RU2598857C2 - Small-size autoemissive electron gun - Google Patents
Small-size autoemissive electron gun Download PDFInfo
- Publication number
- RU2598857C2 RU2598857C2 RU2014132515/07A RU2014132515A RU2598857C2 RU 2598857 C2 RU2598857 C2 RU 2598857C2 RU 2014132515/07 A RU2014132515/07 A RU 2014132515/07A RU 2014132515 A RU2014132515 A RU 2014132515A RU 2598857 C2 RU2598857 C2 RU 2598857C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- shell
- electron gun
- small
- emission electron
- gun according
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в электронно-лучевых приборах с автоэлектронной эмиссией, а именно: в зондовых приборах, экранах, растровых электронных микроскопах, а также в исследовательских и аналитических установках.The invention relates to electronic equipment and can be used in electron beam devices with field emission, namely: in probe devices, screens, scanning electron microscopes, as well as in research and analytical installations.
Известна малогабаритная автоэмиссионная электронная пушка, содержащая автокатод, выполненный из наноструктурированного углеродного материала, заключенный в диэлектрическую оболочку, включающую первую часть и вторую часть, модулятор, расположенный на отдельных изолирующих конструкциях, и контактный электрод [1].Known small-sized field emission electron gun containing a cathode made of nanostructured carbon material, enclosed in a dielectric sheath, including the first part and second part, a modulator located on separate insulating structures, and a contact electrode [1].
Это устройство выбрано в качестве прототипа предложенного решения.This device is selected as a prototype of the proposed solution.
Недостатки этого устройства заключаются в низкой надежности и долговечности, связанных с тем, что модулятор расположен на отдельных изолирующих конструкциях. Такая компоновка снижает жесткость и увеличивает габариты автоэмиссионной пушки. При этом может происходить уход геометрических параметров крепления модулятора, что со временем может вызывать выход из строя автоэмиссионной пушки в целом.The disadvantages of this device are the low reliability and durability associated with the fact that the modulator is located on separate insulating structures. This arrangement reduces stiffness and increases the dimensions of the field emission gun. In this case, the geometrical parameters of the mounting of the modulator can go away, which over time can cause the failure of the field emission gun as a whole.
Целью предлагаемого изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик устройства.The aim of the invention is to improve the operational characteristics of the device.
Технический результат изобретения заключается в повышении надежности и долговечности работы устройства.The technical result of the invention is to increase the reliability and durability of the device.
Указанный технический результат достигается тем, что в малогабаритной автоэмиссионной электронной пушке, содержащей автокатод, выполненный из наноструктурированного углеродного материала, заключенный в диэлектрическую оболочку, включающую первую часть и вторую часть, модулятор и контактный электрод, модулятор выполнен в виде первой обечайки, которая плотно насажена на первую часть диэлектрической оболочки, причем свободная часть первой обечайки и первый свободный конец автокатода выступают над первым торцом первой части диэлектрической оболочки, а в качестве контактного электрода используют вторую обечайку, соединенную со второй частью диэлектрической оболочки и имеющую электрический контакт с автокатодом.The specified technical result is achieved by the fact that in a small-sized field-emission electron gun containing an autocathode made of nanostructured carbon material, enclosed in a dielectric sheath, comprising a first part and a second part, a modulator and a contact electrode, the modulator is made in the form of a first shell, which is tightly mounted on the first part of the dielectric sheath, and the free part of the first shell and the first free end of the cathode protrude above the first end of the first part of the dielectric eskoy shell, and as the contact electrode is a second sleeve is connected to the second portion of the dielectric sheath and having electrical contact with the cathodes.
В одном из вариантов первый свободный конец автокатода выступает над первым торцом диэлектрической оболочки на высоту h1, находящуюся в диапазоне 0,1-2 мм.In one embodiment, the first free end of the cathode protrudes above the first end of the dielectric sheath to a height h1 in the range 0.1-2 mm.
В одном из вариантов свободная часть первой обечайки выступает над первым свободным концом автокатода на величину h2, находящуюся в диапазоне 0,1-2 мм.In one embodiment, the free part of the first shell protrudes above the first free end of the autocathode by a value of h2, which is in the range of 0.1-2 mm.
В одном из вариантов первый свободный конец автокатода выступает над свободной частью первой обечайки на величину h3, находящуюся в диапазоне 0,1-2 мм.In one embodiment, the first free end of the cathode protrudes above the free part of the first shell by an amount of h3 in the range of 0.1-2 mm.
В одном из вариантов размер h4 свободной части первой обечайки больше размера h5 остальной части первой обечайки в 1,2-1,6 раза.In one embodiment, the size h4 of the free part of the first shell is 1.2-1.6 times larger than the size h5 of the rest of the first shell.
В одном из вариантов h4 свободной части первой обечайки составляет величину 0,6-0,9 от размера h5 остальной части первой обечайки.In one embodiment, h4 of the free part of the first shell is 0.6-0.9 of the size h5 of the rest of the first shell.
В одном из вариантов автокатод включает второй свободный конец, который выступает из второго торца диэлектрической оболочки на величину h6, находящуюся в диапазоне 0,1-2 мм, при этом пространство на эту величину внутри второй обечайки заполнено проводящим составом.In one embodiment, the autocathode includes a second free end that projects from the second end of the dielectric sheath by an amount of h6 in the range of 0.1-2 mm, while the space by this amount inside the second shell is filled with a conductive composition.
В одном из вариантов диэлектрическая оболочка выполнена из стекла или керамики.In one embodiment, the dielectric sheath is made of glass or ceramic.
В одном из вариантов первая и вторая обечайки посажены на диэлектрическую оболочку неразъемным соединением.In one embodiment, the first and second shells are seated on a dielectric sheath with an integral connection.
В одном из вариантов обечайки закреплены на диэлектрической оболочке с помощью клеевого шва, причем на краях обечаек, направленных друг к другу, выполнены диэлектрические бортики.In one embodiment, the shells are secured to the dielectric sheath with an adhesive joint, and dielectric edges are made at the edges of the shells directed towards each other.
В одном из вариантов расстояние между первым краем первой обечайки и вторым краем второй обечайки, направленных друг к другу, составляет величину h7, находящуюся в диапазоне 5-20 мм.In one embodiment, the distance between the first edge of the first shell and the second edge of the second shell directed towards each other is h7, which is in the range of 5-20 mm.
В одном из вариантов диэлектрическая оболочка имеет цилиндрическую форму.In one embodiment, the dielectric sheath is cylindrical in shape.
В одном из вариантов автокатод выполнен из пучка углеродных волокон. In one embodiment, the autocathode is made of a bundle of carbon fibers.
В одном из вариантов первый свободный конец автокатода имеет округлую форму.In one embodiment, the first free end of the cathode is rounded.
В одном из вариантов автокатод выполнен в виде фольги из терморасширенного графита.In one embodiment, the autocathode is made in the form of foil made of thermally expanded graphite.
В одном из вариантов первая часть диэлектрической оболочки, расположенная внутри первой обечайки, представляет собой усеченный конус с углом αl при вершине, находящийся в диапазоне 160-10°.In one embodiment, the first part of the dielectric shell located inside the first shell is a truncated cone with an angle αl at the apex, which is in the range of 160-10 °.
В одном из вариантов размер h8 свободной части первой обечайки составляет величину 0,6-0,9 от размера h9 остальной части первой обечайки, но угол α2 схождения обечайки всегда больше угла αl при вершине усеченного конуса диэлектрической оболочки минимум на 10°.In one embodiment, the size h8 of the free part of the first shell is 0.6-0.9 of the size h9 of the rest of the first shell, but the angle of convergence of the shell is always greater than the angle αl at the top of the truncated cone of the dielectric shell by at least 10 °.
На фиг. 1 изображена малогабаритная автоэмиссионная электронная пушка в разрезе.In FIG. 1 shows a small field emission electron gun in a section.
На фиг. 2 изображен вариант выполнения автокатода.In FIG. 2 shows an embodiment of an autocathode.
На фиг. 3 и 4 изображены варианты выполнения торца диэлектрической оболочки и первой обечайки.In FIG. 3 and 4 illustrate embodiments of the end face of the dielectric sheath and the first shell.
Малогабаритная автоэмиссионная электронная пушка, содержит автокатод 1 (фиг. 1), выполненный из наноструктурированного углеродного материала и заключенный в диэлектрическую оболочку 2, включающую первую часть 3 и вторую часть 4. Кроме этого, электронная пушка включает модулятор и контактный электрод 6.A small field emission electron gun contains an autocathode 1 (Fig. 1) made of nanostructured carbon material and enclosed in a
Модулятор выполнен в виде первой обечайки 7, которая плотно насажена на первую часть 3 диэлектрической оболочки 2. Плотность посадки должна обеспечить какое-либо отсутствие перемещения первой обечайки 7 относительно диэлектрической оболочки 2 при монтаже в электронном приборе, а также при его эксплуатации. Это включает как ударные, так и термические нагрузки. При этом материалы первой обечайки 7 и диэлектрической оболочки 2 должны иметь очень близкие коэффициенты линейного и объемного расширения (подробно см. ниже).The modulator is made in the form of a
Свободная часть 8 первой обечайки 7 и первый свободный конец 9 автокатода 1 выступают над первым торцом 10 первой части 3 диэлектрической оболочки 2. В качестве контактного электрода 6 используют вторую обечайку 11, соединенную со второй частью 4 диэлектрической оболочки 2 и имеющую электрический контакт с автокатодом 1. Соединение второй обечайки 11 со второй частью 4 диэлектрической оболочки 2 должно быть также осуществлено по плотной посадке, которая должна обеспечить какое-либо отсутствие перемещения второй обечайки 11 относительно диэлектрической оболочки 2 при монтаже в электронном приборе, а также при его эксплуатации. Материалы второй обечайки 8 и диэлектрической оболочки 2 должны иметь очень близкие коэффициенты линейного и объемного расширения (подробно см. ниже).The
В данной конфигурации происходит уменьшение запыления материалом автокатода 1 первой части 3 (первого торца 10) диэлектрической оболочки 2 и, как следствие, повышение надежности и долговечности электронной пушки.In this configuration, there is a decrease in dusting by the material of the
В первом варианте первый свободный конец 9 автокатода 1 выступает над первым торцом 10 диэлектрической оболочки 2 на высоту h1, находящуюся в диапазоне 0,1-2 мм. Эта величина определяет максимальную величину угла расхождения электронного пучка и степень экранирования электронного пучка, эмитированного со свободного конца 9 автокатода 1, первым торцом 10 диэлектрической оболочки 2.In the first embodiment, the first
Такой диапазон высоты h1 дает уменьшение экранирующего эффекта автокатода, тем самым уменьшается рабочее напряжение электронной пушки и повышается ее надежность и долговечность, а также увеличивается мощность пучка.This range of height h1 reduces the shielding effect of the autocathode, thereby reducing the operating voltage of the electron gun and increasing its reliability and durability, as well as increasing the beam power.
Величина h1 определяет также влияние первого торца 10 диэлектрической оболочки 2 на величину электронного пучка в зависимости от диаметра автокатода 1. Нижний размер (0,1 мм) относится к диаметру автокатода 1 около 50 мкм, а верхний (2 мм) к величине диаметра автокатода 0,5-1 мм. Большие диаметры автокатода 1 использовать нецелесообразно из-за внутренней экранировки эмиссионных центров и, соответственно, уменьшения автоэмиссионного тока.The value of h1 also determines the effect of the
Во втором варианте свободная часть 8 первой обечайки 7 выступает первым свободным концом 9 автокатода 1 на величину h2, находящуюся в диапазоне 0,1-2 мм. Чем больше величина h2, тем более узкий электронный пучок может быть сформирован, что дает возможность изменять форму пучка и приводит к улучшению эксплуатационных свойств электронной пушки.In the second embodiment, the
В третьем варианте для получения расходящегося электронного пучка в конструкции электронной пушки первый свободный конец 9 (фиг. 2) автокатода 1 выступает над свободной частью 8 первой обечайки 7 на величину h3, находящуюся в диапазоне 0,1-2 мм. Это позволяет получить более широкий пучок электронов и, кроме того, уменьшает практически до нуля токоперехват электронов на модулятор, что повышает экономичность и долговечность работы электронной пушки.In the third embodiment, to obtain a diverging electron beam in the design of the electron gun, the first free end 9 (Fig. 2) of the
При этом размер h4 свободной части 8 первой обечайки 7 может быть больше размера h5 остальной части 12 первой обечайки 7 в 1,2-1,6 раза.The size h4 of the
Данный вариант расширяет угол разлета электронов и увеличивает ширину пучка электронов, а также повышает надежность и долговечность электронной пушки за счет уменьшения запыления материалом автокатода 1 первой части 3 (первого торца 10) диэлектрической оболочки 2.This option expands the electron scattering angle and increases the width of the electron beam, and also increases the reliability and durability of the electron gun by reducing the dust content of the
Размер h4 может также составлять величину 0,6-0,9 от размера h5 остальной части 12 первой обечайки 7. В этом случае можно сузить электронный пучок.The size h4 may also be 0.6-0.9 of the size h5 of the
Надежный электрический контакт автокатода 1 (фиг. 1) с внешними устройствами, обеспечивается тем, что автокатод 1 включает второй свободный конец 13, который выступает из второго торца 14 диэлектрической оболочки 2 на величину h6, находящуюся в диапазоне 0,1-2 мм, при этом пространство на эту величину внутри второй обечайки 11 заполнено проводящим составом 15, в качестве которого можно использовать аквадак, т.е. суспензию графитового порошка в воде с добавлением жидкого стекла. Электрическое сопротивление проводящего состава 15 может варьироваться в широких пределах: от долей Ом до нескольких десятков МОм. В последнем случае проводящий состав работает как резистор отрицательной обратной связи, это существенно повышает стабильность автоэмиссионного тока.Reliable electrical contact of the autocathode 1 (Fig. 1) with external devices is ensured by the fact that the
Надежный электрический контакт автокатода 1 с контактным электродом 6 повышает надежность и долговечность электронной пушки.Reliable electrical contact of the
Материал диэлектрической оболочки 2 должен обладать хорошими вакуумными свойствами, т.е. температурной устойчивостью вплоть до 500°С, и малым газоотделением. В зависимости от назначения автоэмиссионной электронной пушки диэлектрическая оболочка 2 может быть выполнена из либо из стекла (Ст 52), либо из керамики (22ХС).The material of the
Стекло наиболее дешевый и технологичный материал, в то время как керамика обладает большим удельным электрическим сопротивлением и прочностью. При выполнении диэлектрической оболочки из керамики повышается надежность и долговечность электронной пушки. Как уже отмечалось, в зависимости от материала диэлектрической оболочки 2 следует подбирать материал первой обечайки 7 и контактного электрода 6 (второй обечайки 11), для обеспечения равенства коэффициентов линейного расширения. В качестве материалов первой 7 и второй 11 обечаек можно использовать ковар, нержавеющую сталь, молибден.Glass is the cheapest and most technologically advanced material, while ceramics have high electrical resistivity and strength. When performing a dielectric sheath made of ceramic, the reliability and durability of the electron gun are increased. As already noted, depending on the material of the
Возможен вариант, в котором соединение диэлектрической оболочки 2 с первой обечайкой 7 и второй обечайкой 11 выполнено неразъемным. Это необходимо, чтобы при высокотемпературной обработке (например, при откачке прибор прогревается до 400-500°С) обеспечивалась плотная неразъемная посадка первой 7 и второй 11 обечаек на диэлектрическую оболочку 2.A variant is possible in which the connection of the
Неразъемное соединение означает, что при температурных изменениях (например, технологических), а также монтажных и ударных нагрузках не происходят смещения первой 7 и второй 11 обечаек относительно диэлектрической оболочки 2.One-piece connection means that with temperature changes (for example, technological), as well as mounting and shock loads, the first 7 and second 11 shells do not shift relative to the
Такое неразъемное соединение может быть осуществлено разными способами, например горячей посадкой первой 7 и второй 11 обечаек на диэлектрическую оболочку 2. Другой вариант неразъемного соединения - монтаж обечаек 7, 11 на диэлектрической оболочке 2 с помощью точечной сварки. То, что соединение диэлектрической оболочки 2 с первой обечайкой 7 и второй обечайкой 11 выполнено неразъемным, повышает надежность и долговечность электронной пушки.Such an integral connection can be made in various ways, for example, by hot landing the first 7 and second 11 shells on the
Также существует более простой и эффективный способ, когда обечайки 7 и 11 закреплены на диэлектрической оболочке 2 с помощью клеевого шва 16, причем на краях обечаек, направленных друг к другу, выполнены диэлектрические бортики 17.There is also a simpler and more effective method, when the
В данном случае можно использовать вакуумные стеклоцементы соответствующего состава, совместимого с коэффициентом термического расширения обечаек 7, 11 и диэлектрической оболочки 2, например стеклоцемент СЦ-317.In this case, it is possible to use vacuum glass cements of the appropriate composition compatible with the coefficient of thermal expansion of
Использование клея позволяет корректировать положение обечаек 7 и 11 на диэлектрической оболочке 2, увеличивает электрическую прочность конструкции и повышает надежность и долговечность электронной пушки.The use of glue allows you to adjust the position of the
Бортики 17 увеличивают электрическую прочность промежутка автокатод 1 - модулятор (первая обечайка 7) по диэлектрической оболочке 2 за счет исключения электрических пробоев между первым краем 18 первой обечайки 7 и вторым краем 19 второй обечайки 11, и, тем самым, позволяют уменьшить длину автоэмиссионной электронной пушки.The
При приемлемых для практики напряжениях между автокатодом 1 и первой обечайки 7 (0,1-1,5 кВ) расстояние между первым краем 18 первой обечайки 7 и вторым краем 19 второй обечайки 11, направленных друг к другу, составляет величину h7, находящуюся в диапазоне 5-20 мм. Этот вариант следует соблюдать и в варианте, изображенном на фиг. 1.At practical voltages between the
Наиболее технологичной и дешевой формой диэлектрической оболочки 2 является цилиндр, хотя в некоторых случаях, могут быть использованы и другие формы, например шестигранник или квадрат (не показаны). Такие формы целесообразны в случае использования электронной пушки в специальных электронных приборов, например многолучевых клистронов.The most technologically advanced and cheapest form of
На сегодняшний день наилучшим углеродным материалом автокатодов для электронных пушек являются пучки углеродных волокон с радиусом острий 10-100 нм.To date, the best carbon material for autocathodes for electron guns are bundles of carbon fibers with a tip radius of 10-100 nm.
Этот материал наиболее удобен для электронных пушек, т.к. обладает большой (более 10 000 часов) долговечностью в условиях высокого технического вакуума (10-6 - 10-7мм рт. ст.), который может быть достигнут в большинстве отпаянных электронных приборов.This material is most suitable for electronic guns, as It has a great (more than 10,000 hours) durability in conditions of high technical vacuum (10 -6 - 10 -7 mm Hg), which can be achieved in most sealed electronic devices.
Для улучшения равномерности автоэмиссии с первого свободного конца 9 (фиг. 3, фиг. 4) автокатода 1 он может иметь округлую форму 25. Такая форма достигается специальной обработкой в тлеющем разряде.To improve the uniformity of field emission from the first free end 9 (Fig. 3, Fig. 4) of the
Для увеличения автоэмиссионного тока и возможности изменения формы электронного пучка автокатод 1 может быть выполнен в виде фольги из терморасширенного графита, что приводит к улучшению эксплуатационных свойств.To increase the field emission current and the possibility of changing the shape of the electron beam, the
Увеличение долговечности автоэмиссионной электронной пушки можно достичь, если первая часть 3 (фиг. 3) диэлектрической оболочки 2, расположенная внутри первой обечайки 7, представляет собой усеченный конус 20 с углом αl при вершине, находящийся в диапазоне 160-10°. Это достигается за счет большего времени запыления материалом автокатода 1 поверхности конуса 20 и, соответственно, увеличивает долговечность электронной пушки. Такая конструкция наиболее удобна для пучков электронов с широким углом распределения электронов.An increase in the durability of the field-emission electron gun can be achieved if the first part 3 (Fig. 3) of the
Для узкого пучка электронов необходимо, чтобы размер h8 свободной части 23 (фиг. 4) первой обечайки 7 составлял величину 0,6-0,9 от размера h9 остальной части 24 первой обечайки 7. При этом угол α2 схождения обечайки должен быть всегда больше угла αl при вершине усеченного конуса 20 диэлектрической оболочки 2 минимум на 10°. Эта конструкция может не только существенно сузить электронный пучок, но и повысить надежность и долговечность электронной пушки за счет уменьшения запыления материалом автокатода 1 поверхности конуса 20 диэлектрической оболочки 2. Подробнее принципы автоэлектронной эмиссии, в том числе углеродных материалов, изложены в [2-4].For a narrow electron beam, it is necessary that the size h8 of the free part 23 (Fig. 4) of the
Устройство работает следующим образом. На модулятор, выполненный в виде первой обечайки 7, подают положительный потенциал относительно автокатода 1 величиной порядка 100-2000 В. Приложенное напряжение понижает потенциальный барьер у свободного конца 9 автокатода 1, что приводит к туннелированию электронов через конец 9. Угол разлета эмиттированных электронов зависит от соотношения между величинами h1, h2, h3. Выбирая их соответствующим образом, можно получить как расходящийся, так и остросфокусированный электронный пучок. При величине h3 больше 0,1 мм будет расходящийся электронный пучок и чем h3 больше, тем угол расхождения тоже больше. При h2>h1 происходит сужение электронного пучка. Чем больше соотношение h2/h1, тем этот эффект больше.The device operates as follows. The modulator, made in the form of the
Механизм долговечности катода 1 приведенной электронной пушки следующий. Ионы остаточных газов, образующиеся в межэлектродном пространстве работающей электронной пушки, бомбардируют кончики микроострий наноструктурированного углеродного материала катода 1. Под действием ионной бомбардировки они, затупляясь и уменьшаясь по высоте, уменьшают свой вклад в автоэмиссионный ток. Однако при этом "выдвигаются" другие микроострия, которые вступают в работу из-за увеличения напряженности электрического поля на них. В результате средний автоэмиссионный ток автокатода 1 остается постоянным.The longevity mechanism of
ЛитератураLiterature
1. Патент RU 2180145. Автоэмиссионное устройство. 27.02.2002.1. Patent RU 2180145. Field emission device. 02/27/2002.
2. Елинсон М.И., Васильев Г.В. Автоэлектронная эмиссия. - М.: ГИФМЛ, 1958.2. Elinson M.I., Vasiliev G.V. Field emission. - M .: GIFFL, 1958.
3. Шешин Е.П. Структура поверхности и автоэмиссионные свойства углеродных материалов. - М.: ФИЗМАТГИЗ, 2001.3. Sheshin EP Surface structure and field emission properties of carbon materials. - M .: FIZMATGIZ, 2001.
4. Егоров Н.В., Шешин Е.П. Автоэлектронная эмиссия. Принципы и применение. - Долгопрудный: Интеллект, 2011.4. Egorov N.V., Sheshin E.P. Field emission. Principles and application. - Dolgoprudny: Intellect, 2011.
Claims (18)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014132515/07A RU2598857C2 (en) | 2014-08-07 | 2014-08-07 | Small-size autoemissive electron gun |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014132515/07A RU2598857C2 (en) | 2014-08-07 | 2014-08-07 | Small-size autoemissive electron gun |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2014132515A RU2014132515A (en) | 2016-02-27 |
| RU2598857C2 true RU2598857C2 (en) | 2016-09-27 |
Family
ID=55434807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2014132515/07A RU2598857C2 (en) | 2014-08-07 | 2014-08-07 | Small-size autoemissive electron gun |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2598857C2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019207352A1 (en) * | 2018-04-24 | 2019-10-31 | Ооо "Экологический Свет" | Field emission electron gun |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996025753A1 (en) * | 1995-02-15 | 1996-08-22 | Lightlab Ab | A field emission cathode and methods in the production thereof |
| WO2000055880A1 (en) * | 1999-03-17 | 2000-09-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electron-emitting device and image display device using electron-emitting device |
| RU2180145C2 (en) * | 2000-02-15 | 2002-02-27 | Батурин Андрей Сергеевич | Autoemission device |
| US6737792B2 (en) * | 1999-12-27 | 2004-05-18 | Sony Corporation | Field emission cathode, electron emission device and electron emission device manufacturing method |
| RU134356U1 (en) * | 2013-03-12 | 2013-11-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Торий" | AUTO EMISSION ELECTRON GUN |
-
2014
- 2014-08-07 RU RU2014132515/07A patent/RU2598857C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996025753A1 (en) * | 1995-02-15 | 1996-08-22 | Lightlab Ab | A field emission cathode and methods in the production thereof |
| WO2000055880A1 (en) * | 1999-03-17 | 2000-09-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electron-emitting device and image display device using electron-emitting device |
| US6737792B2 (en) * | 1999-12-27 | 2004-05-18 | Sony Corporation | Field emission cathode, electron emission device and electron emission device manufacturing method |
| RU2180145C2 (en) * | 2000-02-15 | 2002-02-27 | Батурин Андрей Сергеевич | Autoemission device |
| RU134356U1 (en) * | 2013-03-12 | 2013-11-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Торий" | AUTO EMISSION ELECTRON GUN |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019207352A1 (en) * | 2018-04-24 | 2019-10-31 | Ооо "Экологический Свет" | Field emission electron gun |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2014132515A (en) | 2016-02-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9734980B2 (en) | Graphene serving as cathode of X-ray tube and X-ray tube thereof | |
| US9048058B2 (en) | Radiation generating tube and radiation generating apparatus using the same | |
| CN111108578A (en) | Three-axis X-ray tube | |
| US10475618B2 (en) | Electron gun capable of suppressing the influence of electron emission from the cathode side surface | |
| US9177753B2 (en) | Radiation generating tube and radiation generating apparatus using the same | |
| KR20100123253A (en) | Gate-focusing electrodes integrated electrodes structure for x-ray tube based on nano-structured material | |
| US3154711A (en) | Electron beam focusing by means of contact differences of potential | |
| WO2008156361A2 (en) | Miniature x-ray source with guiding means for electrons and / or ions | |
| KR102288924B1 (en) | X-ray tube and manufacturing method thereof | |
| JP2010086861A (en) | X-ray tube | |
| EP0964432A1 (en) | High pressure discharge lamp | |
| JP5376449B2 (en) | Hollow cathode | |
| RU2598857C2 (en) | Small-size autoemissive electron gun | |
| RU2446508C1 (en) | Pulsed x-ray tube | |
| JP2009252444A (en) | Collector electrode and electron tube | |
| KR101970834B1 (en) | Field emission x-ray generating apparatus | |
| JP2017135082A (en) | X-ray generation tube, x-ray generation device, and x-ray imaging system | |
| US2686885A (en) | Insulated coated grid for electron discharge devices | |
| KR100548930B1 (en) | Ion source | |
| KR101214404B1 (en) | gate-focusing electrodes integrated electrodes structure for X-ray tube based on nano-structured material | |
| CN113646864B (en) | Electron source and charged particle beam device | |
| JP4922884B2 (en) | X-ray tube | |
| US7550909B2 (en) | Electron gun providing improved thermal isolation | |
| JP6611495B2 (en) | X-ray generator tube, X-ray generator and X-ray imaging system | |
| RU132255U1 (en) | CATHODE ASSEMBLY OF THE ELECTRON BEAM OF THE VACUUM-DENSE CERAMICS |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| HE9A | Changing address for correspondence with an applicant | ||
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20170808 |