RU2593639C1 - Method of aligning pancratic optical system - Google Patents

Method of aligning pancratic optical system Download PDF

Info

Publication number
RU2593639C1
RU2593639C1 RU2015104642/28A RU2015104642A RU2593639C1 RU 2593639 C1 RU2593639 C1 RU 2593639C1 RU 2015104642/28 A RU2015104642/28 A RU 2015104642/28A RU 2015104642 A RU2015104642 A RU 2015104642A RU 2593639 C1 RU2593639 C1 RU 2593639C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
carriage
zabelin
tube
grid
technological
Prior art date
Application number
RU2015104642/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Федор Моисеевич Броун
Михаил Иванович Филатов
Алексаандр Михайлович Хазов
Ринад Исмагилович Волков
Original Assignee
Акционерное общество "Швабе - Технологическая лаборатория"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Швабе - Технологическая лаборатория" filed Critical Акционерное общество "Швабе - Технологическая лаборатория"
Priority to RU2015104642/28A priority Critical patent/RU2593639C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2593639C1 publication Critical patent/RU2593639C1/en

Links

Images

Abstract

FIELD: optics.
SUBSTANCE: method of aligning moving optical elements of pancratic optical system by groove diameter and undercutting of mounting plane of carriage for optical elements is carried out in two steps. First, by means of process grid fixed on a carriage, Zabelin tubes determine exact carriage position relative to spindle rotational axis, and then carriage is installed in aligning cartridge, which is fixed in machine spindle, and with help of aligning cartridge installing carriage accurately in such position that it occupies, positioned inside housing of POS. Control of accuracy of installation of carriage is performed by means of process grid and Zabelin tube.
EFFECT: high accuracy of aligning elements of pancratic system.
1 cl, 7 dwg

Description

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к технологии изготовления оптических и оптико-электронных модулей с панкратическими оптическими системами.The invention relates to optical instrumentation, in particular to a technology for manufacturing optical and optoelectronic modules with pan-optical optical systems.

В последние годы все большее применение находят оптические и оптико-электронные комплексы, в которых оптические системы входящих в комплексы оптических и оптико-электронных модулей выполнены с переменным фокусным расстоянием, - панкратические оптические системы (ПОС). Это вызвано тем, что ПОС обладают рядом значительных преимуществ по сравнению с оптическими системами постоянного фокусного расстояния, к которым следует отнести:In recent years, optical and optoelectronic complexes have been increasingly used, in which the optical systems of the optical and optoelectronic modules included in the complexes are made with variable focal length - pan-optical optical systems (POS). This is due to the fact that PICs have a number of significant advantages compared to optical systems with a constant focal length, which include:

- возможность выбора оптимального увеличения и поля зрения;- the ability to choose the optimal magnification and field of view;

- повышение оперативности и удобства работы при эксплуатации;- improving the efficiency and ease of use during operation;

- уменьшение числа требуемых модулей, необходимых для решения поставленных задач.- reducing the number of required modules required to solve the tasks.

В то же время ПОС в конструкторском и производственном плане представляют собой сложные оптико-механические системы, в которых с высокой точностью необходимо центрировать оптические компоненты - линзы в оправе.At the same time, POS in the design and production plan are complex optical-mechanical systems in which it is necessary to center optical components with high accuracy - lenses in a frame.

В большинстве модулей перемещение оптических компонентов осуществляют с применением подшипников скольжения, в качестве которых используют прецизионно обработанные цилиндрические поверхности корпусов неподвижных и оправы подвижных оптических компонентов, либо направляющие пиноли [Л.И. Крынин «Основы проектирования и центрировки объективов переменного фокусного расстояния», учебное пособие, ИТМО (государственный университет), Санкт-Петербург, 2008, раздел 1; патент США US 8634138, G02B 27/646 от 21.01.2014 (дата публикации 10.02.2012)].In most modules, the movement of optical components is carried out using sliding bearings, which are used as precision machined cylindrical surfaces of stationary housings and frames of movable optical components, or guide pins [L.I. Krynin, “Fundamentals of Designing and Centering Variable Focus Lens,” textbook, ITMO (State University), St. Petersburg, 2008, section 1; US patent US 8634138, G02B 27/646 from 01/21/2014 (publication date 02/10/2012)].

Для таких конструкций разработаны способы поузловой центрировки оптических систем с использованием специального технологического оборудования таких как: трубка Забелина для определения погрешностей выставки оптических компонентов, центрировочный патрон для их высокоточной установки, прецизионный станок для подрезки посадочных мест узлов с оптическими компонентами [Сайт www.555nm.ru, раздел «Статьи», файл «Анализ способов центрирования линз», подраздел 4.5].For such designs, methods for node-by-center alignment of optical systems using special technological equipment such as: Zabelin tube for determining the errors of the exhibition of optical components, a centering cartridge for their high-precision installation, a precision machine for trimming the seats of nodes with optical components [Site www.555nm.ru] have been developed [Website www.555nm.ru , section “Articles”, file “Analysis of lens centering methods”, subsection 4.5].

Известный способ центрирования линзы при помощи центрировочного патрона со сдвиговой и поворотной частями, закрепленного в шпинделе токарного станка, и трубки Забелина, установленной в задней бабке станка, включает последовательное центрирование каждой из поверхностей линзы относительно оси вращения шпинделя [Патент РФ 2442124, G01M 11/00, G01B 11/27].A known method of centering the lens using a centering cartridge with a shift and rotary parts, mounted in the spindle of the lathe, and a Zabelin tube installed in the tailstock of the machine, includes sequential centering of each of the lens surfaces relative to the axis of rotation of the spindle [RF Patent 2442124, G01M 11/00 , G01B 11/27].

По указанному выше способу при центрировке многокомпонентной линзы, исходя из конструктивных или технологических соображений, выбирают одну из поверхностей линзы, устанавливают линзу так, чтобы за счет выбора длины технологической части оправы или с использованием дистанционных втулок автоколлимационная точка выбранной поверхности лежала в одной плоскости с центром кривизны поворотной части центрировочного патрона, лежащим на оси вращения шпинделя. Совмещают автоколлимационную точку выбранной поверхности с центром кривизны поворотной части центрировочного патрона перемещением сдвиговой части патрона. Совмещают с осью вращения шпинделя автоколлимационную точку другой поверхности линзы перемещением поворотной части патрона при сохранении неизменного положения автоколлимационной точки выбранной поверхности линзы, ранее совмещенной с центром кривизны поворотной части патрона.According to the above method, when centering a multicomponent lens, based on structural or technological considerations, one of the lens surfaces is selected, the lens is mounted so that, by choosing the length of the technological part of the frame or using remote bushings, the autocollimation point of the selected surface lies in the same plane with the center of curvature the rotary part of the centering cartridge lying on the axis of rotation of the spindle. The autocollimation point of the selected surface is combined with the center of curvature of the rotary part of the centering cartridge by moving the shear part of the cartridge. The autocollimation point of the other lens surface is combined with the axis of rotation of the spindle by moving the rotary part of the cartridge while maintaining the same position of the autocollimation point of the selected lens surface, previously aligned with the center of curvature of the rotary part of the cartridge.

Этот способ не применим в ПОС, в которых оптические компоненты устанавливают на каретки с подшипниками качения. Применение подшипников качения вызвано тем, что при эксплуатации оптических модулей в условиях жестких внешних воздействий: температурных градиентов, механических ударов и вибраций подшипники скольжения быстро изнашиваются, что приводит к снижению качества оптического изображения и/или поломке всего модуля.This method is not applicable in PIC, in which optical components are mounted on carriages with rolling bearings. The use of rolling bearings is caused by the fact that when operating optical modules under severe external influences: temperature gradients, mechanical shocks and vibrations, sliding bearings wear out quickly, which leads to a decrease in the quality of the optical image and / or breakdown of the entire module.

В таких конструкциях каретки перемещают внутри точно выполненной цилиндрической полости корпуса ПОС вдоль ее оси. Для исключения люфта в процессе движении каретки один из ее подшипниковых узлов поджимают пружиной к поверхности цилиндрической полости. Это приводит к появлению дополнительной степени свободы каретки в радиальном направлении. Люфты в подшипниках качения и наличие степени свободы каретки в радиальном направлении делают невозможным точную (в несколько микрон) подрезку на станке посадочных поверхностей каретки, установленной в цилиндрическую полость корпуса ПОС.In such constructions, the carriages are moved inside a precisely made cylindrical cavity of the PIC body along its axis. To eliminate play during the movement of the carriage, one of its bearing assemblies is pressed by a spring to the surface of the cylindrical cavity. This leads to the appearance of an additional degree of freedom of the carriage in the radial direction. Backlash in rolling bearings and the presence of a degree of freedom of the carriage in the radial direction make it impossible to accurately (a few microns) trim on the machine the landing surfaces of the carriage installed in the cylindrical cavity of the POS body.

Цель настоящего изобретения состоит в создании способа центрировки панкратической системы, оптические компоненты которой перемещаются внутри цилиндрической направляющей поверхности на подшипниках качения, с использованием при этом традиционного высокоточного технологического оборудования.The purpose of the present invention is to provide a method for centering a pancratic system, the optical components of which are moved inside a cylindrical guide surface on rolling bearings, using traditional high-precision technological equipment.

Сущность предлагаемого способа заключается в том, что с помощью прецизионного станка, трубки Забелина и технологической сетки, закрепленной на каретке, определяют положение каретки, установленной в направляющий цилиндр корпуса ПОС. Затем извлекают каретку из корпуса ПОС, закрепляют ее в центрировочном патроне, который устанавливают в шпиндель прецизионного станка. Далее с помощью трубки Забелина, технологической сетки, закрепленной на каретке, и центрировочного патрона выставляют каретку в положение, точно соответствующее ее положению, которое занимала каретка внутри корпуса ПОС. Положение каретки контролируют по изображению технологической сетки и автоколлимационному изображению от ее поверхности перекрестия трубки Забелина. Затем включают станок и проводят подрезку посадочных поверхностей каретки.The essence of the proposed method lies in the fact that using the precision machine, Zabelin tube and technological grid mounted on the carriage, the position of the carriage installed in the guide cylinder of the PIC housing is determined. Then the carriage is removed from the POS body, fixed in a centering cartridge, which is installed in the spindle of a precision machine. Then, using the Zabelin tube, a technological grid fixed to the carriage, and a centering cartridge, the carriage is set to the position exactly corresponding to its position, which the carriage occupied inside the PIC body. The position of the carriage is controlled by the image of the technological grid and the autocollimation image from its surface of the crosshairs of the Zabelin tube. Then turn on the machine and trim the landing surfaces of the carriage.

Способ характеризуется следующими операциями:The method is characterized by the following operations:

- закрепляют в шпиндель станка корпус ПОС соосно с осью шпинделя;- fix the POS body in the machine spindle coaxially with the spindle axis;

- закрепляют на каретке оправу с технологической сеткой;- fix the frame with the technological grid on the carriage;

- вставляют каретку с технологической сеткой в закрепленный в шпинделе станка корпус ПОС;- insert the carriage with the technological grid into the POS body fixed in the spindle of the machine;

- закрепляют трубку Забелина в задней бабке станка;- fix the Zabelin tube in the tailstock of the machine;

- находят автоколлимационное изображение перекрестия трубки Забелина от поверхности технологической сетки и вращением шпинделя станка по измерительной сетке трубки Забелина определяют диаметр биения этого изображения;- find the autocollimation image of the crosshairs of the Zabelin tube from the surface of the technological grid and by turning the spindle of the machine along the measuring grid of the Zabelin tube, the beat diameter of this image is determined;

- находят изображение технологической сетки и вращением шпинделя станка с помощью измерительной сетки трубки Забелина измеряют диаметр биения изображения технологической сетки;- find the image of the technological grid and by rotation of the spindle of the machine using the measuring grid of the Zabelin tube measure the diameter of the beating image of the technological grid;

- извлекают каретку из корпуса ПОС и закрепляют ее в центрировочном патроне, который устанавливают в шпиндель станка;- remove the carriage from the PIC housing and fix it in the centering chuck, which is installed in the spindle of the machine;

- вращением шпинделя станка выставляют с помощью центрировочного патрона диаметр биения автоколлимационного изображения перекрестия трубки Забелина от поверхности технологической сетки, а также диаметр биения изображения технологической сетки, равные ранее измеренным диаметрам и центру биений этих изображений. Диаметры биений контролируют по измерительной сетке трубки Забелина;- by rotating the machine spindle, set the diameter of the runout of the self-collimating image of the cross of the Zabelin tube from the surface of the technological grid using the centering cartridge, as well as the diameter of the runout of the image of the technological grid, equal to the previously measured diameters and center of beats of these images. The diameters of the beats are controlled by the measuring grid of the Zabelin tube;

- запускают станок и проводят подрезку посадочных поверхностей каретки.- start the machine and trim the landing surfaces of the carriage.

Пример реализации способа центрировки панкратической оптической системы представлен на чертежах. На фиг. 1 схематично изображен комплект технологического оборудования и его состояние, необходимое для определения диаметров биения изображения технологической сетки и автоколлимационного изображения перекрестия трубки Забелина от ее поверхности. На фиг. 2-4 представлены возможные виды сеток: технологической (фиг. 2), перекрестия трубки Забелина (фиг. 3) и измерительной сетки трубки Забелина (фиг. 4). На фиг. 5 показаны положения отраженного от поверхности технологической сетки 3 автоколлимационного изображения перекрестия трубки Забелина, а на фиг. 6 - положения изображения технологической сетки на измерительной сетке трубки Забелина при различных углах поворота шпинделя станка. На фиг. 7 схематично изображено состояние технологического оборудования, необходимое для установки диаметра биения и положения отраженного от поверхности технологической сетки автоколлимационного изображения перекрестия трубки Забелина и изображения технологической сетки для окончательной обработки посадочных поверхностей каретки.An example implementation of a method for centering a pan-optical optical system is shown in the drawings. In FIG. 1 schematically depicts a set of technological equipment and its condition, necessary to determine the diameters of the runout of the image of the technological grid and the self-collimation image of the crosshairs of the Zabelin tube from its surface. In FIG. Figure 2-4 shows the possible types of grids: technological (Fig. 2), the crosshairs of the Zabelin tube (Fig. 3) and the measuring grid of the Zabelin tube (Fig. 4). In FIG. 5 shows the positions of the autocollimation image of the crosshairs of the Zabelin tube reflected from the surface of the technological grid 3, and FIG. 6 - positions of the image of the technological grid on the measuring grid of the Zabelin tube at various angles of rotation of the spindle of the machine. In FIG. 7 schematically shows the state of the technological equipment necessary to set the runout diameter and the position of the self-collimation image of the cross of the Zabelin tube and the image of the technological grid reflected from the surface of the technological grid for the final processing of the carriage landing surfaces.

В качестве технологического оборудования используют высокоточный токарный станок, центрировочный патрон, трубку Забелина, технологическую сетку.As technological equipment, a high-precision lathe, centering chuck, Zabelin tube, technological grid are used.

Реализацию способа центрирования ПОС проводят в два этапа. Первый этап начинают с установки технологического оборудования (фиг. 1). Закрепляют в задней бабке станка трубку Забелина 1, на каретку 2 устанавливают технологическую сетку 3 (пример выполнения технологической сетки 3 представлен на фиг. 2). Каретку 2 вставляют в корпус 4 ПОС, который закрепляют в шпинделе 5 станка. Каретка 2 имеет возможность перемещаться вдоль прецизионно выполненной цилиндрической поверхности 6 корпуса 4 на подшипниках качения 7. Затем через окуляр 8 трубки Забелина 1 находят отраженное от поверхности технологической сетки 3 автоколлимационное изображение перекрестия трубки Забелина (пример выполнения перекрестия трубки Забелина представлен на фиг. 3, а измерительной сетки этой трубки - на фиг. 4).The implementation of the method of centering PIC is carried out in two stages. The first stage begins with the installation of technological equipment (Fig. 1). The Zabelin tube 1 is fixed in the tailstock of the machine, a technological grid 3 is installed on the carriage 2 (an example of the technological grid 3 is shown in Fig. 2). The carriage 2 is inserted into the body 4 of the PIC, which is fixed in the spindle 5 of the machine. The carriage 2 has the ability to move along a precision-made cylindrical surface 6 of the housing 4 on the rolling bearings 7. Then, through the eyepiece 8 of the Zabelin tube 1, an autocollimation image of the crosshairs of the Zabelin tube is reflected from the surface of the technological grid 3 (an example of the crosshair of the Zabelin tube is shown in Fig. 3, and measuring grid of this tube - in Fig. 4).

Далее, вращая вручную шпиндель 5 станка, наблюдают в окуляр 8 круговые перемещения отраженного от поверхности технологической сетки автоколлимационного изображения перекрестия трубки Забелина (фиг. 5). По измерительной сетке трубки Забелина определяют и запоминают диаметр Dтз кругового перемещения автоколлимационного изображения перекрестия трубки Забелина, выбирают и запоминают опорное положение автоколлимационного изображения, например самое верхнее положение автоколлимационного изображения. Затем, наблюдая в окуляр 8, находят изображение технологической сетки 3 и запоминают опорное положение его центра Отс, измеряют диаметр кругового перемещения изображения технологической сетки по измерительной сетке трубки Забелина (фиг. 6). После завершения этих операций каретку 2 извлекают из корпуса 4 ПОС. На этом первый этап реализации способа заканчивается.Next, manually rotating the spindle 5 of the machine, observe in the eyepiece 8 circular movements of the self-collimation image of the crosshairs of the Zabelin tube reflected from the surface of the technological grid (Fig. 5). Using the measuring grid of the Zabelin tube, the diameter Dtz of the circular movement of the self-collimating image of the crosshairs of the Zabelin tube is determined and stored, the reference position of the autocollimation image, for example, the highest position of the autocollimation image, is selected and stored. Then, observing through the eyepiece 8, the image of the technological grid 3 is found and the reference position of its center Ot is stored, the diameter of the circular movement of the image of the technological grid along the measuring grid of the Zabelin tube is measured (Fig. 6). After completing these operations, the carriage 2 is removed from the body 4 of the PIC. At this point, the first stage of the implementation of the method ends.

Второй этап реализации способа начинают с установки каретки 2 в центрировочный патрон 9 (фиг. 7), который закрепляют в шпинделе 5 прецизионного станка. Центрировочный патрон 9 имеет узел двухкоординатного линейного перемещения 10 с винтами перемещения 11, 12 и узел двухкоординатного наклона 13 с винтами наклона 14, 15.The second stage of the method implementation begins with the installation of the carriage 2 in the centering cartridge 9 (Fig. 7), which is fixed in the spindle 5 of a precision machine. The alignment cartridge 9 has a two-axis linear displacement assembly 10 with displacement screws 11, 12 and a two-axis inclination assembly 13 with inclination screws 14, 15.

Вращая вручную шпиндель 5 станка, винтами 14 и 15 узла наклона 11 центрировочного патрона 9 по измерительной сетке трубки Забелина устанавливают при опорном положении автоколлимационного изображения от поверхности технологической сетки 3 диаметр кругового перемещения автоколлимационного изображения сетки трубки Забелина, равный ранее измеренному значению Dтз (фиг. 5).By manually rotating the machine spindle 5, the screws 14 and 15 of the tilt assembly 11 of the centering cartridge 9 along the measuring grid of the Zabelin tube set the reference diameter of the self-collimating image of the Zabelin tube grid equal to the previously measured value Dtz at the reference position of the autocollimation image from the surface of the technological grid 3 (Fig. 5 )

Вращая вручную шпиндель 5 станка, винтами 11 и 12 (фиг. 7) узла линейного перемещения 10 центрировочного патрона 9 по измерительной сетке трубки Забелина устанавливают при опорном положении его центра Отс диаметр вращения изображения технологической сетки, равный ранее измеренному значению Dтс (фиг. 6).By manually rotating the machine spindle 5, the screws 11 and 12 (Fig. 7) of the linear displacement assembly 10 of the centering cartridge 9 along the measuring grid of the Zabelin tube are set at the reference position of its center Ots, the diameter of the image of the technological grid equal to the previously measured value of Dс (Fig. 6) .

Далее включают станок и обрабатывают цилиндрическую посадочную поверхность 16 и торцевую посадочную поверхность 17 каретки 2 (фиг. 7) под оптические элементы ПОС.Next, turn on the machine and process the cylindrical landing surface 16 and the end landing surface 17 of the carriage 2 (Fig. 7) under the optical elements of the pic.

Аналогичным способом центрируются остальные подвижные оптические компоненты, входящие в ПОС.In a similar way, the remaining movable optical components included in the PIC are centered.

Claims (1)

Способ центрирования панкратической оптической системы (ПОС) методом проточки посадочного диаметра и подрезки посадочной плоскости перемещаемой на подшипниках качения каретки для оптических элементов, отличающийся тем, что с помощью технологической сетки, закрепленной на каретке, и трубки Забелина точно определяют положение каретки внутри направляющей поверхности корпуса ПОС относительно оси вращения шпинделя станка, а затем извлекают каретку из корпуса ПОС, устанавливают ее в центрировочный патрон, который закрепляют в шпинделе станка, и с помощью центрировочного патрона, технологической сетки и трубки Забелина выставляют каретку точно в такое положение, которое она занимала, находясь внутри корпуса ПОС. A method of centering a pan-optical optical system (POS) by grooving the landing diameter and trimming the landing plane of the carriage for optical elements moved on rolling bearings, characterized in that the position of the carriage inside the guide surface of the PIC body is precisely determined using a technological grid mounted on the carriage and Zabelin tube relative to the axis of rotation of the spindle of the machine, and then remove the carriage from the body of the PIC, install it in the centering cartridge, which is fixed in the spindle st Anka, and with the help of a centering cartridge, a technological grid and a Zabelin tube, the carriage is placed exactly in the position that it occupied while inside the POS body.
RU2015104642/28A 2015-02-11 2015-02-11 Method of aligning pancratic optical system RU2593639C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015104642/28A RU2593639C1 (en) 2015-02-11 2015-02-11 Method of aligning pancratic optical system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015104642/28A RU2593639C1 (en) 2015-02-11 2015-02-11 Method of aligning pancratic optical system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2593639C1 true RU2593639C1 (en) 2016-08-10

Family

ID=56613298

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015104642/28A RU2593639C1 (en) 2015-02-11 2015-02-11 Method of aligning pancratic optical system

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2593639C1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU538221A1 (en) * 1975-09-16 1976-12-05 Предприятие П/Я Р-6681 The way to control the centering of the surfaces of the optical system
SU1180688A1 (en) * 1984-01-05 1985-09-23 Предприятие П/Я Г-4671 Method of centering opaque lens in cell
RU2442124C1 (en) * 2010-11-29 2012-02-10 Государственное унитарное предприятие "Конструкторское бюро приборостроения" Method for lens alignment
US20140063627A1 (en) * 2012-08-29 2014-03-06 Carl Zeiss Meditec Ag Adjusting device for an optical system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU538221A1 (en) * 1975-09-16 1976-12-05 Предприятие П/Я Р-6681 The way to control the centering of the surfaces of the optical system
SU1180688A1 (en) * 1984-01-05 1985-09-23 Предприятие П/Я Г-4671 Method of centering opaque lens in cell
RU2442124C1 (en) * 2010-11-29 2012-02-10 Государственное унитарное предприятие "Конструкторское бюро приборостроения" Method for lens alignment
US20140063627A1 (en) * 2012-08-29 2014-03-06 Carl Zeiss Meditec Ag Adjusting device for an optical system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109141295B (en) Device and method for measuring coaxiality error of multistage rotating body
CN101387761B (en) Center aligning assembling and regulating apparatus and method for optical system
EP2813811B1 (en) Inside-diameter measurement device
KR101299509B1 (en) Eccentricity adjusting and assembling method, and eccentricity adjusting and assembling device of optical element
CN106526881A (en) Adjustment method for parallelism of linear guide rail in continuous zooming thermal imaging instrument
CN108919513B (en) Coaxial optical system adjusting device and method
RU2442124C1 (en) Method for lens alignment
WO2006020776A2 (en) Method and apparatus for interferometric measurement of components with large aspect ratios
CN105414957A (en) Coaxial assembly method for shaft components and coaxiality detection method for shaft components
DE102014006151B4 (en) Method for measuring the concentricity of a machine tool and machine tool designed to carry out the method
Langehanenberg et al. Automated measurement of centering errors and relative surface distances for the optimized assembly of micro-optics
US10175036B2 (en) Method of measuring at least one dimension of an object
RU2593639C1 (en) Method of aligning pancratic optical system
CN116908217B (en) Deep hole measurement and three-dimensional reconstruction system and application method thereof
Langehanenberg et al. Smart and precise alignment of optical systems
CN109239884B (en) Positioning system and method for guide rail in zoom optical system
DE102014209379A1 (en) Laser tracking interferometer
CN104570376B (en) Multiple visual field sensor optical system coaxial alignment system and alignment method
CN112033302B (en) Optical system installation and adjustment equipment capable of compensating in real time and installation and adjustment method thereof
Gillingham et al. The performance of OzPoz: a multifiber positioner on the VLT
Hu et al. New type of optical fiber positioning unit device for LAMOST
CN108050959B (en) On-line detection system for metal multi-surface scanning prism processing
Huang et al. Alignment turning system for precision lens cells
RU172779U1 (en) Lens Centering Chuck
US2378401A (en) Optical instrument and method of making same