed emitting cathode surface made of carbon material having a parabolic shape in cross section with a curvature as close as possible to the curvature of the line of equal potential closest to its surface.

Задачей изобретения является создание способа изготовления автоэмиссионного катода из углеродного материала с параболической эмитирующей поверхностью, центр кривизны которой находится внутри тела катода, на которой сформирована матрица микроострий.The objective of the invention is to provide a method for manufacturing a field emission cathode from a carbon material with a parabolic emitting surface, the center of curvature of which is located inside the cathode body on which the micro-tip matrix is formed.

Поставленная задача достигается тем, что способ изготовления автоэмиссионного катода из углеродного материала основан на формировании острийной эмитирующей структуры катода сфокусированным лазерным излучением. При этом формируется параболическая эмитирующая поверхность катода заданной формы, центр кривизны которой находится внутри тела катода, с последующим формированием на ней матрицы микроострий цилиндрической формы методом лазерной микрогравировки.The problem is achieved in that the method of manufacturing a field emission cathode of carbon material is based on the formation of a pointed emitting structure of the cathode by focused laser radiation. In this case, a parabolic emitting surface of the cathode of a given shape is formed, the center of curvature of which is inside the cathode body, with the subsequent formation on it of a matrix of cylindrical micropoints by laser microengraving.

Изобретение поясняется чертежами, где:The invention is illustrated by drawings, where:

- на фиг. 1 показана схема послойного формирования параболической вершины катода;- in FIG. 1 shows a diagram of the layered formation of a parabolic peak of the cathode;

- на фиг. 2 катод с криволинейной поверхностью - результат первого этапа лазерного фрезерования;- in FIG. 2 cathode with a curved surface - the result of the first stage of laser milling;

- на фиг. 3 показано изображение перемещения лазерного излучения для создания топологии острийной структуры на параболической вершине катода;- in FIG. 3 shows an image of the movement of laser radiation to create a topology of the tip structure on a parabolic tip of the cathode;

- на фиг. 4 показан катод с параболической формой вершины и матрицей остриев на ней, полученный для однолучевого электронного устройства;- in FIG. 4 shows a cathode with a parabolic shape of the vertex and a matrix of points on it, obtained for a single-beam electronic device;

- на фиг. 5 показан катод для 19-ти лучевого электронного устройства с параболической формой вершин и матрицей остриев на них.- in FIG. 5 shows the cathode for a 19-beam electronic device with a parabolic shape of the vertices and a matrix of points on them.

Способ осуществляется следующим образом.The method is as follows.

Для формирования цилиндрического катода из углеродного материала с параболической в сечении вершины использовалась лазерная установка: лазер на АИГ с диодной накачкой с модуляцией добротности, длина волны 1,064 мкм, мощность 2-3,5 Вт, частота следования импульсов 8-10 кГц).To form a cylindrical cathode made of carbon material with a parabolic apex in the section of the apex, a laser setup was used: a YAG laser with a Q-switched diode pump, wavelength 1.064 μm, power 2-3.5 W, pulse repetition rate 8-10 kHz).

Лазерное фрезерование осуществлялось послойным удалением углеродного материала катода сфокусированным лучом лазера, перемещавшегося по поверхности цилиндрического катода способом сканирования. Угол сканирования лазерным лучом после прохода каждого слоя изменялся на 45°. Лазерное излучение прерывалось при сканировании центральной зоны вершины цилиндрического катода. Зоны прерывания лазерного излучения изменялись с каждым новым проходом и представляли собой концентрические окружности с изменяемым радиусом величиной x1…xq, размер которого возрастал на Δxi для каждого последующего послойного сканирования, создавая параболическую поверхность с радиусом кривизны r внутри тела катода до выбранной глубины y (фиг. 1).Laser milling was carried out by layer-by-layer removal of the carbon material of the cathode by a focused laser beam moving along the surface of a cylindrical cathode by a scanning method. The scanning angle of the laser beam after passing through each layer changed by 45 °. Laser radiation was interrupted by scanning the central zone of the apex of the cylindrical cathode. The laser radiation interruption zones changed with each new pass and consisted of concentric circles with a variable radius of x 1 ... x q , the size of which increased by Δx i for each subsequent layer-by-layer scanning, creating a parabolic surface with a radius of curvature r inside the cathode body to a selected depth y (Fig. 1).

Значение параметра Δxi выбирается индивидуально в зависимости от требуемой кривизны поверхности. Чем больше кривизна поверхности, тем меньше задавался параметр Δxi для каждого последующего слоя. Результатом первого этапа лазерного фрезерования было формирование катода с криволинейной поверхностью (фиг. 2).The value of the parameter Δx i is selected individually depending on the required surface curvature. The greater the curvature of the surface, the less the parameter Δx i was set for each subsequent layer. The result of the first stage of laser milling was the formation of a cathode with a curved surface (Fig. 2).

После завершения формирования параболической поверхности выполнялась лазерная очистка поверхности (мощность лазерного излучения 0,2-0,8 Вт, частота следования импульсов 20-35 кГц).After completion of the formation of the parabolic surface, laser surface cleaning was performed (laser radiation power 0.2–0.8 W, pulse repetition rate 20–35 kHz).

Затем на параболической поверхности катода формировалась матрица микроострий путем перемещения сфокусированного лазерного излучения по окружности вокруг оси формируемого острия. Оси острий располагаются на концентрических окружностях вокруг оси симметрии параболической поверхности катода и отстоят друг от друга на одно и то же расстояние, равное диаметру основания микроострия (фиг. 3).Then on the parabolic surface of the cathode a matrix of micropoints was formed by moving the focused laser radiation in a circle around the axis of the formed tip. The axis of the tips are located on concentric circles around the axis of symmetry of the parabolic surface of the cathode and are spaced from each other by the same distance equal to the diameter of the base of the micro-tip (Fig. 3).

При этом параметры лазерного излучения следующие: мощность излучения 0,78 Вт, частота следования импульсов 9 кГц, скорость движения луча 23 мм/сек, заполнение 35 линий/мм.The parameters of laser radiation are as follows: radiation power of 0.78 W, pulse repetition rate of 9 kHz, beam speed of 23 mm / s, filling 35 lines / mm.

После формирования микроострий производилась лазерная очистка поверхности, аналогичная первой (мощность лазерного излучения 0,2-0,8 Вт, частота следования импульсов 20-35 кГц).After the formation of the micropoints, a laser cleaning of the surface was performed, similar to the first (laser radiation power 0.2-0.8 W, pulse repetition rate 20-35 kHz).

Результатом последовательного использования технологических операций является получение катодной матрицы, состоящей из отдельно стоящих катодов с параболической вершиной и матрицей остриев на них.The result of the consistent use of technological operations is to obtain a cathode matrix consisting of separate cathodes with a parabolic peak and a matrix of points on them.

Выбранный нами способ позволяет изготавливать автоэмиссионные катоды для однолучевых и для многолучевых электронных приборов с использованием лишь одного технологического оборудования (лазерной установки).The method we have chosen allows us to produce field emission cathodes for single-beam and for multi-beam electronic devices using only one technological equipment (laser unit).

Способ формирования поверхности автоэмиссионного катода из углеродного материала с кривизной поверхности, максимально близкой к кривизне ближайшей к его поверхности эквипотенциали, позволяет обеспечить равномерность эмиссии по всей поверхности катода в ячейках и увеличить отбираемый с катода ток автоэлектронной эмиссии.The method of forming the surface of the field-emission cathode from carbon material with a surface curvature as close as possible to the curvature of the equipotential closest to its surface makes it possible to ensure uniform emission over the entire surface of the cathode in the cells and increase the field emission current taken from the cathode.

Источники информацииInformation sources

1. H.J Kim, J.J. Choi, J.H. Han, J.H. Park, and J-B Yoo. Design and field emission test of carbon nanotube pasted cathodes for traveling-wave tube applications // IEEE Transaction on Electron Devices. Vol. 53, №11, 2006, PP. 2674-2680.1. H.J Kim, J.J. Choi, J.H. Han, J.H. Park, and J-B Yoo. Design and field emission test of carbon nanotube pasted cathodes for traveling-wave tube applications // IEEE Transaction on Electron Devices. Vol. 53, No. 11, 2006, PP. 2674-2680.

2. Авторское свидетельство СССР №1738013, МПК: Н01J 1/30, №4811937/24-21; Заявл. 09.04.2990; Опубл. 12.02.1993.2. USSR author's certificate No. 1738013, IPC: Н01J 1/30, No. 4811937 / 24-21; Claim 04/09/2990; Publ. 02/12/1993.

3. Исследование эмиссионных характеристик многолучевой электронной пушки с автоэмиссионным катодом из стеклоуглерода, Н.А. Бушуев, О.Е. Глухова, Ю.А. Григорьев, Д.В. Иванов, А.С. Колесникова, А.А. Николаев, П.Д. Шалаев, В.И. Шестеркин // ЖТФ, 2016, том 86, вып. 2, с. 134-139.3. Study of the emission characteristics of a multi-beam electron gun with a field emission cathode made of glassy carbon, N. A. Bushuev, O.E. Glukhova, Yu.A. Grigoriev, D.V. Ivanov, A.S. Kolesnikova, A.A. Nikolaev, P.D. Shalaev, V.I. Shesterkin // ZhTF, 2016, Volume 86, Issue. 2, p. 134-139.

4. Патент RU 2526240, МПК Н01J 1/30, H01J 9/02/ Соколова Т.Н., Конюшин А.В., Сурменко Е.Л., Попов И.А., Бессонов Д.А; Заявлен: 09.01.2013; Опубликован: 20.08.2014.4. Patent RU 2526240, IPC Н01J 1/30, H01J9 / 02 / Sokolova T.N., Konyushin A.V., Surmenko E.L., Popov I.A., Bessonov D.A .; Announced: 01/09/2013; Published: 08/20/2014.

Claims (1)

Способ изготовления автоэмиссионного катода из углеродного материала, основанный на формировании острийной эмитирующей структуры катода сфокусированным лазерным излучением, отличающийся тем, что формируется параболическая эмитирующая поверхность катода заданной формы, центр кривизны которой находится внутри тела катода, с последующим формированием на ней матрицы микроострий цилиндрической формы методом лазерной микрогравировки.A method of manufacturing a field emission cathode from carbon material, based on the formation of a pointed emitting cathode structure by focused laser radiation, characterized in that a parabolic emitting cathode surface of a given shape is formed, the center of curvature of which is located inside the cathode body, followed by the formation of a cylindrical micropoint matrix on it by laser microengraving.
RU2016139932A 2016-10-10 2016-10-10 Method of manufacturing of autoemissional cathode from carbon material RU2658304C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016139932A RU2658304C2 (en) 2016-10-10 2016-10-10 Method of manufacturing of autoemissional cathode from carbon material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016139932A RU2658304C2 (en) 2016-10-10 2016-10-10 Method of manufacturing of autoemissional cathode from carbon material

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2016139932A RU2016139932A (en) 2018-04-10
RU2658304C2 true RU2658304C2 (en) 2018-06-20

Family

ID=61866722

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016139932A RU2658304C2 (en) 2016-10-10 2016-10-10 Method of manufacturing of autoemissional cathode from carbon material

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2658304C2 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5811917A (en) * 1995-12-22 1998-09-22 Alusuisse Technology & Management Ltd. Structured surface with peak-shaped elements
CN102347204A (en) * 2010-08-05 2012-02-08 海洋王照明科技股份有限公司 Field emission light source device and manufacturing method thereof
RU2526240C1 (en) * 2013-01-09 2014-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А." (СГТУ имени Гагарина Ю.А.) Method to manufacture field-emission cathode
US20160020084A1 (en) * 2013-03-25 2016-01-21 Lightlab Sweden Ab Shaped cathode for a field emission arrangement

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5811917A (en) * 1995-12-22 1998-09-22 Alusuisse Technology & Management Ltd. Structured surface with peak-shaped elements
CN102347204A (en) * 2010-08-05 2012-02-08 海洋王照明科技股份有限公司 Field emission light source device and manufacturing method thereof
RU2526240C1 (en) * 2013-01-09 2014-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А." (СГТУ имени Гагарина Ю.А.) Method to manufacture field-emission cathode
US20160020084A1 (en) * 2013-03-25 2016-01-21 Lightlab Sweden Ab Shaped cathode for a field emission arrangement

Also Published As

Publication number Publication date
RU2016139932A (en) 2018-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8102108B2 (en) Low voltage electron source with self aligned gate apertures, fabrication method thereof, and devices using the electron source
US7459839B2 (en) Low voltage electron source with self aligned gate apertures, and luminous display using the electron source
US5801477A (en) Gated filament structures for a field emission display
KR19990043770A (en) Method for manufacturing field emission device using carbon nanotube
JP2008166257A (en) Carbon nanotube field emission emitter, and its manufacturing method
CN109065428B (en) Double-gate control type cold cathode electron gun and preparation method thereof
CN105793952A (en) Electron emitting construct configured with ion bombardment resistant
US20070257592A1 (en) Field Emission Apparatus
Lim et al. Enhanced field emission properties of carbon nanotube bundles confined in SiO2 pits
RU2658304C2 (en) Method of manufacturing of autoemissional cathode from carbon material
US8072126B2 (en) Field electron emission source having carbon nanotubes and method for manufacturing the same
EP1744343B1 (en) Carbon based field emission cathode and method of manufacturing the same
CN110767515B (en) Preparation method of carbon nanotube array beam with adjustable length-diameter ratio applied to field emission cold cathode
CN104934280A (en) External grid-controlled cold cathode array electron gun
RU2644416C2 (en) Cathode-grid knot with auto emission cathode from carbon material
US20080169745A1 (en) Low voltage electron source with self aligned gate apertures, fabrication method thereof, and luminous display using the electron source
US5665421A (en) Method for creating gated filament structures for field emission displays
RU2640355C2 (en) Cathode manufacturing method based on array of field-emission emitters
KR101121639B1 (en) Cathode structure of electron emitting device
JP3854295B2 (en) Field electron emitter and display device
RU2413328C1 (en) Method to manufacture multi-tip emission cathode
RU2576395C2 (en) Method of manufacturing a field emission cathode multi-tipped carbon material on a curved surface
Bushuev et al. Multibeam electron gun with gated carbon nanotube cathode
KR101399064B1 (en) Manufacturing method for cathode module of x-ray generation apparatus using carbon nanotube
CN103811281A (en) Field emission plane light source device and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20191011