RU2570235C1 - Pyroelectric converter of electromagnetic waves - Google Patents
Pyroelectric converter of electromagnetic waves Download PDFInfo
- Publication number
- RU2570235C1 RU2570235C1 RU2014124078/28A RU2014124078A RU2570235C1 RU 2570235 C1 RU2570235 C1 RU 2570235C1 RU 2014124078/28 A RU2014124078/28 A RU 2014124078/28A RU 2014124078 A RU2014124078 A RU 2014124078A RU 2570235 C1 RU2570235 C1 RU 2570235C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- antenna
- pyroelectric
- plate
- plates
- substrate
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к оптоэлектронике, устройствам оптико-электронных приборов, в том числе пироэлектрических приемников излучений.The invention relates to optoelectronics, devices of optoelectronic devices, including pyroelectric radiation receivers.
Решается задача создания пироэлектрических приемников излучений, обычно используемых в видимом и ИК спектре, для более длинноволнового диапазона спектра.The problem of creating pyroelectric radiation receivers, usually used in the visible and IR spectrum, is being solved for the longer wavelength range of the spectrum.
Аналогом устройства выбраны радиоприемные устройства [Физическая энциклопедия / Гл. ред. A.M. Прохоров. Т. 4. Радиоприемные устройства. - М.: Большая Российская энциклопедия, 1994. - 704 с.], содержащие антенные системы и соединенные с антенной детекторы электромагнитных волн; сигнал с детектора усиливается и измеряется. В качестве детекторов могут быть применены как тепловые типа болометров, так и детекторы на p-n переходах.An analogue device selected radio receivers [Physical Encyclopedia / Ch. ed. A.M. Prokhorov. T. 4. Radio receivers. - M .: Big Russian Encyclopedia, 1994. - 704 p.], Containing antenna systems and electromagnetic wave detectors connected to the antenna; The signal from the detector is amplified and measured. As detectors, both thermal types of bolometers and detectors at p-n junctions can be used.
Недостатком аналога являются значительные габариты антенных систем радиоприемных устройств а также отсутствие очевидного решения проблемы использования пироэлектрических преобразователей для детектирования электромагнитных волн.A disadvantage of the analogue is the significant dimensions of the antenna systems of radio receivers and the lack of an obvious solution to the problem of using pyroelectric converters for detecting electromagnetic waves.
Другим аналогом устройства выбраны полосковые устройства СВЧ [Проектирование полосковых устройств СВЧ: уч. пособие. - Ульяновск: Ульяновский ГТУ, 2001. - 123 с.], в которых антенны устройства выполняются компактными в виде отрезков полосковых волноводов на проводящих или диэлектрических подложках совместно с размещенными на этих же подложках полупроводниковыми или другими детекторами электромагнитных волн.Another analog device selected microwave strip devices [Design of microwave strip devices: uc. allowance. - Ulyanovsk: Ulyanovsk State Technical University, 2001. - 123 p.], In which the device’s antennas are compact in the form of segments of strip waveguides on conductive or dielectric substrates together with semiconductor or other electromagnetic wave detectors placed on the same substrates.
Недостатком аналога является отсутствие очевидного решения проблемы использования пироэлектрических преобразователей для детектирования электромагнитных волн.A disadvantage of the analogue is the lack of an obvious solution to the problem of using pyroelectric converters for detecting electromagnetic waves.
В качестве прототипа выбран пироэлектрический приемник [Новик В.К. и др. Пироэлектрические преобразователи. - М.: Сов. Радио, 1979. - 176 с.] в виде теплоизолированной пироэлектрической пластины с обкладками по обеим ее сторонам; пластина закреплена на поверхности подложки. Закрепление выполняется теплоизолирующим, иногда элементы преобразователя закрепляются с помощью мостиковой конструкции с малым тепловым контактом с подложкой. Измеряемое излучение падает на поверхность с обкладкой, поглощается и нагревает обкладки и пироэлектрическую пластину; возникшая между обкладками разность потенциалов усиливается и измеряется с помощью операционного усилителя, который своими входами соединен с обкладками.A pyroelectric receiver was selected as a prototype [Novik V.K. and other Pyroelectric converters. - M .: Owls. Radio, 1979. - 176 p.] In the form of a thermally insulated pyroelectric plate with plates on both sides of it; the plate is fixed to the surface of the substrate. The fastening is carried out by heat-insulating, sometimes the elements of the converter are fixed using a bridge structure with low thermal contact with the substrate. The measured radiation falls on the surface with the lining, is absorbed and heats the lining and the pyroelectric plate; the potential difference between the plates is amplified and measured using an operational amplifier, which is connected to the plates by its inputs.
Недостатком прототипа при создании приемников терагерцевого и миллиметрового диапазонов является необходимость иметь поглощающую излучение чувствительную площадку преобразователя больших размеров, не меньшую в поперечнике длины волны падающего излучения, то есть в 102-104 раз большей, чем в видимом диапазоне, площади; чувствительность преобразователя при этом оказывается низкой в связи с большими потерями тепловой энергии принятого светового сигнала, а инерционность - высокой в связи с увеличенной теплоемкостью чувствительных элементов.The disadvantage of the prototype when creating receivers of the terahertz and millimeter ranges is the need to have an absorbing radiation sensitive area of the transducer of large sizes, not less than the incident wavelength across, that is, 10 2 -10 4 times greater than in the visible range, area; In this case, the sensitivity of the converter is low due to large losses of thermal energy of the received light signal, and the inertia is high due to the increased heat capacity of the sensitive elements.
Задачей, решаемой предлагаемым изобретением, является создание приемника терагерцевого и миллиметрового диапазонов в виде антенно-связанного пироэлектрического приемника излучений.The problem solved by the invention is the creation of a terahertz and millimeter-wave receiver in the form of an antenna-coupled pyroelectric radiation receiver.
Поставленная задача решается тем, что в пироэлектрическом преобразователе электромагнитных волн, содержащем теплоизолированную пластину пиродиэлектрика с проводящими пленочными обкладками на противоположных поверхностях пластины, подключенными к измерителю электрического сигнала, в соответствии с изобретением, одна обкладка является последовательно включенным участком электрической цепи высокочастотного тока антенны приема электромагнитных волн.The problem is solved in that in a pyroelectric converter of electromagnetic waves containing a thermally insulated pyroelectric plate with conductive film plates on opposite surfaces of the plate connected to an electric signal meter, in accordance with the invention, one plate is a series-connected portion of the high-frequency current circuit of the antenna for receiving electromagnetic waves .
Предлагается также, что пироэлектрический преобразователь с обкладками выполнен как пластина пиродиэлектрика с обкладками, расположенная на теплоизолирующей пленочной диэлектрической мембране, закрепленной краями на подложке, причем антенна планарная и закреплена на структуре мембрана-подложка или подложке или имеет навесную конструкцию, тогда как обкладки подключены к закрепленным на подложке контактным площадкам.It is also proposed that the pyroelectric converter with the plates is made as a pyroelectric plate with plates located on a heat-insulating film dielectric membrane fixed by the edges on the substrate, the antenna being planar and fixed to the membrane-substrate structure or substrate or has a hinged structure, while the plates are connected to the fixed on the substrate contact pads.
Предлагается также, что электрическое сопротивление участка цепи антенны, приходящегося на обкладку, равно входному сопротивлению антенны, приведенному к точкам подключения упомянутого участка к цепи антенны.It is also proposed that the electrical resistance of the portion of the antenna circuit per plate is equal to the input resistance of the antenna, reduced to the points of connection of the said portion to the antenna circuit.
Предлагается также, что подключение обкладок к контактным площадкам выполнено в виде электрического соединения с помощью полосковых волноводов.It is also proposed that the connection of the plates to the contact pads is made in the form of an electrical connection using strip waveguides.
Изобретение поясняется с помощью фиг. 1-3.The invention is illustrated using FIG. 1-3.
На фиг. 1 схематически представлено устройство пироэлектрического преобразователя электромагнитных волн. Здесь 1 - пластина пиродиэлектрика, 2 и 3 - проводящие пленочные обкладки, 4 - теплоизолирующие столбики, с помощью которых пластина с обкладками закреплена на основании 5, 6 - антенна (четвертьволновый вибратор), 7 - электрическое подсоединение антенны к электроду, 8 - проводник подсоединения электрода к входу измерителя 10 электрического сигнала, 9 - проводник подсоединения электрода 2 к другому входу измерителя 10, L - элемент индуктивной развязки высокочастотной цепи антенны и низкочастотной цепи измерителя сигнала, включенный последовательно в цепь линии 9, С - электрическая емкость, замыкающая высокочастотный ток ~i антенны на «землю».In FIG. 1 schematically shows a device of a pyroelectric converter of electromagnetic waves. Here 1 is a pyrodielectric plate, 2 and 3 are conductive film plates, 4 are heat-insulating columns, with which plates with plates are fixed on the
На фиг. 2 схематически представлено устройство пироэлектрического преобразователя электромагнитных волн с полуволновым вибратором в качестве антенны. Здесь 11 - одно из двух плеч полуволновой антенны, 12 - электрический проводник, соединяющий среднюю точку обкладки 3 с входом измерителя 10 электрического сигнала; остальные обозначения совпадают с обозначениями фиг. 1.In FIG. 2 schematically shows a device of a pyroelectric converter of electromagnetic waves with a half-wave vibrator as an antenna. Here 11 is one of the two arms of the half-wave antenna, 12 is an electrical conductor connecting the midpoint of the
На фиг. 3 показан вариант конструкции пироэлектрического преобразователя с обкладками в виде пластины пиродиэлектрика с обкладками, расположенной на теплоизолирующей мембране. Здесь 13 - подложка, выполняющая функцию основания преобразователя, выполненная в виде пластины с центральным отверстием, перекрытым мембраной 14, края отверстия показаны пунктирной окружностью, 15 и 16 - плечи планарной антенны в виде полуволнового вибратора, закрепленной на структуре «мембрана - подложка», 17 - пироэлектрическая пластина в виде квадратного участка тонкой пленки из пиродиэлектрика, 18 - нижняя обкладка пластины пиродиэлектрика -пироэлектрического преобразователя, 19 - полосковый волновод, электрически соединяющий обкладку 18 и контактную площадку 23, 20 - верхняя обкладка пластины пиродиэлектрика - пироэлектрического преобразователя, электрически соединенная с плечами 15 и 16 антенны, 21 - полосковый волновод, электрически соединяющий верхнюю обкладку 20 и контактную площадку 22, С - электрическая емкость, замыкающая высокочастотный ток ~i антенны, текущий через нижнюю обкладку 18 на «землю».In FIG. Figure 3 shows a design variant of a pyroelectric converter with plates in the form of a pyroelectric plate with plates located on a heat-insulating membrane. Here 13 is a substrate that performs the function of the base of the transducer, made in the form of a plate with a central hole overlapped by a
Устройство на фиг. 1 работает следующим образом. The device of FIG. 1 works as follows.
Электромагнитная волна поглощается антенной 6. Высокочастотный ток антенны замыкается на землю, проходя последовательно обкладку 3, линию 8 и емкость С, которая может быть образована емкостью специального конденсатора или входной емкостью измерителя 10. Проходя обкладку, указанный ток ее нагревает; оптимальное согласование антенны с обкладкой достигается при равенстве активного сопротивления обкладки волновому сопротивлению антенны, пересчитанному на точку контакта соединительной линии с обкладкой. Выделившееся в обкладке тепло нагревает пироэлектрик 1, между обкладками возникает разность электрических потенциалов, пропорциональная мощности принятой электромагнитной волны, возникает избыточный электрический заряд. Величина потенциала или заряда измеряется измерителем 10, входные клеммы которого подсоединены к верхней обкладки соединительной линией 8, к нижней обкладке соединительной линией 9. Через соединительную линию 9 может протекать часть высокочастотного тока антенны благодаря межобкладочной электрической емкости, для уменьшения этого тока можно в цепь линии последовательно включить элемент L с индуктивным сопротивлением.The electromagnetic wave is absorbed by the antenna 6. The high-frequency current of the antenna closes to the ground, passing sequentially the
Таким образом, отклик пироэлектрического преобразователя возникает за счет нагревания обкладки высокочастотным током антенны, а не путем непосредственного поглощения попадающего излучения обкладкой.Thus, the response of the pyroelectric converter arises due to the heating of the plate by the high-frequency current of the antenna, and not by direct absorption of the incident radiation by the plate.
Устройство на фиг. 2 работает следующим образом. The device of FIG. 2 works as follows.
Электромагнитная волна поглощается симметричной антенной с плечами 11. Высокочастотный ток антенны замыкается, проходя обкладку 3. Средняя точка обкладки является точкой симметрии антенны и заземляется с помощью соединительной электрической линии 12 через емкость С, которая может быть образована емкостью специального конденсатора или входной емкостью измерителя 10. Проходя обкладку, указанный ток ее нагревает; оптимальное согласование антенны с обкладкой достигается при равенстве активного сопротивления обкладки волновому сопротивлению антенны, пересчитанному на точки контакта соединительных линий с обкладкой. Выделившееся в обкладке тепло нагревает пироэлектрик 1, между обкладками возникает разность электрических потенциалов, пропорциональная мощности принятой электромагнитной волны, возникает избыточный электрический заряд. Величина потенциала или заряда измеряется измерителем 10, входные клеммы которого подсоединены к верхней обкладки соединительной линией 8, к нижней обкладке соединительной линией 9. Через соединительную линию 9 может протекать часть высокочастотного тока антенны благодаря межобкладочной электрической емкости, для уменьшения этого тока можно в цепь линии последовательно включить элемент L с индуктивным сопротивлением.The electromagnetic wave is absorbed by a symmetrical antenna with
Устройство на фиг. 3 работает следующим образом.The device of FIG. 3 works as follows.
Электромагнитная волна поглощается симметричной планарной антенной с плечами 15 и 16, антенна может быть полуволновым вибратором или быть более сложным устройством. Высокочастотный ток антенны замыкается через обкладку 20 и нагревает ее; условия согласования антенны с обкладкой, которая является нагрузкой антенны, аналогичны указанным выше. Антенна расположена поверх мембраны 14 и подложки 13, только частично располагаясь на мембране, однако такое положение не является обязательным. Мембрана и подложка могут быть диэлектрическими или проводящими, в последнем случае плечи антенны должна быть отделены от мембраны и подложки зазором, сравнимым по величине с длиной волны принимаемого излучения, или диэлектрическими прокладками от проводящих поверхностей.An electromagnetic wave is absorbed by a symmetrical planar antenna with
Тепловыделяющим элементом в пироэлектрическом преобразователе является верхняя обкладка 20. Мембрана 14 обеспечивает механическую поддержку элементов преобразователя и тепловую изоляцию преобразователя от подложки за счет ее изготовления достаточно тонкой - толщиной до долей микрометра - и из материала с малой теплоемкостью и теплопроводностью, например, из стеклянной или полимерной пленки. Нижняя обкладка 18 преобразователя расположена в виде проводящей пленки между мембраной и пироэлектрическим элементом.The heat-generating element in the pyroelectric transducer is the
Пироэлектрический элемент 17, например, в виде участка тонкой пленки, предпочтительно, должен быть по габаритам близок к габаритам обкладок, хотя может занимать весь проем отверстия в подложке; пленка пироэлемента может при таком размере выполнять роль мембраны, и специальная пленка мембраны не требуется. Допускается выполнять пироэлектрический преобразователь и без специальной мембраны, заполняющей проем отверстия в подложке, например, использовать антенну в качестве опоры для размещения в ее центральной части обкладок и пироэлектрической пластины или пленки и закрепить плечи антенны на краях отверстия.The
Обкладки электрически соединены с измерителем 10 с помощью полосковых волноводов 19 и 21 и контактных площадок 22 и 23. Ширина полоски волновода выбирается меньше длины волны принимаемого излучения. Полосковый волновод 19 обеспечивает электрическое разделение высокочастотной цепи тока в антенне от низкочастотной цепи тока через измеритель, поэтому его необходимо выполнить или имеющим большое значение индуктивности, например, в виде «змейки», или в и виде четвертьволнового трансформатора сопротивлений с длиной, равной четверти длины электромагнитной волны в нем.The plates are electrically connected to the
Полосковый волновод 21 подсоединен к середине длины обкладки 20 как к точке симметрии полуволнового вибратора и заземляет эту точку; волновод электрически соединяет верхнюю обкладку 20 с измерителем 10. Требования к величине активного (омического) сопротивления волноводов 19 и 21 могут быть различными в зависимости от типа операционного усилителя, который используется в измерителе 10; если используется схема измерения пироэлектрического заряда или тока, сопротивление волноводов должно быть минимальным.The
Контактные площадки 22 и 23 могут быть тонкопленочными и иметь малое электрическое сопротивление. Если создается преобразователь с навесной антенной, то контактные площадки служат также для присоединения к ним электрических соединительных линий от антенны.Contact
Планарная антенна не обязательно должна быть симметричной, может иметь форму несимметричного вибратора, плоского вибратора с питанием в одной точке, быть рамочной и др. В этом случае антенна также может располагаться на структуре «мембрана - подложка» или без мембраны на подложке.A planar antenna does not have to be symmetrical; it can take the form of an asymmetric vibrator, a flat vibrator with power at one point, be a frame vibrator, etc. In this case, the antenna can also be located on a membrane-substrate structure or without a membrane on the substrate.
Мембрана не обязательно имеет форму плоской закрепленной по периметру перепонки, она может иметь форму микромостика, закрепленного концами на поверхности пластины с зазором между пластиной и пролетом мостика, как в прототипе.The membrane does not necessarily have the shape of a flat membrane fixed around the perimeter, it can take the form of a microbridge fixed with its ends on the surface of the plate with a gap between the plate and the span of the bridge, as in the prototype.
Выигрыш в чувствительности приема излучения и в инерционности приемника в случае антенно-связанного пироприемника в сравнении с пироприемником, непосредственно поглощающим падающее излучение своей площадью, становится заметным при изготовлении обкладок преобразователя с размерами меньше длины волны детектируемого излучения. Чувствительность определяется при прочих равных факторах балансом между поглощаемой энергией электромагнитных волн и теплоотводом из пиропреобразователя в окружающее пространство и через теплоотводящие элементы в подложку (на фиг. 1 через элементы 4, на фиг. 3 - через мембрану 14). При меньшем теплоотводе равенство потоков поглощаемой энергии и теплоотвода устанавливается при более высокой температуре пиродиэлектрика, что увеличивает электрический отклик.The gain in the sensitivity of radiation reception and inertia of the receiver in the case of an antenna-coupled pyrodetector in comparison with a pyrodetector that directly absorbs incident radiation with its area becomes noticeable in the manufacture of converter plates with dimensions less than the wavelength of the detected radiation. The sensitivity is determined, ceteris paribus, by the balance between the absorbed energy of electromagnetic waves and the heat sink from the pyroelectric converter to the surrounding space and through the heat sink elements to the substrate (in Fig. 1 through
В случае мембранной конструкции преобразователя поглощение пропорционально площади преобразователя a 2 (a - его сторона) при непосредственном поглощении излучения, теплоотвод за счет теплопроводности пропорционален периметру преобразователя, то есть величине a; выигрыш в чувствительности оказывается пропорционален уменьшению линейного размера преобразователя. При поглощающем излучение преобразователе, как в прототипе, поперечник преобразователя не может быть меньше длины волны излучения, поэтому a 2≥λ2 (λ - длина волны принимаемого излучения). В антенно-связанном преобразователе поперечник может быть много меньше длины волны, и чувствительность может быть многократно больше (пропорционально уменьшению поперечника).In the case of the membrane design of the converter, the absorption is proportional to the area of the converter a 2 ( a is its side) with direct absorption of radiation, the heat sink due to thermal conductivity is proportional to the perimeter of the converter, that is, to the value of a ; the gain in sensitivity is proportional to the decrease in the linear size of the converter. When the radiation-absorbing transducer, as in the prototype, the transducer diameter cannot be less than the radiation wavelength, therefore a 2 ≥λ 2 (λ is the wavelength of the received radiation). In an antenna-coupled converter, the diameter can be much less than the wavelength, and the sensitivity can be many times greater (proportional to the decrease in diameter).
Инерционность зависит от теплоемкости преобразователя, которая пропорциональна его объему, поэтому выигрыш в уменьшении инерционности антенно-связанного преобразователя может быть пропорционален отношению (λ/a)2 при равенстве толщин структурных элементов в сравниваемых случаях.The inertia depends on the specific heat of the transducer, which is proportional to its volume; therefore, the gain in reducing the inertia of the antenna-coupled transducer can be proportional to the ratio (λ / a ) 2 with equal thicknesses of structural elements in the cases being compared.
Пироэлектрический преобразователь может быть многоэлементным, например иметь структуру матрицы пиропреобразователей с выводами от каждого элементарного преобразователя, коммутируемыми с помощью микроэлектронных ключей, которые могут располагаться на подложке с микроантеннами и пиропреобразователями.The pyroelectric transducer can be multi-element, for example, have a pyroelectric transducer matrix structure with leads from each elementary transducer, switched using microelectronic keys, which can be located on a substrate with micro-antennas and pyroelectric converters.
Таким образом доказана обоснованность и целесообразность предложений по данному изобретению.Thus, the validity and feasibility of the proposals of this invention are proved.
Для изготовления устройства могут быть использованы материалы: для подложки - стекло или полупроводниковые пластины; для пиропреобразователя обкладки - металлическая напыляемая в вакууме пленка, пироэлектрическая пластина - тонкая пленка пироэлектрической керамики или пироэлектрической полимерной пленки; мембрана может быть стеклянной или полимерной.For the manufacture of the device can be used materials: for the substrate - glass or semiconductor wafers; for the pyro-converter of the lining - a metal film sprayed in vacuum, a pyroelectric plate - a thin film of pyroelectric ceramics or a pyroelectric polymer film; the membrane may be glass or polymer.
Технология изготовления может быть разработана на основе технологий микроэлектронных приборов и микромеханических устройств.Manufacturing technology can be developed based on the technologies of microelectronic devices and micromechanical devices.
Пироэлектрический преобразователь может быть применен в качестве чувствительного детектора электромагнитных волн в широком диапазоне спектра - от ПК до субмиллиметровых волн (терагерцевом диапазоне). Преимуществом предложенной системы может быть ее более высокая чувствительность и лучшее быстродействие в сравнении с применяемыми в настоящее время в этом диапазоне неохлаждаемыми приемниками излучений.The pyroelectric converter can be used as a sensitive detector of electromagnetic waves in a wide range of the spectrum - from PC to submillimeter waves (terahertz range). An advantage of the proposed system may be its higher sensitivity and better performance in comparison with the uncooled radiation receivers currently used in this range.
Техническим результатом изобретения может стать создание неохлаждаемых пироэлектрических приемников сигналов и приемников изображений в терагерцевом диапазоне спектра.The technical result of the invention may be the creation of uncooled pyroelectric signal receivers and image receivers in the terahertz range of the spectrum.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014124078/28A RU2570235C1 (en) | 2014-06-11 | 2014-06-11 | Pyroelectric converter of electromagnetic waves |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014124078/28A RU2570235C1 (en) | 2014-06-11 | 2014-06-11 | Pyroelectric converter of electromagnetic waves |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2570235C1 true RU2570235C1 (en) | 2015-12-10 |
Family
ID=54846508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2014124078/28A RU2570235C1 (en) | 2014-06-11 | 2014-06-11 | Pyroelectric converter of electromagnetic waves |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2570235C1 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2027155C1 (en) * | 1994-05-05 | 1995-01-20 | Головной институт Всероссийского научного центра "Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова" | Method of measuring the radiative power and device for its realization |
| RU5472U1 (en) * | 1996-09-24 | 1997-11-16 | Юрий Никитович Долганин | PYROELECTRIC RADIATION RECEIVER |
-
2014
- 2014-06-11 RU RU2014124078/28A patent/RU2570235C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2027155C1 (en) * | 1994-05-05 | 1995-01-20 | Головной институт Всероссийского научного центра "Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова" | Method of measuring the radiative power and device for its realization |
| RU5472U1 (en) * | 1996-09-24 | 1997-11-16 | Юрий Никитович Долганин | PYROELECTRIC RADIATION RECEIVER |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| В.К. Новик и др. "Пироэлектрические преобразователи", М., Советское радио, 1979 г., стр.54-55. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7442934B2 (en) | Bolometric detector, device for detecting submillimetric and millimetric electromagnetic waves that uses such a detector | |
| JP5684487B2 (en) | Bolometer detector for detecting electromagnetic radiation in the infrared to terahertz frequency band, and array detection apparatus having such a detector | |
| CN111947787B (en) | Infrared detector and preparation method thereof | |
| CN111525023A (en) | Infrared detector and preparation method thereof | |
| US9217674B2 (en) | Bolometric detector of an electromagnetic radiation in the terahertz range and array detection device comprising such detectors | |
| JP2013152213A (en) | Bolometric detector of electromagnetic radiation in terahertz range and detector array device comprising the same | |
| US20150226612A1 (en) | Bolometric detector with a mim structure including a thermometer element | |
| US3075386A (en) | Radiation detectors | |
| JP6099950B2 (en) | Bolometer detector for terahertz electromagnetic radiation | |
| Li et al. | A new RF MEMS power sensor based on double-deck thermocouples with high sensitivity and large dynamic range | |
| Xiong et al. | A metamaterial energy power detector based on electromagnetic energy harvesting technology | |
| US9360375B2 (en) | Photon radiation detector comprising an array of antennas and a spiral resistive support | |
| RU2570235C1 (en) | Pyroelectric converter of electromagnetic waves | |
| Szentpáli et al. | Thermopile antennas for detection of millimeter waves | |
| Hiromoto et al. | Room-temperature THz antenna-coupled microbolometer with a Joule-heating resistor at the center of a half-wave antenna | |
| US3405271A (en) | Detector having radiation collector supported on electrically insulating thermally conducting film | |
| Ling et al. | A wide-band monolithic quasi-optical power meter for millimeter-and submillimeter-wave applications | |
| US9052234B2 (en) | Dipole antenna with reflectors having low thermal mass for detection of Terahertz radiation | |
| US3405272A (en) | Film supported detector with low heat transfer impedance path from cold junctions tothermal sink | |
| RU2606516C2 (en) | Pyroelectric millimeter radiation detector (versions) | |
| RU2650430C1 (en) | RECEIVER OF IR AND THz RADIATIONS | |
| CN206412369U (en) | Terahertz alignment detection device | |
| US3054977A (en) | Flake thermistor | |
| Kaminski et al. | Wideband planar skirt antenna and its application for the detection of terahertz radiation | |
| Middleton et al. | Passive millimeter-wave focal plane array |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190612 |