RU2547346C1 - Low-coherence interferometer with diffraction reference wave and source of two spherical reference waves therefor - Google Patents
Low-coherence interferometer with diffraction reference wave and source of two spherical reference waves therefor Download PDFInfo
- Publication number
- RU2547346C1 RU2547346C1 RU2013148084/28A RU2013148084A RU2547346C1 RU 2547346 C1 RU2547346 C1 RU 2547346C1 RU 2013148084/28 A RU2013148084/28 A RU 2013148084/28A RU 2013148084 A RU2013148084 A RU 2013148084A RU 2547346 C1 RU2547346 C1 RU 2547346C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- source
- optical fiber
- interferometer
- housing
- segments
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к технической физике, в частности к инструментам для исследования и измерения оптических элементов и систем, и может быть использовано в технической диагностике, например, для контроля параметров и хода технологических процессов. Изобретение может применяться, в частности, при изготовлении оптических элементов для установок проекционной фотолитографии, микроскопии, телескопических и лазерных систем, а также для их юстировки, контроля и поддержания рабочих параметров.The invention relates to technical physics, in particular to tools for research and measurement of optical elements and systems, and can be used in technical diagnostics, for example, to control the parameters and progress of technological processes. The invention can be applied, in particular, in the manufacture of optical elements for installations of projection photolithography, microscopy, telescopic and laser systems, as well as for their alignment, control and maintenance of operating parameters.
К настоящему моменту сложились основные технические подходы к изготовлению и использованию интерферометров, применяемых для изготовления и контроля характеристик оптических элементов и систем. При этом интерферометры обеспечивают контроль аберрации волновых фронтов и отклонений формы поверхности оптических элементов на уровне λ/1000, где λ - рабочая длина волны интерферометра порядка 0,5 мкм. Такая точность измерений в интерферометрах достигается за счет использования в качестве эталонной сферической волны, возникающей при дифракции света на апертурах порядка длины волны. Ключевыми элементами таких интерферометров являются генераторы (источники) эталонной сферической волны, а также устройства перенаправления рабочего фронта, отраженного от исследуемого объекта и несущего информацию о его характеристиках, в детектор, где регистрируется изображение интерференционной картины, возникающей в результате интерференции эталонного и рабочего фронтов.To date, the main technical approaches to the manufacture and use of interferometers used for the manufacture and control of the characteristics of optical elements and systems have developed. In this case, interferometers provide control of the aberration of wave fronts and surface shape deviations of the optical elements at the level of λ / 1000, where λ is the working wavelength of the interferometer of the order of 0.5 μm. Such measurement accuracy in interferometers is achieved through the use of a spherical wave arising from light diffraction at apertures of the order of the wavelength. The key elements of such interferometers are generators (sources) of the reference spherical wave, as well as devices for redirecting the working front reflected from the object under study and carrying information about its characteristics to the detector, where the image of the interference pattern resulting from the interference of the reference and working fronts is recorded.
Эталонной сферической волной называют волну со сферической фазовой поверхностью и диаграммой направленности конечной ширины. Ширина диаграммы направленности приблизительно равна λ/d, где d - диаметр выходной апертуры источника. К настоящему моменту в целом решена задача повышения качества фронта эталонной сферической волны, которая ранее формировалась при отражении света от специальной поверхности (эталона) и, соответственно, воспринимала все искажения поверхности эталона, вследствие чего точность измерений таких интерферометров не превышала λ/50, где λ - рабочая длина волны интерферометра. Разработаны генераторы сферической волны на основе отверстий в непрозрачном экране, на основе кора одномодового оптического волокна или на основе зауженного до субволновых размеров одномодового оптического волокна.A reference spherical wave is a wave with a spherical phase surface and a radiation pattern of finite width. The width of the radiation pattern is approximately equal to λ / d, where d is the diameter of the output aperture of the source. To date, the problem of improving the quality of the front of a reference spherical wave, which was previously formed when light was reflected from a special surface (reference) and, accordingly, perceived all distortions of the reference surface, has been solved, as a result of which the measurement accuracy of such interferometers did not exceed λ / 50, where λ - working wavelength of the interferometer. Spherical wave generators based on holes in an opaque screen, on the basis of the core of a single-mode optical fiber, or on the basis of a narrowed to subwavelength single-mode optical fiber are developed.
Основным требованием к средству перенаправления рабочего фронта является отсутствие влияния его поверхности на форму рабочего фронта, для чего используют либо металлизированную пластину с отверстием, одновременно являющимся источником эталонной сферической волны, либо металлизированный торец волокна, кор которого одновременно является источником эталонной сферической волны, либо отдельное зеркало с острой кромкой, расположенное на близком расстоянии (10 мкм) от источника эталонной сферической волны.The main requirement for a means of redirecting the working front is the absence of the influence of its surface on the shape of the working front, for which they use either a metallized plate with a hole that is at the same time a source of a reference spherical wave, or a metallized end of the fiber, whose core is at the same time a source of a reference spherical wave, or a separate mirror with a sharp edge located at a close distance (10 μm) from the source of the reference spherical wave.
При изучении пропускающей свет оптики применяются два источника эталонной сферической волны. Для их организации в состав интерферометра вводят делитель, обеспечивающий разделение пучка света на два когерентных между собой пучка. Для аттестации формы выпуклых и асферических поверхностей используются корректоры волновых фронтов, устанавливаемые между источником сферической волны и исследуемым объектом.In studying light-transmitting optics, two sources of a reference spherical wave are used. To organize them, a divider is introduced into the interferometer, which ensures the separation of the light beam into two coherent beams. To certify the shape of convex and aspherical surfaces, wavefront correctors are used that are installed between the source of the spherical wave and the object under study.
Для достижения необходимой точности измерений применяется фазовый режим регистрации интерферограмм, когда снимается серия интерферограмм, каждая из которых отличается от предыдущей тем, что контролируемым образом осуществляется фазовый сдвиг между рабочим и эталонным фронтами. Для достижения максимально высокого контраста интерференционной картины, необходимого для обеспечения требуемой точности измерений, в интерферометрах применяют поляризационные устройства, с помощью которых задается поляризация дифракционной волны. Регистрация интерферограмм осуществляется с помощью цифровой видеокамеры. По искривлению полос с помощью стандартных алгоритмов восстанавливают аберрации исследуемого объекта.To achieve the required measurement accuracy, the phase mode for recording interferograms is applied when a series of interferograms is taken, each of which differs from the previous one in that the phase shift between the working and reference fronts is controlled in a controlled manner. To achieve the highest possible contrast of the interference pattern, which is necessary to ensure the required accuracy of measurements, polarizing devices are used in interferometers, with which the polarization of the diffraction wave is set. Registration of interferograms is carried out using a digital video camera. By curving the bands using standard algorithms, the aberrations of the object under study are restored.
В интерферометрах могут быть использованы источники как низкокогерентного, так и высококогерентного света.In interferometers, sources of both low coherent and highly coherent light can be used.
Известен интерферометр с дифракционной волной сравнения (см. патент США №7304749 на изобретение, опубл. 04.12.2007), содержащий источник света, источник двух эталонных сферических волн, состоящий из пластины с отдельными отверстиями, устройство фазовой модуляции, выполненное в виде дифракционной решетки, и регистратор интерференционного сигнала. Однако указанный интерферометр может быть использован только для изучения исследуемых объектов «на просвет», кроме того, возникает влияние аберраций первичной оптики и точности юстировки на аберрации ЭСВ. Необходимая при этом высокая точность юстировки затрудняет встраивание прибора в оптическое оборудование и другие устройства промышленного назначения.Known interferometer with a diffraction comparison wave (see US patent No. 7304749 for the invention, published 04.12.2007) containing a light source, a source of two reference spherical waves, consisting of a plate with separate holes, a phase modulation device made in the form of a diffraction grating, and an interference signal recorder. However, the specified interferometer can only be used to study the studied objects “in the light”, in addition, the influence of aberrations of primary optics and accuracy of adjustment on the aberrations of the ESP arises. The high accuracy of alignment required in this case makes it difficult to integrate the device into optical equipment and other industrial devices.
Известен низкокогерентный интерферометр с дифракционной волной сравнения (см. патент США №6876456 на изобретение, опубл. 05.04.2005), содержащий низкокогерентный источник света, две части оптоволокна, делитель света, механическую линию задержки в одной части оптоволокна, устройство фазовой модуляции, два источника эталонной сферической волны. Для обеспечения фазовой модуляции эталонной волны длину оптического пути в одном из плеч интерферометра изменяют в соответствии с заранее заданным законом модуляции. Каждый источник эталонной сферической волны представляет собой срез кора оптического волокна. Недостатком данного интерферометра является его непригодность для изучения оптических элементов с небольшим коэффициентом отражения, так как интенсивность отраженного рабочего фронта мала. Кроме того, указанный интерферометр может быть использован только для изучения исследуемых объектов «на просвет».Known low-coherence interferometer with a diffraction comparison wave (see US patent No. 6876456 for invention, published 05.04.2005), containing a low-coherent light source, two parts of an optical fiber, a light divider, a mechanical delay line in one part of an optical fiber, a phase modulation device, two sources reference spherical wave. To ensure phase modulation of the reference wave, the optical path length in one of the arms of the interferometer is changed in accordance with a predetermined modulation law. Each source of the reference spherical wave is a slice of the core of the optical fiber. The disadvantage of this interferometer is its unsuitability for studying optical elements with a small reflection coefficient, since the intensity of the reflected working front is small. In addition, the specified interferometer can only be used to study the investigated objects "in the light".
Ближайшим аналогом разработанного низкокогерентного интерферометра с дифракционной волной сравнения является интерферометр, известный по патенту США №6344898 на изобретение (опубл. 05.02.2002). Ближайший аналог содержит источник низкокогерентного света, делитель света, источник двух эталонных сферических волн в виде отверстия в пластине, одно плечо интерферометра связано по сигналу с регистратором, а другое - с исследуемым объектом. Плоское зеркало в ближайшем аналоге служит для перенаправления пучка света от исследуемого объекта на регистратор. В одном из плеч установлена механическая линия задержки, обеспечивающая выравнивание оптических длин плеч интерферометра. Фазовую модуляцию эталонной волны обеспечивает устройство перемещения источника двух эталонных сферических волн.The closest analogue of the developed low-coherence interferometer with a diffraction comparison wave is an interferometer known by US patent No. 6344898 for the invention (publ. 05.02.2002). The closest analogue contains a source of low coherent light, a light divider, a source of two reference spherical waves in the form of an aperture in a plate, one arm of the interferometer is connected by a signal to a recorder, and the other to an object under investigation. The flat mirror in the closest analogue serves to redirect the light beam from the object under study to the recorder. A mechanical delay line is installed in one of the arms, which ensures alignment of the optical lengths of the arms of the interferometer. Phase modulation of the reference wave provides a device for moving the source of two reference spherical waves.
Однако выполнение в ближайшем аналоге источника двух эталонных сферических волн в виде отверстия в пластине уменьшает рабочую апертуру за счет аберрации волновых фронтов при взаимодействии с краями отверстия, а также за счет аберрации фокусирующей оптики и неточности юстировки центра отверстия относительно осей проходящих через отверстия пучков света. Использование оптико-механического способа выравнивания плеч интерферометра приводит к увеличению размеров интерферометра, что затрудняет встраивание интерферометра в качестве элемента в промышленное оптическое оборудование.However, the implementation in the closest analogue of the source of two reference spherical waves in the form of a hole in the plate reduces the working aperture due to aberration of wave fronts when interacting with the edges of the hole, as well as due to aberration of focusing optics and inaccurate alignment of the center of the hole with respect to the axes of light beams passing through the holes. Using the optical-mechanical method of aligning the arms of the interferometer leads to an increase in the size of the interferometer, which makes it difficult to integrate the interferometer as an element into industrial optical equipment.
Известен источник двух эталонных сферических волн (см. патент США №7304749 на изобретение, опубл. 04.12.2007), выполненный в виде двух отверстий разного размера и формы в пластине. Данный источник используется только в интерферометрах, позволяющих изучать оптику на просвет.A well-known source of two reference spherical waves (see US patent No. 7304749 for the invention, publ. 04.12.2007), made in the form of two holes of different sizes and shapes in the plate. This source is used only in interferometers that allow the study of optics in the light.
Известен источник двух сферических эталонных волн (см. патент США №6344898 на изобретение, опубл. 05.02.2002), выполненный в виде отверстия в зеркале, на которое (отверстие) с помощью линзы фокусируют низкокогерентные пучки. Данный источник используется только в интерферометрах, позволяющих изучать оптику на отражение.A well-known source of two spherical reference waves (see US patent No. 6344898 for the invention, publ. 05.02.2002), made in the form of an aperture in a mirror onto which (low) coherent beams are focused using a lens. This source is used only in interferometers that allow the study of reflection optics.
Общими недостатками указанных источников являются сложность фокусировки света на отверстие, а также аберрированность дифракционной волны, что уменьшает рабочую апертуру источника.Common disadvantages of these sources are the difficulty of focusing light on the hole, as well as the aberration of the diffraction wave, which reduces the working aperture of the source.
Известен источник двух сферических эталонных волн (см. статья Diffraction methods raise interferometer accuracy. Gary Sommargren //Laser Focus World. 1996. V.8. P.61-71), который содержит два отрезка одномодового оптического волокна, конец каждого отрезка хорошо отполирован и металлизирован. Недостатком известного источника является сравнительно большой диаметр кора оптоволокна, что снижает рабочую апертуру и не позволяет исследовать отражающую оптику.A source of two spherical reference waves is known (see Diffraction methods raise interferometer accuracy. Gary Sommargren // Laser Focus World. 1996. V.8. P.61-71), which contains two segments of a single-mode optical fiber, the end of each segment is well polished and metallized. A disadvantage of the known source is the relatively large diameter of the core of the optical fiber, which reduces the working aperture and does not allow the study of reflective optics.
Ближайшим аналогом разработанного источника двух эталонных сферических волн является источник, известный по статье Е.Б. Клюенков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало «Коррекция формы оптических поверхностей с субнанометровой точностью. Проблемы, статус, перспективы» // Известия РАН. Серия физическая. Том 72. №2. 2008. С.205-208. Ближайший аналог содержит два отрезка оптического волокна, первые концы которых каждого являются входами источника, а второй конец каждого отрезка выполнен суженным с металлизированными до вершины скосами, что обеспечивает относительно небольшой размер генерирующей сферическую волну вершины отрезка.The closest analogue of the developed source of two reference spherical waves is the source known by the article of E.B. Klyuenkov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, N.I. Chalo “Correction of the shape of optical surfaces with subnanometer accuracy. Problems, status, prospects ”// Bulletin of the Russian Academy of Sciences. The series is physical. Volume 72. No. 2. 2008. S.205-208. The closest analogue contains two segments of optical fiber, the first ends of each of which are inputs of the source, and the second end of each segment is made narrowed with bevels metallized to the top, which ensures a relatively small size of the vertex of the segment generating a spherical wave.
Однако конструкция источника двух эталонных сферических волн требует для его встраивания в интерферометр последующей настройки и позиционирования относительно зеркала, перенаправляющего свет от исследуемого объекта на регистратор, а также применения двух прецизионных систем позиционирования, что увеличивает габаритные размеры источника и снижает надежность его работы. При этом конструкция источника такова, что как перед работой, так и в ходе работы требуется сложная настройка и проверка взаимного положения источников и других элементов интерферометра, что не позволяет использовать источник в интерферометрах, предназначенных для встраивания в качестве элемента в промышленное оптическое оборудование.However, the design of the source of two reference spherical waves requires subsequent adjustment and positioning relative to a mirror that redirects light from the object under study to the recorder, as well as the use of two precision positioning systems, which increases the overall dimensions of the source and reduces its reliability. Moreover, the source design is such that both before and during operation, complex adjustment and verification of the relative position of the sources and other elements of the interferometer is required, which does not allow the source to be used in interferometers intended for incorporation as an element into industrial optical equipment.
Таким образом, задачей, на решение которой направлена разработанная группа изобретений, является повышение точности измерений и надежности работы интерферометра, увеличение рабочей апертуры интерферометра, а также упрощение встраивания прибора в промышленное оптическое оборудование, одновременно со снижением риска сбоев в работе интерферометра из-за повреждений источника двух эталонных сферических волн при работе в технологических процессах и устройствах. Другой задачей, на решение которой направлена разработанная группа изобретений, является обеспечение возможностей изучения оптических элементов как на отражение, так и на просвет с любым (даже небольшим) коэффициентом отражения.Thus, the task to which the developed group of inventions is directed is to increase the accuracy of measurements and the reliability of the interferometer, increase the working aperture of the interferometer, and also simplify the installation of the device in industrial optical equipment, while reducing the risk of interferometer malfunctions due to source damage two reference spherical waves when working in technological processes and devices. Another task to which the developed group of inventions is directed is to provide opportunities for studying optical elements both in reflection and in lumen with any (even small) reflection coefficient.
Сущность разработанного низкокогерентного интерферометра с дифракционной волной сравнения заключается в том, что он также, как ближайший аналог, содержит источник низкокогерентного света. Выход источника низкокогерентного света связан с входом делителя света. К выходам делителя света подключены две части оптоволокна. Первая часть оптоволокна связана по сигналу с регистратором. Первая и вторая части оптоволокна содержат, соответственно, первый и второй поляризационные контроллеры, а в первую либо во вторую части оптоволокна встроена линия задержки. Выходы первой и второй частей оптоволокна подключены ко входу источника двух эталонных сферических волн. Также низкокогерентный интерферометр содержит средство для перенаправления света от исследуемого объекта на регистратор.The essence of the developed low-coherence interferometer with a diffraction comparison wave is that it also, as the closest analogue, contains a source of low-coherent light. The output of the low coherent light source is connected to the input of the light divider. Two parts of the optical fiber are connected to the outputs of the light divider. The first part of the optical fiber is connected by a signal to the recorder. The first and second parts of the optical fiber contain, respectively, the first and second polarization controllers, and a delay line is built into the first or second parts of the optical fiber. The outputs of the first and second parts of the optical fiber are connected to the input of the source of two reference spherical waves. Also, a low coherent interferometer contains means for redirecting light from the object under study to the recorder.
Новым в разработанном низкокогерентном интерферометре является то, что источник двух эталонных сферических волн включает два отрезка оптического волокна, при этом первые концы каждого отрезка являются входами источника, а вторые концы выполнены суженными с металлизированными до вершины скосами. Вторые концы отрезков под углом друг к другу жестко закреплены в корпусе, при этом вершины отрезков зафиксированы в выходном отверстии на основной плоскости корпуса на расстоянии друг от друга, сравнимом с диаметром кора оптоволокна. Корпус снабжен крепежными элементами, а функцию средства для перенаправления света выполняет основная плоскость корпуса.New in the developed low-coherent interferometer is that the source of two reference spherical waves includes two segments of optical fiber, with the first ends of each segment being the inputs of the source and the second ends narrowed with bevels metallized to the top. The second ends of the segments at an angle to each other are rigidly fixed in the housing, while the vertices of the segments are fixed in the outlet on the main plane of the housing at a distance from each other, comparable with the diameter of the core of the optical fiber. The housing is equipped with fasteners, and the main plane of the housing performs the function of a light redirector.
В частном случае крепежные элементы корпуса источника двух эталонных сферических волн выполнены в виде хомутов или цанг.In the particular case, the fasteners of the source housing of two reference spherical waves are made in the form of clamps or collets.
В другом частном случае интерферометр дополнительно снабжен позиционером для фиксации исследуемого объекта.In another particular case, the interferometer is additionally equipped with a positioner for fixing the object under study.
В другом частном случае интерферометр дополнительно снабжен корректором волнового фронта сферической волны, который устанавливается между исследуемым объектом и источником двух эталонных сферических волн.In another particular case, the interferometer is additionally equipped with a wavefront corrector for a spherical wave, which is installed between the object under study and the source of two reference spherical waves.
В другом частном случае между регистратором и источником двух эталонных сферических волн установлена наблюдательная система, позволяющая согласовывать положения регистратора и двух эталонных сферических волн.In another particular case, an observational system is installed between the recorder and the source of two reference spherical waves, which makes it possible to coordinate the positions of the recorder and two reference spherical waves.
В другом частном случае по крайне мере одна из частей оптоволокна выполнена с возможностью изменения длины оптического волокна.In another particular case, at least one of the parts of the optical fiber is configured to change the length of the optical fiber.
В другом частном случае по крайней мере одна из частей оптоволокна выполнена с оптической линией задержки.In another particular case, at least one of the parts of the optical fiber is made with an optical delay line.
В другом частном случае первая часть оптоволокна выполнена с регулятором интенсивностиIn another particular case, the first part of the optical fiber is made with an intensity control
В другом частном случае в качестве источника низкокогерентного света используется суперлюминесцентный диодIn another particular case, a superluminescent diode is used as a source of low coherent light.
В другом частном случае между суперлюминесцентным диодом и делителем света установлен оптический затвор.In another particular case, an optical shutter is installed between the superluminescent diode and the light divider.
Сущность разработанного источника двух эталонных сферических волн заключается в том, что он также, как ближайший аналог, содержит два отрезка оптического волокна, первые концы каждого отрезка являются входами источника, а вторые концы выполнены суженными с металлизированными до вершины скосамиThe essence of the developed source of two reference spherical waves is that it also, as the closest analogue, contains two segments of optical fiber, the first ends of each segment are the inputs of the source, and the second ends are narrowed with bevels metallized to the top
Новым в разработанном источнике двух эталонных сферических волн является то, что источник дополнительно содержит корпус, включающий жестко связанные первую и вторую части. В обеих частях корпуса выполнены соответственно первая и вторая части полости, причем вторая часть полости выполнена суженной к выходному отверстию на основной плоскости корпуса, по меньшей мере участок которой выполнен отражающим. Отрезки оптического волокна жестко закреплены в указанной полости, причем вторые концы отрезков жестко закреплены под углом друг к другу. Их вершины зафиксированы в выходном отверстии и отстоят друг от друга на расстоянии, сравнимом с диаметром кора оптоволокна.New in the developed source of two reference spherical waves is that the source additionally contains a housing that includes rigidly connected first and second parts. In both parts of the housing, respectively, the first and second parts of the cavity are made, the second part of the cavity being made narrowed to the outlet on the main plane of the housing, at least a portion of which is made reflective. The segments of the optical fiber are rigidly fixed in the specified cavity, and the second ends of the segments are rigidly fixed at an angle to each other. Their peaks are fixed in the outlet and are separated from each other at a distance comparable to the diameter of the core of the optical fiber.
В частном случае первая часть корпуса источника двух эталонных сферических волн выполнена в виде обоймы, а вторая часть корпуса выполнена в виде пластины, обращенной к первой части корпуса стороной, противоположной основной плоскостиIn a particular case, the first part of the body of the source of two reference spherical waves is made in the form of a cage, and the second part of the body is made in the form of a plate facing the first part of the body with the side opposite to the main plane
В другом частном случае первая часть корпуса источника двух эталонных сферических волн выполнена в виде двух втулок, при этом вторая часть корпуса, выполненная в виде стакана за одно целое, охватывает первую часть.In another particular case, the first part of the body of the source of two reference spherical waves is made in the form of two bushings, while the second part of the body, made in the form of a glass in one piece, covers the first part.
В другом частном случае первая часть корпуса источника двух эталонных сферических волн выполнена из внешней и внутренней жестко связанных с помощью безусадочного клея частей, при этом внутренняя часть выполнена в форме двух втулок.In another particular case, the first part of the source body of two reference spherical waves is made of external and internal parts rigidly connected with non-shrink glue, while the internal part is made in the form of two bushings.
В другом частном случае вторая часть корпуса источника двух эталонных сферических волн выполнена из обладающего свойством анизотропного травления материалаIn another particular case, the second part of the source body of two reference spherical waves is made of material having anisotropic etching
В другом частном случае отрезки оптического волокна и концы отрезков жестко закреплены в полости корпуса с помощью безусадочного клеяIn another particular case, the segments of the optical fiber and the ends of the segments are rigidly fixed in the cavity of the body using non-shrink adhesive
В разработанном интерферометре выполнение источника двух эталонных сферических волн с корпусом, в котором жестко закреплены отрезки оптического волокна, обеспечивает уменьшение габаритных размеров интерферометра, делает интерферометр более мобильным, упрощает встраивание интерферометра в качестве и стационарного, и съемного элемента в промышленное оптическое оборудование. Использование основной плоскости корпуса источника в качестве средства для перенаправления света усиливает указанный результат. Жесткое закрепление отрезков оптического волокна в корпусе повышает надежность работы интерферометра и снижает риск повреждений источника и нарушения конфигурации интерферометра при работе интерферометра в технологических процессах. Применение низкокогерентного света и разработанного источника двух эталонных сферических волн увеличивает рабочую апертуру за счет использования центральных, наименее аберрированных, частей эталонной сферической волны и позволяет выровнять интенсивности рабочего и эталонного фронтов. Выполнение крепежных элементов корпуса источника двух эталонных сферических волн в виде хомутов или цанг упрощает встраивание прибора в промышленное оптическое оборудование. Введение в интерферометр позиционера обеспечивает фиксацию исследуемого объекта и гарантирует более высокую точность конфигурации интерферометра и повышение точности измерений. Применение в интерферометре корректора волнового фронта сферической волны дополнительно обеспечивает возможность измерения параметров выпуклых и асферических поверхностей, а также вогнутых с радиусами кривизны, большими, нежели характерный размер интерферометра. Дополнительное введение в интерферометр наблюдательной системы обеспечивает согласование положения и апертур регистратора, источника двух эталонных сферических волн и исследуемого объекта. Выполнение по крайне мере одой из частей оптоволокна с возможностью изменения длины оптического волокна позволяет осуществлять модулирование фазы в соответствующем плече интерферометра. Выполнение по крайне мере одой из частей оптоволокна с оптической линией задержки обеспечивает выравнивание оптических путей эталонного и рабочего плеч интерферометра, что позволяет адаптировать конструкцию интерферометра к различным исследуемым объектам. Выполнение первой части оптоволокна с регулятором интенсивности осуществляет выравнивание интенсивности двух эталонных сферических волн и обеспечивает изучение оптических элементов с любым (даже небольшим) коэффициентом отражения. Использование в качестве источника низкокогерентного света суперлюминесцентного диода позволяет дополнительно уменьшить габаритные размеры интерферометра, а введение в интерферометр оптического затвора снижает риск выхода из строя суперлюминесцентного диода отраженным светом.In the developed interferometer, the implementation of a source of two reference spherical waves with a housing in which segments of the optical fiber are rigidly fixed provides a reduction in the overall dimensions of the interferometer, makes the interferometer more mobile, and simplifies the integration of the interferometer as both a stationary and a removable element in industrial optical equipment. The use of the main plane of the source housing as a means for redirecting light enhances the specified result. Rigid fastening of the optical fiber segments in the housing increases the reliability of the interferometer and reduces the risk of damage to the source and disturbance of the configuration of the interferometer during the operation of the interferometer in technological processes. The use of low coherent light and a developed source of two reference spherical waves increases the working aperture due to the use of central, least aberrated parts of the reference spherical wave and makes it possible to equalize the intensities of the working and reference fronts. The implementation of the fasteners of the source housing of the two reference spherical waves in the form of clamps or collets simplifies the integration of the device into industrial optical equipment. The introduction of a positioner into the interferometer ensures the fixation of the object under study and guarantees a higher accuracy of the interferometer configuration and an increase in measurement accuracy. The use of a spherical wavefront wave corrector in an interferometer additionally provides the ability to measure the parameters of convex and aspherical surfaces, as well as concave with curvature radii larger than the characteristic size of the interferometer. An additional introduction to the interferometer of the observational system ensures the coordination of the position and apertures of the recorder, the source of two reference spherical waves and the object under study. Performing at least one of the parts of the optical fiber with the ability to change the length of the optical fiber allows for modulation of the phase in the corresponding arm of the interferometer. Performing at least one of the parts of the optical fiber with an optical delay line ensures alignment of the optical paths of the reference and working arms of the interferometer, which allows you to adapt the design of the interferometer to various objects under study. The implementation of the first part of the optical fiber with an intensity regulator carries out the alignment of the intensity of two reference spherical waves and provides the study of optical elements with any (even small) reflection coefficient. The use of a superluminescent diode as a source of low coherent light allows one to further reduce the overall dimensions of the interferometer, and the introduction of an optical shutter into the interferometer reduces the risk of failure of the superluminescent diode by reflected light.
В разработанном источнике двух эталонных сферических волн жесткое закрепление отрезков оптического волокна в полости корпуса делает источник менее чувствительным к повреждающим воздействиям. То, что вершины отрезков, с которых и излучается эталонная сферическая волна, зафиксированы в выходном отверстии на основной плоскости корпуса, исключает аберрации волновых фронтов при взаимодействии с краями отверстия, что увеличивает рабочую апертуру источника. Выполнение корпуса из частей, которые при соединении образуют полость, упрощает сборку элементов источника и обеспечивает необходимую точность фиксации вершин отрезков под необходимым углом и на необходимом расстоянии друг от друга. Закрепление отрезков под углом фактически и является основой использования одного источника взамен двух, в таком «сдвоенном» источнике возможно свести вершины отрезков на близкое расстояние (приблизительно равное одному или не более чем нескольким диаметрам кора оптоволокна), что повышает четкость интерференционной картины. Выполнение по меньшей мере участка основной плоскости отражающим позволяет применять источник двух эталонных сферических волн в низкокогерентном интерферометре с дифракционной волной сравнения в качестве средства для перенаправления света. Различные формы выполнения частей корпуса позволяют подбирать адекватную применяемым материалам конструкцию источника, а также подбирать клеящие и фиксирующие составы. Применение безусадочного клея и материала, обладающего свойством анизотропного травления, обеспечивает высокую надежность фиксации отрезков оптического волокна в корпусе наиболее подходящей для конкретного применения формы.In the developed source of two reference spherical waves, the rigid fastening of the optical fiber segments in the body cavity makes the source less sensitive to damaging effects. The fact that the vertices of the segments from which the reference spherical wave is emitted are fixed in the outlet on the main plane of the housing, eliminates aberrations of wave fronts when interacting with the edges of the hole, which increases the working aperture of the source. The execution of the housing from parts that, when connected, form a cavity, simplifies the assembly of the source elements and provides the necessary accuracy of fixing the vertices of the segments at the required angle and at the required distance from each other. Fixing the segments at an angle is actually the basis for using one source instead of two, in such a “double” source it is possible to reduce the vertices of the segments to a close distance (approximately equal to one or not more than several diameters of the core of the optical fiber), which increases the clarity of the interference pattern. Performing at least a portion of the main plane reflective allows the use of a source of two reference spherical waves in a low coherent interferometer with a diffraction comparison wave as a means for redirecting light. Various forms of execution of the parts of the housing allow you to select the source design adequate to the materials used, as well as select adhesive and fixing compositions. The use of non-shrink adhesive and material with the property of anisotropic etching provides high reliability of the fixation of segments of the optical fiber in the body of the most suitable form for a particular application.
На фиг.1 приведена структурная схема низкокогерентного интерферометра с дифракционной волной сравнения по п.1 формулы изобретения.Figure 1 shows the structural diagram of a low coherence interferometer with a diffraction comparison wave according to
На фиг.2 приведена структурная схема низкокогерентного интерферометра с дифракционной волной сравнения по пп.2-10 формулы изобретения.Figure 2 shows the structural diagram of a low coherence interferometer with a diffraction comparison wave according to
На фиг.3 приведена структурная схема источника двух эталонных сферических волн сравнения по п.11 формулы изобретения.Figure 3 shows the structural diagram of the source of two reference spherical comparison waves according to claim 11 of the claims.
На фиг.4 показаны возможные частные случаи выполнения корпуса источника двух эталонных сферических волн по пп.12, 13, 14 формулы.Figure 4 shows the possible special cases of the execution of the source housing of two reference spherical waves according to
Низкокогерентный интерферометр с дифракционной волной сравнения по фиг.1 содержит источник 1 низкокогерентного света и подключенный к нему делитель 2 света. К выходам делителя света, подключены первая 3.1 и вторая 3.2 части оптоволокна. В часть 3.1 встроена линия задержки 4 и первый поляризационный контроллер 5.1. В часть 3.2 встроен второй поляризационный контроллер 5.2. Часть 3.1 связана по сигналу с регистратором 6. Выходы частей 3.1 и 3.2 подключены ко входу источника 7 двух эталонных сферических волн. Источник 7 включает первый отрезок 8.1 и второй отрезок 8.2 оптического волокна, первые концы каждого отрезка являются входами источника 7. Вторые концы отрезков 8.1 и 8.2 выполнены суженными с металлизированными до вершин, соответственно, 9.1 и 9.2 скосами 10.1 и 10.2. Вторые концы отрезков 8.1 и 8.2 жестко закреплены в корпусе 11 источника 7. Вершины 9.1 и 9.2 зафиксированы в выходном отверстии 12 на основной плоскости 13 корпуса 11.The low-coherence diffraction comparison interferometer of FIG. 1 comprises a low-coherent
Низкокогерентный интерферометр с дифракционной волной сравнения по фиг.2 в части 3.1 дополнительно содержит оптическую линию задержки 14. В часть 3.2 дополнительно введен регулятор интенсивности 15 для выравнивания интенсивности оптического излучения с вершин 9.1 и 9.2. Также в части 3.2 дополнительно расположено устройство 16 фазовой модуляции, которую осуществляют путем изменения длины оптоволокна. Кроме того, интерферометр с дифракционной волной сравнения по фиг.2 снабжен позиционером 17 для фиксации исследуемого объекта 18. Между объектом 18 и источником 7 установлен корректор 19 волнового фронта сферической волны, излучаемой источником 7. Между регистратором 6 и источником 7 установлена наблюдательная система 20.The low-coherence diffraction comparison interferometer of FIG. 2 in part 3.1 additionally contains an
При использовании в качестве источника 1 суперлюминесцентного диода между ним и делителем 2 света устанавливают оптический затвор 21.When using a superluminescent diode as a
Источник 7 двух эталонных сферических волн по фиг.3. содержит два отрезка 8.1 и 8.2 оптического волокна, первые концы каждого отрезка являются входами источника 7. Вторые концы отрезков 8.1 и 8.2 выполнены суженными с металлизированными до вершин, соответственно, 9.1 и 9.2 скосами 10.1 и 10.2. Корпус 11 включает жестко связанные первую и вторую части 22, 23. В части 22 выполнена первая часть 24.1 полости 25, в части 23 выполнена вторая часть 24.2 полости 25. Часть 24.2 выполнена суженной к выходному отверстию 12. Вторые концы отрезков 8.1 и 8.2 жестко закреплены в полости 25. Вершины 9.1 и 9.2 зафиксированы в выходном отверстии 12.
Часть 22 по фиг.4а) выполнена в виде обоймы, а часть 23 выполнена в виде пластины, обращенной к части 22 стороной, противоположной плоскости 13.
Часть 22 по фиг.4б) выполнена в виде двух втулок 26.1 и 26.2, при этом часть 23 выполнена в виде стакана за одно целое и охватывает часть 22.
Часть 22 по фиг.4в) содержит внешнюю 27 и внутреннюю 28 части, при этом внутренняя часть 28 выполнена в форме двух втулок 26.1 и 26.2.
В качестве источника 1 низкокогерентного света могут использоваться лазеры, полупроводниковые светодиоды, лампы накаливания, однако суперлюминесцентный диод обладает значительно меньшим энергопотреблением и меньшими размерами.As the
В качестве источника 1 низкокогерентного света можно использовать суперлюминесцентный диод, интегрированный с одномодовым волокном, заканчивающимся оптическими разъемами марки FC-PC или FC-APC (Fiber Patch Cable). Марку диода выбирают с учетом рабочей длины волны интерферометра. Для рабочей длины волны 670 нм в качестве суперлюминесцентного диода выбирают диод SUPERLUM SLD-261-MP1-DIL-SM-PD (http://www.superlumdiodes.com/pdf/261mp.pdf).As a source of low
При использовании суперлюминесцентный диод для снижения риска выхода из строя диода отраженным светом используют оптические затворы, например марки IO-F-660 - Fiber Isolator компании Thorlabs (http://www.thorlabs.de/thorproduct.cfm?partnumber=IO-F-660).When using a superluminescent diode, optical shutters, for example, IO-F-660 - Fiber Isolator from Thorlabs (http://www.thorlabs.de/thorproduct.cfm?partnumber=IO-F- 660).
Делитель 2 служит для разделения света, выходящего из суперлюминесцентного диода, на два пучка, каждый из которых заводят в соответствующую часть 3.1 и 3.2 оптоволокна и образующих два плеча интерферометра. Делитель 2 представляет собой оптоволоконный делитель света, например, марки FC632-50B, компании Thorlabs (http://www.thorlabs.de/).
Линия задержки 4 обеспечивает выравнивание длины оптических путей обоих плеч с тем, чтобы на регистраторе 6 наблюдалась интерференция света. Линия задержки выполнена с использованием линейного позиционера, например компании Standa (http://standa.vicon-se.ru/). Участок оптоволокна разрывают, вышедший из одного торца свет с помощью объектива преобразуют в квазиплоский фронт, а на линейный позиционер устанавливают приемный объектив и второй торец оптоволокна. Свет, вышедший из первого торца, с помощью приемного объектива собирают на второй торец оптоволокна. Перемещение приемного объектива со вторым торцом приводит к изменению оптического пути. Линию задержки для выравнивания длин оптических путей плеч интерферометра возможно встраивать в любое плечо, но более целесообразно выполнять ее в опорном плече интерферометра, связанном с регистратором 6, так как оптическая длина другого (рабочего) плеча включает удвоенное расстояние от источника до исследуемого объекта.The
Контроллеры 5.1 и 5.2 обеспечивают управление поляризационными характеристиками света на выходе из источника 7 и выполнены с возможностью осевой и поперечной деформации оптоволокна, например поляризационные контроллеры марок FPC030 или FPC560 или PLC-900 производства компании Thorlabs. За счет механических деформаций участка оптоволокна в нем обеспечивается наведенное двулучепреломление и, как следствие, формируется фазовая задержка волн с перпендикулярными поляризациями, распространяющимися внутри волокна. В зависимости от степени деформации на выходе из источника 7 можно получить линейно-, циркулярно- или эллиптически- поляризованную волну.The controllers 5.1 and 5.2 provide control of the polarization characteristics of the light at the output of the
Регистратор 6 осуществляет регистрацию интерференционной картины, образованной в результате интерференции волновых фронтов: эталонного фронта от вершины 9.1 и рабочего фронта, отраженного последовательно от исследуемого объекта 18 и от отражающего участка основной плоскости 13, в качестве регистратора 6 может применяться цифровая видеокамера.The
Устройство 16 осуществляет модуляцию фазы волны, падающей на исследуемый объект, путем изменения длины оптического волокна, например, закрепленного на пьезокерамическом цилиндре (за счет подачи напряжения на пьезокерамику производят изменение ее линейных размеров и, соответственно, изменение длины оптического волокна).The
Корректор 19 волнового фронта сферической волны выполнен с учетом формы исследуемой поверхности либо в виде специально рассчитанной линзы по методикам, изложенным, например, в (Пуряев, Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей // М.: Машиностроение. - 1976. - С.13), либо в виде собирающего объектива.The
Позиционер 17 используют для фиксации исследуемого объекта 18, выполнен в виде прецизионного пятикоординатного стола, обеспечивающего линейные перемещения по трем координатам и повороты по двум осям, например с использованием оптико-механических компонентов от компании Standa (http://standa.vicon-se.ru/).The
Наблюдательную систему 20 устанавливают между регистратором 6 и источником 7 двух эталонных сферических волн. В частном случае наблюдательная система выполнена в виде объектива с линзой, преобразующей сферический фронт после объектива в квазиплоский фронт с апертурой не больше размера регистратора 6.The
В случае когда длины линейного позиционера недостаточно для выравнивания плеч интерферометра (при исследовании объектов с большим радиусом кривизны), в плечо с линией задержки 4 устанавливают дополнительную оптическую линию задержки 14, представляющую собой отрезок оптоволокна с известной длиной. Параметры оптической линией задержки 14 выбирают в зависимости от свойств исследуемого объекта так, что длина дополнительно вносимого линией задержки оптического пути превышает радиус кривизны исследуемого объекта приблизительно вдвое.In the case when the length of the linear positioner is not enough to align the arms of the interferometer (when examining objects with a large radius of curvature), an additional
Изменение интенсивности света производят в регуляторе 15 за счет механического изменения кривизны участка оптоволокна.The change in light intensity is produced in the
Источник 7 выполнен с применением одномодового оптического волокна, например марки 630НР, производства компании Thorlabs (http://www.thorlabs.de/navigation.cfm?Guide_ID=120), из которого изготовлены отрезки 8.1 и 8.2. Первые концы отрезков служат для заводки в них света напрямую через сколы или через оптические разъемы, например оптические разъемы марок FC-PC или FC-APC (Fiber Patch Cable). Вторые концы выполнены суженными с металлизированными до вершин 9.1 и 9.2 скосами 10.1 и 10.2, при этом вершины свободны от металлизации. Диаметр свободной от металлизации части существенно меньше длины волны, что обеспечивает достаточно однородную по интенсивности дифракционную сферическую волну почти во всем полупространстве. Дополнительно округлая форма вершин 9.1 и 9.2 снижает аберрацию волны, распространяющейся во внеосевом направлении, что в свою очередь увеличивает рабочую апертуру интерферометра. Способ изготовления оптоволокон с металлизированными скосами изложен в статье «Зонд сканирующего ближнепольного оптического микроскопа / В.Ф. Дряхлушин, А.Ю. Климов, В.В. Рогов, С.А. Гусев // ПТЭ. - 1998. - №.2. - С.138-139». Метод изучения аберраций сферической волны и способ отбора годных для источника сферической волны для интерферометра с дифракционной волной сравнения волокон описаны в работе «Chkhalo, N.I. A source of a reference spherical wave based on a single mode optical fiber with a narrowed exit aperture / N.I. Chkhalo, A.Yu. Klimov, V.V. Rogov, N.N. Salashchenko, and M.N. Toropov // Rev. Sci. Instrum. - 2008. - V.79. - P.033107».
Отрезки 8.1 и 8.2 закрепляют в полости 25 корпуса 11 так, чтобы свободные от металлизации вершины 9.1 и 9.2, размещенные в отверстии 12, были расположены вровень с основной плоскостью 13. Отрезки 8.1 и 8.2 могут быть закреплены в полости 25 с помощью безусадочного клея, например эпоксидного клея марки Araldite 2020. Отрезки 8.1 и 8.2 фиксируют в полости 25 так, что вершины 9.1 и 9.2 отстоят друг от друга на расстоянии, отличающемся от диаметра кора оптоволокна менее, чем на порядок, а в пределе вершины 9.1 и 9.2 отстоят друг от друга на расстоянии, примерно равном диаметру кора оптоволокна.The segments 8.1 and 8.2 are fixed in the
Корпус 11 может быть выполнен из латуни, по меньшей мере участок основной плоскости 13 покрыт никелем или молибденом электролитическим способом и хорошо отполирован. Полировку основной плоскости 13 производят по стандартной технологии, например, описанной в «Окатов, М.А. Справочник технолога-оптика / М.А. Окатов, Э.А. Антонов, А. Байгожин и др.; Под ред. М.А. Окатова // СПб.: Политехника. - 2004. - 679 с.». Первую часть 24.1 полости 25 получают точением на токарном станке. А часть 24.2 получают, например, методом электроэррозии.The
В другом случае вторая часть корпуса представляет собой кремниевую пластину с металлизированной поверхностью, выполняющую функцию перенаправления света. Часть 24.2 и отверстие 12 в кремниевой платине формируется методом анизотропного химического травления, например по технологии, описанной в «Травление полупроводников [сборник статей]. Пер. с англ. С.Н. Горина. М.: Мир, 1965».In another case, the second part of the housing is a silicon wafer with a metallized surface that performs the function of redirecting light. Part 24.2 and
Низкокогерентный интерферометр с дифракционной волной сравнения по фиг.1 работает следующим образом.The low coherent diffraction wave interferometer of FIG. 1 operates as follows.
До начала работы регистратор 6, источник 7 и исследуемый объект (на чертеже не показан) взаимно ориентируют так, чтобы:Before starting work, the
- рабочий лепесток диаграммы волны с вершины 9.1 был направлен на регистратор 6;- the working lobe of the wave diagram from the top 9.1 was directed to the
- рабочий лепесток диаграммы волны с вершины 9.2 был направлен на исследуемый объект.- the working lobe of the wave diagram from the top 9.2 was directed to the object under study.
Свет от источника 1 заводят в делитель 2. С помощью делителя 2 низкокогерентный свет разделяют и заводят его в части 3.1 и 3.2. Распространяясь в первой части 3.1, свет попадает в линию задержки 4, где изменяется длина пути света таким образом, что оптические пути в обоих плечах выравниваются. Далее свет проходит через контроллер 5.1, где приобретает необходимые поляризационные характеристики (циркулярную, эллиптическую или линейную поляризацию). В части 3.2 свет проходит через контроллер 5.2, где приобретает необходимые поляризационные характеристики (циркулярную, эллиптическую или линейную поляризацию).The light from the
Далее поляризованное излучение из части 3.1 поступает в отрезок 8.1 источника 7 и дифрагирует на свободной от металлизации вершине 9.1. Поляризованное излучение из части 3.2 поступает во второй отрезок 8.2 источника 7 и дифрагирует на свободной от металлизации вершине 9.2. Волна с вершины 9.2 отражается от исследуемого объекта (на чертеже не показан), затем с помощью основной плоскости 13 корпуса 11 волну от исследуемого объекта перенаправляют в сторону регистратора 6, где он интерферирует с волной с вершины 9.1. Интерференционную картину регистрируют на регистраторе 6. По серии снятых интерферограмм с помощью стандартных процедур, например, описанных в монографии «Malacara, D., ed. (1992). Optical shop testing, 2nd ed., John Wiley&Sons, Inc., ISBN 0-471-52232-5, New York», восстанавливают фазу рабочего фронта и, соответственно, определяют отклонения поверхности исследуемого объекта от заданной формы или его волновые аберрации.Next, the polarized radiation from part 3.1 enters the segment 8.1 of the
Низкокогерентный интерферометр с дифракционной волной сравнения по фиг.2 работает аналогично интерферометру по фиг.1.The low coherent diffraction wave interferometer of FIG. 2 operates similarly to the interferometer of FIG. 1.
Источник двух эталонных сферических волн по фиг.3 работает следующим образом. Свет через оптический разъем или напрямую через сколы заводят в первый 8.1 и второй 8.2 отрезки оптического волокна. В указанных отрезках возбуждаются моды излучения, распространяющиеся в направлении вторых концов. За счет сужения вторых концов и металлизации их скосов 10.1 и 10.2 до вершин 9.1 и 9.2, соответственно, доходит только одна низшая (HE11) мода. На свободных от металлизации вершинах 9.1 и 9.2 волны выходят из отрезков 8.1 и 8.2. В результате дифракции света на краях металлизированных скосов 10.1 и 10.2 в пространстве распространяются две дифракционные волны, чьи фазовые поверхности в дальней зоне (дифракция Фраунгофера) представляют собой сферы. Отраженный от исследуемого объекта (на чертеже не показан) свет с помощью отражающего участка основной плоскости 13 перенаправляют в регистратор 6. Благодаря тому что в части 3.1 и 3.2 заводят низкокогерентный свет, на регистраторе 6 не наблюдается паразитная интерференция.The source of two reference spherical waves in figure 3 works as follows. Light is transmitted through the optical connector or directly through the chips into the first 8.1 and second 8.2 segments of the optical fiber. In these segments, radiation modes are excited that propagate in the direction of the second ends. Due to the narrowing of the second ends and the metallization of their bevels 10.1 and 10.2, only one lower (HE11) mode reaches the peaks 9.1 and 9.2, respectively. At the vertices 9.1 and 9.2 free from metallization, the waves leave segments 8.1 and 8.2. As a result of light diffraction at the edges of metallized bevels 10.1 and 10.2, two diffraction waves propagate in space, whose phase surfaces in the far zone (Fraunhofer diffraction) are spheres. The light reflected from the object under study (not shown in the drawing) is redirected to the
Использование разработанного изобретения для изучения объектов на просвет может быть следующим. За исследуемым объектом 18 устанавливается отражающая сферическая поверхность. Сферическая волна с вершины 9.2 проходит через исследуемый объект, отражается от сферической поверхности и проходит по тому же пути в обратном направлении через исследуемый объект. С помощью отражающего участка основной плоскости 13 отраженный свет перенаправляют в регистратор 6.Using the developed invention to study objects in the light may be as follows. Behind the studied
Claims (16)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013148084/28A RU2547346C1 (en) | 2013-10-30 | 2013-10-30 | Low-coherence interferometer with diffraction reference wave and source of two spherical reference waves therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013148084/28A RU2547346C1 (en) | 2013-10-30 | 2013-10-30 | Low-coherence interferometer with diffraction reference wave and source of two spherical reference waves therefor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2547346C1 true RU2547346C1 (en) | 2015-04-10 |
| RU2013148084A RU2013148084A (en) | 2015-05-10 |
Family
ID=53283256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013148084/28A RU2547346C1 (en) | 2013-10-30 | 2013-10-30 | Low-coherence interferometer with diffraction reference wave and source of two spherical reference waves therefor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2547346C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2714865C1 (en) * | 2019-06-18 | 2020-02-19 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) | Interferometer |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2062977C1 (en) * | 1992-09-24 | 1996-06-27 | Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем ВНЦ "ГОИ им.С.И.Вавилова" | Diffraction interferometer |
| RU2240502C1 (en) * | 2002-02-14 | 2004-11-20 | Феликс Исаакович Фельдштейн | Method for analysis of object and optical interferometer for realization of said method |
| RU2305253C1 (en) * | 2006-05-10 | 2007-08-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет (СПбГЭТУ (ЛЭТИ" им. В.И. Ленина)) | Fiber-optical sensor system |
| WO2013019776A2 (en) * | 2011-08-01 | 2013-02-07 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Simultaneous refractive index and thickness measurments with a monochromatic low-coherence interferometer |
-
2013
- 2013-10-30 RU RU2013148084/28A patent/RU2547346C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2062977C1 (en) * | 1992-09-24 | 1996-06-27 | Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем ВНЦ "ГОИ им.С.И.Вавилова" | Diffraction interferometer |
| RU2240502C1 (en) * | 2002-02-14 | 2004-11-20 | Феликс Исаакович Фельдштейн | Method for analysis of object and optical interferometer for realization of said method |
| RU2305253C1 (en) * | 2006-05-10 | 2007-08-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет (СПбГЭТУ (ЛЭТИ" им. В.И. Ленина)) | Fiber-optical sensor system |
| WO2013019776A2 (en) * | 2011-08-01 | 2013-02-07 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Simultaneous refractive index and thickness measurments with a monochromatic low-coherence interferometer |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2714865C1 (en) * | 2019-06-18 | 2020-02-19 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) | Interferometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2013148084A (en) | 2015-05-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109804294B (en) | Fiber optic splitter device for digital holographic imaging and interferometry and optical system comprising said fiber optic splitter device | |
| KR100225923B1 (en) | Phase shifting diffraction interferometer | |
| JP5087186B1 (en) | Iso-optical path interferometer | |
| US20080002212A1 (en) | Oblique incidence interferometer | |
| US6806965B2 (en) | Wavefront and intensity analyzer for collimated beams | |
| EP2639546B1 (en) | White-light interferometric measuring device | |
| US11231269B2 (en) | Arrangement and method for robust single-shot interferometry | |
| EP2998693B1 (en) | Surface-geometry measurement method and device used therein | |
| CN104792798A (en) | Total internal reflection illumination technology-based subsurface damage measuring apparatus and method thereof | |
| US10247539B2 (en) | Two-channel point-diffraction interferometer | |
| JP2012242389A (en) | Position measuring instrument | |
| JP6042586B2 (en) | High numerical aperture phase-shifting dual pinhole diffraction interferometer and its test method | |
| RU2547346C1 (en) | Low-coherence interferometer with diffraction reference wave and source of two spherical reference waves therefor | |
| WO2021222464A1 (en) | Compact snapshot dual-mode interferometric system | |
| KR102008253B1 (en) | Multi channel optical profiler based on interferometer | |
| JP2011226935A (en) | Off-axis transmission wavefront measuring apparatus | |
| Voznesenskiy et al. | Point Diffraction Interferometry based on the use of Two Pinholes | |
| RU2482447C2 (en) | Interferometer | |
| Kihm et al. | Oblique fiber optic diffraction interferometer for testing spherical mirrors | |
| RU2760920C1 (en) | Standardless highly coherent interferometer | |
| Lamprecht et al. | Null test measurement of high-numerical-aperture cylindrical microlenses in transmitted light | |
| Hwang et al. | Phase-shifting diffraction-grating interferometer for testing concave mirrors | |
| KR20170037581A (en) | System and methode for measuring refractive index distribution | |
| Pavan Kumar et al. | Noncontact thickness measurement of plane-parallel transparent plates with a lateral shearing interferometer | |
| JP2003035526A (en) | Transmissive zone plate, reflective zone plate, shape measuring method, interference measuring device, and manufacturing method for projection optical system |