RU2561514C2 - Hybrid high-vacuum pump - Google Patents
Hybrid high-vacuum pump Download PDFInfo
- Publication number
- RU2561514C2 RU2561514C2 RU2012124164/06A RU2012124164A RU2561514C2 RU 2561514 C2 RU2561514 C2 RU 2561514C2 RU 2012124164/06 A RU2012124164/06 A RU 2012124164/06A RU 2012124164 A RU2012124164 A RU 2012124164A RU 2561514 C2 RU2561514 C2 RU 2561514C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pump
- rotor
- stator
- disks
- degrees
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
Description
Область применения - вакуумная техника.Scope - vacuum equipment.
Насос предназначен для получения высокого и сверхвысокого вакуума в герметичных объемах. Насос может применяться в гелиевых течеискателях, масс-спектрометрах, вакуумных установках, требующих получения высокого вакуума в небольших объемах.The pump is designed to produce high and ultrahigh vacuum in sealed volumes. The pump can be used in helium leak detectors, mass spectrometers, vacuum installations requiring high vacuum in small volumes.
Наиболее близким к заявляемому является турбомолекулярный насос [Насос турбомолекулярный ВВ 150. Техническое описание и инструкция по эксплуатации ВВ 150-010002ТО, НТЦ «Энергонасос ЦКБМ», 1999 г.], который содержит цилиндрический корпус, составленный из трех корпусов - верхнего корпуса, среднего корпуса и нижнего корпуса. В верхнем корпусе насоса расположены статор и ротор насоса. В верхней части верхнего корпуса находится фланец, к которому присоединяется откачиваемый объект. На внутренней поверхности верхнего корпуса установлены проставочные кольца, между которыми установлены статорные диски. Статорные диски выполнены разрезными, в виде полудисков, что облегчает их установку на внутреннюю поверхность корпуса насоса. По оси корпуса установлен вал насоса, закрепленный на двух подшипниках, один из которых расположен в нижней части корпуса насоса, а другой в средней. На валу установлен ротор в виде втулки, с закрепленными на ней напрессовыванием роторными дисками. Втулка закрепляется на валу также напрессовыванием. Статорные и роторные диски имеют лопатки, причем расположение лопаток статорных дисков представляет собой зеркальное отображение расположения лопаток роторных дисков, при этом имеется два вида дисков, различающихся по количеству лопаток и их конфигурации. Чередующиеся между собой статорные и роторные диски образуют однопоточную проточную часть насоса. Насос снабжен электродвигателем, статор которого закреплен в нижнем корпусе насоса, а ротор электродвигателя закреплен на валу ротора насоса.Closest to the claimed one is a turbomolecular pump [Turbomolecular pump BB 150. Technical description and operating instructions for BB 150-010002TO, STC Energonasos TsKBM, 1999], which contains a cylindrical body made up of three buildings - the upper case, the middle case and lower case. The stator and pump rotor are located in the upper pump casing. In the upper part of the upper case there is a flange to which the pumped object is connected. Spacer rings are installed on the inner surface of the upper case, between which stator disks are installed. The stator disks are made split, in the form of half disks, which facilitates their installation on the inner surface of the pump casing. A pump shaft is mounted along the housing axis, mounted on two bearings, one of which is located in the lower part of the pump housing, and the other in the middle. A rotor in the form of a sleeve is installed on the shaft, with rotor discs mounted on it by pressing in. The sleeve is mounted on the shaft also by pressing. The stator and rotor disks have blades, and the location of the stator disk blades is a mirror image of the location of the rotor disk blades, while there are two types of disks that differ in the number of blades and their configuration. Alternating stator and rotor disks form a single-threaded flow part of the pump. The pump is equipped with an electric motor, the stator of which is fixed in the lower casing of the pump, and the rotor of the electric motor is fixed on the shaft of the pump rotor.
Такой насос не обеспечивает надежной и долговременной работы. Прежде всего, это связано с тем, что насос снабжен тяжелым ротором, который создает большую нагрузку на подшипники. Из-за этого требуется использовать подшипники больших размеров, которые имеют меньший срок службы. Подшипники установлены на валу на большом расстоянии друг от друга и располагаются в разных частях корпуса насоса. Такое конструктивное решение установки подшипников (удаленность нижнего подшипника от массивного ротора насоса) приводит к быстрому выходу из строя нижнего подшипника в связи с увеличенными радиальными нагрузками на него. Это приводит к сокращению срока службы насоса. При такой установке подшипников трудно исключить возможность возникновения перекоса наружных обойм подшипников относительно внутренних обойм, закрепленных на валу насоса. Кроме того, такой насос характеризуется сложным процессом изготовления. Лопатки дисков ротора выполняются на фрезерном станке, что трудоемко и долговременно, а также требует специальных приспособлений. Таким образом, такой насос не надежен в работе, имеет большой вес и габариты, а изготовление его частей и сборка насоса в целом является долговременным и трудоемким процессом.Such a pump does not provide reliable and long-term operation. First of all, this is due to the fact that the pump is equipped with a heavy rotor, which creates a large load on the bearings. Because of this, larger bearings are required that have a shorter service life. The bearings are mounted on the shaft at a great distance from each other and are located in different parts of the pump housing. Such a constructive solution for the installation of bearings (the distance of the lower bearing from the massive pump rotor) leads to the rapid failure of the lower bearing due to increased radial loads on it. This leads to a shortened pump life. With such an arrangement of bearings, it is difficult to exclude the possibility of skewing of the outer race of bearings relative to the inner race of bearings mounted on the pump shaft. In addition, such a pump is characterized by a complex manufacturing process. The blades of the rotor discs are performed on a milling machine, which is laborious and long-term, and also requires special devices. Thus, such a pump is not reliable in operation, has a large weight and dimensions, and the manufacture of its parts and the assembly of the pump as a whole is a long and laborious process.
Предлагаемое техническое решение направлено на повышение надежности турбомолекулярного насоса, технологичности его изготовления и сборки при уменьшении его веса и габаритов, а также на улучшение откачных характеристик.The proposed technical solution is aimed at improving the reliability of a turbomolecular pump, the manufacturability of its manufacture and assembly while reducing its weight and dimensions, as well as improving the pumping characteristics.
Сущность заявляемого устройства заключается в том, что турбомолекулярный насос представляет собой комбинированную высокооборотную осевую турбину, имеющую в своем составе активную вязкостную ступень, выполненную в виде четырехзаходной резьбовой канавки прямоугольного профиля переменного сечения, размещенной на внутренней поверхности ротора.The essence of the claimed device lies in the fact that the turbomolecular pump is a combined high-speed axial turbine incorporating an active viscous stage made in the form of a four-way threaded groove of a rectangular profile of variable cross section located on the inner surface of the rotor.
Насос имеет цилиндрический корпус, состоящий из 3-х частей, внутри которого расположена проточная часть. Проточная часть состоит из турбомолекулярной ступени, выполненной в виде чередующихся между собой лопаток ротора и лопаток статорных дисков, а также вязкостной ступени, выполненной в виде четырехзаходной резьбовой канавки прямоугольного профиля переменного сечения. При вращении ротора поток откачиваемого газа направляется от верхней высоковакуумной части, через турбомолекулярную ступень, и далее через вязкостную ступень, где достигается дополнительное сжатие газа, в форвакуумную часть к выходному фланцу, к которому подсоединяется система форвакуумной откачки.The pump has a cylindrical body, consisting of 3 parts, inside which is located the flow part. The flowing part consists of a turbomolecular stage made in the form of alternating rotor blades and stator disk vanes, as well as a viscous stage made in the form of a four-way threaded groove of a rectangular profile of variable cross section. When the rotor rotates, the pumped gas flow is directed from the upper high-vacuum part, through the turbomolecular stage, and then through the viscous stage, where additional gas compression is achieved, in the fore-vacuum part to the outlet flange to which the fore-vacuum pumping system is connected.
В насосе предусмотрен промежуточный порт - возможность подключения насоса к откачной системе в зоне между турбомолекулярной ступенью и вязкостной ступенью.An intermediate port is provided in the pump - the ability to connect the pump to the pumping system in the zone between the turbomolecular step and the viscous step.
Подключение насоса к откачной системе с использованием промежуточного порта позволяет изменять характеристики насоса в широком диапазоне рабочих давлений и производительности.Connecting the pump to the pumping system using the intermediate port allows you to change the characteristics of the pump in a wide range of operating pressures and performance.
Ротор насоса установлен на двух высокоскоростных подшипниках.The pump rotor is mounted on two high speed bearings.
Насос характеризуется следующими особенностями.The pump is characterized by the following features.
Подшипники, на которых закреплен вал насоса, размещены в обойме, ее конструкция обеспечивает надежность и долговечность работы подшипников, позволяя исключить возможность перекоса наружных обойм подшипников относительно внутренних обойм, закрепленных на валу насоса. Также обойма обеспечивает простоту сборки насоса и позволяет сократить линейные осевые размеры насоса.The bearings on which the pump shaft is mounted are housed in a cage, its design ensures the reliability and durability of the bearings, eliminating the possibility of misalignment of the outer race of bearings relative to the inner race of bearings mounted on the pump shaft. Also, the cage provides easy assembly of the pump and reduces the linear axial dimensions of the pump.
Большая часть обоймы с подшипниками размещена в среднем корпусе насоса, форма которого предусматривает такое расположение, так как средний корпус снабжен соосным ему цилиндрическим выступом для размещения в нем обоймы. Этот цилиндрический выступ с обоймой заходит во внутренний объем верхнего корпуса и располагается в выполненной специально для этого полости ротора. Такое конструктивное выполнение частей насоса и взаимное их расположение позволяет обеспечить компактность насоса, соответственно уменьшить его габариты и вес.Most of the cage with bearings is located in the middle pump casing, the shape of which provides such an arrangement, since the middle casing is equipped with a cylindrical protrusion coaxial to it to accommodate the cage. This cylindrical protrusion with a clip enters the inner volume of the upper housing and is located in the rotor cavity made especially for this. Such a constructive implementation of the pump parts and their mutual arrangement allows to ensure the compactness of the pump, respectively, to reduce its dimensions and weight.
Ротор насоса выполнен монолитным, что обеспечивает технологичность его изготовления, а также отсутствие собственных резонансных частот в зоне рабочих скоростей насоса.The pump rotor is made integral, which ensures the manufacturability of its manufacture, as well as the absence of natural resonant frequencies in the area of the pump operating speeds.
Определенный угол наклона лопаток и длина лопаток роторных дисков задается изгибом лопаток при их изготовлении, что обеспечивает высокую технологичность изготовления ротора и возможность изготовить насос с оптимальной проточной частью. Кроме этого сокращается время, затрачиваемое на его изготовление, повышаются эксплуатационные характеристики насоса, и обеспечивается уменьшение его веса.A certain angle of inclination of the blades and the length of the blades of the rotor discs is set by the bending of the blades during their manufacture, which ensures high manufacturability of the rotor and the ability to produce a pump with an optimal flow part. In addition, the time spent on its manufacture is reduced, the operational characteristics of the pump are increased, and its weight is reduced.
Посадочная на вал часть ротора выполнена в виде конуса Морзе, что облегчает сборку насоса, обеспечивает соосность ротора с валом насоса, это уменьшает вибрацию при работе и соответственно увеличивает надежность и срок работы насоса, а также комфортность при эксплуатации насоса, так как снижается шумовое воздействие. Кроме того, облегчается процесс разборки насоса и, соответственно, профилактическое обслуживание насоса.The part of the rotor landing on the shaft is made in the form of a Morse cone, which facilitates the assembly of the pump, ensures that the rotor is aligned with the pump shaft, this reduces vibration during operation and, accordingly, increases the reliability and life of the pump, as well as comfort during operation of the pump, as noise impact is reduced. In addition, the process of disassembling the pump and, accordingly, preventive maintenance of the pump are facilitated.
Проточная часть насоса образована чередующимися между собой статорными и роторными дисками. Статорные диски выполнены разрезными и неподвижно установлены в корпусе проточной части. Между статорными дисками установлены статорные кольца. Пакет статорных дисков и статорных колец при сборке насоса сжимается регулировочными кольцами, обеспечивающими осевые зазоры между лопатками ротора и статорными дисками.The flow part of the pump is formed by alternating stator and rotor disks. Stator disks are made split and fixedly installed in the body of the flowing part. Stator rings are installed between the stator disks. The package of stator disks and stator rings during the assembly of the pump is compressed by adjusting rings, which provide axial clearances between the rotor blades and the stator disks.
Все роторные диски выполнены с одинаковым числом лопаток, а длина лопаток и угол их наклона к плоскости диска на разных дисках различные, кроме этого лопатки на статорных дисках отличаются от лопаток на соответствующих роторных дисках, как по числу, так и по длине лопаток и углу ее наклона к плоскости диска. Угол наклона лопаток к плоскости диска составляет на первом и втором дисках - 35°, на третьем, четвертом, пятом и шестом - 20°, а на седьмом, восьмом, девятом и десятом - 10°. Статор содержит также десять статорных дисков, при этом два диска имеют длину лопаток 20 мм, а угол наклона к плоскости диска составляет 35°, остальные восемь дисков имеют длину лопаток 10 мм, а угол наклона лопатки составляет 15°. Такое выполнение проточной части насоса позволяет оптимизировать ее за счет возможности выполнения трех или более видов роторных дисков и, соответственно, повысив степень сжатия, улучшить откачные характеристики насоса.All rotor disks are made with the same number of blades, and the length of the blades and their angle of inclination to the plane of the disk on different disks are different, in addition, the blades on the stator disks differ from the blades on the corresponding rotor disks, both in number and in length of the blades and its angle tilt to the plane of the disc. The angle of inclination of the blades to the plane of the disk is 35 ° on the first and second disks, 20 ° on the third, fourth, fifth and sixth, and 10 ° on the seventh, eighth, ninth and tenth. The stator also contains ten stator disks, while two disks have a blade length of 20 mm, and the angle of inclination to the plane of the disk is 35 °, the remaining eight disks have a blade length of 10 mm, and the angle of inclination of the blade is 15 °. This embodiment of the flow part of the pump allows you to optimize it due to the ability to perform three or more types of rotor disks and, accordingly, increasing the degree of compression, improve pumping characteristics of the pump.
Фиг.1 - общий вид турбомолекулярного насоса (продольный разрез), где приняты следующие обозначения:Figure 1 is a General view of a turbomolecular pump (longitudinal section), where the following notation:
1. Основание статора.1. The base of the stator.
2. Вал ротора.2. The rotor shaft.
3. Опора ротора.3. Rotor support.
4, 5, 6. Статорные диски.4, 5, 6. Stator disks.
7. Роторные диски.7. Rotary discs.
8. Вязкостная ступень.8. Viscous step.
9. Демпфер подшипникового узла.9. Damper of the bearing assembly.
10. Ротор насоса.10. The rotor of the pump.
11. Статорные кольца.11. Stator rings.
12. Регулировочные прижимные кольца.12. Adjustment clamping rings.
13. Антифрикционная втулка.13. Anti-friction sleeve.
14. Статор насоса.14. The stator of the pump.
15. Промежуточный порт.15. The intermediate port.
16. Верхняя часть корпуса.16. The upper part of the body.
17. Средняя часть корпуса.17. The middle part of the body.
18. Нижняя часть корпуса.18. The lower part of the body.
19. Выходной фланец.19. Outlet flange.
20. Обойма подшипников.20. A cage of bearings.
21. Подшипники.21. Bearings.
22. Статор электродвигателя.22. The stator of the electric motor.
23. Ротор электродвигателя.23. The rotor of the electric motor.
Турбомолекулярный высоковакуумный гибридный насос содержит (фиг.1) составной корпус, состоящий из верхней части корпуса 16, средней части корпуса 17 и нижней части корпуса 18. Внутри корпуса 16 расположен статор насоса 14, статорные диски 4, 5 и 6, статорные кольца 11 и ротор насоса 10, ориентированный по оси насоса с роторными дисками 7, посадочная часть которого выполнена в виде конуса Морзе и установлена на валу ротора насоса 2. Также ротор насоса 10 имеет полость, размеры и форма которой позволяют разместить в ней цилиндрический выступ средней части корпуса 17, в котором в свою очередь размещен шарикоподшипниковый узел - обойма 20, с запрессованным в корпус опоры подшипниками 21 с резиновыми температурными компенсаторами-демпферами 9. В нижней части корпуса 18, на его внутренней поверхности установлен статор 22 электродвигателя, а ротор электродвигателя 23 закреплен на валу насоса 2. В откачной зоне между турбомолекулярной ступенью и вязкостной ступенью выполнен промежуточной порт 15 - отвод для промежуточной откачки газа.The turbomolecular high-vacuum hybrid pump contains (Fig. 1) a composite housing consisting of the upper part of the
Заявляемый турбомолекулярный насос работает следующим образом.The inventive turbomolecular pump operates as follows.
При подаче напряжения на статор электродвигателя 22 ротор электродвигателя 23 приводит во вращение вал 2 насоса, установленный на подшипниках 21, которые расположены в обойме 20, исключающей перекос обойм подшипников. Вместе с валом 2 приходит во вращение ротор насоса 10, установленный на вал 2. Ротор насоса 10 вращается вокруг выступа средней части корпуса насоса 17 с антифрикционной втулкой 13, являющимся статором вязкостной ступени насоса 14. При этом роторные диски 7 вращаются между статорными дисками 4, 5 и 6, обеспечивают прохождение молекул газа из откачиваемого объема вдоль оси насоса. В нижней части ротора молекулы газа изменяют направление, и захватываются спиральными активными канавками, выполненными на внутренней поверхности ротора, и за счет раскрутки начинают ускоренно двигаться вверх, и через канал корпуса поступают на выход насоса.When voltage is applied to the stator of the
За счет применения активной спирали вместо общепринятой спирали Хольвека расширился диапазон давлений, при которых устойчиво работает молекулярная ступень.Due to the use of an active helix, instead of the generally accepted Holvek helix, the range of pressures at which the molecular step is steadily expanded has expanded.
Сочетание вращающегося ротора с нарезанной четырехзаходной прямоугольной резьбой с изменяемой глубиной канавки от входа к выходу вокруг неподвижного статора с минимальным взаимным зазором создают так называемую вязкостную или молекулярную ступень.The combination of a rotating rotor with a cut four-way rectangular thread with a variable depth of the groove from the entrance to the exit around the fixed stator with a minimum mutual clearance creates the so-called viscous or molecular step.
Сравнивались турбомолекулярные насосы ТМГН 50/63 с активной спиралью и Эдварде EXT75DX со спиралью Хольвека.The turbomolecular pumps TMGN 50/63 with an active scroll were compared and the Edward EXT75DX with a Hollywood spiral were compared.
На фиг.2 показана зависимость давлений на входе в турбомолекулярный высоковакуумный гибридный насос от давления на выходе для насоса оснащенного спиралью Хольвека |X|, и насоса с активной спиралью |A|.Figure 2 shows the dependence of the inlet pressure in the turbomolecular high-vacuum hybrid pump on the outlet pressure for a pump equipped with a Holvek spiral | X | and a pump with an active spiral | A |.
На графике фиг.2 видно, что при достижении предельного давления на выходе в турбомолекулярном насосе со спиралью Хольвека происходит срыв вакуума (это вызывает остановку насоса), при использовании же активной спирали постепенно повышается давление в турбомолекулярной части и насос останавливается при давлении на входе 130 Па.The graph of figure 2 shows that when the maximum outlet pressure is reached in a turbomolecular pump with a Holvek spiral, the vacuum breaks down (this stops the pump), when using an active spiral, the pressure in the turbomolecular part gradually increases and the pump stops at an inlet pressure of 130 Pa .
Необходимо отметить, что сравниваемый насос Эдварс ЕХТ750 имеет 2 ступени со спиралью Холдеса, при этом максимальное выходное давление создаваемое им - 800 Па, а насос THFH-50-63 имеет одну ступень с активной спиралью и максимальное выходное давление создаваемое им - 1500 Па.It should be noted that the compared Edwards EXT750 pump has 2 stages with a Holdes spiral, while the maximum output pressure created by it is 800 Pa, and the THFH-50-63 pump has one stage with an active spiral and the maximum output pressure created by it is 1500 Pa.
Высоковакуумный гибридный насос предлагаемой конструкции был изготовлен на производственной базе ОАО «Завод «Измеритель» и проведены его испытания. Испытания показали, что за счет введения второй ступени, выполненной на внутренней поверхности ротора в виде четырехзаходной прямоугольной резьбы переменного сечения, выбора оптимальных углов лопастей статорных и роторных дисков существенно изменились характеристики вакуумной ступени насоса, статорная неподвижная часть насоса отделена от ротора насоса антифрикционной втулкой, изготовленной из графитофторопластового материала. Также за счет помещения подшипников в обойму, запрессовываемую в среднюю часть корпуса, обеспечивается соосность и исключается перекос наружных обойм подшипников относительно внутренних обойм, закрепленных на валу насоса. Также обойма обеспечивает простоту сборки насоса и позволяет сократить линейные и осевые размеры движущихся частей насоса, что увеличивает долговечность насоса, расширяя эксплуатационный период с сохранением заданных параметров.The high-vacuum hybrid pump of the proposed design was manufactured at the production base of OJSC Zavod Izmeritel and its tests were carried out. The tests showed that due to the introduction of the second stage, made on the inner surface of the rotor in the form of a four-way rectangular thread of variable cross-section, the choice of the optimal angles of the blades of the stator and rotor disks, the characteristics of the vacuum stage of the pump significantly changed, the stator stationary part of the pump is separated from the pump rotor by an antifriction sleeve made from graphite-fluoroplastic material. Also, by placing the bearings in a cage, pressed into the middle part of the housing, alignment is ensured and the skew of the outer bearings of the bearings relative to the inner cages fixed to the pump shaft is eliminated. Also, the cage provides ease of assembly of the pump and reduces the linear and axial dimensions of the moving parts of the pump, which increases the durability of the pump, extending the operating period while maintaining the specified parameters.
Таким образом, предлагаемая конструкция насоса обеспечивает повышение производительности насоса, его надежную и долговечную работу с требуемыми откачными характеристиками.Thus, the proposed design of the pump provides an increase in pump performance, its reliable and durable operation with the required pumping characteristics.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012124164/06A RU2561514C2 (en) | 2012-05-31 | 2012-05-31 | Hybrid high-vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012124164/06A RU2561514C2 (en) | 2012-05-31 | 2012-05-31 | Hybrid high-vacuum pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012124164A RU2012124164A (en) | 2013-12-10 |
| RU2561514C2 true RU2561514C2 (en) | 2015-08-27 |
Family
ID=49682859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012124164/06A RU2561514C2 (en) | 2012-05-31 | 2012-05-31 | Hybrid high-vacuum pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2561514C2 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1023141A1 (en) * | 1981-11-24 | 1983-06-15 | Предприятие П/Я А-3474 | Turbo-molecular vacuum pump |
| SU1157277A1 (en) * | 1983-09-15 | 1985-05-23 | Предприятие П/Я В-8721 | Vertical turbomolecular pump |
-
2012
- 2012-05-31 RU RU2012124164/06A patent/RU2561514C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1023141A1 (en) * | 1981-11-24 | 1983-06-15 | Предприятие П/Я А-3474 | Turbo-molecular vacuum pump |
| SU1157277A1 (en) * | 1983-09-15 | 1985-05-23 | Предприятие П/Я В-8721 | Vertical turbomolecular pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2012124164A (en) | 2013-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3401549B1 (en) | Turbo compressor | |
| US20130089451A1 (en) | Scroll compressor with supporting member in axial direction | |
| EP2386763B1 (en) | Multistage compressor with balancing pistons | |
| KR101626684B1 (en) | Axial-flow fluid machine, and variable stationary-blade driving device therefor | |
| JP5115627B2 (en) | Turbo molecular pump | |
| US10619645B2 (en) | Centrifugal compressor having an inter-stage sealing arrangement | |
| KR20160024328A (en) | Device for counterbalancing axial load in centrifugal compressor | |
| JP6405590B2 (en) | Compressor | |
| KR101004701B1 (en) | Centrifugal compressor | |
| US9004857B2 (en) | Barrel-shaped centrifugal compressor | |
| KR101258090B1 (en) | Scroll compressor | |
| RU2561514C2 (en) | Hybrid high-vacuum pump | |
| RU2560133C1 (en) | Single-flow four-stage turbomolecular pump | |
| RU2490519C1 (en) | Turbomolecular pump with single-flow turbomolecular flow part | |
| KR100343726B1 (en) | Structure for reducing gas reakage of turbo compressor | |
| JP2005105851A (en) | Vacuum pump and vacuum device | |
| EP2956674B1 (en) | Vacuum pump | |
| RU123866U1 (en) | TURBOMOLECULAR PUMP WITH SINGLE-FLOW TURBOMOLECULAR FLOW | |
| RU2783056C1 (en) | Centrifugal freon compressor | |
| WO2018029446A1 (en) | Vacuum pump | |
| RU39658U1 (en) | TURBOMOLECULAR PUMP | |
| RU2017128437A (en) | AERODYNAMIC GAS TURBINE ENGINE | |
| KR100868267B1 (en) | Turbo blower | |
| JP2011236900A (en) | Vacuum pump stage | |
| CN114026335A (en) | Vacuum pump |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150604 |
|
| NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20161120 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200601 |