RU2560931C1 - Gas-discharge radiation source - Google Patents

Gas-discharge radiation source Download PDF

Info

Publication number
RU2560931C1
RU2560931C1 RU2014127608/07A RU2014127608A RU2560931C1 RU 2560931 C1 RU2560931 C1 RU 2560931C1 RU 2014127608/07 A RU2014127608/07 A RU 2014127608/07A RU 2014127608 A RU2014127608 A RU 2014127608A RU 2560931 C1 RU2560931 C1 RU 2560931C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
radiation
flask
diaphragm
discharge
gas
Prior art date
Application number
RU2014127608/07A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Эдуард Анатольевич Соснин
Сергей Михайлович Авдеев
Виктор Семенович Скакун
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН) filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН)
Priority to RU2014127608/07A priority Critical patent/RU2560931C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2560931C1 publication Critical patent/RU2560931C1/en

Links

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: gas-discharge radiation source with barrier discharge excitation includes a dielectric cylindrical flask with a gaseous medium, on the outer surface of which there are cylindrical electrodes which form a discharge gap in the flask, behind which, along an optical axis, there is a diaphragm with the next exit window for outputting radiation, located at a distance sufficient for concentrating radiation on the optical axis. Such an arrangement of components simplifies the design of the flask and enables to avoid the use of expensive materials when making the diaphragm.
EFFECT: easier ignition and longer service life of the working window and the device overall.
2 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к газоразрядным источникам излучения, в частности к лампам барьерного разряда, и может быть использовано в устройствах для оптических и аналитических исследований, где необходимо ультрафиолетовое и вакуумное ультрафиолетовое излучение, например, при калибровке спектральной аппаратуры, для фотоионизации газовых сред.The invention relates to gas-discharge radiation sources, in particular to barrier discharge lamps, and can be used in devices for optical and analytical studies where ultraviolet and vacuum ultraviolet radiation are necessary, for example, when calibrating spectral equipment, for photoionization of gaseous media.

Источники для фотоионизации газовых сред и спектральной аппаратуры хорошо известны [1, 2]. Их эффективность и надежность определяются рядом факторов: стабильностью зажигания разряда; режимом охлаждения колбы; сроком службы рабочей смеси; составом и давлением рабочей смеси; конструкцией колбы и электродов. Такие источники заполнены водородом или дейтерием, инертными газами или смесями инертных газов и галогенов и возбуждаются тлеющим, дуговым и высокочастотным разрядами.Sources for photoionization of gaseous media and spectral equipment are well known [1, 2]. Their efficiency and reliability are determined by a number of factors: the stability of the discharge ignition; bulb cooling mode; the life of the working mixture; composition and pressure of the working mixture; the design of the flask and electrodes. Such sources are filled with hydrogen or deuterium, inert gases or mixtures of inert gases and halogens and are excited by glow, arc and high-frequency discharges.

Известны водородные и дейтериевые источники излучения (например, лампа ВМФ-25, ДНМ-15, ДНМ-Н-20, ДНМ-100), излучающие в ультрафиолетовом (УФ) и вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазонах спектра, состоящие из колбы, электродной системы и выходного окна излучения, выполненного из материала, прозрачного к рабочим длинам волн излучения. Для защиты окна от порчи разрядом окно располагают на расстоянии от разрядного промежутка, достаточном, чтобы на него не попадал поток заряженных частиц. Это позволяет увеличить срок службы устройства.Hydrogen and deuterium radiation sources are known (for example, a VMF-25, DNM-15, DNM-N-20, DNM-100 lamp) emitting in the ultraviolet (UV) and vacuum ultraviolet (VUV) spectral ranges, consisting of a bulb, an electrode system and an output radiation window made of a material transparent to the working radiation wavelengths. To protect the window from damage by discharge, the window is placed at a distance from the discharge gap, sufficient to prevent the flow of charged particles. This allows you to increase the life of the device.

Общим недостатком всех этих устройств является непрерывное ухудшение прозрачности выходных окон под воздействием ВУФ-излучения. В итоге интенсивность излучения ламп в области 200-300 нм непрерывно уменьшается.A common drawback of all these devices is the continuous deterioration of the transparency of the output windows under the influence of VUV radiation. As a result, the radiation intensity of the lamps in the region of 200-300 nm is continuously decreasing.

Известен источник излучения [3], в котором для борьбы с этим эффектом в газовую среду лампы предлагается вводить ртуть, но это усложняет технологию подготовки устройства к отпайке. Еще один недостаток: при возбуждении газовой среды дуговым и тлеющим разрядами, контакт электродов с рабочей смесью приводит к постепенной деградации среды и в ряде случаев (это зависит от среды и давления) к изменению спектрального состава излучения. Кроме того, упомянутые лампы хорошо подходят для подсветки широкими апертурами, но неудобны в случае, если требуется передать УФ-излучение по световоду от выходного окна.A known radiation source [3], in which to combat this effect, it is proposed to introduce mercury into the gas medium of the lamp, but this complicates the technology of preparing the device for soldering. Another drawback: when the gas medium is excited by arc and glow discharges, the contact of the electrodes with the working mixture leads to a gradual degradation of the medium and in some cases (this depends on the medium and pressure) to a change in the spectral composition of the radiation. In addition, these lamps are well suited for illumination with wide apertures, but are inconvenient if you want to transmit UV radiation through the light guide from the exit window.

Известны устройства, в которых для обеспечения миниатюризации при одновременном увеличении стабильности и интенсивности излучения, а также эффективной передачи излучения плазмы в световод в разрядную область вставляют несколько тугоплавких вставок с сужением [4], выполняющих роль диафрагм. Вставка увеличивает интенсивность излучения в узком канале, образованном диафрагмами. В результате сконцентрированное на оси излучение эффективно подается на световод.There are devices in which, to ensure miniaturization while increasing the stability and intensity of radiation, as well as efficiently transferring plasma radiation into the fiber, several refractory inserts with constriction are inserted into the discharge region [4], which act as diaphragms. The insert increases the radiation intensity in a narrow channel formed by the diaphragms. As a result, the radiation concentrated on the axis is efficiently supplied to the fiber.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому техническому результату является источник излучения [5], включающий в себя цилиндрическую колбу с газовой средой, образованную диафрагмой, диэлектрическими торцами, прозрачными на рабочей длине волны, двух электродов, размещенных снаружи на торцах. При этом по оси торцевых электродов сделаны отверстия для вывода излучения. Диафрагма может быть выполнена из тугоплавкого материала и служит концентрированию излучения на оси колбы. При подаче на электроды импульсного напряжения с частотами от 100 кГц до 500 МГц в колбе зажигается барьерный разряд. Поскольку электроды отделены от рабочей среды, этим обеспечивается лучшая чистота спектров и срок службы смеси. Данный источник также обеспечивает эффективную передачу излучения из узкого разрядного канала в световод.The closest to the invention in terms of technical nature and the technical result achieved is a radiation source [5], which includes a cylindrical flask with a gaseous medium formed by a diaphragm, dielectric ends transparent at the working wavelength, two electrodes placed externally at the ends. At the same time, holes were made along the axis of the end electrodes for outputting radiation. The diaphragm can be made of refractory material and serves to concentrate radiation on the axis of the bulb. When a pulse voltage is applied to the electrodes with frequencies from 100 kHz to 500 MHz, a barrier discharge is ignited in the bulb. Since the electrodes are separated from the working medium, this ensures the best purity of the spectra and the service life of the mixture. This source also provides efficient transmission of radiation from a narrow discharge channel to the fiber.

К недостаткам источника относятся: 1) сравнительная сложность в его изготовлении (поскольку колба не литая, то требуется сложная технология ее склейки с диэлектрическими торцами и электродами); 2) необходимость использования дорогих материалов для диафрагмы (нитрид алюминия, оксид тория, алмаз, вольфрам); 3) сужение разрядного канала приводит к увеличению величин напряжения зажигания и горения разряда, что снижает эффективность конверсии энергии от источника питания в излучение в сравнении с устройствами без диафрагмы; 4) нагрев диафрагмы увеличивает риск разгерметизации колбы, что накладывает дополнительные требования к охлаждению.The disadvantages of the source include: 1) the comparative complexity in its manufacture (since the bulb is not cast, it requires sophisticated technology for gluing it with dielectric ends and electrodes); 2) the need to use expensive materials for the diaphragm (aluminum nitride, thorium oxide, diamond, tungsten); 3) the narrowing of the discharge channel leads to an increase in the values of the ignition voltage and combustion of the discharge, which reduces the efficiency of the conversion of energy from the power source to radiation in comparison with devices without a diaphragm; 4) heating the diaphragm increases the risk of depressurization of the flask, which imposes additional cooling requirements.

Задачей данного изобретения является упрощение конструкции и повышение эффективности устройства с одновременным обеспечением узкой апертуры выходного излучения для его передачи на световод.The objective of the invention is to simplify the design and increase the efficiency of the device while providing a narrow aperture of the output radiation for transmission to the fiber.

Указанная задача достигается тем, что в газоразрядном источнике излучения, включающего в себя диэлектрическую цилиндрическую колбу с газовой средой, на внешней поверхности которой размещены электроды, диафрагму и выходное диэлектрическое окно в торце, прозрачное на рабочих длинах волн, согласно техническому решению электроды выполнены цилиндрическими, образуя в колбе разрядный промежуток, за которым вдоль оптической оси размещена диафрагма с последующим выходным окном для вывода излучения, расположенным на расстоянии, достаточном для концентрации излучения на оптической оси.This problem is achieved by the fact that in a gas-discharge source of radiation, which includes a cylindrical dielectric flask with a gas medium, on the outer surface of which there are electrodes, a diaphragm and an exit dielectric window at the end, transparent at the working wavelengths, according to the technical solution, the electrodes are cylindrical, forming there is a discharge gap in the bulb, behind which a diaphragm is placed along the optical axis, followed by an exit window for outputting radiation located at a distance sufficient I'm concentrating the radiation on the optical axis.

Кроме того, диафрагма может быть выполнена не только в форме кольца, а функцию диафрагмы может выполнять локальное вдавливание боковой стенки колбы до размера диафрагмы или сужение колбы и переход ее в трубку.In addition, the diaphragm can be made not only in the form of a ring, but the function of the diaphragm can be performed by local indentation of the side wall of the bulb to the size of the diaphragm or by narrowing the bulb and moving it into the tube.

Указанное расположение элементов: 1) упрощает конструкцию колбы, поскольку колба выполнена как единое целое, без склеек; 2) позволяет отказаться от использования дорогих материалов при изготовлении диафрагмы; 3) за счет отказа от сужения канала разряда упрощает зажигание, снижает напряжение горения, а это, в свою очередь, увеличивает эффективность конверсии энергии от источника питания в излучение, позволяет работать при меньших частотах, не в МГц диапазоне, т.е. упрощает требования к защите от помех, создаваемых источником излучения; 4) обеспечивает защиту выходного окна и от заряженных частиц, и от ВУФ-излучения из пристеночных областей, которое не вносит полезного вклада в формирование узкой апертуры, необходимой для стыковки источника излучения со световодом, что в совокупности увеличивает срок службы рабочего окна и устройства в целом.The indicated arrangement of elements: 1) simplifies the design of the flask, since the flask is made as a whole, without gluing; 2) allows you to abandon the use of expensive materials in the manufacture of the diaphragm; 3) due to the refusal to narrow the discharge channel, it simplifies ignition, reduces the burning voltage, and this, in turn, increases the efficiency of energy conversion from the power source to radiation, allows working at lower frequencies, not in the MHz range, i.e. simplifies the requirements for protection against interference from a radiation source; 4) provides protection of the exit window from both charged particles and VUV radiation from the near-wall regions, which does not make a useful contribution to the formation of the narrow aperture necessary for the radiation source to join with the optical fiber, which together increases the service life of the working window and the device as a whole .

На фиг. 1 (а, б, в) схематично представлен заявляемый источник излучения. Устройство состоит из заполненной рабочей средой цилиндрической колбы 1 из диэлектрического материала, цилиндрических электродов 2 и 3, образующих разрядный промежуток 4. Диафрагма 5 расположена вне разрядного промежутка 4 и электродов. Выходное окно 6 расположено за диафрагмой. Диафрагма может быть выполнена в форме вставки кольца (фиг. 1а), либо локального вдавливания боковой стенки колбы до размера диафрагмы (фиг. 1б), либо в форме сужения колбы и переходом ее в трубку диаметром диафрагмы (фиг. 1в).In FIG. 1 (a, b, c) is a schematic representation of the claimed radiation source. The device consists of a cylindrical flask 1 filled with a working medium made of dielectric material, cylindrical electrodes 2 and 3 forming a discharge gap 4. The diaphragm 5 is located outside the discharge gap 4 and the electrodes. The exit window 6 is located behind the diaphragm. The diaphragm can be made in the form of a ring insert (Fig. 1a), or local indentation of the side wall of the flask to the size of the diaphragm (Fig. 1b), or in the form of a narrowing of the flask and its transition into a tube with a diameter of the diaphragm (Fig. 1c).

Устройство работает следующим образом. При включении источника и подаче на электроды 2 и 3 импульсного напряжения в разрядном промежутке 4 зажигается барьерный разряд. Излучение выводится в выходное окно 6. Диафрагма 5 одновременно уменьшает апертуру выходного излучения, что облегчает его вывод на внешний световод, и защищает выходное окно 6 от потоков заряженных частиц из разряда и ВУФ-излучения от пристеночных областей (особенно в области электрода 3). В отличие от прототипа устройство значительно проще конструктивно. Поскольку диафрагма находится вне разрядного промежутка упрощается зажигание, снижается напряжение горения, а это, в свою очередь, увеличивает эффективность конверсии энергии от источника питания в излучение. Предлагаемое расположение электродов позволяет увеличить площадь диэлектрической стенки, которая подвергается зарядке от прилагаемого к электродам импульсного напряжения. Это, во-первых, ведет к тому, что можно обеспечивать нужный энерговклад в среду при меньших частотах следования импульсов напряжения, не используя МГц диапазон. А значит упрощает требования к защите от помех, создаваемых источником излучения. Во-вторых, можно увеличить давление рабочей среды и увеличить интенсивность излучения.The device operates as follows. When the source is turned on and a pulse voltage is applied to the electrodes 2 and 3 in the discharge gap 4, a barrier discharge is ignited. The radiation is output to the output window 6. The diaphragm 5 simultaneously reduces the aperture of the output radiation, which facilitates its output to the external fiber, and protects the output window 6 from the flows of charged particles from the discharge and VUV radiation from the wall regions (especially in the region of electrode 3). Unlike the prototype, the device is much simpler constructively. Since the diaphragm is outside the discharge gap, ignition is simplified, the burning voltage is reduced, and this, in turn, increases the efficiency of energy conversion from the power source to radiation. The proposed arrangement of the electrodes allows to increase the area of the dielectric wall, which is being charged from the impulse voltage applied to the electrodes. This, firstly, leads to the fact that it is possible to provide the necessary energy input into the medium at lower repetition frequencies of voltage pulses, without using the MHz band. This means that it simplifies the requirements for protection from interference caused by the radiation source. Secondly, it is possible to increase the pressure of the working medium and increase the radiation intensity.

Таким образом, источник излучения проще известных устройств по конструкции, обеспечивает удобную для передачи излучения на внешний световод апертуру выходного излучения, увеличивает эффективность конверсии энергии от источника питания в излучение, позволяет повысить срок рабочей среды.Thus, the radiation source is simpler than the known devices in design, provides an aperture of the output radiation that is convenient for transmitting radiation to an external fiber, increases the efficiency of energy conversion from the power source to radiation, and allows to increase the working medium life.

Предложенный источник целесообразно использовать для рабочих сред, в спектре излучения которых есть ВУФ-излучение.It is advisable to use the proposed source for working media in the emission spectrum of which there is VUV radiation.

Источники информацииInformation sources

1. Зайдель А.Н., Шрейдер Е.Я. Вакуумная спектроскопия и ее применение. Главная редакция физико-математической литературы издательства «Наука», 1976. 432 с.1. Seidel A.N., Schreider E.Ya. Vacuum spectroscopy and its application. The main edition of the physical and mathematical literature of the Nauka publishing house, 1976. 432 p.

2. Light sources for optical and analytical instrumentation // Heraeus Noblelight GmbH. HNG B181E/01.10.wsp.2. Light sources for optical and analytical instrumentation // Heraeus Noblelight GmbH. HNG B181E / 01.10.wsp.

3. Шишацкая Л.П., Лисицын В.М. Водородная спектральная лампа // Патент SU 469166. Опубликовано 30.04.1975. Бюллетень №16.3. Shishatskaya L.P., Lisitsyn V.M. Hydrogen spectral lamp // Patent SU 469166. Published on 04/30/1975. Bulletin No. 16.

4. Herter В. Electrode-less discharge lamp // Заявка на патент US 2002/0017876. Опубликовано 10.01.2001. 4. Smolka Е., Dietz K.-J., Schilling F., Schnabl A., Yerter B.4. Herter B. Electrode-less discharge lamp // Patent application US 2002/0017876. Published on January 10, 2001. 4. Smolka E., Dietz K.-J., Schilling F., Schnabl A., Yerter B.

5. Low-pressure discharge lamp containing a partition therein // Патент US 5814951. Опубликовано 19.12.1996.5. Low-pressure discharge lamp containing a partition therein // Patent US 5814951. Published December 19, 1996.

Claims (2)

1. Газоразрядный источник излучения с возбуждением барьерным разрядом, включающий в себя диэлектрическую цилиндрическую колбу с газовой средой, на внешней поверхности которой размещены электроды, диафрагму и выходное диэлектрическое окно в торце, прозрачное на рабочих длинах волн, отличающийся тем, что электроды выполнены цилиндрическими, образуя в колбе разрядный промежуток, за которым вдоль оптической оси размещена диафрагма с последующим выходным окном для вывода излучения, расположенным на расстоянии, достаточном для концентрации излучения на оптической оси.1. A gas-discharge source of radiation with excitation by a barrier discharge, which includes a cylindrical dielectric flask with a gas medium, on the outer surface of which there are electrodes, a diaphragm and an exit dielectric window at the end, transparent at operating wavelengths, characterized in that the electrodes are cylindrical, forming there is a discharge gap in the flask, behind which a diaphragm is placed along the optical axis, followed by an exit window for outputting radiation, located at a distance sufficient for concentration radiation on the optical axis. 2. Газоразрядный источник излучения по п. 1, отличающийся тем, что диафрагма выполнена в форме либо локального вдавливания боковой стенки колбы, либо переходом колбы в трубку. 2. A gas-discharge radiation source according to claim 1, characterized in that the diaphragm is made in the form of either a local indentation of the side wall of the flask or a transition of the flask into the tube.
RU2014127608/07A 2014-07-07 2014-07-07 Gas-discharge radiation source RU2560931C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014127608/07A RU2560931C1 (en) 2014-07-07 2014-07-07 Gas-discharge radiation source

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014127608/07A RU2560931C1 (en) 2014-07-07 2014-07-07 Gas-discharge radiation source

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2560931C1 true RU2560931C1 (en) 2015-08-20

Family

ID=53880883

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014127608/07A RU2560931C1 (en) 2014-07-07 2014-07-07 Gas-discharge radiation source

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2560931C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2794206C1 (en) * 2022-02-18 2023-04-12 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук, (ИСЭ СО РАН) Small-sized radiation source excited by a barrier discharge

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5814951A (en) * 1995-12-20 1998-09-29 Heraeus Noblelight Gmbh Low-pressure discharge lamp containing a partition therein
RU2195044C2 (en) * 2001-02-01 2002-12-20 Институт сильноточной электроники СО РАН Lamp for producing radiation pulses in optical band of spectrum
RU42694U1 (en) * 2004-07-21 2004-12-10 Институт сильноточной электроники СО РАН SOURCE OF SPONTANEOUS VACUUM UV RADIATION
RU75503U1 (en) * 2008-03-11 2008-08-10 Федеральное государственное унитарное предприятие-Российский федеральный ядерный центр-Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики-ФГУП РФЯЦ-ВНИИЭФ SOURCE OF OPTICAL RADIATION BASED ON BARRIER DISCHARGE

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5814951A (en) * 1995-12-20 1998-09-29 Heraeus Noblelight Gmbh Low-pressure discharge lamp containing a partition therein
RU2195044C2 (en) * 2001-02-01 2002-12-20 Институт сильноточной электроники СО РАН Lamp for producing radiation pulses in optical band of spectrum
RU42694U1 (en) * 2004-07-21 2004-12-10 Институт сильноточной электроники СО РАН SOURCE OF SPONTANEOUS VACUUM UV RADIATION
RU75503U1 (en) * 2008-03-11 2008-08-10 Федеральное государственное унитарное предприятие-Российский федеральный ядерный центр-Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики-ФГУП РФЯЦ-ВНИИЭФ SOURCE OF OPTICAL RADIATION BASED ON BARRIER DISCHARGE

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2794206C1 (en) * 2022-02-18 2023-04-12 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук, (ИСЭ СО РАН) Small-sized radiation source excited by a barrier discharge

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102207769B1 (en) High power broadband light source
JP6861258B2 (en) Wideband light source
JP7023223B2 (en) Illumination source and plasma light source for electrodeless plasma ignition in laser maintenance plasma light source
KR102206501B1 (en) System and method for transverse pumping of laser-sustained plasma
RU2010126150A (en) HIGH FREQUENCY LAMP AND METHOD OF ITS OPERATION
JP2018531487A6 (en) System and method for electrodeless plasma ignition in a laser sustained plasma light source
US20150262808A1 (en) Light Source Driven by Laser
RU2571433C1 (en) Method of generating broadband high-brightness optical radiation
RU2560931C1 (en) Gas-discharge radiation source
JP6694595B2 (en) Ozone generator
RU200241U1 (en) Radiation source
US20020017876A1 (en) Electrode-less discharge lamp
SU1140189A2 (en) Gaseous-discharge spectroscopic lamp
Nevyazhskaya et al. Development and production of UV and VUV sources
RU2703489C1 (en) Lens-free method of introducing glow discharge into optic fiber
RU2195044C2 (en) Lamp for producing radiation pulses in optical band of spectrum
RU2673062C1 (en) Pulsed ultraviolet gas-discharge lamp
Shuaibov et al. Subnormal glow discharge in a Xe/Cl 2 mixture in a narrow discharge tube
WO2002078049A2 (en) Multi-spectral uniform light source
UA125052C2 (en) METHOD OF CREATING SIMULTANEOUS SELECTIVE RADIATION IN VISIBLE, INFRARED AND ULTRAVIOLETIC SPECTRAL RANGES OF EXPAGOES IN EXI
RU2067337C1 (en) Lamp producing high-power radiation in optical range of spectrum
RU2035099C1 (en) Method of formation of ring-shaped laser radiation and device for its implementation
JP2000030667A (en) Dielectric barrier discharge lamp
K Shuaibov et al. A Low-Pressure Excimer Light Source for a Spectral Region of 170–310 nm
SU1674291A1 (en) Gas-discharge light source

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20170708