RU2654828C2 - Optical modulator (options) - Google Patents
Optical modulator (options) Download PDFInfo
- Publication number
- RU2654828C2 RU2654828C2 RU2017108638A RU2017108638A RU2654828C2 RU 2654828 C2 RU2654828 C2 RU 2654828C2 RU 2017108638 A RU2017108638 A RU 2017108638A RU 2017108638 A RU2017108638 A RU 2017108638A RU 2654828 C2 RU2654828 C2 RU 2654828C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- disk
- radius
- polarizer
- protrusion
- wall
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133528—Polarisers
Abstract
Description
Область техники, к которой относится изобретениеFIELD OF THE INVENTION
Изобретение относится к области обработки оптической информации: к конструкции оптических затворов, регуляторов и модуляторов света, способных реализовать физический пиксель экранов, а также оптических коммутаторов с микроэлектромеханическими оптическими модуляторами.The invention relates to the field of processing optical information: to the design of optical shutters, regulators and light modulators capable of realizing a physical pixel of screens, as well as optical switches with microelectromechanical optical modulators.
Уровень техникиState of the art
Известны микроэлектромеханические оптические затворы в виде микрозеркал, приводимых в движение микроэлектромеханическими приводами - актуаторами (US Pat. 6856445, 7116462, 7102808, 7016099, RU 2276774, 2277265). Недостатком их является сложность и ограниченность применения.Known microelectromechanical optical shutters in the form of micromirrors, driven by microelectromechanical actuators - actuators (US Pat. 6856445, 7116462, 7102808, 7016099, RU 2276774, 2277265). Their disadvantage is the complexity and limited application.
Известны микроэлектромеханические вентили, содержащие переворачивающиеся заслонки в виде флажков с закрепленной осью вращения, перекрывающие или открывающие микроотверстия для прохождения света (US 20040080484 А1).Known microelectromechanical valves containing flipping flaps in the form of flags with a fixed axis of rotation, overlapping or opening microholes for the passage of light (US 20040080484 A1).
Известен также микроэлектромеханический регулятор в виде заслонки, перемещающейся, благодаря неодинаковому удлинению двух консолей при неодинаковом их нагреве и перекрывающей при этом частично или полностью световой поток через отверстие (US Pat. 6775048, 6967761, 7151627). Недостатком их является сложность конструкции и изготовления, а также малая полезная площадь.Also known microelectromechanical controller in the form of a valve that moves, due to the unequal lengthening of the two consoles with unequal heating and blocking partly or fully of the light flux through the hole (US Pat. 6775048, 6967761, 7151627). Their disadvantage is the complexity of the design and manufacture, as well as the small usable area.
Прототипом предлагаемого изобретения является оптический модулятор (WO 2010114417, RU 2473936) в виде неподвижного поляризатора и параллельного ему подвижного поляризатора, выполненного с возможностью поворота вокруг оси, перпендикулярной им, содержащий также средство для осуществления поворота подвижного поляризатора. В варианте изобретения смещение диска вдоль стенок исключается наличием гнезда, например, в виде отверстия во вспомогательном слое.The prototype of the invention is an optical modulator (WO 2010114417, RU 2473936) in the form of a fixed polarizer and a parallel movable polarizer, rotatable around an axis perpendicular to it, also containing means for rotating the movable polarizer. In an embodiment of the invention, the displacement of the disk along the walls is eliminated by the presence of a socket, for example, in the form of an opening in the auxiliary layer.
Недостатком устройства по прототипу является необходимость преодоления значительных моментов сил трения, действующих на подвижный поляризатор и препятствующих манипулированию им (повороту, вращению, угловым колебаниям), что, в частности, предъявляет дополнительные требования к средствам осуществления поворота. Силы трения возникают из-за сил нормального давления гравитационной или электростатической природы.The disadvantage of the prototype device is the need to overcome significant moments of friction forces acting on the movable polarizer and preventing their manipulation (rotation, rotation, angular vibrations), which, in particular, presents additional requirements for the means of rotation. Friction forces arise due to normal pressure forces of a gravitational or electrostatic nature.
Технической проблемой, решаемой предлагаемым изобретением, является уменьшение моментов сил трения, препятствующих повороту подвижного поляризатора.The technical problem solved by the invention is to reduce the moments of friction forces that prevent the rotation of the movable polarizer.
Раскрытие сущности изобретенияDisclosure of the invention
Для решения этой проблемы предложено два технических решения, образующих единый изобретательский замысел.To solve this problem, two technical solutions are proposed that form a single inventive concept.
Указанная проблема решается в первом из заявляемых технических решений тем, что предложен оптический модулятор (регулятор светового потока), содержащий плоский поляризатор в виде диска (далее - просто «диск»), помещенного с возможностью поворота в гнездо между двумя параллельными стенками, хотя бы одна из которых прозрачна и является поляризатором или дополнена плоским поляризатором, причем на одной или на каждой стороне диска в его центре выполнен или конический, или сферический, или иной по форме выступ высотой от 0,01 до 0,1 от радиуса диска с размерами в плане в пределах окружности радиусом не более 0,2 от радиуса диска. Предложенный модулятор имеет также средство для осуществления поворота диска любой известной конструкции (такие средства, например, как в прототипе RU 2473936).This problem is solved in the first of the claimed technical solutions by the fact that an optical modulator (luminous flux regulator) is proposed that contains a flat polarizer in the form of a disk (hereinafter simply referred to as the “disk”), placed with the possibility of rotation in the socket between two parallel walls, at least one of which it is transparent and is a polarizer or is supplemented by a flat polarizer, moreover, on one or on each side of the disk in its center either a conical, or spherical, or other shape of a protrusion with a height of from 0.01 to 0.1 from the radius of the dis and the measurement plane within a circle of radius less than 0.2 times the radius of the disk. The proposed modulator also has a means for turning the disc of any known design (such means, for example, as in the prototype RU 2473936).
Гнездо может быть выполнено в виде отверстия в сплошном слое или в виде отдельных ограничителей смещения (столбиков между стенками, например).The nest can be made in the form of a hole in a continuous layer or in the form of separate displacement limiters (columns between the walls, for example).
Вторая стенка оптического модулятора не предназначена для поляризации света и может быть выполнена или прозрачной (для случая модулятора, работающего на просвет), или отражающей (для случая модулятора, работающего на отражение), или частично отражающей, а частично пропускающей (для случая необходимости работы на просвет и на отражение).The second wall of the optical modulator is not intended for polarization of light and can be made either transparent (for the case of a modulator operating on clearance), or reflective (for the case of a modulator working on reflection), or partially reflective, and partially transmissive (for the case of the need to work on clearance and reflection).
Рассмотрим случай оптического модулятора, предназначенного для работы в горизонтальном положении, т.е. при горизонтально ориентированных стенках и диске.Consider the case of an optical modulator designed to work in a horizontal position, i.e. with horizontally oriented walls and the disk.
Существенным отличием от решения по прототипу является то, что в центре диска или в центре каждой из сторон диска выполнен выступ. Рассмотрим следствие наличия нижнего выступа. Этот выступ препятствует прилеганию диска всей нижней поверхностью к нижней стенке. Благодаря выступу в центре диск лежит под некоторым углом к стенке и касается нижней стенки только своим выступом в центре и областью диска на его периферии. При этом практически весь вес диска приходится на область контакта его выступа с нижней стенкой и сила трения между диском и нижней стенкой при попытке повернуть диск действует именно в этой области. Однако момент этой силы трения относительно оси диска мал, т.к. мало плечо. Сила же нормального давления периферийной части на нижнюю стенку практически равна нулю, т.к. уравновешена противоположной ей половиной диска (опускаем тривиальное доказательство), поэтому мала и сила трения, препятствующая повороту диска. Хотя плечо (радиус диска) и велико, момент этой силы трения мал, благодаря малой величине силы. Другим важным обстоятельством является то, что благодаря наличию выступа на диске диск не лежит на стенке всей плоскостью, и это практически исключает электростатическое взаимодействие между ними, т.к. сила электростатического взаимодействия между поверхностями пропорциональна площади контакта, и, следовательно, исключает появление дополнительных тормозящих моментов, препятствующих повороту диска.A significant difference from the solution of the prototype is that in the center of the disk or in the center of each side of the disk protrusion. Consider the consequence of the presence of the lower ledge. This protrusion prevents the disc from adhering the entire bottom surface to the bottom wall. Due to the protrusion in the center, the disk lies at an angle to the wall and touches the bottom wall only with its protrusion in the center and the disk region at its periphery. Moreover, almost the entire weight of the disk falls on the contact area of its protrusion with the lower wall and the friction force between the disk and the lower wall when trying to rotate the disk acts in this area. However, the moment of this friction force relative to the axis of the disk is small, because little shoulder. The force of the normal pressure of the peripheral part on the lower wall is almost zero, because balanced by the opposite half of the disk (omit the trivial proof), so the friction force, which prevents the rotation of the disk, is also small. Although the shoulder (radius of the disk) is large, the moment of this frictional force is small, due to the small magnitude of the force. Another important circumstance is that, due to the protrusion on the disk, the disk does not lie on the wall with the entire plane, and this virtually eliminates the electrostatic interaction between them, because the force of electrostatic interaction between the surfaces is proportional to the contact area, and, therefore, eliminates the appearance of additional braking moments that prevent the rotation of the disk.
Наклонное положение диска никак не влияет на работу модулятора при имеющих место малых углах наклона.The inclined position of the disk does not affect the operation of the modulator in the case of small tilt angles.
Нижний предел высоты выступа определяется необходимостью исключить касания стенки частями диска, которое может возникать из-за неточности при изготовлении диска и из-за изгибов диска по разным причинам - эти отклонения редко выходят за 10%, и высота выступа в 0,1 от радиуса диска достаточна для исключения влияния вероятных отклонений на работу устройства. Верхний предел высоты выступа определяется тем, что дальнейшее увеличение высоты приводит к увеличению силы нормального давления в области касания стенки периферийной частью диска, а также увеличивает толщину устройства. Нижний предел размера выступа в плане определяется только прочностью используемого для изготовления выступа материала и не имеет существенного значения для работы устройства. Верхний предел ограничен указанной выше величиной, т.к. площадь выступа в плане уменьшает полезную площадь модулятора.The lower limit of the height of the protrusion is determined by the need to exclude touching the wall with parts of the disk, which can occur due to inaccuracies in the manufacture of the disk and because of bending of the disk for various reasons - these deviations rarely go beyond 10%, and the height of the protrusion is 0.1 from the radius of the disk sufficient to exclude the influence of probable deviations on the operation of the device. The upper limit of the height of the protrusion is determined by the fact that a further increase in height leads to an increase in the force of normal pressure in the area of contact of the wall with the peripheral part of the disk, and also increases the thickness of the device. The lower limit of the size of the protrusion in the plan is determined only by the strength used for the manufacture of the protrusion of the material and is not significant for the operation of the device. The upper limit is limited to the above value, because the projection area in the plan reduces the useful area of the modulator.
Выступы на диске могут быть выполнены с обеих сторон диска. При таком исполнении исключается электростатическое взаимодействие диска также и с верхней стенкой, которое также может привести к возникновению существенных сил трения и соответствующих моментов, препятствующих вращению диска. Кроме того, упрощается процесс сборки, т.к. отпадает необходимость ориентировать диски при сборке оптического модулятора. Выступы могут быть выполнены или из того же материала, что и диск, или из другого материалы, или представлять собой единую деталь, диск и могут быть соединены с ним любым известным способом.Disc protrusions can be performed on both sides of the disc. With this design, electrostatic interaction of the disk with the upper wall is also excluded, which can also lead to the emergence of significant frictional forces and corresponding moments that impede the rotation of the disk. In addition, the assembly process is simplified, as there is no need to orient the disks when assembling the optical modulator. The protrusions can be made either from the same material as the disk, or from other materials, or represent a single part, the disk and can be connected to it in any known manner.
Рассмотрим теперь случай оптического модулятора, предназначенного для работы как в горизонтальном, так и в вертикальном или наклонном положении. От смещения вдоль стенок диск удерживается стенками гнезда, в котором он находится, поэтому при наклонном или вертикальном положении модулятора диск касается стенки гнезда, и между диском и стенкой гнезда возникает сила трения, тормозящий момент которой препятствует повороту диска.Let us now consider the case of an optical modulator designed to operate both horizontally and vertically or tilted. From displacement along the walls, the disk is held by the walls of the slot in which it is located; therefore, when the modulator is tilted or vertical, the disk touches the wall of the socket, and a friction force arises between the disk and the wall of the socket, the braking moment of which prevents the disk from turning.
Для исключения или для уменьшения такого момента в настоящем изобретении предлагается описанные выступы или один выступ на диске выполнять из магнитного материала с возможностью намагничивания или уже намагниченного в направлении, перпендикулярном плоскости диска, а ближайшая к этому выступу стенка содержит область, выполненную намагниченной или с возможностью намагничивания в том же направлении, в каком намагничен выступ, расположенную в пределах окружности с центром в точке проекции центра диска на стенку, т.е. в центре гнезда, и радиусом не более 0,2 от радиуса диска (как и область выступа в плане).To eliminate or to reduce such a moment, the present invention proposes the described protrusions or one protrusion on the disk to be made of magnetic material with the possibility of magnetization or already magnetized in the direction perpendicular to the plane of the disk, and the wall closest to this protrusion contains a region made magnetized or magnetizable in the same direction in which the protrusion located within the circle with the center at the projection point of the center of the disk onto the wall is magnetized, i.e. in the center of the nest, and with a radius of no more than 0.2 from the radius of the disk (as well as the area of the protrusion in the plan).
При выполнении из магнитного материала обоих выступов магнитная область может быть выполнена как на одной из стенок, так и на обеих стенках. Оба выступа могут быть также выполнены как части единой детали, проходящей через центр диска и закрепленной на нем (приклеенной, приваренной и т.п.)When both protrusions are made of magnetic material, the magnetic region can be performed on one of the walls and on both walls. Both protrusions can also be made as parts of a single part passing through the center of the disk and fixed on it (glued, welded, etc.)
Намагниченная область стенки может представлять собой или слой магнитного материала, нанесенный на одну или обе стороны стенки, или встроенный в стенку магнитный материал, или намагниченную часть стенки (для материалов стенки, допускающих намагничивание).The magnetized region of the wall can be either a layer of magnetic material deposited on one or both sides of the wall, or a magnetic material embedded in the wall, or the magnetized part of the wall (for wall materials that allow magnetization).
При такой конструкции сила магнитного притяжения между выступом и вставкой из магнитного материала на стенке удерживает диск от касания стенки гнезда при наклонном или вертикальном положении модулятора или уменьшает силу нормального давления, если такое касание происходит. При наличии двух выступов на диске и, соответственно, двух магнитных вставок на стенках надежность устройства повышается.With this design, the force of magnetic attraction between the protrusion and the insert of magnetic material on the wall keeps the disk from touching the wall of the socket when the modulator is tilted or vertical, or reduces the force of normal pressure if such contact occurs. In the presence of two protrusions on the disk and, accordingly, two magnetic inserts on the walls, the reliability of the device increases.
Смысл подачи первого из заявляемых решений, предназначенного для использования в модуляторах с горизонтально ориентацией, в том, что, хотя второе решение более универсально и обеспечивает работу модулятора при любой его ориентации, существует множество применений, в которых модулятор используется только в горизонтальном положении (в составе планшетов, индикаторов, электронной бумаги, оптических коммутаторов и т.п.), и поэтому оправдана разработка для таких случаев более простого и дешевого варианта устройства.The point of submitting the first of the claimed solutions, intended for use in modulators with a horizontal orientation, is that, although the second solution is more universal and provides the modulator with any orientation, there are many applications in which the modulator is used only in a horizontal position (in the composition tablets, indicators, electronic paper, optical switches, etc.), and therefore it is justified to develop for such cases a simpler and cheaper version of the device.
Краткое описание чертежейBrief Description of the Drawings
На фиг. 1 схематично, без соблюдения масштаба и без детализации (не показаны средства привода, склеивающие, просветляющие, антибликовые, упрочняющие, уменьшающие трение, токоподводящие, крепежные и др. элементы), изображено сечение оптического модулятора в плоскости диска.In FIG. 1 schematically, without respect to scale and without detail (drive means gluing, antireflective, anti-glare, reinforcing, reducing friction, current-supplying, fastening, and other elements are not shown), a section of the optical modulator in the disk plane is shown.
На фиг. 2 изображено, также схематично, поперечное сечение оптического модулятора для работы в горизонтальном положении.In FIG. 2 is also a schematic cross-sectional view of an optical modulator for horizontal operation.
На фиг. 3 изображено, также схематично, поперечное сечение оптического модулятора с выступами из магнитного материала и магнитными вставками на стенках, находящегося, для примера, в вертикальном положении.In FIG. 3 also shows, schematically, a cross section of an optical modulator with protrusions of magnetic material and magnetic inserts on the walls, which, for example, is in a vertical position.
Цифрами обозначены:The numbers indicate:
1 - диск из плоского поляризатора;1 - disk of a flat polarizer;
2 - гнездо;2 - nest;
3 - выступ в центре диска;3 - protrusion in the center of the disk;
4 - выступ из магнитного материала;4 - a protrusion of magnetic material;
5 - намагниченная область стенки;5 - magnetized region of the wall;
6 - стенка из плоского поляризатора;6 - wall of a flat polarizer;
7 - стенка (или прозрачная, или с отражателем, или полупрозрачная и полуотражающая).7 - wall (or transparent, or with a reflector, or translucent and translucent).
Осуществление изобретенияThe implementation of the invention
Примером конкретного исполнения оптического модулятора для использования в горизонтальном (или близком к нему) положении может служить модулятор, диск 1 которого диаметром 1 мм выполнен из кварца толщиной 0,05 мм, на который нанесена серебряная поляризационная решетка. С обеих сторон диска в его центре нанесены ситалловые цилиндрические выступы 3 высотой 20 мкм и диаметром 50 мкм. Стенки 6 и 7 модулятора размерами 1,5×15 мм в плане выполнены из кварца толщиной 0,5 мм и на внутреннюю (для модулятора) поверхность одной из стенок (стенка 6) нанесена серебряная поляризационная решетка. Гнездо 2 для диска выполнено в виде отверстия диаметром 1,1 мм в пластине кремния толщиной 100 мкм и размерами в плане 1,5×15 мм, которая установлена между двумя стенками. Гнездо припаяно к стенкам, а в варианте исполнения приклеено - к этому соединению нет особых требований, т.к. нет требований к герметичности устройства. Средством для поворота диска является источник электрического поля: протяженные проводящие полосы поляризационной решетки ориентируются вдоль вектора напряженности электрического поля.An example of a specific embodiment of an optical modulator for use in a horizontal (or close to it) position is a modulator whose
Примером конкретного исполнения оптического модулятора для использования в произвольной ориентации может служить модулятор, отличающийся от описанного в предыдущем примере тем, что выступы 4 того же размера выполнены из композита на основе неодимового магнитного порошка NdFeB (наносится в смеси с клеем, полимеризующимся в УФ), а магнитные вставки 5 в стенки 6 и 7 выполнены из того же композита, заполняющего углубления диаметром 50 мкм и глубиной 20 мкм, выполненные в стенках в центре гнезда (напротив требуемого положения центра диска).An example of a specific embodiment of an optical modulator for use in arbitrary orientation can be a modulator that differs from that described in the previous example in that the
Эксперименты показали, что применение предлагаемого изобретения позволяет на порядки уменьшить величину воздействия, необходимого для поворота диска. Разница близка к разнице поведения стрелки компаса на игле и просто на столе… Исследования с использованием нанесения антистатических слоев показали, что исключение влияния паразитного электростатического притяжения между диском и стенкой при применении предлагаемого изобретения является превалирующим эффектом от этого применения.The experiments showed that the application of the invention allows to reduce by orders of magnitude the impact required to rotate the disk. The difference is close to the difference in the behavior of the compass needle on the needle and just on the table ... Studies using the application of antistatic layers have shown that the exclusion of the influence of parasitic electrostatic attraction between the disk and the wall when applying the present invention is the prevailing effect of this application.
Применение изобретения позволяет:The application of the invention allows:
- увеличить быстродействие микроэлектромеханического оптического модулятора;- increase the speed of the microelectromechanical optical modulator;
- снизить потребляемую мощность, что существенно для дисплеев, физические пиксели которых выполнены в виде предложенных оптических модуляторов;- reduce power consumption, which is essential for displays whose physical pixels are made in the form of the proposed optical modulators;
- упростить средства управления оптическими модуляторами и экранами на их основе;- simplify the management of optical modulators and screens based on them;
- расширить возможности по управлению оптическими модуляторами;- expand the ability to control optical modulators;
- упростить технологию изготовления за счет, в частности, отсутствия необходимости нанесения антистатических слоев;- to simplify the manufacturing technology due, in particular, the lack of the need for applying antistatic layers;
- увеличить долговечность и надежность устройства благодаря уменьшению трения поляризационных дисков, приводящего к их износу.- to increase the durability and reliability of the device due to the reduction of friction of polarizing disks, leading to their wear.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017108638A RU2654828C2 (en) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | Optical modulator (options) |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017108638A RU2654828C2 (en) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | Optical modulator (options) |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2017108638A RU2017108638A (en) | 2017-07-05 |
| RU2654828C2 true RU2654828C2 (en) | 2018-05-22 |
Family
ID=59309273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017108638A RU2654828C2 (en) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | Optical modulator (options) |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2654828C2 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4885751A (en) * | 1987-09-11 | 1989-12-05 | Centre De Recherches Metallurgiques Centrum Voor Research In De Metallurgie | Device for modulating a laser beam |
| US6191880B1 (en) * | 1995-09-23 | 2001-02-20 | Carl-Zeiss-Stiftung | Radial polarization-rotating optical arrangement and microlithographic projection exposure system incorporating said arrangement |
| JP2004118153A (en) * | 2002-09-30 | 2004-04-15 | Mitsubishi Electric Corp | Projection display device |
-
2017
- 2017-03-15 RU RU2017108638A patent/RU2654828C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4885751A (en) * | 1987-09-11 | 1989-12-05 | Centre De Recherches Metallurgiques Centrum Voor Research In De Metallurgie | Device for modulating a laser beam |
| US6191880B1 (en) * | 1995-09-23 | 2001-02-20 | Carl-Zeiss-Stiftung | Radial polarization-rotating optical arrangement and microlithographic projection exposure system incorporating said arrangement |
| JP2004118153A (en) * | 2002-09-30 | 2004-04-15 | Mitsubishi Electric Corp | Projection display device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2017108638A (en) | 2017-07-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105579900B (en) | Method and apparatus for preceding half retroreflection display of light | |
| CN107209435B (en) | Multi-electrode total internal reflection image display | |
| JP6469656B2 (en) | Method and apparatus for improved color filter saturation | |
| US20010053016A1 (en) | Digital micromirror device and method for non-contacting, edge-coupled hidden hinge geometry | |
| WO2018076932A1 (en) | Reflective display and preparation method therefor | |
| CN108369355B (en) | Increased reflectivity in image displays based on total internal reflection | |
| JP2011142065A5 (en) | ||
| US10261221B2 (en) | Corner reflector reflective image display | |
| WO2018076703A1 (en) | Reflective display and manufacturing method therefor | |
| WO2019184324A1 (en) | Display apparatus and display method therefor, and display device | |
| CN112394548A (en) | Viewing angle controller and display device | |
| EP2413184A1 (en) | Suspended particle device and method for driving same | |
| CN103547957A (en) | MEMS anchor and spacer structure | |
| RU2654828C2 (en) | Optical modulator (options) | |
| CN106707643B (en) | Dot structure and its driving method and display device | |
| US20180299684A1 (en) | Optical device and display method thereof | |
| JP2020064085A (en) | Optical device | |
| JP7109641B2 (en) | Reflective optical encoder and motor, and method of manufacturing reflective optical encoder | |
| JP4218568B2 (en) | Spatial light modulation device, image display device, and projector | |
| TWM574245U (en) | Miniature biaxial optical actuator | |
| WO2012142845A1 (en) | Mems light valve, display device and forming method thereof | |
| CN113272709B (en) | Optical switch, control method thereof and display device | |
| CN109896496B (en) | Mirror assembly, control method thereof and light adjusting plate | |
| JP2006259456A (en) | Particle displacement type display element, particle displacement type display device, and manufacturing method for particle displacement type display element | |
| US11947224B1 (en) | Display panel and display device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200316 |