RU2522737C1 - Self-contained x-ray and ultraviolet radiation receiver - Google Patents

Self-contained x-ray and ultraviolet radiation receiver Download PDF

Info

Publication number
RU2522737C1
RU2522737C1 RU2012157959/28A RU2012157959A RU2522737C1 RU 2522737 C1 RU2522737 C1 RU 2522737C1 RU 2012157959/28 A RU2012157959/28 A RU 2012157959/28A RU 2012157959 A RU2012157959 A RU 2012157959A RU 2522737 C1 RU2522737 C1 RU 2522737C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
ray
ultraviolet radiation
radiation
receiver
photosensitive layer
Prior art date
Application number
RU2012157959/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Неъматжон Рахимович Рахимов
Вадим Аркадьевич Жмудь
Донёрбек Дилшодович Алижанов
Шерзод Ильхомович Мадумаров
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Новосибирский государственный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Новосибирский государственный технический университет" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Новосибирский государственный технический университет"
Priority to RU2012157959/28A priority Critical patent/RU2522737C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2522737C1 publication Critical patent/RU2522737C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: self-contained receiver for detecting X-ray and ultraviolet (UV) radiation includes a metal housing, a transparent dielectric substrate, a photosensitive layer made from an anomalously high photovoltage film and metal contacts, wherein a reflecting coating is placed between the transparent dielectric substrate and the metal housing, the receiver is provided with a hemispherical mirror cover, having a window which is transparent for X-ray and UV radiation.
EFFECT: high sensitivity when detecting X-ray and UV radiation.
2 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к интегрально-чувствительным приемникам оптического излучения и может использоваться для регистрации рентгеновского и ультрафиолетового излучения.The invention relates to integrally-sensitive receivers of optical radiation and can be used to record x-ray and ultraviolet radiation.

Известен автономный приемник рентгеновского и ультрафиолетового излучения, содержащий чувствительный элемент в виде пленок с аномальным фотонапряжением (АФН-пленок), металлические контакты создаются сплавом олова с примесью 1% сурьмы или 1% галлия и в качестве чувствительного элемента были использованы АФН-пленки из соединений CdSe или CdTe:Ag размером 4×2 мм [Рахимов Н.Р., Касымахунова A.M., Усманов Ш.Ю. Способ получения фотогенераторов / Патент РУз IAP 02610 от 25.02.2003 г.].A self-contained X-ray and ultraviolet radiation detector is known, which contains a sensitive element in the form of films with anomalous photovoltage (AFS films), metal contacts are created by a tin alloy with an admixture of 1% antimony or 1% gallium, and AFN films made from CdSe compounds were used as a sensitive element or CdTe: Ag 4 × 2 mm in size [Rakhimov N.R., Kasymakhunova AM, Usmanov Sh.Yu. A method of producing photogenerators / Patent RUz IAP 02610 dated 02.25.2003].

Недостатком этого автономного приемника рентгеновского и ультрафиолетового излучения является низкая чувствительность и недостаточно широкий диапазон частот регистрируемого излучения, особенно для регистрации рентгеновского и ультрафиолетового излучения в оптоэлектронных и робототехнических устройствах для приема различных световых потоков.The disadvantage of this stand-alone X-ray and ultraviolet radiation receiver is the low sensitivity and not wide enough frequency range of the detected radiation, especially for recording X-ray and ultraviolet radiation in optoelectronic and robotic devices for receiving various light fluxes.

Известен автономный приемник рентгеновского и ультрафиолетового излучения на основе пленок с аномальным фотонапряжением (АФН-пленок), принятый за прототип, состоящий из металлического корпуса, стеклянной крышки, металлические контакты и фоточувствительной слой из АФН-пленки, нанесенной на прозрачную диэлектрическую подложку [Рахимов Н.Р., Серьезнов А.Н. АФН-пленки и их применение / монография. - Новосибирск: СибНИА, 2005].A self-contained X-ray and ultraviolet radiation detector based on films with anomalous photovoltage (AFN films) is adopted, which is taken as a prototype consisting of a metal body, a glass cover, metal contacts and a photosensitive layer of AFN film deposited on a transparent dielectric substrate [Rakhimov N. R., Seriouszov A.N. AFN films and their application / monograph. - Novosibirsk: SibNIA, 2005].

Недостатком этого автономного приемника рентгеновского и ультрафиолетового излучения является низкая чувствительность из-за прохождения потока излучения через светочувствительный слой не более одного раза.The disadvantage of this autonomous X-ray and ultraviolet radiation receiver is its low sensitivity due to the passage of the radiation flux through the photosensitive layer no more than once.

Заявляемое изобретение направлено на повышение чувствительности.The claimed invention is directed to increasing sensitivity.

Указанный результат достигается тем, что между прозрачной диэлектрической подложкой и металлическим корпусом помещено отражающее покрытие, автономный приемник рентгеновского и ультрафиолетового излучения снабжен полусферической зеркальной крышкой, имеющей окно, прозрачное для рентгеновского и ультрафиолетового излучения.This result is achieved by the fact that a reflective coating is placed between the transparent dielectric substrate and the metal casing, the stand-alone X-ray and ultraviolet radiation receiver is equipped with a hemispherical mirror cover having a window transparent for x-ray and ultraviolet radiation.

На фиг.1 приведено изображение автономного приемника оптического излучения: 1 - фоточувствительный слой из АФН-пленки; 2 - прозрачная диэлектрическая подложка, 3 - металлические контакты; 4 - отражающее покрытие; 5 - полусферическая зеркальная крышка; 6 - металлический корпус; 7 - окно, прозрачное для рентгеновского и ультрафиолетового излучения. Отражающие покрытие (4) и полусферическая зеркальная крышка (5) выполнены из материалов осмий-кремний и осмий-скандий-кремний. Фоточувствительный слой выполнен как сцинтилляционный слой на основе АФН-пленок из ZnSe и CdTe.Figure 1 shows the image of a stand-alone optical radiation receiver: 1 - a photosensitive layer of AFN film; 2 - transparent dielectric substrate, 3 - metal contacts; 4 - reflective coating; 5 - hemispherical mirror cover; 6 - metal case; 7 - a window transparent for x-ray and ultraviolet radiation. The reflective coating (4) and the hemispherical mirror cover (5) are made of osmium-silicon and osmium-scandium-silicon materials. The photosensitive layer is made as a scintillation layer based on AFN films of ZnSe and CdTe.

На фиг.2 приведено изображение схемы сцинтилляционного фоточувствительного слоя на основе Te-ZnSe. На этом рисунке: 9 - слой из цинк-селена (ZnSe), 10 - слой из теллурида кадмия (CdTe), 11 - токопроводящие контакты.Figure 2 shows a diagram of a scintillation photosensitive layer based on Te-ZnSe. In this figure: 9 - a layer of zinc selenium (ZnSe), 10 - a layer of cadmium telluride (CdTe), 11 - conductive contacts.

Принцип действия автономного приемника рентгеновского и ультрафиолетового (фиг.1) заключается в следующем. Через окошко (7) поступает направленное излучение Фо от источника рентгеновского или ультрафиолетовая излучения. Попадая на фоточувствительный слой (1), это излучение частично преобразуется в фототек, а частично проходит этот слой насквозь, затем отражается от отражающего покрытия (4). Отраженная часть также проходит через фоточувствительный слой и частично преобразуется в фототок, а оставшаяся часть попадает на полусферическую зеркальную крышку (5). Это остаточное излучение, отражаясь от этой крышки, вновь попадает на фоточувствительный слой и преобразуется в фототок. За счет многократного переотражения эффективность преобразования рентгеновского или ультрафиолетового излучения в фототок существенно возрастает.The principle of operation of the stand-alone x-ray and ultraviolet receiver (figure 1) is as follows. Directional radiation Ф о from the source of x-ray or ultraviolet radiation enters through the window (7). Getting on the photosensitive layer (1), this radiation is partially converted into a photo library and partially passes through this layer, then it is reflected from the reflective coating (4). The reflected part also passes through the photosensitive layer and is partially converted to a photocurrent, and the remaining part falls on the hemispherical mirror cover (5). This residual radiation, reflected from this cover, again falls on the photosensitive layer and is converted into a photocurrent. Due to repeated re-reflection, the conversion efficiency of x-ray or ultraviolet radiation into the photocurrent increases significantly.

Таким образом, чувствительность автономного приемника рентгеновского и ультрафиолетового излучения возрастает.Thus, the sensitivity of the stand-alone receiver of x-ray and ultraviolet radiation increases.

Принцип действия фоточувствительного слоя заключается в следующем. Рентгеновское или ультрафиолетовое излучение проходит оба слоя, (10 и 9) сцинтиллятора (фиг.2), ионизирует атомы и молекулы и возбуждает их. Возбужденные атомы и молекулы, возвращаясь в исходное состояние, испускают свет, который попадает на слой из теллурида кадмия (10), представляющий собой АФН-пленку (CdTe). В этом слое (10) за счет накопления зарядов порождается фототок. При освещении чувствительного слоя потоками ультрафиолетового или рентгеновского луча порождается люминесценция в слое из цинк-селена (ZnSe) (9).The principle of operation of the photosensitive layer is as follows. X-ray or ultraviolet radiation passes through both layers, (10 and 9) of the scintillator (figure 2), ionizes atoms and molecules and excites them. Excited atoms and molecules, returning to their original state, emit light that enters the cadmium telluride layer (10), which is an AFS film (CdTe). In this layer (10), due to the accumulation of charges, a photocurrent is generated. When a sensitive layer is illuminated by ultraviolet or X-ray fluxes, luminescence is generated in a layer of zinc selenium (ZnSe) (9).

Ультрафиолетовый или рентгеновский луч, проходя через сцинтиллятор, переводит электроны из валентной зоны в зону проводимости или с глубоких уровней в зону проводимости. Возвращаясь в исходное состояние вследствие того, что происходит излучательная рекомбинация, эти атомы испускают фотоны света, которые попадают на АФН-пленку слоя (10) CdTe, при этом возникает фотосигнал, который снимают с контактов (11) и, например, регистрируют электрометром.An ultraviolet or X-ray beam passing through a scintillator transfers electrons from the valence band to the conduction band or from deep levels to the conduction band. Returning to the initial state due to the fact that radiative recombination occurs, these atoms emit light photons that fall on the AFN film of the (10) CdTe layer, and a photo signal arises which is taken from contacts (11) and, for example, recorded by an electrometer.

АФН-пленка CdTe детектирует люминесценцию цинк-селена с малыми потерями на отражение от границы ZnSe-CdTe.The AFD CdTe film detects luminescence of zinc selenium with low reflection losses from the ZnSe-CdTe boundary.

Коэффициент отражения рассчитывают по формулеThe reflection coefficient is calculated by the formula

R = n 1 n 2 n 1 + n 2 = 3,4 2,6 7 = 0,8 7 0,1

Figure 00000001
, R = n one - n 2 n one + n 2 = 3.4 - 2.6 7 = 0.8 7 0.1
Figure 00000001
,

где R- коэффициент отражения от границы раздела между ZnSe и CdTe; n1 -показатель преломления ZnSe; n2 - показатель преломления CdTe.where R is the reflection coefficient from the interface between ZnSe and CdTe; n 1 is the refractive index of ZnSe; n 2 is the refractive index of CdTe.

Коэффициент отражения известных сцинтилляционных фотодетекторов учитывает отражение на границе ZnSe и воздуха (n0=1), тогда R=0,5. В обсуждаемом случае потеря фотосигналов на отражение незначительна по сравнению с известными приемниками. Оценим изменение эффективности приемника с АФН-пленкой:The reflection coefficient of known scintillation photodetectors takes into account reflection at the interface between ZnSe and air (n 0 = 1), then R = 0.5. In the case under discussion, the loss of reflection photo signals is insignificant in comparison with the known receivers. Let us evaluate the change in the efficiency of a receiver with an AFS film:

LR=R·L0,L R = R · L 0 ,

L'R=(R-ΔR)L0,L ' R = (R-ΔR) L 0 ,

где R - коэффициент отражения, L0 - интенсивность падающего света,where R is the reflection coefficient, L 0 is the intensity of the incident light,

T ' = L 0 L R L 0 = 1 R

Figure 00000002
, T '' = L 0 - L R L 0 = one - R
Figure 00000002
,

где Т - коэффициент пропускания. Тогдаwhere T is the transmittance. Then

T ' = L 0 ( R Δ R ) L 0 L 0 = 1 ( R Δ R )

Figure 00000003
, T '' = L 0 ( R - Δ R ) L 0 L 0 = one - ( R - Δ R )
Figure 00000003
,

x = T ' T 100 = 1 ( R Δ R ) 1 R 100 % = ( 1 + Δ R 1 R ) 100 %

Figure 00000004
x = T '' T one hundred = one - ( R - Δ R ) one - R one hundred % = ( one + Δ R one - R ) one hundred %
Figure 00000004

Отсюда Δ x = Δ T T = Δ R 1 R

Figure 00000005
;From here Δ x = Δ T T = Δ R one - R
Figure 00000005
;

Δ x = 0,4 1 0,5 = 0,8

Figure 00000006
; Δ x = 0.4 one - 0.5 = 0.8
Figure 00000006
;

т.е. эффективность на 80% увеличивается.those. efficiency is increased by 80%.

Для определения значения фотосигнала фоточувствительный слой на основе АФН-пленки теллурида кадмия освещают ультрафиолетовым светом со стороны сцинтиллятора ZnSe и спектрометром СФ-26 измеряют фото-ЭДС, она была равна 200 мВ (без АФН-слоя - 120 мВ). Затем сцинтиллятор возбуждают мягким рентгеновскими лучами (УРС-60 с трубкой 0,4 ВСВ-4С, напряжение на трубке равно 20 кВ), при этом оказалось, что амплитуда сигнала равна 500 мВ (без АФН-слоя - 280 мВ). Фотосигнал между контактами измеряют электрометром.To determine the value of the photosignal, a photosensitive layer based on the AFN film of cadmium telluride is illuminated with ultraviolet light from the side of the ZnSe scintillator and the SF-26 spectrometer measures photo-emf, it was 200 mV (without the AFS layer - 120 mV). Then, the scintillator is excited by soft X-rays (URS-60 with a 0.4 VVV-4S tube, the voltage on the tube is 20 kV), and it turned out that the signal amplitude is 500 mV (without an AFS layer - 280 mV). The photo signal between the contacts is measured by an electrometer.

Рентгеновское зеркало покрывает изнутри полусферическую зеркальную крышку (5). Также из рентгеновского зеркала изготавливается отражающее покрытие (4). Это рентгеновское зеркало имеет многослойную структуру (до нескольких сотен слоев), их производство требует особых условий. Материалы для создания отражающих покрытий должны иметь сверхвысокую чистоту и осаждаются на основу зеркала напылением в вакууме. Диапазон длин волн, в котором будет работать зеркало, и дополнительные условия и требования определяют выбор материалов. Например, это может быть осмий-кадмий и осмий-скандий-кремний. Коэффициент отражения таких материалов крайне высок.An x-ray mirror covers the hemispherical mirror cover from the inside (5). Also, a reflective coating (4) is made from an X-ray mirror. This X-ray mirror has a multilayer structure (up to several hundred layers), their production requires special conditions. Materials for creating reflective coatings must have ultra-high purity and are deposited on the mirror base by vacuum deposition. The wavelength range in which the mirror will operate, and additional conditions and requirements determine the choice of materials. For example, it can be osmium-cadmium and osmium-scandium-silicon. The reflection coefficient of such materials is extremely high.

Для получения АФН-пленок и отражающих поверхностей используется вакуумная установка ВУП-2к. В рабочей камере достигается вакуум порядка 10-4-10-5 мм рт.ст., температура подложки 410-480°С. В качестве подложек используются стеклянные пластины размером 4×20 мм, толщиной 2-5 мм. Перед началом процесса вакуумного испарения стеклянные подложки промываются 2-3 раза в кипящей дистиллированной воде в течение 20-25 минут и просушиваются в сушильном шкафу при температуре 150°С в течение 30 минут, затем обжигаются при 250-300°С в вакууме в течение 10 минут.To obtain AFN films and reflective surfaces, the VUP-2k vacuum system is used. A vacuum of the order of 10 -4 -10 -5 mm Hg is reached in the working chamber, the substrate temperature is 410-480 ° С. As substrates, glass plates with a size of 4 × 20 mm and a thickness of 2-5 mm are used. Before the vacuum evaporation process begins, the glass substrates are washed 2-3 times in boiling distilled water for 20-25 minutes and dried in an oven at a temperature of 150 ° C for 30 minutes, then they are fired at 250-300 ° C in a vacuum for 10 minutes.

Первоначально для получения отражающего слоя проводится нанесение на противоположные стороны подложки отражающего слоя из материалов осмий-кремний и осмий-скандий-кремний. Процесс напыления проводится при вакууме 10-4-10-5 мм рт.ст., температура подложки 450°С.Initially, to obtain a reflective layer, deposition of opposite layers of osmium-silicon and osmium-scandium-silicon materials is carried out on opposite sides of the substrate. The spraying process is carried out under a vacuum of 10 -4 -10 -5 mm Hg, the substrate temperature is 450 ° C.

При этом эффективная толщина пленок составляет ~1 мкм.In this case, the effective film thickness is ~ 1 μm.

В последнем этапе изготавливается отражающая полусферическая крышка (интегрирующая полость) по той же технологии, что и отражающая подложка. Процесс напыления проводится при вакууме 10-4-10-5 мм рт.ст., температуре крышки 450°С.In the last step, a reflective hemispherical cover (integrating cavity) is manufactured using the same technology as the reflective substrate. The spraying process is carried out under a vacuum of 10 -4 -10 -5 mm Hg, cover temperature 450 ° C.

Толщина отражающего покрытия также составляет ~1 мкм.The thickness of the reflective coating is also ~ 1 μm.

На основе полученных элементов можно разработать автономный приемник оптического излучения.Based on the obtained elements, it is possible to develop a stand-alone optical radiation receiver.

По мере развития рентгеновской оптики спектр применяемых материалов значительно шире, чем указанный выше, так, например, в длинноволновой части спектра мягкого рентгеновского излучения весьма эффективны композиции осмий-кремний и осмий-скандий-кремний, а в более жесткой части рентгеновского спектра весьма эффективен гафний и его композиции с другими элементами.As x-ray optics develops, the spectrum of materials used is much wider than the above, for example, osmium-silicon and osmium-scandium-silicon compositions are very effective in the long-wavelength part of the soft x-ray spectrum, and hafnium is very effective in the harder part of the x-ray spectrum its composition with other elements.

Рентгеновское излучение и оптическое имеют родственную природу. Оба типа излучения являются электромагнитным излучением. Рентгеновские лучи испускаются при участии находящихся в атомах, либо свободных электронов. Фотоны рентгеновского излучения имеют энергию от 100 эВ до 250 КэВ, что соответствует излучению с частотой от 3×1016 Гц до 6×1019 Гц (то есть с длиной волны 0,005-10 нм). Мягкое рентгеновское излучение характеризуется наименьшей энергией фотона и частотой излучения (и наибольшей длиной волны), а жесткое рентгеновское излучение обладает наибольшей энергией фотона и частотой излучения (и наименьшей длиной волны). Жесткое рентгеновское излучение используется преимущественно в промышленных целях.X-ray and optical are related in nature. Both types of radiation are electromagnetic radiation. X-rays are emitted with the participation of atoms or free electrons. X-ray photons have an energy of 100 eV to 250 KeV, which corresponds to radiation with a frequency of 3 × 10 16 Hz to 6 × 10 19 Hz (i.e., with a wavelength of 0.005-10 nm). Soft X-ray radiation is characterized by the lowest photon energy and radiation frequency (and the longest wavelength), and hard x-ray radiation has the highest photon energy and the radiation frequency (and shortest wavelength). Hard X-rays are used primarily for industrial purposes.

Таким образом, предлагаемый приемник может обеспечивать прием как рентгеновского, так и ультрафиолетового излучения.Thus, the proposed receiver can provide reception of both x-ray and ultraviolet radiation.

Поэтому остаточное рентгеновское или ультрафиолетовое излучение, которое не преобразовалось по пути через фоточувствительный слой (1) в фототок, будет отражено сначала от отражающего покрытия (4), затем от полусферической зеркальной крышки (5), после чего вновь попадет на фоточувствительный слой (1). Это увеличивает часть света, которая преобразуется в фототок. Пропорционально увеличится и сам фототок, то есть при той же самой величине рентгеновского или ультрафиолетового излучения, попавшего в окно (7) фотоприемника, фототок, порождаемый этим излучением, увеличится. Следовательно, увеличится чувствительность приемника, поскольку она определяется как отношение фототока к световому потоку, который этот фототек вызвал.Therefore, residual x-ray or ultraviolet radiation, which was not converted along the path through the photosensitive layer (1) into the photocurrent, will be reflected first from the reflective coating (4), then from the hemispherical mirror cover (5), after which it will again fall onto the photosensitive layer (1) . This increases the portion of the light that is converted to a photocurrent. The photocurrent itself will increase proportionally, that is, with the same amount of x-ray or ultraviolet radiation that has fallen into the photodetector window (7), the photocurrent generated by this radiation will increase. Consequently, the sensitivity of the receiver will increase, since it is defined as the ratio of the photocurrent to the light flux that this photocurrent caused.

В результате поставленная задача решена.As a result, the task is solved.

Фоточувствительный слой (1) может быть сделан, как в прототипе, в виде АФН-пленок из кристаллического теллурида кадмия [Рахимов Н.Р., Ушаков O.K. Оптоэлектронные датчики на основе АФН-эффекта / монография. - Новосибирск: СГГА, 2010 г.]. Отражающее покрытие (4) и полусферическая зеркальная крышка (5) выполнены из материалов осмий-кремний и осмий-скандий-кремний. Остальные элементы могут быть выполнены по традиционным технологиям, как в прототипе. Прозрачная диэлектрическая подложка (2) может быть выполнена, например, из стеклянной пластинки. Металлический корпус (6) может быть выполнен как в прототипе, или, например, в форме неглубокого стакана, снабженного кронштейном для закрепления.The photosensitive layer (1) can be made, as in the prototype, in the form of AFN films from crystalline cadmium telluride [Rakhimov NR, Ushakov O.K. AFN-based optoelectronic sensors / monograph. - Novosibirsk: SSGA, 2010]. The reflective coating (4) and the hemispherical mirror cover (5) are made of osmium-silicon and osmium-scandium-silicon materials. The remaining elements can be performed by traditional technologies, as in the prototype. The transparent dielectric substrate (2) can be made, for example, of a glass plate. The metal case (6) can be made as in the prototype, or, for example, in the form of a shallow glass, equipped with a bracket for fixing.

Claims (2)

1. Автономный приемник для регистрации рентгеновского и ультрафиолетового излучения, включающий металлический корпус, прозрачную диэлектрическую подложку, фоточувствительный слой из АФН-пленки и металлические контакты, отличающийся тем, что между прозрачной диэлектрической подложкой и металлическим корпусом помещено отражающее покрытие, приемник снабжен полусферической зеркальной крышкой, имеющей окно, прозрачное для рентгеновского и ультрафиолетового излучения.1. An autonomous receiver for detecting X-ray and ultraviolet radiation, including a metal case, a transparent dielectric substrate, a photosensitive layer of AFS film and metal contacts, characterized in that a reflective coating is placed between the transparent dielectric substrate and the metal case, the receiver is equipped with a hemispherical mirror cover, having a window transparent for x-ray and ultraviolet radiation. 2. Автономный приемник рентгеновского и ультрафиолетового излучения по п.1, отличающийся тем, что отражающее покрытие и полусферическая зеркальная крышка выполнены из осмий-кремния или осмий-скандий-кремния. 2. The stand-alone X-ray and ultraviolet radiation receiver according to claim 1, characterized in that the reflective coating and the hemispherical mirror cover are made of osmium-silicon or osmium-scandium-silicon.
RU2012157959/28A 2012-12-27 2012-12-27 Self-contained x-ray and ultraviolet radiation receiver RU2522737C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012157959/28A RU2522737C1 (en) 2012-12-27 2012-12-27 Self-contained x-ray and ultraviolet radiation receiver

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012157959/28A RU2522737C1 (en) 2012-12-27 2012-12-27 Self-contained x-ray and ultraviolet radiation receiver

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2522737C1 true RU2522737C1 (en) 2014-07-20

Family

ID=51217472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012157959/28A RU2522737C1 (en) 2012-12-27 2012-12-27 Self-contained x-ray and ultraviolet radiation receiver

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2522737C1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5907426A (en) * 1996-06-28 1999-05-25 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Stabilizing device for optical modulator
RU2181491C2 (en) * 1996-07-19 2002-04-20 Вариан Медикал Системз, Инк. Device and process of generation of x-ray image with use of flat image panel of amorphous silicon
US20030160185A1 (en) * 2000-09-11 2003-08-28 Takuya Homme Scintillator panel, radiation image sensor and methods of producing them
RU63945U1 (en) * 2006-12-19 2007-06-10 Общество с ограниченной ответственностью предприятие "МЕДТЕХ" (ООО предприятие "МЕДТЕХ") X-RAY MATRIX RECEIVER

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5907426A (en) * 1996-06-28 1999-05-25 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Stabilizing device for optical modulator
RU2181491C2 (en) * 1996-07-19 2002-04-20 Вариан Медикал Системз, Инк. Device and process of generation of x-ray image with use of flat image panel of amorphous silicon
US20030160185A1 (en) * 2000-09-11 2003-08-28 Takuya Homme Scintillator panel, radiation image sensor and methods of producing them
RU63945U1 (en) * 2006-12-19 2007-06-10 Общество с ограниченной ответственностью предприятие "МЕДТЕХ" (ООО предприятие "МЕДТЕХ") X-RAY MATRIX RECEIVER

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Рахимов Н.Р., Серьезнов А.Н. АФН-пленки и их применение, монография, Новосибирск, СибНИА, 2005. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6595074B2 (en) Photocathode comprising a silicon substrate with a boron layer
US9739898B2 (en) Subnanosecond scintillation detector
US6995375B2 (en) Split-electrode radiation detector free of sensibility variations and after-outputs
US9091768B2 (en) Scintillator material and radiation detector using same
US8803099B2 (en) Compound, scintillator, and radiation detector
JP2008051793A5 (en) Radiation detection apparatus, scintillator panel, radiation detection system, and method for manufacturing radiation detection apparatus
CN108140533B (en) Photomultiplier tube and method for manufacturing the same
Alijanov et al. Receiver For Registration Of X-Ray And Ultraviolet Radiation
Canfield et al. Silicon photodiodes with integrated thin-film filters for selective bandpasses in the extreme ultraviolet
Aruev et al. Silicon photodiode with selective Zr/Si coating for extreme ultraviolet spectral range
JP6266324B2 (en) Scintillator panel and manufacturing method thereof
IL260271A (en) Scintillator and electron detector
RU2522737C1 (en) Self-contained x-ray and ultraviolet radiation receiver
Yahlali et al. Imaging with SiPMs in noble-gas detectors
KR101784118B1 (en) Radiation detector, scintillator panel, and methods for manufacturing radiation detector and scintillator panel
KR101788999B1 (en) Radiation detector, scintillator panel, and methods for manufacturing radiation detector and scintillator panel
Jing et al. Detection of charged particles and X-rays by scintillator layers coupled to amorphous silicon photodiode arrays
Guberman et al. Photo-Trap: A low-cost and low-noise large-area SiPM-based pixel
JP2001523383A (en) Protection of photocathode by thin film
Hoenk et al. Subnanosecond Scintillation Detector
JP6734035B2 (en) Scintillator panel and manufacturing method thereof
JP2015096819A (en) Scintillator panel and scintillator panel manufacturing method
Hsu Luminescence efficiency and optical property of CsI and NaI films
JP2015038461A (en) Scintillator panel and manufacturing method thereof
JPH05308149A (en) Soft x-ray detector

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20171228