RU2514150C1 - Accelerometer - Google Patents

Accelerometer Download PDF

Info

Publication number
RU2514150C1
RU2514150C1 RU2012150511/28A RU2012150511A RU2514150C1 RU 2514150 C1 RU2514150 C1 RU 2514150C1 RU 2012150511/28 A RU2012150511/28 A RU 2012150511/28A RU 2012150511 A RU2012150511 A RU 2012150511A RU 2514150 C1 RU2514150 C1 RU 2514150C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plate
suspension
axis
movable part
accelerometer
Prior art date
Application number
RU2012150511/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Лев Иванович Августов
Алексей Евгеньевич Рудов
Владимир Ильич Баженов
Николай Алексеевич Горбачев
Юрий Владимирович Соловьев
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" (ОАО "РПКБ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" (ОАО "РПКБ") filed Critical Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" (ОАО "РПКБ")
Priority to RU2012150511/28A priority Critical patent/RU2514150C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2514150C1 publication Critical patent/RU2514150C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

FIELD: measurement equipment.
SUBSTANCE: accelerometer comprises a body, the first plate with an outer movable part, an inner fixed part and their connecting elastic links along the axis of the suspension, a differential capacitance converter of a position, the second plate with electrodes, the third plate, a magnetoelectric power converter with a permanent magnet and a compensation coil, a weight on the movable part of the first plate, an amplifier. In accordance with the invention the weight on the movable part of the first plate is located above the axis of the suspension, the side of the part of the second plate above the axis of the suspension is made as rectilinear, the distance of the rectilinear side of the second plate from the axis of the suspension is made in accordance with the rated ratio.
EFFECT: higher accuracy of measurement acceleration.
4 dwg

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к измерительным преобразователям линейных ускорений.The invention relates to the field of measuring equipment, namely to measuring transducers of linear accelerations.

Известен акселерометр [1], содержащий корпус, пластину с внешней подвижной частью, внутренней неподвижной частью и соединяющими их упругими перемычками по оси подвеса, дифференциальный емкостный преобразователь положения, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом на корпусе и установленной на подвижной части пластины посредством грузов компенсационной катушкой, груз на подвижной части пластины, усилитель.Known accelerometer [1], comprising a housing, a plate with an external moving part, an internal fixed part and elastic bridges connecting them along the suspension axis, a differential capacitive position transducer, a magnetoelectric power transducer with a permanent magnet on the body and a compensation coil mounted on the movable part of the plate by means of weights , load on the movable part of the plate, amplifier.

Наиболее близким по технической сущности является акселерометр [2], содержащий корпус с предназначенным для установки по вектору ускорения свободного падения фланцем, первую пластину с внешней подвижной частью, внутренней неподвижной частью и соединяющими их упругими перемычками по оси подвеса, дифференциальный емкостный преобразователь положения с подвижным электродом в виде электропроводной поверхности первой пластины и двумя неподвижными электродами на второй пластине, расположенной на одной стороне неподвижной части первой пластины, третью пластину на другой стороне неподвижной части первой пластины, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом на корпусе со стороны второй пластины и установленной на подвижной части первой пластины посредством грузов компенсационной катушкой со стороны второй пластины, груз на подвижной части первой пластины со стороны третьей пластины, усилитель, причем по крайней мере одна из сторон второй пластины выполнена прямолинейной и параллельной оси подвеса, плоскость фланца параллельна поверхности внешней подвижной части первой пластины.The closest in technical essence is an accelerometer [2], comprising a housing with a flange designed for installation on a free fall acceleration vector, a first plate with an external moving part, an internal fixed part and elastic bridges connecting them along the suspension axis, a differential capacitive position transducer with a movable electrode in the form of an electrically conductive surface of the first plate and two stationary electrodes on the second plate located on one side of the fixed part of the first plate a third plate on the other side of the fixed part of the first plate, a magnetoelectric power transformer with a permanent magnet on the housing from the side of the second plate and mounted on the movable part of the first plate by means of weights by a compensation coil from the side of the second plate, the load on the movable part of the first plate from the side of the third plate , an amplifier, at least one of the sides of the second plate is made rectilinear and parallel to the suspension axis, the plane of the flange is parallel to the surface of the external second movable portion of the first plate.

Недостатком такого акселерометра является погрешность измерения ускорения вследствие нестабильности сигнала акселерометра, не зависящего от ускорения, при дрейфе нулевого сигнала дифференциального емкостного преобразователя.The disadvantage of this accelerometer is the error in measuring acceleration due to the instability of the accelerometer signal, which is independent of acceleration, when the zero signal of the differential capacitive converter drifts.

Технический результат изобретения заключается в повышении точности измерения ускорения.The technical result of the invention is to improve the accuracy of measuring acceleration.

Данный технический результат достигается в акселерометре, содержащем корпус с предназначенным для установки по вектору ускорения свободного падения фланцем, первую пластину с внешней подвижной частью, внутренней неподвижной частью и соединяющими их упругими перемычками по оси подвеса, дифференциальный емкостный преобразователь положения с подвижным электродом в виде электропроводной поверхности первой пластины и двумя неподвижными электродами на второй пластине, расположенной на одной стороне неподвижной части первой пластины, третью пластину на другой стороне неподвижной части первой пластины, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом на корпусе со стороны второй пластины и установленной на подвижной части первой пластины посредством грузов компенсационной катушкой со стороны второй пластины, груз на подвижной части первой пластины со стороны третьей пластины, усилитель, причем по крайней мере одна из сторон второй пластины выполнена прямолинейной и параллельной оси подвеса, плоскость фланца параллельна поверхности внешней подвижной части первой пластины, отличающемся тем, что груз на подвижной части первой пластины со стороны третьей пластины расположен выше оси подвеса относительно вектора ускорения свободного падения, прямолинейной выполнена сторона части второй пластины выше оси подвеса, расстояние f прямолинейной стороны второй пластины от оси подвеса выполнено в соответствии с соотношениемThis technical result is achieved in an accelerometer comprising a housing with a flange designed for installation on a free fall acceleration vector, a first plate with an external movable part, an internal stationary part and elastic bridges connecting them along the suspension axis, a differential capacitive position transducer with a movable electrode in the form of an electrically conductive surface the first plate and two stationary electrodes on the second plate located on one side of the fixed part of the first plate, t a plate on the other side of the fixed part of the first plate, a magnetoelectric power converter with a permanent magnet on the housing on the side of the second plate and mounted on the movable part of the first plate by means of weights by a compensation coil on the side of the second plate, a load on the movable part of the first plate on the side of the third plate, amplifier moreover, at least one of the sides of the second plate is made rectilinear and parallel to the suspension axis, the plane of the flange is parallel to the surface of the external slide part of the first plate, characterized in that the load on the movable part of the first plate from the side of the third plate is located above the suspension axis relative to the free fall acceleration vector, the side of the part of the second plate is higher than the suspension axis, the distance f of the straight side of the second plate from the suspension axis is made according to the ratio

Figure 00000001
Figure 00000001

гдеWhere

r - радиус второй пластины;r is the radius of the second plate;

К - коэффициентK - coefficient

Figure 00000002
Figure 00000002

M1 - момент сил инерции, действующих на часть подвижной части первой пластины, расположенной выше оси подвеса;M 1 - moment of inertia acting on part of the moving part of the first plate located above the suspension axis;

М2 - момент сил инерции, действующих на часть подвижной части первой пластины, расположенной ниже оси подвесаM 2 - the moment of inertia acting on a part of the moving part of the first plate located below the axis of the suspension

Посредством расположения груза, обращенного в сторону третьей пластины, выше оси подвеса обеспечивается повышение точности измерения ускорения вследствие уменьшения изменения не зависящего от ускорения сигнала акселерометра при дрейфе нулевого сигнала дифференциального емкостного преобразователя положения, так как при расположении груза выше оси подвеса уменьшается относительная жесткость системы упругого подвеса подвижной части относительно неподвижной части, что приводит к уменьшению изменения упругих сил реакции подвеса при угловом перемещении подвижной части вследствие дрейфа нулевого сигнала дифференциального емкостного преобразователя положения.By positioning the load facing the third plate above the suspension axis, the acceleration measurement accuracy is improved by reducing the change in the accelerometer-independent accelerometer signal when the zero signal of the differential capacitive position transducer drifts, since the relative rigidity of the elastic suspension system decreases when the load is placed above the suspension axis the moving part relative to the fixed part, which leads to a decrease in the change in the elastic forces of the suspension reaction at angular movement of the moving part due to drift of the zero signal of the differential capacitive position transducer.

Путем расположения груза на подвижной части первой пластины выше оси подвеса, выполнения прямолинейной стороны части второй пластины выше оси подвеса, выполнения в соответствии с расчетным соотношением расстояния прямолинейной стороны второй пластины от оси подвеса минимизируется изменение углового положения подвижной части первой пластины относительно неподвижных электродов на второй пластине при вибрационных воздействиях вследствие выравнивания угловых колебаний частей подвижной части первой пластины, расположенных выше и ниже оси подвеса. В результате повышается точность измерения ускорения вследствие уменьшения вибрационной погрешности, вызванной изменением нелинейности акселерометра за счет углового перемещения подвижной части первой пластины.By arranging the load on the movable part of the first plate above the suspension axis, performing the straight side of the second plate part above the suspension axis, performing, in accordance with the calculated ratio of the distance of the rectilinear side of the second plate from the suspension axis, the angular position of the movable part of the first plate relative to the stationary electrodes on the second plate is minimized during vibrational effects due to the alignment of the angular vibrations of the parts of the moving part of the first plate located above and below e suspension axis. As a result, the accuracy of the acceleration measurement is increased due to the reduction of the vibration error caused by the change in the nonlinearity of the accelerometer due to the angular displacement of the moving part of the first plate.

На фиг.1 представлен общий вид акселерометра, на фиг.2 - вид первой пластины, на фиг.3 - вид второй пластины, на фиг.4 - электрическая схема акселерометра.Figure 1 presents a General view of the accelerometer, figure 2 is a view of the first plate, figure 3 is a view of the second plate, figure 4 is an electrical diagram of the accelerometer.

В акселерометре (фиг.1) в корпусе 1 на стойке 2 установлена первая пластина 3, например, из монокристаллического кремния, имеющая внешнюю подвижную часть 4 и внутреннюю неподвижную часть 5. На стороне 6 неподвижной части 5, отстоящей на расстоянии d от подвижной части 4, расположена вторая пластина 7 с неподвижными электродами 8', 8'' дифференциального емкостного преобразователя положения, подвижным электродом которого является электропроводная поверхность подвижной части 4, образованная легированием монокристаллического кремния бором.In the accelerometer (figure 1) in the housing 1 on the rack 2 is installed the first plate 3, for example, of single-crystal silicon having an external movable part 4 and an internal fixed part 5. On the side 6 of the fixed part 5, spaced at a distance d from the movable part 4 , the second plate 7 with fixed electrodes 8 ', 8' 'of the differential capacitive position transducer is located, the movable electrode of which is the electrically conductive surface of the movable part 4, formed by doping of single-crystal silicon with boron.

С той же стороны 6 первой пластины 3 установлен дисковый постоянный магнит 9 магнитоэлектрического силового преобразователя, кольцевая компенсационная катушка 10 которого посредством грузов 11', 11'' установлена на подвижной части 4 первой пластины 3.On the same side 6 of the first plate 3, a disk permanent magnet 9 of the magnetoelectric power converter is installed, the annular compensation coil 10 of which is mounted on the movable part 4 of the first plate 3 by means of weights 11 ', 11' '.

На стороне 12 неподвижной части 5 первой пластины 3 расположена третья пластина 13. Расстояниями d образованы зазоры между первой пластиной 3 и второй 7 и третьей 13 пластинами.On the side 12 of the fixed part 5 of the first plate 3, a third plate 13. A distance d is formed between the first plate 3 and the second 7 and the third 13 plates.

Со стороны 12 первой пластины 3 установлен груз 14.From side 12 of the first plate 3, a load 14 is installed.

Первая пластина 3, вторая пластина 7, третья пластина 13, постоянный магнит 9 с диаметральным направлением намагниченности закреплены на стойке 2 корпуса 1 гайкой 15.The first plate 3, the second plate 7, the third plate 13, a permanent magnet 9 with a diametrical direction of magnetization are fixed on the rack 2 of the housing 1 with a nut 15.

Корпус 1 закрыт крышкой 16, загерметизирован и заполнен газовой средой, например сухим азотом.The housing 1 is closed by a cover 16, sealed and filled with a gaseous medium, for example, dry nitrogen.

На корпусе 1 выполнен фланец 17, плоскость 18 которого предназначена для установки акселерометра по вектору ускорения свободного падения. Плоскость 18 фланца 17 параллельна плоскости 19 подвижной части 4 первой пластины 3.A flange 17 is made on the housing 1, the plane 18 of which is intended for mounting the accelerometer along the acceleration vector. The plane 18 of the flange 17 is parallel to the plane 19 of the movable part 4 of the first plate 3.

В первой пластине 3 (фиг.2) подвижная часть 4 и неподвижная часть 5 соединены упругими перемычками 20', 20'' так, что проходящая по середине каждой из них прямая 21-21 представляет собой ось подвеса подвижной части 4 относительно неподвижной части 5. Груз 14 расположен выше оси подвеса 21-21 в положении, когда плоскость 18 фланца 17 параллельна вектору ускорения свободного падения.In the first plate 3 (FIG. 2), the movable part 4 and the fixed part 5 are connected by elastic bridges 20 ', 20' 'so that the straight line 21-21 passing through the middle of each of them is the suspension axis of the movable part 4 relative to the fixed part 5. The load 14 is located above the axis of the suspension 21-21 in a position where the plane 18 of the flange 17 is parallel to the acceleration vector of gravity.

Во второй пластине 7 (фиг.3) расположенная выше оси подвеса 21-21 часть второй пластины 7 имеет прямолинейную сторону 22, параллельную оси подвеса 21-21 и находящуюся на расстоянии f от оси подвеса 21-21 в соответствии с выражениемIn the second plate 7 (Fig. 3), the part of the second plate 7 located above the axis of the suspension 21-21 has a straight side 22 parallel to the axis of the suspension 21-21 and located at a distance f from the axis of the suspension 21-21 in accordance with the expression

Figure 00000003
Figure 00000003

гдеWhere

r - радиус второй пластины 7;r is the radius of the second plate 7;

К - коэффициентK - coefficient

Figure 00000004
Figure 00000004

гдеWhere

M1 - момент сил инерции, действующих на часть подвижной части 4 первой пластины 3, расположенной выше оси подвеса 21-21;M 1 - moment of inertia acting on part of the moving part 4 of the first plate 3, located above the axis of the suspension 21-21;

М2 - момент сил инерции, действующих на часть подвижной части 4 первой пластины 3, расположенной ниже оси подвеса 21-21.M 2 - the moment of inertial forces acting on part of the movable part 4 of the first plate 3, located below the axis of the suspension 21-21.

В акселерометре (фиг.4) неподвижный электрод 8' соединен с первым выводом резистора R1, неподвижный электрод 8'' соединен с первым выводом резистора R2. Вторые выводы резисторов R1 и R2 соединены вместе и подключены к выходу источника переменного тока с напряжением Un, второй выход которого подключен к общему проводу. К общему проводу также подключен подвижный электрод дифференциального емкостного преобразователя положения в виде электропроводной поверхности подвижной части 4 первой пластины 3. Точки соединения резисторов R1, R2 с неподвижными электродами 8', 8'' подключены к входу усилителя 23, состоящего из дифференциального усилителя, суммирующего усилителя, демодулятора и усилителя постоянного тока, к выходу которого подключена компенсационная катушка 10 магнитоэлектрического силового преобразователя.In the accelerometer (Fig. 4), the fixed electrode 8 'is connected to the first terminal of the resistor R1, the stationary electrode 8' 'is connected to the first terminal of the resistor R2. The second terminals of the resistors R1 and R2 are connected together and connected to the output of an alternating current source with voltage Un, the second output of which is connected to a common wire. The movable electrode of the differential capacitive position transducer is also connected to the common wire in the form of an electrically conductive surface of the movable part 4 of the first plate 3. The connection points of the resistors R1, R2 with the fixed electrodes 8 ', 8' 'are connected to the input of the amplifier 23, consisting of a differential amplifier, a summing amplifier , a demodulator and a DC amplifier, to the output of which a compensation coil 10 of the magnetoelectric power converter is connected.

Акселерометр работает следующим образом. При наличии линейного ускорения под действием инерционной силы происходит изменение углового положения подвижной части 4, в результате чего изменяются емкости, образованные неподвижными электродами 8', 8'' и подвижным электродом дифференциального емкостного преобразователя положения. На вход усилителя 23 поступает сигнал, который после преобразования и усиления подается на компенсационную катушку 10. В магнитоэлектрическом силовом преобразователе создается компенсационная сила, уравновешивающая инерционную силу, а ток в компенсационной катушке 10 является мерой линейного ускорения.The accelerometer works as follows. In the presence of linear acceleration under the influence of inertial force, the angular position of the movable part 4 changes, as a result of which the capacitances formed by the stationary electrodes 8 ', 8' 'and the movable electrode of the differential capacitive position transducer change. A signal is received at the input of amplifier 23, which, after conversion and amplification, is supplied to the compensation coil 10. A compensation force is created in the magnetoelectric power converter, which balances the inertial force, and the current in the compensation coil 10 is a measure of linear acceleration.

При вибрационных воздействиях угловые колебания части подвижной части 4 выше оси подвеса 21-21 пропорциональны моменту сил инерции M1 относительно оси подвеса 21-21, действующих на часть подвижной части 4 выше оси подвеса 21-21. Угловые колебания части подвижной части 4 ниже оси подвеса 21-21 пропорциональны моменту сил инерции М2 относительно оси подвеса 21-21, действующих на часть подвижной части 4 ниже оси подвеса 21-21. Так как на подвижной части 4 выше оси подвеса 21-21 расположен груз 14, то M1>М2. Следовательно, угловые колебания части подвижной части 4 выше оси подвеса 21-21 будут больше угловых колебаний части подвижной части 4 ниже оси подвеса 21-21. Выравнивание угловых колебаний частей подвижной части 4 выше и ниже оси подвеса 21-21 осуществляется за счет создания разности сил давлений газовой пленки, действующих на подвижную часть 4 выше и ниже оси подвеса 21-21. Так как давление пропорционально площади, то площадь S1 части второй пластины 7 выше оси подвеса 21-21 выполнена меньшей площади S2 части второй пластины 7 ниже оси подвеса 21-21 исходя из условияUnder vibrational influences, the angular vibrations of the part of the moving part 4 above the axis of the suspension 21-21 are proportional to the moment of inertia forces M 1 relative to the axis of the suspension 21-21, acting on the part of the moving part 4 above the axis of the suspension 21-21. The angular vibrations of the part of the moving part 4 below the axis of the suspension 21-21 are proportional to the moment of inertia M 2 relative to the axis of the suspension 21-21, acting on the part of the moving part 4 below the axis of the suspension 21-21. Since the load 14 is located on the moving part 4 above the suspension axis 21-21, M 1 > M 2 . Therefore, the angular vibrations of the part of the moving part 4 above the axis of the suspension 21-21 will be greater than the angular vibrations of the part of the moving part 4 below the axis of the suspension 21-21. The alignment of the angular vibrations of the parts of the movable part 4 above and below the axis of the suspension 21-21 is carried out by creating a difference in the pressure forces of the gas film acting on the movable part 4 above and below the axis of the suspension 21-21. Since the pressure is proportional to the area, the area S 1 of the part of the second plate 7 above the axis of the suspension 21-21 is made smaller than the area S 2 of the part of the second plate 7 below the axis of the suspension 21-21 based on the condition

Figure 00000005
Figure 00000005

Площадь S1 части второй пластины 7 выше оси подвеса 21-21The area S 1 of the part of the second plate 7 above the axis of the suspension 21-21

Figure 00000006
Figure 00000006

гдеWhere

r - радиус второй пластины 7,r is the radius of the second plate 7,

α - центральный угол дуги между точками "а" и "б" пересечения отрезком прямой линии 22 внешней поверхности второй пластины 7 по ее окружности (фиг.3).α is the central angle of the arc between the points "a" and "b" of intersection by a segment of a straight line 22 of the outer surface of the second plate 7 along its circumference (figure 3).

Площадь S2 части второй пластины 7 ниже оси подвеса 21-21:The area S 2 of the part of the second plate 7 below the axis of the suspension 21-21:

Figure 00000007
Figure 00000007

Представим, чтоImagine that

Figure 00000008
Figure 00000008

тогдаthen

Figure 00000009
Figure 00000009

отсюдаfrom here

Figure 00000010
Figure 00000010

обозначимdenote

Figure 00000011
Figure 00000011

гдеWhere

K - коэффициент.K is the coefficient.

Выражение (3) преобразуется к виду Expression (3) is converted to the form

Figure 00000012
Figure 00000012

отсюдаfrom here

Figure 00000013
Figure 00000013

Расстояние f от оси подвеса 21-21 прямолинейной стороны 22 второй пластины 7:The distance f from the suspension axis 21-21 of the rectilinear side 22 of the second plate 7:

Figure 00000014
Figure 00000014

При подстановке (11) в (12) получаемSubstituting (11) into (12), we obtain

Figure 00000015
Figure 00000015

При выполнении в соответствии с выражением (13) расстояния f прямолинейной стороны 22 второй пластины 7 от оси подвеса 21-21 происходит выравнивание угловых перемещений частей подвижной части 4 первой пластины 3 при вибрационном воздействии. Поэтому подвижная часть 4 сохраняет свое угловое положение относительно неподвижных электродов 8' и 8'', что исключает угловое перемещение компенсационной катушки 10 относительно постоянного магнита 9. Сохранение положения компенсационной катушки 10 относительно постоянного магнита 9 обеспечивает неизменность нелинейности градуировочной характеристики акселерометра, обусловленной соленоидным эффектом. В результате при вибрационном воздействии минимизируется вибрационная погрешность, что повышает точность акселерометра.When, in accordance with expression (13), the distance f of the rectilinear side 22 of the second plate 7 from the axis of the suspension 21-21 is equalized, the angular movements of the parts of the movable part 4 of the first plate 3 are aligned under vibration exposure. Therefore, the movable part 4 retains its angular position relative to the stationary electrodes 8 'and 8' ', which eliminates the angular movement of the compensation coil 10 relative to the permanent magnet 9. Keeping the position of the compensation coil 10 relative to the permanent magnet 9 ensures the non-linearity of the accelerometer calibration characteristic due to the solenoid effect. As a result, during vibration exposure, vibration error is minimized, which increases the accuracy of the accelerometer.

Источники информацииInformation sources

1. Патент РФ №2051542, кл. G01P 15/13. Компенсационный акселерометр. 1994 г.1. RF patent No. 2051542, cl. G01P 15/13. Compensation Accelerometer. 1994

2. Патент РФ №2193209, кл. G01P 15/13. Компенсационный акселерометр. 2001 г.2. RF patent No. 2193209, cl. G01P 15/13. Compensation Accelerometer. 2001 year

Claims (1)

Акселерометр, содержащий корпус с предназначенным для установки по вектору ускорения свободного падения фланцем, первую пластину с внешней подвижной частью, внутренней неподвижной частью и соединяющими их упругими перемычками по оси подвеса, дифференциальный емкостный преобразователь положения с подвижным электродом в виде электропроводной поверхности первой пластины и двумя неподвижными электродами на второй пластине, расположенной на одной стороне неподвижной части первой пластины, третью пластину на другой стороне неподвижной части первой пластины, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом на корпусе со стороны второй пластины и установленной на подвижной части первой пластины посредством грузов компенсационной катушкой со стороны второй пластины, груз на подвижной части первой пластины со стороны третьей пластины, усилитель, причем по крайней мере одна из сторон второй пластины выполнена прямолинейной и параллельной оси подвеса, плоскость фланца параллельна поверхности внешней подвижной части первой пластины, отличающийся тем, что груз на подвижной части первой пластины со стороны третьей пластины расположен выше оси подвеса относительно вектора ускорения свободного падения, прямолинейной выполнена сторона части второй пластины выше оси подвеса, расстояние f прямолинейной стороны второй пластины от оси подвеса выполнено в соответствии с соотношением:
Figure 00000016

где
r - радиус второй пластины;
К - коэффициент
Figure 00000017

где
M1 - момент сил инерции, действующих на часть подвижной части первой пластины, расположенной выше оси подвеса;
М2 - момент сил инерции, действующих на часть подвижной части первой пластины, расположенной ниже оси подвеса. An accelerometer comprising a housing with a flange designed for mounting along the acceleration vector, a first plate with an external moving part, an internal fixed part and connecting elastic bridges along the suspension axis, a differential capacitive position transducer with a moving electrode in the form of an electrically conductive surface of the first plate and two fixed electrodes on a second plate located on one side of the fixed part of the first plate, a third plate on the other side of the fixed parts of the first plate, a magnetoelectric power converter with a permanent magnet on the housing from the side of the second plate and mounted on the movable part of the first plate by means of weights by a compensation coil from the side of the second plate, a load on the movable part of the first plate from the side of the third plate, an amplifier, at least one of the sides of the second plate is made rectilinear and parallel to the axis of the suspension, the plane of the flange is parallel to the surface of the outer movable part of the first plate, characterized in that the load on the movable part of the first plate from the side of the third plate is located above the suspension axis relative to the gravity acceleration vector, the side of the part of the second plate is higher than the suspension axis, the distance f of the straight side of the second plate from the suspension axis is made in accordance with the ratio:
Figure 00000016

Where
r is the radius of the second plate;
K - coefficient
Figure 00000017

Where
M 1 - moment of inertia acting on part of the moving part of the first plate located above the suspension axis;
M 2 - the moment of inertial forces acting on part of the movable part of the first plate located below the axis of the suspension.
RU2012150511/28A 2012-11-26 2012-11-26 Accelerometer RU2514150C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012150511/28A RU2514150C1 (en) 2012-11-26 2012-11-26 Accelerometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012150511/28A RU2514150C1 (en) 2012-11-26 2012-11-26 Accelerometer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2514150C1 true RU2514150C1 (en) 2014-04-27

Family

ID=50515533

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012150511/28A RU2514150C1 (en) 2012-11-26 2012-11-26 Accelerometer

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2514150C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2627014C1 (en) * 2016-07-27 2017-08-02 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по космической деятельности "РОСКОСМОС" (Госкорпорация "РОСКОСМОС") Satellite accelerometer

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2039994C1 (en) * 1993-04-21 1995-07-20 Раменское приборостроительное конструкторское бюро Compensation accelerometer
RU2121694C1 (en) * 1997-05-28 1998-11-10 Акционерное общество Раменское приборостроительное конструкторское бюро Compensation accelerometer
US6422076B1 (en) * 1999-06-23 2002-07-23 Agency For Defense Development Compensation pendulous accelerometer
RU2193209C1 (en) * 2001-08-21 2002-11-20 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" Compensation accelerometer
RU2249221C1 (en) * 2003-07-31 2005-03-27 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" (ОАО "РПКБ") Compensation accelerometer

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2039994C1 (en) * 1993-04-21 1995-07-20 Раменское приборостроительное конструкторское бюро Compensation accelerometer
RU2121694C1 (en) * 1997-05-28 1998-11-10 Акционерное общество Раменское приборостроительное конструкторское бюро Compensation accelerometer
US6422076B1 (en) * 1999-06-23 2002-07-23 Agency For Defense Development Compensation pendulous accelerometer
RU2193209C1 (en) * 2001-08-21 2002-11-20 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" Compensation accelerometer
RU2249221C1 (en) * 2003-07-31 2005-03-27 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" (ОАО "РПКБ") Compensation accelerometer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2627014C1 (en) * 2016-07-27 2017-08-02 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по космической деятельности "РОСКОСМОС" (Госкорпорация "РОСКОСМОС") Satellite accelerometer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106629571B (en) A Weakly Coupled MEMS Resonant Accelerometer Based on Mode Localization Effect
JP5972965B2 (en) Accelerometer system and method
CN101592678A (en) A kind of flexible pendulous accelerometer
CN103292787A (en) Tilt angle sensor
JPS5952365B2 (en) Measuring device that can be used for angle measurement or acceleration measurement
RU2514150C1 (en) Accelerometer
EP1831701A1 (en) Super invar magnetic return path for high performance accelerometers
RU2410703C1 (en) Linear microaccelerometre
RU2566655C1 (en) Measurement of apparent acceleration and piezoelectric accelerometer to this end
RU2559154C2 (en) Compensation-type pendulum accelerometer
RU2545469C1 (en) Compensation accelerometer
RU2193209C1 (en) Compensation accelerometer
RU2514151C1 (en) Compensation accelerometer
RU2233451C2 (en) Compensating accelerometer
RU120235U1 (en) COMPENSATION ACCELEROMETER WITH AN OPTICAL ANGLE SENSOR
RU17733U1 (en) COMPENSATION ACCELEROMETER
RU2028000C1 (en) Compensating accelerometer
RU2485524C2 (en) Accelerometer
RU2638919C1 (en) Electronic system of compensation accelerometer
RU2776595C1 (en) Compensatory accelerometer moment sensor
RU2800399C1 (en) Angular accelerometer sensing element
RU2758892C1 (en) Compensation pendulum accelerometer
KR101264771B1 (en) Accelerometer with silicon pendulum assembly which improves scale factor linearity under high-g acceleration
RU2796125C1 (en) Accelerometer
RU2121694C1 (en) Compensation accelerometer