RU2569877C1 - Method of magnetorheology polishing of optical element edges - Google Patents
Method of magnetorheology polishing of optical element edges Download PDFInfo
- Publication number
- RU2569877C1 RU2569877C1 RU2014119045/02A RU2014119045A RU2569877C1 RU 2569877 C1 RU2569877 C1 RU 2569877C1 RU 2014119045/02 A RU2014119045/02 A RU 2014119045/02A RU 2014119045 A RU2014119045 A RU 2014119045A RU 2569877 C1 RU2569877 C1 RU 2569877C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- optical element
- gap
- bearing surface
- magnetorheological fluid
- working
- Prior art date
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к способам обработки поверхности шлифованием или полированием, в частности к способам магнитореологического полирования торцов оптических элементов, и может быть использовано при производстве оптических компонентов для обработки и заострения краев, кромок, граней, фасок, а также для изготовления элементов точной механики, метрологических поверочных пластин, щупов и калибров.The invention relates to methods for surface treatment by grinding or polishing, in particular to methods for magnetorheological polishing of the ends of optical elements, and can be used in the production of optical components for processing and sharpening edges, edges, faces, chamfers, as well as for manufacturing precision mechanical elements, metrological verification plates, probes and calibers.
Известен способ предэпитаксиальной обработки подложек из оксидов [1] при сохранении ее макро- и микрогеометрии, например из фианита, включающий химико-механическую полировку, очистку и обработку в горячем травителе, причем очистку ведут в кипящей смеси Каро в течение не менее 5 мин, а обработку осуществляют при 250-270°C в течение 0,5-1,5 мин и после чего повторяют очистку. Способ позволяет уменьшить количество дефектов на поверхности подложки, исключить такие дефекты, как завалы по краям и фоновые риски. Однако неизбежный нагрев материала подложки и высокие требования к качеству очистки поверхности перед травлением являются существенными ограничениями использования данного вида обработки.There is a method of pre-epitaxial treatment of substrates of oxides [1] while maintaining its macro- and microgeometry, for example of cubic zirconia, including chemical-mechanical polishing, cleaning and processing in a hot etchant, and cleaning is carried out in a boiling Caro mixture for at least 5 minutes, and the treatment is carried out at 250-270 ° C for 0.5-1.5 minutes and then repeat the cleaning. The method allows to reduce the number of defects on the surface of the substrate, to eliminate such defects as blockages at the edges and background risks. However, the inevitable heating of the substrate material and high demands on the quality of surface cleaning before etching are significant limitations on the use of this type of processing.
Также известен способ гидродинамического полирования [2], при котором обрабатываемую оптическую деталь погружают в слой магнитореологической жидкости, расположенный на твердой поверхности, выполненной из немагнитного материала. Перемещают твердую поверхность относительно детали для генерирования гидродинамического давления в зазоре между деталью и поверхностью, воздействуют магнитным полем на магнитореологическую жидкость в зоне полирования, образуя в зазоре между обрабатываемой поверхностью детали и перемещаемой поверхностью твердообразное ядро и разжиженную прослойку магнитореологической жидкости. При этом толщину прослойки устанавливают ≤100 мкм. Магнитное поле придает магнитореологической жидкости пластические свойства, характеризующиеся пределом текучести, зависящим от напряженности магнитного поля и состава магнитореологической жидкости. В зазоре между движущейся поверхностью и поверхностью детали на магнитореологической жидкости действуют сдвиговые напряжения, причем в области зазора, где сдвиговые напряжения меньше предела текучести, образуется твердообразное ядро, перемещающееся заодно с движущейся поверхностью, а в области зазора, где сдвиговые напряжения больше предела текучести реализуется сдвиговое течение разжиженной магнитореологической жидкости, имеющее место в слое между твердообразным ядром и непосредственно поверхностью детали. Толщина разжиженного слоя так же, как и скорость магнитореологической жидкости под поверхностью обрабатываемой детали, определяется скоростью движения поверхности со слоем магнитореологической жидкости, величиной зазора между поверхностью и обрабатываемой деталью и пределом текучести магнитореологической жидкости. Оптимальным соотношением перечисленных параметров создаются условия для эффективного, то есть высококачественного и производительного, полирования.Also known is a method of hydrodynamic polishing [2], in which the processed optical part is immersed in a layer of magnetorheological liquid located on a solid surface made of non-magnetic material. A solid surface is moved relative to the part to generate hydrodynamic pressure in the gap between the part and the surface, a magnetorological fluid is applied to the magnetorheological liquid in the polishing zone, forming a solid core and a thin layer of magnetorheological liquid in the gap between the workpiece surface and the surface to be moved. In this case, the thickness of the interlayer is set to ≤100 μm. A magnetic field imparts plastic properties to a magnetorheological fluid, characterized by a yield strength depending on the strength of the magnetic field and the composition of the magnetorheological fluid. In the gap between the moving surface and the surface of the component, shear stresses act on the magnetorheological fluid; moreover, in the gap region where the shear stresses are less than the yield strength, a solid-like core is formed which moves along with the moving surface, and in the gap region where the shear stresses are higher than the yield stress, shear is realized the flow of a liquefied magnetorheological fluid taking place in the layer between the solid core and directly the surface of the part. The thickness of the liquefied layer, as well as the speed of the magnetorheological fluid under the surface of the workpiece, is determined by the speed of the surface with the layer of magnetorheological fluid, the gap between the surface and the workpiece and the yield strength of the magnetorheological fluid. The optimal ratio of these parameters creates the conditions for effective, that is, high-quality and productive polishing.
Наиболее близким к предлагаемому способу по технической сущности является способ магнитореологического полирования торцов оптических элементов [3], согласно которому выполняют позиционирование оптического элемента (элементов) с образованием рабочего зазора между торцовой поверхностью оптического элемента и движущейся несущей поверхностью, осуществляют предварительное формование магнитореологической жидкости выдавливанием последней через насадку (формующий элемент), подводят поток магнитореологической жидкости к движущейся несущей поверхности, формируют рабочую зону путем приложения магнитного поля преимущественно в зоне рабочего зазора и осуществляют съем части материала с обрабатываемой торцовой поверхности оптического элемента.Closest to the proposed method, the technical essence is the method of magnetorheological polishing of the ends of the optical elements [3], according to which the optical element (s) are positioned to form a working gap between the end surface of the optical element and the moving bearing surface, the magnetorheological liquid is preformed by extrusion of the latter through nozzle (forming element), the magnetorheological fluid flow is brought to a moving carrier conductive surface, forming the working area by applying the magnetic field primarily in the working air gap zone and removal of the material is carried out with the processed end surface of the optical element.
Недостатки приведенного способа полирования заключаются в следующем. Предварительное формование потока (струи) магнитореологической жидкости посредством насадки обладает недостаточной точностью, так как зависит от пульсаций, обусловленных неизбежной нестабильностью при работе системы прокачки жидкости. Кроме того, форма потока магнитореологической жидкости после предварительного формования претерпевает дополнительные изменения при попадании на движущуюся несущую поверхность, обусловленные формированием слоя магнитореологической жидкости на движущейся несущей поверхности под действием сил поверхностного натяжения, магнитного воздействия, неравномерности скорости движения несущей поверхности, несоответствия скоростей движения струи магнитореологической жидкости и движущейся несущей поверхности. В результате толщина (высота) слоя магнитореологической жидкости, который подается в рабочую зону, изменяется в широких пределах. Недостаточная точность формования магнитореологической жидкости приводит к тому, что торец оптического изделия погружают в слой жидкости на большую глубину для обеспечения гарантированного непрерывного контакта в рабочей зоне торцовой поверхности со слоем магнитореологической жидкости. На практике это приводит к тому, что поток магнитореологической жидкости при полировании обрабатываемой торцевой поверхности также частично воздействует на рабочие поверхности оптических элементов (которые не должны обрабатываться на данной операции), неизбежно видоизменяя их форму и состояние поверхностей. Фактически рабочая поверхность оптического элемента выступает в роли барьерной поверхности, которая также формует поток магнитореологической жидкости до его подачи в рабочую зону. Это снижает качество готовой продукции в целом. Для частичного уменьшения негативного воздействия потока магнитореологической жидкости на рабочие поверхности оптических элементов обработку торцов ведут преимущественно вдоль торцовой поверхности, избегая поперечной обработки торцов. Таким образом, недостаточная точность формования потока магнитореологической жидкости, подаваемого в рабочую зону, ухудшает качество готовой продукции.The disadvantages of this method of polishing are as follows. The preliminary molding of the flow (jet) of magnetorheological fluid by means of a nozzle has insufficient accuracy, since it depends on pulsations caused by the inevitable instability during operation of the fluid pumping system. In addition, the shape of the flow of the magnetorheological liquid after preliminary molding undergoes additional changes when it enters a moving bearing surface due to the formation of a layer of magnetorheological liquid on a moving bearing surface under the influence of surface tension, magnetic force, uneven velocity of the bearing surface, inconsistency of the speed of the jet of magnetorheological fluid and moving bearing surface. As a result, the thickness (height) of the magnetorheological fluid layer, which is supplied to the working area, varies widely. The lack of accuracy in the formation of magnetorheological fluid leads to the fact that the end face of the optical product is immersed in a liquid layer to a greater depth to ensure guaranteed continuous contact in the working area of the end surface with a layer of magnetorheological fluid. In practice, this leads to the fact that the flow of magnetorheological fluid during polishing of the machined end surface also partially affects the working surfaces of the optical elements (which should not be processed in this operation), inevitably modifying their shape and condition of the surfaces. In fact, the working surface of the optical element acts as a barrier surface, which also forms the flow of magnetorheological fluid before it is fed into the working area. This reduces the quality of the finished product as a whole. To partially reduce the negative impact of the flow of magnetorheological fluid on the working surfaces of the optical elements, the ends are processed mainly along the end surface, avoiding the lateral processing of the ends. Thus, the lack of accuracy in molding the flow of magnetorheological fluid supplied to the working area affects the quality of the finished product.
Задачей настоящего изобретения является повышение эффективности полирования торцов оптических элементов и улучшение качества готовой продукции путем повышения точности формования потока магнитореологической жидкости, подаваемого в рабочую зону.The objective of the present invention is to increase the efficiency of polishing the ends of the optical elements and improve the quality of the finished product by improving the accuracy of molding the flow of magnetorheological fluid supplied to the working area.
Задача решается следующим образом. Известный способ магнитореологического полирования торцов оптических элементов включает позиционирование оптического элемента с образованием рабочего зазора между торцовой поверхностью оптического элемента и движущейся несущей поверхностью, предварительное формование магнитореологической жидкости формующим элементом и подвод ее к движущейся несущей поверхности, формирование рабочей зоны путем приложения магнитного поля преимущественно в зоне рабочего зазора и съем части материала с обрабатываемой торцовой поверхности оптического элемента.The problem is solved as follows. A known method of magnetorheological polishing of the ends of optical elements includes positioning the optical element with the formation of a working gap between the end surface of the optical element and the moving bearing surface, preliminary molding of the magnetorheological liquid by the forming element and its supply to the moving bearing surface, the formation of the working zone by applying a magnetic field mainly in the working zone the gap and remove part of the material from the machined end surface optically one element.
Согласно предлагаемому способу предварительное формование магнитореологической жидкости осуществляют формующим элементом после подвода магнитореологической жидкости к движущейся несущей поверхности и до подачи магнитореологической жидкости в зазор между торцовой поверхностью оптического элемента и движущейся несущей поверхностью. Для чего образуют щелевой зазор между движущейся несущей поверхностью и формующим элементом.According to the proposed method, the pre-molding of the magnetorheological fluid is carried out by the forming element after the magnetorheological fluid is supplied to the moving bearing surface and before the magnetorheological fluid is fed into the gap between the end surface of the optical element and the moving bearing surface. Why form a gap between the moving bearing surface and the forming element.
Таким образом, в предлагаемом изобретении формующий элемент выступает в роли барьерной поверхности (в прототипе это была рабочая поверхность оптического элемента), которая формует поток магнитореологической жидкости до его подачи в рабочую зону. В результате рабочая (необрабатываемая) поверхность оптического элемента практически не участвует в формировании потока магнитореологической жидкости, подаваемой в рабочую зону, что значительно уменьшает воздействие магнитореологической жидкости на необрабатываемые поверхности оптических элементов. Выполнение предварительного формования магнитореологической жидкости непосредственно на движущейся несущей поверхности, то есть после подвода магнитореологической жидкости к движущейся несущей поверхности, посредством щелевого зазора, обеспечивает повышение точности формования за счет формирования более равномерного по толщине слоя магнитореологической жидкости. Это обусловлено тем, что при таком формовании поток магнитореологической жидкости ограничен двумя поверхностями - движущейся несущей поверхностью и формующим элементом, и после формирования слоя он (слой) остается на движущейся несущей поверхности - одной из поверхностей, участвующих в предварительном формировании слоя магнитореологической жидкости. В результате чего отпадает необходимость значительного погружения торца оптического элемента в слой магнитореологической жидкости, что значительно снижает негативное воздействие магнитореологической жидкости на необрабатываемые поверхности оптических элементов и позволяет вести обработку торцов как вдоль, так и поперек торцовой поверхности оптического элемента.Thus, in the present invention, the forming element acts as a barrier surface (in the prototype it was the working surface of the optical element), which forms the flow of magnetorheological fluid before it is fed into the working area. As a result, the working (untreated) surface of the optical element practically does not participate in the formation of the magnetorheological fluid flow supplied to the working zone, which significantly reduces the effect of the magnetorheological fluid on the untreated surfaces of the optical elements. Performing preliminary molding of the magnetorheological fluid directly on the moving bearing surface, that is, after supplying the magnetorheological fluid to the moving bearing surface by means of a slit gap, improves molding accuracy by forming a more uniform thickness layer of the magnetorheological fluid. This is due to the fact that during such molding the flow of magnetorheological fluid is limited to two surfaces - a moving bearing surface and a forming element, and after the formation of the layer, it (the layer) remains on the moving bearing surface - one of the surfaces involved in the preliminary formation of the magnetorheological fluid layer. As a result, there is no need to significantly immerse the end face of the optical element in the magnetorheological liquid layer, which significantly reduces the negative impact of the magnetorheological liquid on the untreated surfaces of the optical elements and allows the ends to be processed both along and across the end surface of the optical element.
На рисунке представлена схема осуществления способа магнитореологического полирования торцов оптических элементов.The figure shows a diagram of the implementation of the method of magnetorheological polishing of the ends of the optical elements.
Оптический элемент 1 закреплен на установке полирования (на рисунке не показана). Торец оптического элемента 1 формирует рабочий зазор hк относительно движущейся несущей поверхности 2. На движущейся несущей поверхности 2 расположен слой магнитореологической жидкости 3 толщиной hн. Стрелками показано направление движения движущейся несущей поверхности 2 и слоя магнитореологической жидкости 3. Формующий элемент 4 выполнен из немагнитного материала. Формующий элемент 4 и движущаяся несущая поверхность 2 образуют щелевой зазор, с помощью которого осуществляют предварительное формование слоя магнитореологической жидкости 3 толщиной hн, переходящего в слой магнитореологической жидкости 5 с толщиной, максимально приближенной к величине рабочего зазора hк. Фактически формующий элемент 4 является преградой (барьером) для движения слоя магнитореологической жидкости 3. В этом случае воздействие предварительно сформованного слоя магнитореологической жидкости 5 на необрабатываемую поверхность 6 оптического элемента 1 является незначительным. Рабочую зону 7 формируют путем подачи магнитореологической жидкости 5 в рабочий зазор hк и приложения магнитного поля. Рабочая зона 7 геометрически ограничена длиной торца и величиной рабочего зазора hк. Сдвиговые деформации магнитореологической жидкости 5 в рабочей зоне 7 обеспечивают съем части материала с обрабатываемой торцовой поверхности оптического элемента 1.The optical element 1 is mounted on a polishing unit (not shown in the figure). The end face of the optical element 1 forms a working gap h to a relatively moving bearing surface 2. On a moving bearing surface 2 there is a layer of magnetorheological fluid 3 of thickness h n . The arrows indicate the direction of motion of the moving bearing surface 2 and the magnetorheological fluid layer 3. The forming element 4 is made of non-magnetic material. The forming element 4 and the moving bearing surface 2 form a slit gap, with the help of which the preliminary formation of the magnetorheological fluid layer 3 with thickness h n is carried out, which passes into the magnetorheological fluid layer 5 with a thickness as close as possible to the working gap h k . In fact, the forming element 4 is an obstacle (barrier) to the movement of the magnetorheological liquid layer 3. In this case, the effect of the preformed magnetorheological liquid layer 5 on the untreated surface 6 of the optical element 1 is negligible. The working zone 7 is formed by feeding magnetorheological fluid 5 into the working gap h to and applying a magnetic field. The working area 7 is geometrically limited by the length of the end and the size of the working gap h to . Shear deformation of the magnetorheological fluid 5 in the working area 7 provide removal of part of the material from the machined end surface of the optical element 1.
Способ осуществляют следующим образом. Первоначально закрепляют на установке полирования оптический элемент 1. Затем позиционируют оптический элемент 1 относительно движущейся несущей поверхности 2 и образуют рабочий зазор hк. Подводят формующий элемент 4 к движущейся несущей поверхности 2 и создают требуемый щелевой зазор между движущейся несущей поверхностью 2 и формующим элементом 4, величина которого соизмерима с величиной рабочего зазора hк (но не менее его). Насосом нагнетают давление и подводят магнитореологическую жидкость 3 на движущуюся несущую поверхность 2. При этом формируется слой магнитореологической жидкости 3 толщиной hн. Осуществляют предварительное формование магнитореологической жидкости 3 посредством ее пропускания через щелевой зазор. Далее предварительно сформованную магнитореологическую жидкость 5 подают в рабочий зазор hк и формируют рабочую зону 7 путем приложения магнитного поля преимущественно в зоне рабочего зазора hк. Сдвиговые деформации магнитореологической жидкости 5 в рабочей зоне 7 обеспечивают съем части материала с обрабатываемой торцовой поверхности оптического элемента 1. По завершении обработки оптический элемент 1 снимают с установки полирования.The method is as follows. Initially, the optical element 1 is fixed on the polishing unit. Then, the optical element 1 is positioned relative to the moving bearing surface 2 and form a working gap h k . The forming element 4 is brought to the moving bearing surface 2 and the required gap is created between the moving bearing surface 2 and the forming element 4, the value of which is comparable with the working gap h k (but not less). The pump is pressurized and the magnetorheological fluid 3 is supplied to the moving bearing surface 2. A layer of magnetorheological fluid 3 with a thickness of h n is formed . Pre-forming magnetorheological liquid 3 is carried out by passing it through a gap gap. Next, the preformed magnetorheological liquid 5 is fed into the working gap h k and the working zone 7 is formed by applying a magnetic field mainly in the zone of the working gap h k . Shear deformations of the magnetorheological fluid 5 in the working area 7 provide removal of part of the material from the machined end surface of the optical element 1. Upon completion of the processing, the optical element 1 is removed from the polishing unit.
Таким образом, предлагаемый способ обеспечивает повышение эффективности полирования торцов оптических элементов за счет уменьшения воздействия магнитореологической жидкости на рабочие поверхности оптических элементов.Thus, the proposed method provides an increase in the efficiency of polishing the ends of the optical elements by reducing the impact of magnetorheological fluid on the working surfaces of the optical elements.
Источники информацииInformation sources
1. Патент РФ №2010044, C30B 33/10, C30B 29/22, 1994.1. RF patent No.2010044, C30B 33/10, C30B 29/22, 1994.
2. Патент РБ №2895, B24B 1/00, B24B 13/00, 1999.2. Patent RB No. 2895, B24B 1/00, B24B 13/00, 1999.
3. Патент США №5616066, B24B 1/00, 1997 (прототип).3. US patent No. 5616066, B24B 1/00, 1997 (prototype).
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014119045/02A RU2569877C1 (en) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | Method of magnetorheology polishing of optical element edges |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014119045/02A RU2569877C1 (en) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | Method of magnetorheology polishing of optical element edges |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2569877C1 true RU2569877C1 (en) | 2015-11-27 |
Family
ID=54753663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2014119045/02A RU2569877C1 (en) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | Method of magnetorheology polishing of optical element edges |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2569877C1 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1783714A1 (en) * | 1988-06-10 | 1995-03-20 | Институт тепло- и массообмена им.А.В.Лыкова | Method for part polishing |
| US5616066A (en) * | 1995-10-16 | 1997-04-01 | The University Of Rochester | Magnetorheological finishing of edges of optical elements |
| US6746310B2 (en) * | 2002-08-06 | 2004-06-08 | Qed Technologies, Inc. | Uniform thin films produced by magnetorheological finishing |
-
2014
- 2014-05-12 RU RU2014119045/02A patent/RU2569877C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1783714A1 (en) * | 1988-06-10 | 1995-03-20 | Институт тепло- и массообмена им.А.В.Лыкова | Method for part polishing |
| US5616066A (en) * | 1995-10-16 | 1997-04-01 | The University Of Rochester | Magnetorheological finishing of edges of optical elements |
| US5839944A (en) * | 1995-10-16 | 1998-11-24 | Byelocorp, Inc. | Apparatus deterministic magnetorheological finishing of workpieces |
| US6746310B2 (en) * | 2002-08-06 | 2004-06-08 | Qed Technologies, Inc. | Uniform thin films produced by magnetorheological finishing |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| БАРОН Ю.М. Магнитно-абразивная обработка изделий и режущих инструментов, Л., Машиностроение, 1986, с. 126. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9016104B2 (en) | Process for producing a body provided with a slot as a test crack | |
| CN103817563A (en) | Ultrasonic vibration auxiliary polishing device for super-hard material micro-structure surface and using method of ultrasonic vibration auxiliary polishing device | |
| CN103203688B (en) | Micro-scale grinding online electrolytic dressing device and method thereof | |
| Guo et al. | Ultrasonic vibration-assisted grinding of micro-structured surfaces on silicon carbide ceramic materials | |
| CN112008614A (en) | Ultrasonic cavitation-assisted multi-nozzle jet polishing device and polishing method | |
| ITMI932587A1 (en) | ULTRA HIGH PRESSURE FAN JET NOZZLE. | |
| RU2569877C1 (en) | Method of magnetorheology polishing of optical element edges | |
| Fiocchi et al. | Ultra-precision face grinding with constant pressure, lapping kinematics, and SiC grinding wheels dressed with overlap factor | |
| CN113649707A (en) | Machining method for rounding SiC crystal and one-step forming of reference surface | |
| CN102152193B (en) | Method for grinding superhard mini-hemispheric coupling parts | |
| Qureshi et al. | Analysis of effect of ball and roller burnishing processes on surface roughness on EN8 steel | |
| Chen et al. | Influences of dressing lead on surface roughness of ultrasonic-assisted grinding | |
| CN104722864A (en) | Planar metal surface optical finishing method based on bimodal pulse current electrochemical composite machine | |
| Lim et al. | Evaluation of surface characteristics with pre-treatment polishing process in pulsed laser polishing AISI 4140 mold steel | |
| EA029195B1 (en) | METHOD FOR PROCESSING RUBBING SURFACES OF COMPONENTS MADE OF AN ARTIFICIALLY GROWN ALPHA-AlO-BASED SINGLE CRYSTAL | |
| CN109304586A (en) | A kind of reinforcement process of tungsten alloy | |
| CN212471124U (en) | Ultrasonic cavitation assisted multi-nozzle jet polishing device | |
| Onishi et al. | Improvement of the form accuracy of a slender workpiece in cylindrical traverse grinding | |
| RU2503532C1 (en) | Method of combined processing by turning and surface plastic deformation | |
| Grigoriev et al. | Characterization of microrelief forming on the hardened steel surface with ultrasonic reinforcing burnishing processing | |
| Lu et al. | Process chain for the mass production of polymeric microfluidic chips | |
| CN215147699U (en) | Transverse ultrasonic magnetorheological polishing equipment for large-caliber aspheric reflector | |
| Cao et al. | An experimental investigation of effect of process parameters on materials removal characteristics in fluid jet polishing | |
| JP2011235409A (en) | Machining method for sliding surface and cast iron material | |
| Kasim et al. | Effect of abrasive water jet turning AWJT parameter setting on surface finish of inconel 718 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190513 |