RU2601049C1 - Method of applying gas-tight coating of silicon carbide - Google Patents
Method of applying gas-tight coating of silicon carbide Download PDFInfo
- Publication number
- RU2601049C1 RU2601049C1 RU2015116407/02A RU2015116407A RU2601049C1 RU 2601049 C1 RU2601049 C1 RU 2601049C1 RU 2015116407/02 A RU2015116407/02 A RU 2015116407/02A RU 2015116407 A RU2015116407 A RU 2015116407A RU 2601049 C1 RU2601049 C1 RU 2601049C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon
- silicon carbide
- coating
- gas
- tight
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/42—Silicides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области высокотемпературных, коррозионностойких материалов, а именно термозащитных и антиокислительных покрытий, и может быть использовано для повышения химической инертности и температуры эксплуатации материалов (композиционные материалы на основе карбида кремния (SiC), углерод-углеродные композиционные материалы (УУКМ), высокотемпературные сплавы, тугоплавкие металлы и др.), используемых в авиакосмической промышленности, топливо-энергетическом комплексе и др.The invention relates to the field of high-temperature, corrosion-resistant materials, namely heat-protective and antioxidant coatings, and can be used to increase the chemical inertness and operating temperature of materials (composite materials based on silicon carbide (SiC), carbon-carbon composite materials (CCCM), high-temperature alloys refractory metals, etc.) used in the aerospace industry, fuel and energy complex, etc.
Наиболее близким к заявляемому изобретению является способ осаждения из газовой (паровой) фазы (CVD). Так известен способ изготовления покрытий из карбида кремния заданного состава и свойств (US 2014356549, A1 опубл. 04.01.2014). Способ заключается в осаждении покрытия из карбида кремния на материале путем подачи к поверхности материала газообразных кремнийсодержащих и углеродсодержащих компонентов, в качестве которых используются органические прекурсоры. Данный способ позволяет получать на поверхности материалов газоплотные покрытия из карбида кремния с высокими защитными свойствами и однородностью.Closest to the claimed invention is a method of deposition from the gas (vapor) phase (CVD). So there is a known method of manufacturing coatings of silicon carbide of a given composition and properties (US 2014356549, A1 publ. 04.01.2014). The method consists in depositing a silicon carbide coating on a material by supplying gaseous silicon-containing and carbon-containing components to the surface of the material, which use organic precursors. This method allows to obtain on the surface of materials gas-tight coatings of silicon carbide with high protective properties and uniformity.
Недостатком данного способа является малая производительность, высокая стоимость компонентов (реагентов) и затраты на производство за счет большой продолжительности процесса нанесения покрытия путем химического осаждения из газовой фазы.The disadvantage of this method is the low productivity, high cost of components (reagents) and production costs due to the long duration of the coating process by chemical vapor deposition.
Изобретение направлено на упрощение технологического процесса нанесения газоплотного покрытия из карбида кремния на поверхность материалов, уменьшение стоимости, сокращение времени процесса нанесения покрытий.The invention is aimed at simplifying the process of applying a gas-tight coating of silicon carbide to the surface of materials, reducing cost, reducing the time of the coating process.
Технический результат состоит в уменьшении стоимости и сокращении времени технологического процесса получения покрытий газоплотного карбида кремния, повышении термоокислительной стойкости защищаемых материалов, увеличении адгезии покрытия из карбида кремния с материалом, на который оно наносится, увеличении термоокислительной прочности покрываемых деталей из различных высокотемпературных материалов (УУКМ, композиционный материал SiC-Si или SiC-C-Si, графит, металл, металлический сплав и т.д.).The technical result consists in reducing the cost and time of the process of producing gas-tight silicon carbide coatings, increasing the thermal oxidative resistance of the materials to be protected, increasing the adhesion of the silicon carbide coating to the material on which it is applied, and increasing the thermal oxidative strength of the coated parts from various high-temperature materials (CCCM, composite material SiC-Si or SiC-C-Si, graphite, metal, metal alloy, etc.).
Технический результат достигается за счет того, что способ нанесения газоплотного покрытия из карбида кремния заключается в осаждении покрытия из карбида кремния на установленном в тепловой зоне печи материале путем подачи к поверхности материала газообразных кремнийсодержащего и углеродсодержащего компонентов, в качестве кремнийсодержащего компонента используются пары кремния из расплава кремния, расположенного в тигле в тепловой зоне печи, в качестве углеродсодержащего компонента используются газообразные углеводороды.The technical result is achieved due to the fact that the method of applying a gas-tight coating of silicon carbide is to deposit a coating of silicon carbide on a material installed in the furnace heat zone by supplying gaseous silicon-containing and carbon-containing components to the surface of the material, silicon vapor from silicon melt is used as the silicon-containing component located in the crucible in the thermal zone of the furnace, gaseous hydrocarbons are used as the carbon-containing component.
Технический результат достигается также за счет того, что в способе нанесения газоплотного покрытия из карбида кремния в образовании покрытия участвует также расплав кремния, содержащийся в материале, на который наносится покрытие.The technical result is also achieved due to the fact that the melt of silicon contained in the material on which the coating is applied also participates in the method of applying a gas-tight coating of silicon carbide.
В заявляемом способе газоплотное покрытие из карбида кремния на материале формируется за счет прямого взаимодействия углерода, образующегося при высокотемпературном пиролитическом разложении молекул углеводорода (например, метана) с парами кремния, источником которого служит расплав кремния, размещенный в тепловой зоне печи и/или жидким кремнием, содержащимся в материале детали, на которую наносится покрытие. Использование паров и/или расплава кремния для проведения реакции образования карбида кремния на поверхности материала детали существенно упрощает конструкцию технологической зоны, сокращает время проведения процесса и снижает его себестоимость за счет более доступного и дешевого компонента по сравнению с кремнийсодержащими прекурсорами, используемыми в CVD процессах нанесения SiC покрытий. Адгезия защитного покрытия с поверхностью углерод-углеродного композиционного материала, композиционного материала SiC-Si или SiC-C-Si, графита и других углерод или кремнийсодержащих материалов при использовании предлагаемого способа существенно выше, т.к. процесс проводится при высокой температуре с частичным участием компонент, находящихся непосредственно в детали, на которую наносится покрытие. Также способ позволяет наносить SiC покрытия на металлы и металлические сплавы.In the inventive method, a gas-tight coating of silicon carbide on the material is formed due to direct interaction of carbon formed during the high-temperature pyrolytic decomposition of hydrocarbon molecules (e.g. methane) with silicon vapors, the source of which is a silicon melt placed in the thermal zone of the furnace and / or liquid silicon, contained in the material of the part to be coated. The use of vapors and / or silicon melt to conduct the reaction of silicon carbide formation on the surface of the material of the part significantly simplifies the design of the process zone, reduces the time of the process, and reduces its cost due to the more affordable and cheaper component compared to silicon-containing precursors used in CVD SiC deposition processes coatings. The adhesion of the protective coating with the surface of the carbon-carbon composite material, composite material SiC-Si or SiC-C-Si, graphite and other carbon or silicon-containing materials when using the proposed method is significantly higher, because the process is carried out at high temperature with partial participation of components located directly in the part to be coated. The method also allows you to apply SiC coatings on metals and metal alloys.
Реализация изобретения поясняется чертежами и примером реализации изобретения:The implementation of the invention is illustrated by drawings and an example implementation of the invention:
Фиг. 1. Схема установки для нанесения покрытий по заявляемому способу.FIG. 1. Scheme of the installation for coating by the present method.
Фиг. 2. Защитное газоплотное SiC покрытие со средним размером кристаллитов ~80 нм на графите. Температура Т=1600°С, давление Р=4 мм рт.ст., скорость V=0,39 литр/мин.FIG. 2. Protective gas-tight SiC coating with an average crystallite size of ~ 80 nm on graphite. Temperature Т = 1600 ° С, pressure Р = 4 mm Hg, speed V = 0.39 liter / min.
Фиг. 3. Защитное газоплотное SiC покрытие со средним размером кристаллитов ~50 мкм на графите. Температура Т=1480°С, давление Р=2 мм рт.ст., скорость V=0,6 литров/мин.FIG. 3. Protective gas-tight SiC coating with an average crystallite size of ~ 50 μm on graphite. Temperature Т = 1480 ° С, pressure Р = 2 mm Hg, speed V = 0.6 liters / min.
Фиг. 4. Защитное газоплотное SiC покрытие на углерод-углеродном композиционном материале (УУКМ).FIG. 4. Protective gas-tight SiC coating on a carbon-carbon composite material (CCCM).
Фиг. 5. Защитное газоплотное SiC покрытие карбидокремниевой керамики с участием в качестве источника кремния остаточного кремния материала.FIG. 5. Protective gas-tight SiC coating of silicon carbide ceramics with the participation of residual silicon material as a source of silicon.
Фиг. 6. Микроструктура композиционного материала SiC-C-Si/50-40-10 без покрытия (а) и с газоплотным SiC покрытием (б) после отжига при 1000°С на воздухе в течение 60 часов.FIG. 6. The microstructure of the composite material SiC-C-Si / 50-40-10 without coating (a) and with a gas-tight SiC coating (b) after annealing at 1000 ° C in air for 60 hours.
Фиг. 7. Защитное газоплотное SiC покрытие на биоморфной керамике.FIG. 7. Protective gas-tight SiC coating on biomorphic ceramics.
Фиг. 8. Защитное газоплотное SiC покрытие на молибденовом нагревателе.FIG. 8. Protective gas-tight SiC coating on a molybdenum heater.
Пример реализации изобретенияAn example implementation of the invention
Для нанесения газоплотного покрытия из карбида кремния на материал 1 (графит) использовалась вакуумная высокотемпературная печь резистивного нагрева с графитовым нагревателем 2 и углеродной теплоизоляцией 3 (Фиг. 1). Печь готовили следующим образом: открыли тепловую зону печи 4, произвели загрузку кремния в тигель 5, расположенный в нижней части тепловой зоны на подставке 6. Над тиглем на высоте 100 мм разместили покрываемую деталь 1 из графита с помощью графитовой оснастки 7. Далее произвели закрытие тепловой зоны 4 углеродной теплоизоляцией 3, установку рассекателя на магистраль подачи углеводорода 8. В качестве углеводорода был использован метан. Далее печь вакуумировали с использованием форвакуумного насоса, провели нагревание тепловой зоны 4 печи до температуры 1600°С для получения расплава кремния, находящегося в тигле 5. После этого осуществили подачу метана в тепловую зону (давление Р=4 мм рт.ст., скорость V=0,39 литр/мин). Покрытие выращивалось со скоростью 100 мкм/час. Когда необходимая толщина покрытия была достигнута (30 мкм), прекратили подачу метана в камеру печи, в течение 1 часа снизили рабочую мощность нагревателя 2 до нуля. После этого была выключена система обеспечения вакуума 9, и после полного охлаждения печи последовала ее разгрузка. Увеличенное изображение структуры полученного покрытия с размером частиц карбида кремния 80 нм показано на Фиг. 2.To apply a gas-tight coating of silicon carbide to material 1 (graphite), a high-temperature vacuum resistive heating furnace with a
В зависимости от определенного сочетания температуры, времени протекания реакции, скорости потока газообразного углеводорода через камеру, степени его разложения, парциального давления углеводорода в зоне реакции можно получать нано- и микрокристаллические газонепроницаемые покрытия с разной структурой, регулируемым политипным составом и толщиной (от 300 нм до сотен микрон) с размером частиц карбида кремния от 50 нм до сотен микрон. Пример газоплотного SiC покрытия из кристаллитов размером несколько десятков микрон на графите показан на Фиг. 3. Температура, при котором наносилось покрытие составляла Т=1480°С, параметры подачи метана при этом составили: давление Р=2 мм рт.ст., скорость V=0,6 литров/мин.Depending on the combination of temperature, reaction time, the flow rate of gaseous hydrocarbon through the chamber, the degree of its decomposition, the partial pressure of the hydrocarbon in the reaction zone, nano- and microcrystalline gas-tight coatings with different structures, controlled by polytype composition and thickness (from 300 nm to hundred microns) with a particle size of silicon carbide from 50 nm to hundreds of microns. An example of a gas-tight SiC coating of crystallites several tens of microns in size on graphite is shown in FIG. 3. The temperature at which the coating was applied was T = 1480 ° C; the methane supply parameters in this case were: pressure P = 2 mm Hg, speed V = 0.6 liters / min.
На Фиг. 4 показан материал УУКМ с нанесенным по предлагаемому способу газоплотным покрытием из карбида кремния. Хорошая адгезия SiC покрытия к УУКМ достигалась за счет частичного участия углерода, находящегося в УУКМ. Использовались режимы для получения покрытия на графите с размером частиц карбида кремния 80 нм, приведенные в примере реализации изобретения. Также газоплотное покрытие из карбида кремния по предлагаемому способу может быть нанесено на материалы с содержанием остаточного кремния, такие как силицированные графиты и реакционносвязанные графиты (композиционные материалы SiC-C-Si) и реакционно-связанный карбид кремния (SiC-Si), биоморфную карбидокремниевую керамику для существенного повышения их термоокислительной стойкости. Участие свободного кремния, содержащегося в данных материалах, позволяет получать газоплотные покрытия с высокой адгезией к поверхности материала. На Фиг. 5 показана микроструктура композиционного материала SiC-C-Si/50-40-10% масс., с защитным карбидокремниевым покрытием, полученным с параметрами нанесения, приведенными в примере реализации. На Фиг. 6 приведены структуры данного материала без защитного покрытия (Фиг. 6а) и с SiC газоплотным покрытием (Фиг. 6б), после отжига на воздухе при температуре 1000°С в течение 60 часов. Видно, что структура материала без защитного покрытия сильно нарушена за счет выгорания углерода из керамики. Потеря веса детали без покрытия составила 36% вес. Вес детали с SiC покрытием не изменился.In FIG. 4 shows the UUKM material coated with a gas-tight silicon carbide coating by the proposed method. Good adhesion of the SiC coating to CCCM was achieved due to the partial participation of carbon in CCCM. The modes used to obtain a coating on graphite with a particle size of silicon carbide of 80 nm, given in the example implementation of the invention. Also, a gas-tight coating of silicon carbide according to the proposed method can be applied to materials containing residual silicon, such as siliconized graphites and reactive graphites (SiC-C-Si composite materials) and reactive silicon carbide (SiC-Si), biomorphic silicon carbide ceramics to significantly increase their thermo-oxidative stability. The participation of free silicon contained in these materials makes it possible to obtain gas-tight coatings with high adhesion to the surface of the material. In FIG. 5 shows the microstructure of the composite material SiC-C-Si / 50-40-10 wt.%, With a protective silicon carbide coating obtained with the application parameters shown in the example implementation. In FIG. Figure 6 shows the structures of this material without a protective coating (Fig. 6a) and with a SiC gas-tight coating (Fig. 6b), after annealing in air at a temperature of 1000 ° C for 60 hours. It can be seen that the structure of the material without a protective coating is severely disturbed due to the burning of carbon from ceramics. The weight loss of the uncoated part was 36% by weight. The weight of the SiC coated part has not changed.
На Фиг. 7 показана микроструктура газоплотного покрытия из карбида кремния по предлагаемому способу, нанесенного на биоморфную карбидокремниевую керамику, где в качестве углеродного компонента используется пиролизованная древесина (в данном случае - береза). Покрытие позволяет защитить от окисления остаточные углерод и кремний в объеме биоморфной керамики.In FIG. 7 shows the microstructure of a gas-tight coating of silicon carbide according to the proposed method, applied to biomorphic silicon carbide ceramics, where pyrolyzed wood (in this case, birch) is used as the carbon component. The coating allows you to protect from oxidation residual carbon and silicon in the volume of biomorphic ceramics.
Нанесение SiC покрытия на композиционные SiC-C-Si также может улучшать механические характеристики материала за счет снижения вклада поверхностных дефектов при испытании образцов на изгиб, сжатие и растяжение. В таблице 1 представлены результаты испытаний деталей из карбидокремниевой керамики с карбидокремниевым покрытием.SiC coating of composite SiC-C-Si can also improve the mechanical characteristics of the material by reducing the contribution of surface defects when testing samples for bending, compression and tension. Table 1 presents the test results of parts made of silicon carbide ceramics with silicon carbide coating.
Из таблицы следует, что показатели прочности изделий из карбидокремниевой керамики на сжатие и изгиб увеличены для изделий с нанесенным карбидокремниевым покрытием с частичным источником кремния, находящимся в структуре покрываемого материала.It follows from the table that the compressive and bending strengths of silicon carbide ceramic products are increased for products with silicon carbide coating with a partial silicon source located in the structure of the coated material.
Защитное газоплотное покрытие из карбида кремния по предлагаемому способу может быть нанесено также на металлы и металлические сплавы. На Фиг. 8 показана молибденовая пластина с SiC покрытием, которая использовалась в качестве нагревателя (контактные зоны нагревателя на краях не защищены покрытием), работающего в окислительной атмосфере при температуре 1500°С свыше 100 часов.Protective gas-tight coating of silicon carbide by the proposed method can also be applied to metals and metal alloys. In FIG. Figure 8 shows a molybdenum plate with a SiC coating, which was used as a heater (the contact zones of the heater at the edges are not protected by the coating) operating in an oxidizing atmosphere at a temperature of 1500 ° C for more than 100 hours.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2015116407/02A RU2601049C1 (en) | 2015-04-29 | 2015-04-29 | Method of applying gas-tight coating of silicon carbide |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2015116407/02A RU2601049C1 (en) | 2015-04-29 | 2015-04-29 | Method of applying gas-tight coating of silicon carbide |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2601049C1 true RU2601049C1 (en) | 2016-10-27 |
Family
ID=57216583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2015116407/02A RU2601049C1 (en) | 2015-04-29 | 2015-04-29 | Method of applying gas-tight coating of silicon carbide |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2601049C1 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2684128C1 (en) * | 2018-04-06 | 2019-04-04 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно технический центр "Новые технологии" | Article with silicon carbide coating and method for manufacturing of article with silicon carbide coating |
RU2695423C1 (en) * | 2018-02-26 | 2019-07-23 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно технический центр "Новые технологии" | Article from graphite with modified near-surface layer and method of modification of article surface, having base from graphite |
WO2021034215A1 (en) * | 2019-08-19 | 2021-02-25 | СВЯТЕЦ, Генадий Викторович | Article made of graphite with modified subsurface layer and method for modifying the surface of an article having a graphite base |
WO2021034214A1 (en) * | 2019-08-19 | 2021-02-25 | Генадий Викторович СВЯТЕЦ | Article with silicon carbide coating and method for producing article with silicon carbide coating |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU310508A1 (en) * | 1969-07-23 | 1975-01-25 | В. В. Конокотин, Г. А. Кравецкий, В. С. Дергунова , Н. П. Гусева | Method of protecting carbon and graphite materials from oxidation |
US4194028A (en) * | 1977-08-31 | 1980-03-18 | Wacher-Chemitronic Gesellschaft fur Elektronik-Grundstoffe mbH | Process for applying a protective layer to shaped carbon bodies |
RU2165999C2 (en) * | 1991-01-30 | 2001-04-27 | Научно-исследовательский институт молекулярной электроники | Method of forming protective coats for graphite substrate holders and device for method embodiment |
US20140302299A1 (en) * | 2007-06-19 | 2014-10-09 | Markisches Werk Gmbh | Thermally sprayed gastight protective layer for metal substrates |
-
2015
- 2015-04-29 RU RU2015116407/02A patent/RU2601049C1/en active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU310508A1 (en) * | 1969-07-23 | 1975-01-25 | В. В. Конокотин, Г. А. Кравецкий, В. С. Дергунова , Н. П. Гусева | Method of protecting carbon and graphite materials from oxidation |
US4194028A (en) * | 1977-08-31 | 1980-03-18 | Wacher-Chemitronic Gesellschaft fur Elektronik-Grundstoffe mbH | Process for applying a protective layer to shaped carbon bodies |
RU2165999C2 (en) * | 1991-01-30 | 2001-04-27 | Научно-исследовательский институт молекулярной электроники | Method of forming protective coats for graphite substrate holders and device for method embodiment |
US20140302299A1 (en) * | 2007-06-19 | 2014-10-09 | Markisches Werk Gmbh | Thermally sprayed gastight protective layer for metal substrates |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2695423C1 (en) * | 2018-02-26 | 2019-07-23 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно технический центр "Новые технологии" | Article from graphite with modified near-surface layer and method of modification of article surface, having base from graphite |
RU2684128C1 (en) * | 2018-04-06 | 2019-04-04 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно технический центр "Новые технологии" | Article with silicon carbide coating and method for manufacturing of article with silicon carbide coating |
WO2021034215A1 (en) * | 2019-08-19 | 2021-02-25 | СВЯТЕЦ, Генадий Викторович | Article made of graphite with modified subsurface layer and method for modifying the surface of an article having a graphite base |
WO2021034214A1 (en) * | 2019-08-19 | 2021-02-25 | Генадий Викторович СВЯТЕЦ | Article with silicon carbide coating and method for producing article with silicon carbide coating |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2601049C1 (en) | Method of applying gas-tight coating of silicon carbide | |
WO2020199354A1 (en) | High-temperature-resistant electrothermal fiber and application thereof | |
RU2458888C1 (en) | Method of producing protective coatings on articles with carbon-containing base | |
RU2011105001A (en) | METHOD FOR COATING AND ANTI-CORROSION COATING FOR TURBINE COMPONENTS | |
US5660880A (en) | Anti-oxidation protection of carbon-based materials | |
CN109182996B (en) | Tungsten alloy coating preparation equipment and method | |
Wang et al. | Recovery in oxidation behavior of damaged SiCZrB2/SiC coating of carbon/carbon composites | |
CN110022623B (en) | Preparation and application of high-temperature-resistant electric heating fiber | |
Zhang et al. | Preparation of Mg and Al phosphate coatings on ferritic steel by wet-chemical method as tritium permeation barrier | |
CN104609892A (en) | Mullite fiber provided with SiBCN coating deposited on surface and preparation method of mullite fiber | |
CN114405797B (en) | Graphene coating based on liquid material plasma spraying technology and spraying process thereof | |
Dong et al. | In Situ gas–solid reaction and oxidation resistance of silicon carbide coating on carbon fibers | |
EP2933353A1 (en) | Use of silicon and carbon precursors for producing fiber-reinforced composites | |
Grenadyorov et al. | Thermal stability of aC: H: SiOx thin films in hydrogen atmosphere | |
RU2470857C1 (en) | Method of making parts from carbon-carbide-silicon material | |
CN105601341B (en) | A method of it is prepared with beta silicon carbide coating brake disc | |
CN105503270B (en) | A kind of preparation method of SiC coatings | |
CN105705678A (en) | DLC film formation method | |
CN105130498A (en) | Method for preparing silicon carbide coating on carbon material by employing reaction diffusion process | |
RU2716323C1 (en) | Method of protecting carbon-containing composite materials of large-size articles from oxidation | |
Kohzaki et al. | Large-area diamond deposition and brazing of the diamond films on steel substrates for tribological applications | |
RU2464250C1 (en) | Method of making articles from carbon-silicon carbide material | |
JP4911451B2 (en) | Method for surface modification of metal material containing iron as main component | |
Ye et al. | Deposition of Hexagonal Boron Nitride from N‐Trimethylborazine (TMB) for Continuous CVD Coating of SiBNC Fibers | |
RU2675618C1 (en) | Method of applying oxidation-resistant and ultra-high-temperature titanium, zirconium and hafnium diboride coatings to composite materials |