RU2594987C1 - Integrated optical element - Google Patents
Integrated optical element Download PDFInfo
- Publication number
- RU2594987C1 RU2594987C1 RU2015131664/28A RU2015131664A RU2594987C1 RU 2594987 C1 RU2594987 C1 RU 2594987C1 RU 2015131664/28 A RU2015131664/28 A RU 2015131664/28A RU 2015131664 A RU2015131664 A RU 2015131664A RU 2594987 C1 RU2594987 C1 RU 2594987C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- titanium
- substrate
- optical waveguide
- integrated optical
- optical element
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Настоящее изобретение относится к устройствам интегральной оптики и может быть использовано для изготовления интегрально-оптических схем, требующих высокой степени выделения линейной поляризации света, например, таких как фазовые интегрально-оптические модуляторы в составе волоконно-оптических гироскопов или амплитудные модуляторы с высоким коэффициентом экстинкции. Более конкретно настоящее изобретение относится к интегрально-оптическим волноводам на подложке ниобата лития, поддерживающим распространение только одной заданной линейной поляризации света (поляризаторам).The present invention relates to integrated optical devices and can be used for the manufacture of integrated optical circuits requiring a high degree of linear polarization of light, for example, such as phase integrated optical modulators in fiber optic gyroscopes or amplitude modulators with a high extinction coefficient. More specifically, the present invention relates to integrated optical waveguides on a lithium niobate substrate, supporting the propagation of only one predetermined linear light polarization (polarizers).
Интегрально-оптические схемы представляют собой волноводные структуры с различной функциональностью, такие как передающие линии, модуляторы, поляризаторы и т.д. Для интегрально-оптических схем на основе ниобата лития (LiNbO3) характерны следующие конструкции: протонно-обменные оптические волноводы, встроенные в подложку из ниобата лития и титан-диффузионные оптические волноводы, также встроенные в подложку из ниобата лития.Integrated-optical circuits are waveguide structures with different functionality, such as transmission lines, modulators, polarizers, etc. Integrated optical circuits based on lithium niobate (LiNbO 3 ) are characterized by the following structures: proton-exchange optical waveguides embedded in a lithium niobate substrate and titanium-diffusion optical waveguides also embedded in a lithium niobate substrate.
Известен интегрально-оптический элемент (см. патент US 6374005, МПК G02B 6/13, опубликован 16.04.2002), включающий подложку из кристалла ниобата лития, оптический волновод, сформированный в верхней поверхности подложки из ниобата лития, образованный обменом ионов лития Li+, входящих в состав кристалла, на протоны H+, и два электрода, расположенные вблизи оптического волновода.Known integrated optical element (see patent US 6374005, IPC G02B 6/13, published 04.16.2002), including a substrate of a lithium niobate crystal, an optical waveguide formed in the upper surface of a substrate of lithium niobate, formed by the exchange of lithium ions Li + , which are part of the crystal, to H + protons, and two electrodes located near the optical waveguide.
Недостатком известного устройства, представляющего собой образованный в подложке ниобата лития протонно-обменный волновод, является то, что в приповерхностном слое кристалла формируются различные дефекты, благодаря резким изменениям фазового состава этой части интегрально-оптического волновода в течение как протонного обмена, так и послеобменного отжига. Появление значительного количества дефектов приводит к формированию приповерхностного нарушенного слоя, вызывая значительное рассеивание света и, как следствие, заметный рост оптических потерь (0,5 Дб/см) в изготавливаемом интегрально-оптическом волноводе. Помимо этого данная конструкция обладает высокой температурной восприимчивостью. Высокие температуры (свыше 200°C) приводят к ухудшению волноводных свойств, что накладывает ограничения на последующие технологические операции, требующие высоких температур, например термодиффузия, а также условия эксплуатации таких поляризаторов.A disadvantage of the known device, which is a proton exchange waveguide formed in a lithium niobate substrate, is that various defects are formed in the surface layer of the crystal due to sharp changes in the phase composition of this part of the integrated optical waveguide during both proton exchange and post-exchange annealing. The appearance of a significant number of defects leads to the formation of a near-surface disturbed layer, causing significant light scattering and, as a result, a noticeable increase in optical loss (0.5 dB / cm) in the integrated optical waveguide. In addition, this design has a high temperature susceptibility. High temperatures (above 200 ° C) lead to deterioration of the waveguide properties, which imposes restrictions on subsequent technological operations that require high temperatures, such as thermal diffusion, as well as the operating conditions of such polarizers.
Известен интегрально-оптический элемент (см. патент US 8189981, МПК G02B 6/10, опубликован 29.05.2012), включающий кристаллическую подложку из ниобата лития, сформированный в верхней поверхности подложки оптический волновод, образованный путем воздействия на верхнюю поверхность подложки из ниобата лития мягким протонно-обменным раствором, содержащим протонно-обменную кислоту и литиевую соль протонно-обменной кислоты при температуре, меньшей точки кипения раствора при атмосферном давлении, и последующего отжига мягкого протонно-обменного слоя в парах воды для предотвращения образования воды из протонов ниобата водорода и испарения из верхней поверхности подложки.Known integrated optical element (see patent US 8189981, IPC G02B 6/10, published May 29, 2012), including a crystalline substrate of lithium niobate, formed in the upper surface of the substrate, an optical waveguide formed by applying soft to the upper surface of the substrate of lithium niobate proton exchange solution containing proton exchange acid and lithium salt of proton exchange acid at a temperature lower than the boiling point of the solution at atmospheric pressure, and subsequent annealing of the soft proton exchange layer in ah water to prevent the formation of water from hydrogen protons niobate and evaporation from the top surface of the substrate.
Известный интегрально-оптический элемент, состоящий из подложки из ниобата лития и сформированного в ней протонно-обменного волновода, имеет значительные оптические потери (0,5 Дб/см), которые к тому же возрастают при росте температуры.The well-known integrated optical element, consisting of a substrate of lithium niobate and a proton-exchange waveguide formed in it, has significant optical losses (0.5 dB / cm), which also increase with increasing temperature.
Известен интегрально-оптический элемент (см. патент US 4329016, МПК С23С 10/00, С23С 10/28, С30В 31/00, опубликован 11.05.1982), включающий подложку из ниобата лития, встроенный в подложку оптический волновод с концентрацией ионов титана, образованный термической диффузией титана из нанесенной на поверхность подложки композитной пленки, содержащей окись титана и двуокись кремния. Концентрация ионов титана подбиралась так, чтобы обеспечить минимальные потери в волноводе.Known integrated optical element (see patent US 4329016, IPC
Известный интегрально-оптический элемент имеет ненарушенный приповерхностный слой, однако он поддерживают распространение как обыкновенной, так и необыкновенной волн и не обладает свойством выделения поляризации проходящего через него света.The known integrated optical element has an undisturbed surface layer, however, it supports the propagation of both ordinary and extraordinary waves and does not have the property of highlighting the polarization of the light passing through it.
Известен интегрально-оптический элемент (см. патент US 4789212, МПК G02B 06/126, опубликован 12.03.1998), включающий подложку из кристалла ниобата лития, встроенный в подложку оптический волновод шириной 4-8 мкм, образованный термической диффузией титана, нанесенный на оптический волновод диэлектрический слой из ZnO толщиной 200-2000 ангстрем, поверх которого нанесен слой алюминия толщиной более 1000 ангстрем.Known integrated optical element (see patent US 4789212, IPC G02B 06/126, published 03/12/1998), including a substrate of a lithium niobate crystal, an optical waveguide 4-8 μm wide embedded in the substrate, formed by thermal diffusion of titanium deposited on an optical waveguide a dielectric layer of ZnO with a thickness of 200-2000 angstroms, on top of which an aluminum layer with a thickness of more than 1000 angstroms is applied.
Известный интегрально-оптический элемент обладает способностью выделять линейную поляризацию проходящего через него светового излучения, однако он достаточно сложен в изготовлении.The well-known integrated optical element has the ability to emit a linear polarization of the light radiation passing through it, however, it is quite difficult to manufacture.
Известен интегрально-оптический элемент, работающий в диапазоне длин волн 1500-1600 нм, совпадающий с настоящим техническим решением по наибольшему числу существенных признаков и принятый за прототип (I.V. Il′ichev, N.V. Toguzov, А.V. Shamray, "Plasmon-polariton polarizers on the surface of single-mode channel optical waveguides in lithium niobate", Technical Physics Letters, September 2009, Volume 35, Issue 9, p.p. 831-833). Устройство-прототип включает подложку из кристалла ниобата лития, встроенный в подложку оптический волновод, образованный термической диффузией титана из титановой полоски шириной 3-8 мкм и толщиной 100-120 нм, нанесенной на поверхность подложки, диэлектрический буферный слой из A2O3 нанесенный поверх оптического волновода, и алюминиевую пленку, нанесенную на диэлектрический буферный слой. Глубина оптического волновода в интегрально-оптическом элементе-прототипе составляла 5,0-7,0 мкм, а максимальная концентрация ионов титана в оптическом волноводе не превышала 1027 м-3. Сформированный в подложке из кристалла ниобата лития волновод поддерживал как обыкновенную, так и необыкновенную поляризации. Буферный слой из A2O3 толщиной 15 нм, алюминиевая пленка толщиной 100 нм предназначены для возбуждения плазмонно-поляритонных мод и подавления моды, поляризованной перпендикулярно границе раздела металл/диэлектрик.A known integrated optical element operating in the wavelength range of 1500-1600 nm, coinciding with this technical solution for the largest number of essential features and adopted as a prototype (IV Il'ichev, NV Toguzov, A.V. Shamray, "Plasmon-polariton polarizers on the surface of single-mode channel optical waveguides in lithium niobate ", Technical Physics Letters, September 2009, Volume 35,
Такая конструкция интегрально-оптического элемента, обладающего свойством выделения поляризации, характеризуется высоким коэффициентом выделения заданной поляризации (19 Дб/мм) и отсутствием температурной восприимчивости, однако устройство-прототип имеет значительные оптические потери, и для его изготовления необходимо использовать сложный технологический процесс, требующий дополнительное напыление слоев с высокой точностью по толщине (±5 нм).This design of an integrated optical element with the property of polarization isolation is characterized by a high coefficient of emission of a given polarization (19 dB / mm) and the absence of temperature susceptibility, however, the prototype device has significant optical losses, and for its manufacture it is necessary to use a complex technological process that requires additional spraying layers with high accuracy in thickness (± 5 nm).
Задачей настоящего изобретения разработка такого интегрально-оптического элемента, работающего в диапазоне длин волн 1500-1600 нм, который бы имел более простую по исполнению конструкцию и при этом сохранял свойство выделения поляризации, а также имел низкие оптические потери.The objective of the present invention is the development of such an integrated optical element operating in the wavelength range of 1500-1600 nm, which would have a simpler design and at the same time retain the property of polarization isolation, and also have low optical loss.
Поставленная задача решается тем, что интегрально-оптический элемент включает подложку из кристалла ниобата лития, встроенный в подложку оптический волновод, образованный термической диффузией титана из титановой полоски шириной 3-7 мкм и толщиной 60-80 нм, нанесенной на поверхность подложки, при этом глубина оптического волновода равна 3-4 мкм, а максимальная концентрация ионов титана в оптическом волноводе составляет (1-5)·1028 м-3.The problem is solved in that the integrated optical element includes a substrate of a lithium niobate crystal, an optical waveguide embedded in the substrate, formed by thermal diffusion of titanium from a titanium strip with a width of 3-7 μm and a thickness of 60-80 nm deposited on the surface of the substrate, while the depth the optical waveguide is 3-4 microns, and the maximum concentration of titanium ions in the optical waveguide is (1-5) · 10 28 m -3 .
Новым в интегрально-оптическом элементе является то, что оптический волновод выполнен термической диффузией титана из титановой полоски таким образом, что образовываемый волновод имеет глубину 3-4 мкм и максимальную концентрацию ионов титана (1-5)·1028 м-3. Данные параметры оптического волновода обеспечивают, с одной стороны, распространение только одной поляризации и, с другой стороны, низкий уровень потерь. При концентрации ионов титана менее 1028 м-3 волновод начинает поддерживать две ортогональные поляризации (обыкновенную и необыкновенную). Концентрацию ионов титана более 5·1028 м-3 затруднительно получить при глубине оптического волновода 3-4 мкм, помимо этого концентрации свыше 5·1028 также приводят к увеличению потерь. При глубине оптического волновода менее 3 мкм возрастают потери. При глубине волновода более 4 мкм сложно обеспечить максимальную концентрацию ионов титана в сформированном волноводе более 1028 м-3.What is new in the integrated optical element is that the optical waveguide is made by thermal diffusion of titanium from a titanium strip in such a way that the formed waveguide has a depth of 3-4 μm and a maximum concentration of titanium ions of (1-5) · 10 28 m -3 . These parameters of the optical waveguide provide, on the one hand, the propagation of only one polarization and, on the other hand, a low level of loss. When the concentration of titanium ions is less than 10 28 m -3, the waveguide begins to support two orthogonal polarizations (ordinary and extraordinary). It is difficult to obtain a concentration of titanium ions of more than 5 · 10 28 m -3 at a depth of the optical waveguide of 3-4 μm; in addition to this, concentrations above 5 · 10 28 also lead to an increase in losses. When the depth of the optical waveguide is less than 3 μm, losses increase. With a waveguide depth of more than 4 μm, it is difficult to ensure a maximum concentration of titanium ions in the formed waveguide of more than 10 28 m -3 .
В отличие от устройства-прототипа, в настоящем интегрально-оптическом элементе используются анизотропные свойства кристалла ниобата лития, что приводит к различной величине изменения показателей преломления для обыкновенной и необыкновенной волн в образованном в подложке из кристалла ниобата лития оптическом волноводе. Было обнаружено, что существует диапазон глубин оптического волновода и концентраций ионов титана в оптическом волноводе, сформированном методом термической диффузии титана в кристалл ниобата лития, при котором, с одной стороны, оптический волновод обладает низкими потерями, что необходимо для качественных интегрально-оптических элементов, а с другой стороны, не поддерживает распространение по оптическому волноводу обыкновенной волны света. Данный интервал глубин оптического волновода составляет 3-4 мкм, а концентрация ионов титана составляет (1-5)·1028 1/м3.Unlike the prototype device, the anisotropic properties of a lithium niobate crystal are used in this integrated optical element, which leads to different values of the change in the refractive indices for ordinary and extraordinary waves in an optical waveguide formed in a substrate of lithium niobate crystal. It was found that there is a range of depths of the optical waveguide and the concentration of titanium ions in the optical waveguide formed by thermal diffusion of titanium into a lithium niobate crystal, in which, on the one hand, the optical waveguide has low losses, which is necessary for high-quality integrated optical elements, and on the other hand, it does not support the propagation of an ordinary wave of light along an optical waveguide. This depth range of the optical waveguide is 3-4 μm, and the concentration of titanium ions is (1-5) · 10 28 1 / m 3 .
Настоящее изобретение поясняется чертежами, где:The present invention is illustrated by drawings, where:
на фиг. 1 схематически показано в поперечном разрезе настоящее интегрально-оптическое устройство (h - глубина оптического волновода);in FIG. 1 schematically shows in cross-section a real integrated optical device (h is the depth of the optical waveguide);
на фиг. 2 приведена зависимость длин волн отсечки для обыкновенной и необыкновенной волн, распространяющихся в оптическом волноводе, сформированном в подложке из ниобата лития, от концентрации титана в оптическом волноводе.in FIG. Figure 2 shows the dependence of the cut-off wavelengths for the ordinary and extraordinary waves propagating in an optical waveguide formed in a substrate of lithium niobate on the concentration of titanium in the optical waveguide.
Настоящую конструкцию интегрально-оптического элемента изготавливают следующим образом: на подложке 1 ниобата лития (см. фиг. 1) формируют полоску титана. После этого проводят высокотемпературный отжиг при температуре 1000-1100°C, в течение времени, необходимого для достижения глубины диффузии 3-4 мкм, необходимой для формирования оптического волновода 2, и достижения в образовываемом оптическом волноводе 2 концентрации титана (1-5)·1028 1/м3.The present design of the integrated optical element is made as follows: a strip of titanium is formed on a
Для изготовления интегрально-оптического элемента, работающего в качестве поляризатора в телекоммуникационном диапазоне длин волн (1500-1600 нм), ширина полоски обычно лежит в диапазоне от 3 до 7 мкм, а ее толщина в диапазоне от 60 до 80 нм, время отжига не превышает 5 часов.For the manufacture of an integrated optical element operating as a polarizer in the telecommunication wavelength range (1500-1600 nm), the strip width usually lies in the range from 3 to 7 μm, and its thickness in the range from 60 to 80 nm, the annealing time does not exceed 5 o'clock.
В соответствии с настоящим изобретением было изготовлено 3 образца интегрально-оптического элемента на подложке из кристалла ниобата лития. Использовали подложки из кристалла ниобата лития X среза. На подложках при помощи магнетронного напыления формировали полоски титана различной ширины от 3 до 7 мкм и толщиной 80 нм. Затем производили термодиффузию титана при температуре 1050°C в течение различных времен отжига. В результате, за счет термодиффузии, формировалась область повышенного показателя преломления, являющаяся оптическим волноводом. Один образец имел максимальную концентрацию титана 1028 1/м3 и глубину диффузии 3 мкм, второй образец имел максимальную концентрацию титана 5·1028 1/м3 и глубину диффузии 4 мкм, третий образец имел максимальную концентрацию титана 3,5·1028 1/м3 и глубину диффузии 3,5 мкм. Все три образца обеспечивали распространение необыкновенно поляризованной волноводной моды и отсечку и вытекание обыкновенно поляризованной моды в диапазоне длин волн 1500-1600 нм. Из фиг. 2 видно, что для длины волны телекоммуникационного диапазона 1,55 мкм при концентрациях титана в сформированном волноводе свыше 1·1028 м-3 обыкновенная волна не распространяется по оптическому волноводу. Экспериментально был измерен коэффициент выделения поляризации для каждого образца. Для всех образцов коэффициент выделения поляризации превышал 40 Дб/см. Полученные экспериментальные результаты хорошо согласуются с проведенным теоретическим моделированием с использованием литературных данных по коэффициентам диффузии титана (см. М. Fukuma, J. Noda and H. Iwasaki, "Optical properties in titanium-diffused LiNbO3 strip waveguides," J. Appl. Phys., vol. 49, no. 7, pp. 3693-3698, Jul. 1978).In accordance with the present invention, 3 samples of an integrated optical element on a substrate of a lithium niobate crystal were manufactured. Used substrate from a crystal of lithium niobate X cut. By means of magnetron sputtering, titanium strips of various widths from 3 to 7 μm and a thickness of 80 nm were formed on substrates. Then, titanium was thermodiffused at a temperature of 1050 ° C for various annealing times. As a result, due to thermal diffusion, a region of increased refractive index was formed, which is an optical waveguide. One sample had a maximum titanium concentration of 10 28 1 / m 3 and a diffusion depth of 3 μm, a second sample had a maximum titanium concentration of 5 · 10 28 1 / m 3 and a diffusion depth of 4 μm, a third sample had a maximum titanium concentration of 3.5 · 10 28 1 / m 3 and a diffusion depth of 3.5 μm. All three samples ensured the propagation of the unusually polarized waveguide mode and the cut-off and leakage of the usually polarized mode in the wavelength range of 1500–1600 nm. From FIG. Figure 2 shows that for a wavelength of the telecommunication range of 1.55 μm at titanium concentrations in the formed waveguide above 1 · 10 28 m -3, an ordinary wave does not propagate through the optical waveguide. The polarization emission coefficient for each sample was experimentally measured. For all samples, the polarization emission coefficient exceeded 40 dB / cm. The experimental results obtained are in good agreement with theoretical modeling using literature data on titanium diffusion coefficients (see M. Fukuma, J. Noda and H. Iwasaki, "Optical properties in titanium-diffused LiNbO3 strip waveguides," J. Appl. Phys. , vol. 49, no. 7, pp. 3693-3698, Jul. 1978).
Таким образом, настоящая конструкция интегрально-оптического элемента на подложке из кристалла ниобата лития обеспечивает высокий коэффициент выделения заданной поляризации, низкие оптические потери, низкую температурную восприимчивость и простоту изготовления в одном технологическом процессе. Более того, настоящая конструкция интегрально-оптического элемента позволяет изготавливать сложные схемы, поддерживающие распространение обеих собственных поляризаций, где участки выделяют поляризацию, топологией полосок титана.Thus, the present design of the integrated optical element on a substrate of a lithium niobate crystal provides a high coefficient of emission of a given polarization, low optical loss, low temperature susceptibility and ease of manufacture in one technological process. Moreover, the present design of the integrated optical element allows one to produce complex circuits supporting the propagation of both intrinsic polarizations, where the regions emit polarization, by the topology of the titanium strips.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015131664/28A RU2594987C1 (en) | 2015-07-29 | 2015-07-29 | Integrated optical element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015131664/28A RU2594987C1 (en) | 2015-07-29 | 2015-07-29 | Integrated optical element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2594987C1 true RU2594987C1 (en) | 2016-08-20 |
Family
ID=56697161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015131664/28A RU2594987C1 (en) | 2015-07-29 | 2015-07-29 | Integrated optical element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2594987C1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1089542A1 (en) * | 1983-01-17 | 1984-04-30 | Ордена Ленина Физический Институт Им.П.Н.Лебедева | Integral optical modulator |
| JPH0359603A (en) * | 1989-07-28 | 1991-03-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Ti-diffusion linbo3 optical waveguide and its manufacture |
| RU2089928C1 (en) * | 1994-09-28 | 1997-09-10 | Кубанский государственный университет | Process of formation of optical channel waveguides in lithium niobate |
| EP1260839B1 (en) * | 2001-05-14 | 2014-09-24 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical waveguide and method of its manufacture |
-
2015
- 2015-07-29 RU RU2015131664/28A patent/RU2594987C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1089542A1 (en) * | 1983-01-17 | 1984-04-30 | Ордена Ленина Физический Институт Им.П.Н.Лебедева | Integral optical modulator |
| JPH0359603A (en) * | 1989-07-28 | 1991-03-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Ti-diffusion linbo3 optical waveguide and its manufacture |
| RU2089928C1 (en) * | 1994-09-28 | 1997-09-10 | Кубанский государственный университет | Process of formation of optical channel waveguides in lithium niobate |
| EP1260839B1 (en) * | 2001-05-14 | 2014-09-24 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical waveguide and method of its manufacture |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5313198B2 (en) | Waveguide polarizer | |
| Miyazawa | Ferroelectric domain inversion in Ti‐diffused LiNbO3 optical waveguide | |
| US5082349A (en) | Bi-domain two-mode single crystal fiber devices | |
| Armenise | Fabrication techniques of lithium niobate waveguides | |
| WO2019061900A1 (en) | Lithium niobate waveguide having high polarization extinction ratio and manufacturing method thereof | |
| WO2021031416A1 (en) | Lithium niobate optical waveguide chip | |
| Courjal et al. | Lithium niobate optical waveguides and microwaveguides | |
| CN107037532A (en) | Long-period waveguide grating and waveguide preparation method, optical modulator and light modulating method | |
| Butt et al. | Fabrication of Y-Splitters and Mach–Zehnder Structures on (Yb, Nb): RbTiOPO $ _ {\bf 4} $/RbTiOPO $ _ {\bf 4} $ Epitaxial Layers by Reactive Ion Etching | |
| Karavaev et al. | Polarization separation in titanium-diffused waveguides on lithium niobate substrates | |
| Rambu et al. | Analysis of high-index contrast lithium niobate waveguides fabricated by high vacuum proton exchange | |
| Armenise et al. | Fabrication and characteristics of optical waveguides on LiNbO3 | |
| JPH083581B2 (en) | Electro-optical mode converter | |
| WO2014075546A1 (en) | Floating type optical waveguide and preparation method therefor | |
| Kostritskii et al. | Subsurface disorder and electro-optical properties of proton-exchanged LiNbO 3 waveguides produced by different techniques | |
| JP4642356B2 (en) | Buffer layer structure for stabilizing lithium niobate devices | |
| RU2594987C1 (en) | Integrated optical element | |
| JP2005515485A6 (en) | Buffer layer structure for stabilizing lithium niobate devices | |
| Twu et al. | Zn indiffusion waveguide polarizer on a Y-cut LiNbO 3 at 1.32-μm wavelength | |
| TWI357511B (en) | ||
| Chen et al. | Lithium-Niobate Mach-Zehnder Interferometer With Enhanced Index Contrast by SiO 2 Film | |
| Kostritskii et al. | Optical voltage sensor based on Mach-Zehnder LiNbO3 interferometer and fibre-optical technology | |
| US20220365379A1 (en) | Structure for an optoelectronics platform and method of fabricating a structure for an optoelectronics platform | |
| Caccavale et al. | A secondary‐ion‐mass spectrometry study of magnesium diffusion in lithium niobate | |
| JPH09258151A (en) | Polling method for optical waveguide |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| QB4A | Licence on use of patent |
Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20190416 Effective date: 20190416 |