RU2574584C1 - Ultraviolet excilamp in envelope made of profiled leucosapphire - Google Patents
Ultraviolet excilamp in envelope made of profiled leucosapphire Download PDFInfo
- Publication number
- RU2574584C1 RU2574584C1 RU2014144050/07A RU2014144050A RU2574584C1 RU 2574584 C1 RU2574584 C1 RU 2574584C1 RU 2014144050/07 A RU2014144050/07 A RU 2014144050/07A RU 2014144050 A RU2014144050 A RU 2014144050A RU 2574584 C1 RU2574584 C1 RU 2574584C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- leucosapphire
- excilamp
- flask
- ultraviolet
- elements
- Prior art date
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 26
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 13
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 8
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 7
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M Lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003595 spectral Effects 0.000 description 3
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016036 BaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L Barium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L Calcium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910015044 LiB Inorganic materials 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L Magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 150000001642 boronic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000010431 corundum Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000249 desinfective Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N deuterium Chemical compound [2H] YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N 0.000 description 1
- 229910052805 deuterium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium(0) Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002779 inactivation Effects 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton(0) Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon(0) Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon(0) Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
Область техникиTechnical field
Изобретение относится к области приборостроения (светотехнике), а именно к технике излучения на переходах эксимерных или эксиплексных молекул в электроразрядных источниках спонтанного ультрафиолетового излучения, называемых эксилампами, и может быть использовано в различных областях науки и техники, например в медицине для обеззараживания воздуха и жидких сред, а также для инактивации микроорганизмов, в фотохимии, в микроэлектронике при обработке и чистке поверхности посредством ее облучения, для детектирования алмазов, для проведения фотостимулированных процессов, для связи в ультрафиолетовом диапазоне, в системах вождения автомобилей.The invention relates to the field of instrumentation (lighting), and in particular to the technique of radiation at transitions of excimer or exciplex molecules in electric-discharge sources of spontaneous ultraviolet radiation, called excilamps, and can be used in various fields of science and technology, for example, in medicine, for disinfection of air and liquid media as well as for the inactivation of microorganisms, in photochemistry, in microelectronics during processing and cleaning of the surface by means of its irradiation, for the detection of diamonds, for ia photostimulated processes for communication in the ultraviolet range in car driving systems.
Уровень техникиState of the art
Известно большое количество разновидностей эксиламп [1]. Современные эксилампы обладают большим разнообразием в геометрии колбы (оболочки). Известно, что обычно колба эксилампы выполняется из кварцевого стекла (US 6376972 B1, RU 63224 U1, RU 75503 U1, RU 2281581 C1, RU 2291516 C2, RU 2310947 C1, RU 2321919 C1, RU 2385515 C1 и др.). Кварцевое стекло обладает хорошим пропусканием в ультрафиолетовой области спектра, удовлетворительной технологичностью при изготовлении колбы эксилампы, сравнительно дешевое. Известно также, что рабочей средой в эксилампах являются различные инертные газы (гелий He, неон Ne, аргон Ar, криптон Kr, ксенон Xe), а также водород (дейтерий) и/или их смеси с галогенами (хлор Cl2, бром Br2, иод I2) (RU 43458 U1, RU 2151442 C1, RU 2154323 C2, RU 2200356 C2, RU 2225225 C2 и др).A large number of varieties of excilamps are known [1]. Modern excilamps have a great variety in the geometry of the flask (shell). It is known that usually the excilamp bulb is made of quartz glass (US 6376972 B1, RU 63224 U1, RU 75503 U1, RU 2281581 C1, RU 2291516 C2, RU 2310947 C1, RU 2321919 C1, RU 2385515 C1, etc.). Quartz glass has good transmission in the ultraviolet region of the spectrum, satisfactory manufacturability in the manufacture of excilamps, and relatively cheap. It is also known that the working medium in excilamps is various inert gases (helium He, neon Ne, argon Ar, krypton Kr, xenon Xe), as well as hydrogen (deuterium) and / or their mixtures with halogens (chlorine Cl 2 , bromine Br 2 , iodine I 2 ) (RU 43458 U1, RU 2151442 C1, RU 2154323 C2, RU 2200356 C2, RU 2225225 C2, etc.).
Как известно, эксилампа в ультрафиолетовой (УФ) области спектра представляет собой электроразрядное устройство, обеспечивающее получение излучения в УФ области спектра, в частности, на B-X переходах инертных газов. Принцип работы эксилампы основан на протекании электрического тока в газе, в результате чего в газоразрядной плазме посредством протекания различных плазмохимических реакций формируются эксимерные или эксиплексные молекулы. Особенностью этих молекул является, во-первых, наличие устойчивой связи данных молекул лишь в возбужденном состоянии, а основное состояние является разлетным. Это обуславливает излучение в широких спектральных интервалах (наиболее интенсивна B-X полоса). Во-вторых, кинетика плазмохимических реакций такова, что формирование эксимерных или эксиплексных молекул сопровождается преимущественно безизлучательными процессами, в то время как уменьшение концентрации данных молекул обеспечивается преимущественно радиационными переходами в основное состояние. Это предопределяет высокую эффективность излучения, а также тот факт, что до ~80% мощности излучения газоразрядной плазмы может быть сосредоточено в полосе B-X перехода используемой эксимерной или эксиплексной молекулы.As you know, an excilamp in the ultraviolet (UV) spectral region is an electric-discharge device that provides radiation in the UV spectral region, in particular, on B-X transitions of inert gases. The principle of operation of an excilamp is based on the flow of electric current in a gas, as a result of which excimer or exciplex molecules are formed in a gas-discharge plasma through various plasma-chemical reactions. A feature of these molecules is, firstly, the presence of a stable bond of these molecules only in the excited state, and the ground state is scattered. This causes radiation in wide spectral ranges (the most intense B-X band). Secondly, the kinetics of plasma-chemical reactions is such that the formation of excimer or exciplex molecules is accompanied predominantly by non-radiative processes, while a decrease in the concentration of these molecules is provided mainly by radiation transitions to the ground state. This determines the high radiation efficiency, as well as the fact that up to ~ 80% of the radiation power of a gas-discharge plasma can be concentrated in the B-X transition band of the used excimer or exciplex molecule.
Недостатком эксиламп в кварцевой колбе является сравнительно небольшой срок службы из-за протекания интенсивных плазмохимических реакций, когда образовавшиеся эксимерные или эксиплексные молекулы реагируют с кварцем и портят состав газовой смеси в эксилампе. Кроме того, кварцевая колба эксилампы является непрочной.The disadvantage of excilamps in a quartz flask is the relatively short service life due to intense plasma-chemical reactions, when the resulting excimer or exciplex molecules react with quartz and spoil the composition of the gas mixture in the excilamp. In addition, the quartz excilamp bulb is fragile.
Материал колбы эксилампы должен хорошо пропускать ультрафиолетовое излучение, к таким материалам наряду с кварцевым стеклом относятся: увиолевое стекло, кристаллы фтористого лития LiF, кристаллы фтористого магния MgF2, кристаллы фтористого кальция CaF2, кристаллы фтористого бария BaF2, монокристаллы различных боратов, например LBO (LiB3O5), LB4 (Li2B4O7), BBO (β-BaB2O4), CLBO (CsLiB6O10), лейкосапфир (корунд) (Al2O3) и др. Из всех этих материалов по инертности к химическим воздействиям и прочности наиболее подходящим для колб эксиламп является лейкосапфир.The material of the excilamp flask must be capable of transmitting ultraviolet radiation well; along with quartz glass, these materials include: uviole glass, crystals of lithium fluoride LiF, crystals of magnesium fluoride MgF 2 , crystals of calcium fluoride CaF 2 , crystals of barium fluoride BaF 2 , single crystals of various borates, for example, LBO (LiB 3 O 5 ), LB 4 (Li 2 B 4 O 7 ), BBO (β-BaB 2 O 4 ), CLBO (CsLiB 6 O 10 ), leucosapphire (corundum) (Al 2 O 3 ), etc. From of all these materials, due to their inertness to chemical influences and strength, leucosapphire is most suitable for excilamp flasks.
Недостатками известных решений применительно к эксилампам являются сравнительно небольшие размеры, получение оболочек механической обработкой, что ведет к большой трудоемкости и стоимости изделий, кроме того, герметизация оболочек производится различными металлическими деталями, что для эксиламп недопустимо.The disadvantages of the known solutions in relation to excilamps are relatively small sizes, the preparation of shells by machining, which leads to a large complexity and cost of products, in addition, the shells are sealed with various metal parts, which is unacceptable for excilamps.
Известна разрядная эксимерная лампа US 8164263 B2, принятая за прототип, содержащая герметичную колбу из лейкосапфира с рабочей средой, состоящей из инертных газов или их смеси, или из галогенов или их смеси, или из смеси инертных газов с галогенами в определенном соотношении и определенном давлении; металлический штенгель, впаянный в колбу; два металлических электрода, образующих разрядный промежуток; генератор высоковольтного импульсного напряжения, подключенный к обоим электродам.Known discharge excimer lamp US 8164263 B2, adopted as a prototype, containing a sealed flask of leucosapphire with a working medium consisting of inert gases or their mixture, or from halogens or their mixture, or from a mixture of inert gases with halogens in a certain ratio and a certain pressure; a metal plug soldered into a flask; two metal electrodes forming a discharge gap; a high voltage pulse voltage generator connected to both electrodes.
Недостатками этого устройства являются сравнительно небольшие размеры, а следовательно, и мощность излучения, получение элементов колбы механической обработкой, что ведет к большой трудоемкости и стоимости изделий.The disadvantages of this device are the relatively small size, and therefore the radiation power, obtaining the elements of the flask by machining, which leads to great complexity and cost of products.
Раскрытие изобретенияDisclosure of invention
Задачей изобретения является увеличение размеров эксилампы, а, следовательно появление возможности увеличения мощности излучения эксилампы при одновременном снижении трудоемкости изготовления и стоимости изделия.The objective of the invention is to increase the size of the excilamp, and, therefore, the possibility of increasing the radiation power of the excilamp while reducing the complexity of manufacturing and cost of the product.
Это достигается тем, что в известном техническом решении, содержащем герметичную колбу из лейкосапфира с рабочей средой, состоящей из инертных газов или их смеси, или из галогенов или их смеси, или из смеси инертных газов с галогенами в определенном соотношении и определенном давлении; металлический штенгель, впаянный в колбу; два металлических электрода, плотно прилегающих к поверхности колбы и образующих разрядный промежуток; генератор высоковольтного импульсного напряжения, подключенный к обоим электродам, герметичная колба собрана из отдельных элементов, имеющих между собой вакуумплотное соединение, выполненное пайкой твердыми припоями, причем элементы колбы изготовлены из монокристаллического профилированного лейкосапфира заданной формы.This is achieved by the fact that in a known technical solution containing a sealed flask made of leucosapphire with a working medium consisting of inert gases or a mixture thereof, or halogens or a mixture thereof, or a mixture of inert gases with halogens in a certain ratio and a certain pressure; a metal plug soldered into a flask; two metal electrodes, tightly adjacent to the surface of the flask and forming a discharge gap; a high-voltage pulse voltage generator connected to both electrodes, a sealed flask is assembled from separate elements having a vacuum-tight connection made by brazing, and the flask elements are made of a single-crystal shaped leucosapphire of a given shape.
Профилированный лейкосапфир используется в виде прямых или конусообразных труб, цилиндров, стержней, пластин. В настоящее время профилированный лейкосапфир выращивается с большой точностью и не требует в большинстве случаев дополнительной механической обработки. Диаметр труб из профилированного лейкосапфира может достигать 65…70 мм, длина до 1000 мм. Элементы колбы из профилированного лейкосапфира соединяются вакуумноплотной пайкой. Для откачки эксилампы и наполнения рабочей средой используется металлический штенгель, припаенный к колбе из профилированного лейкосапфира. После откачки и наполнения рабочей средой штенгель герметизируется холодной диффузионной вакуумноплотной сваркой.Profiled leucosapphire is used in the form of straight or conical pipes, cylinders, rods, plates. Currently, shaped leucosapphire is grown with great accuracy and in most cases does not require additional mechanical processing. The diameter of the tubes of profiled leucosapphire can reach 65 ... 70 mm, length up to 1000 mm. Elements of a flask made of profiled leucosapphire are connected by vacuum-tight soldering. To pump the excilamp and fill the working medium, a metal plug is used, soldered to the flask made of profiled leucosapphire. After pumping and filling with a working medium, the plug is sealed with cold diffusion vacuum tight welding.
Краткое описание чертежейBrief Description of the Drawings
Заявленное решение поясняется следующими графическими материалами:The claimed solution is illustrated by the following graphic materials:
на фиг. 1 показан в сечении первый вариант ультрафиолетовой эксилампы барьерного разряда коаксиального типа;in FIG. 1 shows in cross section the first variant of the ultraviolet excilamp of a barrier discharge of a coaxial type;
на фиг. 2 изображен в сечении второй вариант ультрафиолетовой эксилампы емкостного разряда;in FIG. 2 shows a sectional view of a second embodiment of a capacitive-discharge ultraviolet excilamp;
на фиг. 3 показан в сечении третий вариант ультрафиолетовой эксилампы планарного типа;in FIG. 3 shows in cross section a third embodiment of a planar-type ultraviolet excilamp;
на фиг. 4 изображен в сечении четвертый вариант ультрафиолетовой эксилампы барьерного разряда коаксиального типа с переменной шириной разрядного промежутка;in FIG. 4 shows in cross section a fourth variant of an ultraviolet excilamp of a barrier discharge of a coaxial type with a variable width of the discharge gap;
на фиг. 5 изображен в сечении пятый вариант ультрафиолетовой эксилампы емкостного разряда;in FIG. 5 is a sectional view of a fifth embodiment of a capacitive discharge ultraviolet excilamp;
на фиг. 6 изображен загерметизированный металлический штенгель.in FIG. 6 depicts a sealed metal ram.
Эксилампа по первому варианту (фиг. 1) содержит наружную лейкосапфировую трубку 1.1, внутреннюю лейкосапфировую трубку 1.2, левую лейкосапфировую стенку 1.3, правую лейкосапфировую стенку 1.4, металлический штенгель 1.5, рабочую среду 1.6, наружный перфорированный металлический электрод 1.7, внутренний сплошной металлический электрод 1.8, генератор высоковольтного импульсного напряжения 1.9.The excilamp according to the first embodiment (Fig. 1) contains an external leucosapphire tube 1.1, an internal leucosapphire tube 1.2, a left leucosapphire wall 1.3, a right leucosapphire wall 1.4, a metal ram 1.5, a working medium 1.6, an external perforated metal electrode 1.7, an internal solid metal electrode 1.8, generator of high voltage pulse voltage 1.9.
Эксилампа по второму варианту (фиг. 2) содержит наружную лейкосапфировую трубку 2.1, левую лейкосапфировую стенку 2.2, правую лейкосапфировую стенку 2.3, металлический штенгель 2.4, рабочую среду 2.5, левый наружный сплошной металлический электрод 2.6, правый наружный сплошной металлический электрод 2.7, генератор высоковольтного импульсного напряжения 2.8.The excilamp in the second embodiment (Fig. 2) contains an external leucosapphire tube 2.1, a left leucosapphire wall 2.2, a right leucosapphire wall 2.3, a metal ram 2.4, a working medium 2.5, a left outer solid metal electrode 2.6, a right outer solid metal electrode 2.7, a high-voltage pulse generator voltage 2.8.
Эксилампа по третьему варианту (фиг. 3) содержит наружную лейкосапфировую трубку 3.1, левую лейкосапфировую стенку 3.2, правую лейкосапфировую стенку 3.3, металлический штенгель 3.4, рабочую среду 3.5, первый задний наружный сплошной металлический электрод 3.6, второй задний наружный сплошной металлический электрод 3.7, генератор высоковольтного импульсного напряжения 3.8.The excilamp according to the third embodiment (Fig. 3) contains an external leucosapphire tube 3.1, a left leucosapphire wall 3.2, a right leucosapphire wall 3.3, a metal ram 3.4, a working medium 3.5, a first rear outer solid metal electrode 3.6, a second rear outer solid metal electrode 3.7, a generator high voltage pulse voltage 3.8.
Эксилампа по четвертому варианту (фиг. 4) содержит наружную лейкосапфировую трубку 4.1, внутреннюю конусообразную лейкосапфировую трубку 4.2, левую лейкосапфировую стенку 4.3, правую лейкосапфировую стенку 4.4, металлический штенгель 4.5, рабочую среду 4.6, наружный перфорированный металлический электрод 4.7, внутренний конусообразный сплошной металлический электрод 4.8, генератор высоковольтного импульсного напряжения 4.9.The excilamp according to the fourth embodiment (Fig. 4) contains an external leucosapphire tube 4.1, an internal conical leucosapphire tube 4.2, a left leucosapphire wall 4.3, a right leucosapphire wall 4.4, a metal plug 4.5, a working medium 4.6, an external perforated metal electrode 4.7, an internal conical metal 4.8, a generator of high voltage pulse voltage 4.9.
Эксилампа по пятому варианту (фиг. 5) содержит первую наружную лейкосапфировую трубку 5.1, вторую наружную лейкосапфировую трубку 5.2, левую лейкосапфировую стенку 5.3, среднюю лейкосапфировую стенку 5.4, правую лейкосапфировую стенку 5.5, металлический штенгель 5.6, рабочую среду 5.7, левый наружный сплошной металлический электрод 5.8, правый наружный сплошной металлический электрод 5.9, генератор высоковольтного импульсного напряжения 5.10.The excilamp according to the fifth embodiment (Fig. 5) contains the first outer leucosapphire tube 5.1, the second outer leucosapphire tube 5.2, the left leucosapphire wall 5.3, the middle leucosapphire wall 5.4, the right leucosapphire wall 5.5, the metal outer plug 5.6, the working electrode 5.7, the left electrode 5.7, 5.8, the right outer solid metal electrode 5.9, the generator of high-voltage pulse voltage 5.10.
Эксилампы по всем вариантам работают следующим схожим образом.Exilamps for all options work as follows.
Из лейкосапфировых элементов с помощью пайки собирается герметичная колба эксилампы. На лейкосапфировой колбе эксилампы также с помощью пайки устанавливается металлический штенгель. Через штенгель производится откачка воздуха и наполнение эксилампы рабочей средой. После наполнения эксилампы рабочей средой штенгель герметизируется. На эксилампу устанавливаются два металлических электрода. На металлические электроды от генератора подается переменное высоковольтное напряжение, эксилампа загорается.A sealed excilamp bulb is collected from the leucosapphire elements by soldering. A metal plug is also installed on the excilamp's leucosapphire bulb. Through the plug, air is pumped out and the excilamp is filled with a working medium. After filling the excilamp with the working medium, the plug is sealed. Two metal electrodes are mounted on the excilamp. An alternating high-voltage voltage is supplied to the metal electrodes from the generator, the excilamp lights up.
Промышленная применимостьIndustrial applicability
Представленные в описании варианты выполнения эксилампы не являются исчерпывающими. Технология выращивания лейкосапфировых элементов позволяет получать на высокопроизводительном оборудовании с высокой точностью элементы различного профиля, не требующие последующей механической обработки. Комбинация простых элементов из профилированного лейкосапфира предоставляет возможность создания новых разновидностей эксиламп.The excilamps described in the description are not exhaustive. The technology for growing leucosapphire elements makes it possible to obtain elements of various profiles on high-performance equipment with high accuracy that do not require subsequent machining. The combination of simple elements from profiled leucosapphire provides the opportunity to create new varieties of excilamps.
Используемая литератураUsed Books
1. Бойченко A.M., Ломаев М.И., Панченко А.Н., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. Ультрафиолетовые и вакуумно-ультрафиолетовые эксилампы: физика, техника и применение. - Томск: STT, 2011. - 512 с. 1. Boychenko A.M., Lomaev M.I., Panchenko A.N., Sosnin E.A., Tarasenko V.F. Ultraviolet and vacuum-ultraviolet excilamps: physics, technology and application. - Tomsk: STT, 2011 .-- 512 s.
2. Волкова Г.A., Кириллова Н.Н., Павловская Е.Н., Подмошенский И.В., Яковлева А.В. ВУФ лампы на барьерном разряде в инертных газах // ЖПС. 1984. Т. 41. В. 4. С. 681-695.2. Volkova G.A., Kirillova N.N., Pavlovskaya E.N., Podmoshensky I.V., Yakovleva A.V. VUV lamps on a barrier discharge in inert gases // ZhPS. 1984.Vol. 41.V. 4.P. 681-695.
3. Ломаев М.И., Скакун B.C., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В. Отпаянные эффективные эксилампы, возбуждаемые емкостным разрядом // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. В. 21. С. 1-6.3. Lomaev M.I., Skakun B.C., Sosnin E.A., Tarasenko V.F., Schitz D.V. Sealed-off effective excilamps excited by a capacitive discharge // Letters in ZhTF. 1999.V. 25.V. 21.P. 1-6.
Claims (2)
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2574584C1 true RU2574584C1 (en) | 2016-02-10 |
Family
ID=
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2673062C1 (en) * | 2018-02-22 | 2018-11-22 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Мелитта" | Pulsed ultraviolet gas-discharge lamp |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU85753U1 (en) * | 2009-01-12 | 2009-08-10 | Закрытое акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ" | SHORT-ARC GAS DISCHARGE LAMP FOR OPTICAL ELECTRONIC OPERATION |
JP4748208B2 (en) * | 2008-11-18 | 2011-08-17 | ウシオ電機株式会社 | Excimer discharge lamp and excimer discharge lamp manufacturing method |
US8164263B2 (en) * | 2009-04-10 | 2012-04-24 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Excimer discharge lamp |
RU134699U1 (en) * | 2013-07-11 | 2013-11-20 | Закрытое акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ" | DISCHARGE LAMP WITH CESIUM FILLING |
JP5817859B2 (en) * | 2008-04-09 | 2015-11-18 | 東ソー株式会社 | Translucent zirconia sintered body, manufacturing method and use thereof |
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5817859B2 (en) * | 2008-04-09 | 2015-11-18 | 東ソー株式会社 | Translucent zirconia sintered body, manufacturing method and use thereof |
JP4748208B2 (en) * | 2008-11-18 | 2011-08-17 | ウシオ電機株式会社 | Excimer discharge lamp and excimer discharge lamp manufacturing method |
RU85753U1 (en) * | 2009-01-12 | 2009-08-10 | Закрытое акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ" | SHORT-ARC GAS DISCHARGE LAMP FOR OPTICAL ELECTRONIC OPERATION |
US8164263B2 (en) * | 2009-04-10 | 2012-04-24 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Excimer discharge lamp |
RU134699U1 (en) * | 2013-07-11 | 2013-11-20 | Закрытое акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ" | DISCHARGE LAMP WITH CESIUM FILLING |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2673062C1 (en) * | 2018-02-22 | 2018-11-22 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Мелитта" | Pulsed ultraviolet gas-discharge lamp |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2005519438A (en) | Ultraviolet radiation generator | |
KR101216481B1 (en) | Dielectric barrier discharge lamp configured as a coaxial double tube having a getter | |
NO168976B (en) | COMPACT LIGHT BEAMS AND PROCEDURE FOR ITS MANUFACTURING | |
CA3123418A1 (en) | Excimer light source | |
CN213071066U (en) | Microwave discharge electrodeless ultraviolet lamp with coaxial structure | |
RU2574584C1 (en) | Ultraviolet excilamp in envelope made of profiled leucosapphire | |
US6525472B2 (en) | Dielectric barrier discharge lamp | |
CN102496544A (en) | Gas distributing system of non-polar excimer lamp and gas distributing method thereof | |
JP2010250953A (en) | Excimer discharge lamp | |
JP5979016B2 (en) | Excimer lamp | |
Tarasenko et al. | Barrier-discharge excilamps: history, operating principle, prospects∗∗ To the radiant memory of Galina Arkad’evna Volkova (1935–2011). | |
RU2559806C1 (en) | Radiation source | |
JP2010123276A (en) | Discharge lamp | |
CN101930895A (en) | The dielectric barrier discharge lamp that has arc chamber | |
CN105810552A (en) | Short wave ultraviolet light generating method and device | |
CA2745283A1 (en) | Mercury-vapor discharge lamp for a homogeneous, planar irradiation | |
US20110148305A1 (en) | Dielectric barrier discharge lamp | |
JP2016081695A (en) | Excimer discharge lamp | |
TWI449082B (en) | Excimer lamp | |
JP2010135162A (en) | Discharge lamp | |
ATE400890T1 (en) | INTRODUCING MERCURY INTO A DISCHARGE LAMP | |
US3160775A (en) | Low-pressure gaseous discharge lamp with internally mounted recombination structure | |
KR100784710B1 (en) | Back light unit using discharge gas emitting long wave length uv | |
RU2067337C1 (en) | Lamp producing high-power radiation in optical range of spectrum | |
JP2006324092A (en) | Flash lamp |